JP2009134025A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2009134025A5
JP2009134025A5 JP2007309552A JP2007309552A JP2009134025A5 JP 2009134025 A5 JP2009134025 A5 JP 2009134025A5 JP 2007309552 A JP2007309552 A JP 2007309552A JP 2007309552 A JP2007309552 A JP 2007309552A JP 2009134025 A5 JP2009134025 A5 JP 2009134025A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bonding film
optical device
movable plate
substrate
reflecting portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007309552A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5076842B2 (ja
JP2009134025A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2007309552A priority Critical patent/JP5076842B2/ja
Priority claimed from JP2007309552A external-priority patent/JP5076842B2/ja
Publication of JP2009134025A publication Critical patent/JP2009134025A/ja
Publication of JP2009134025A5 publication Critical patent/JP2009134025A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5076842B2 publication Critical patent/JP5076842B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2007309552A 2007-11-29 2007-11-29 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ Expired - Fee Related JP5076842B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007309552A JP5076842B2 (ja) 2007-11-29 2007-11-29 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007309552A JP5076842B2 (ja) 2007-11-29 2007-11-29 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012109008A Division JP5187456B2 (ja) 2012-05-11 2012-05-11 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009134025A JP2009134025A (ja) 2009-06-18
JP2009134025A5 true JP2009134025A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2012-04-26
JP5076842B2 JP5076842B2 (ja) 2012-11-21

Family

ID=40865953

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007309552A Expired - Fee Related JP5076842B2 (ja) 2007-11-29 2007-11-29 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5076842B2 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5640549B2 (ja) * 2010-08-19 2014-12-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターの製造方法および光機器
JP5640659B2 (ja) * 2010-11-02 2014-12-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターの製造方法、及び光機器
JP5630227B2 (ja) 2010-11-15 2014-11-26 セイコーエプソン株式会社 光フィルターおよび光フィルターの製造方法
JP5545190B2 (ja) * 2010-11-26 2014-07-09 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルターの製造方法
JP2012145675A (ja) * 2011-01-11 2012-08-02 Seiko Epson Corp 光フィルター、光フィルターの製造方法および光機器
JP5923912B2 (ja) * 2011-09-27 2016-05-25 セイコーエプソン株式会社 干渉フィルターの製造方法
JP6119325B2 (ja) * 2013-03-14 2017-04-26 セイコーエプソン株式会社 干渉フィルター、干渉フィルターの製造方法、光学モジュール、電子機器、及び接合基板
JP6264356B2 (ja) * 2015-11-02 2018-01-24 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4185409B2 (ja) * 2002-06-27 2008-11-26 松下電器産業株式会社 光導波路の製造方法
JP3714338B2 (ja) * 2003-04-23 2005-11-09 ウシオ電機株式会社 接合方法
JP4742503B2 (ja) * 2004-02-27 2011-08-10 セイコーエプソン株式会社 成膜方法
JP4548245B2 (ja) * 2005-06-27 2010-09-22 セイコーエプソン株式会社 波長可変フィルタ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009134025A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2009134028A5 (enrdf_load_stackoverflow)
CA2704610C (en) Device and device manufacture method
JP2009134026A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2009134027A5 (enrdf_load_stackoverflow)
EP3012717A1 (en) Transparent composite substrate, preparation method thereof and touch panel
JP2010536041A5 (enrdf_load_stackoverflow)
US9834437B2 (en) Method for manufacturing MEMS torsional electrostatic actuator
Brunne et al. A tunable piezoelectric Fresnel mirror for high-speed lineshaping
WO2003042094A3 (en) Multi-chip module integrating mems mirror array with electronics
CN100410723C (zh) 可变波长滤光器以及可变波长滤光器的制造方法
JP2009077502A (ja) タッチスイッチの触覚反力装置
CN101493578B (zh) 一种周期可调微机械光栅及其制作工艺
US8630050B2 (en) Micromechanical component, optical device, manufacturing method for a micromechanical component, and manufacturing method for an optical device
Bruno et al. Micro Fresnel mirror array with individual mirror control
JP2009136120A5 (enrdf_load_stackoverflow)
WO2011037015A1 (ja) 干渉光学系およびそれを備えた分光器
JP2009139600A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP5545190B2 (ja) 波長可変干渉フィルターの製造方法
JP5740819B2 (ja) 空間光変調器の製造方法、空間光変調器、照明光発生装置および露光装置
JP2005526279A (ja) 光導波路プレートを有するディスプレイパネル
JP2011086727A (ja) インプリント装置及び物品の製造方法
ATE387639T1 (de) Herstellung einer optischen verbindungsschicht auf einem elektronischen schaltkreis
US9918683B2 (en) Bonding method with curing by reflected actinic rays
JP2009098464A5 (enrdf_load_stackoverflow)