JP2009134026A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2009134026A5
JP2009134026A5 JP2007309553A JP2007309553A JP2009134026A5 JP 2009134026 A5 JP2009134026 A5 JP 2009134026A5 JP 2007309553 A JP2007309553 A JP 2007309553A JP 2007309553 A JP2007309553 A JP 2007309553A JP 2009134026 A5 JP2009134026 A5 JP 2009134026A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
movable plate
bonding film
optical device
atom
elastic portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007309553A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2009134026A (ja
JP5076843B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2007309553A priority Critical patent/JP5076843B2/ja
Priority claimed from JP2007309553A external-priority patent/JP5076843B2/ja
Publication of JP2009134026A publication Critical patent/JP2009134026A/ja
Publication of JP2009134026A5 publication Critical patent/JP2009134026A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5076843B2 publication Critical patent/JP5076843B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2007309553A 2007-11-29 2007-11-29 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ Expired - Fee Related JP5076843B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007309553A JP5076843B2 (ja) 2007-11-29 2007-11-29 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007309553A JP5076843B2 (ja) 2007-11-29 2007-11-29 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009134026A JP2009134026A (ja) 2009-06-18
JP2009134026A5 true JP2009134026A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2011-01-20
JP5076843B2 JP5076843B2 (ja) 2012-11-21

Family

ID=40865954

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007309553A Expired - Fee Related JP5076843B2 (ja) 2007-11-29 2007-11-29 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5076843B2 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011079826A1 (en) 2010-01-04 2011-07-07 Shanghai Lexvu Opto Microelectronics Technology Co., Ltd A tri wavelength diffraction modulator and a method for modulation
JP5445303B2 (ja) * 2010-04-19 2014-03-19 セイコーエプソン株式会社 光フィルター素子、光フィルターモジュール、および分析機器
JP5617357B2 (ja) * 2010-06-07 2014-11-05 大日本印刷株式会社 センサデバイス及びその製造方法
JP5640549B2 (ja) 2010-08-19 2014-12-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターの製造方法および光機器
JP5516358B2 (ja) * 2010-11-18 2014-06-11 株式会社デンソー ファブリペロー干渉計の製造方法
JP2025035965A (ja) * 2023-09-01 2025-03-14 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタ

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4185409B2 (ja) * 2002-06-27 2008-11-26 松下電器産業株式会社 光導波路の製造方法
JP3714338B2 (ja) * 2003-04-23 2005-11-09 ウシオ電機株式会社 接合方法
JP4742503B2 (ja) * 2004-02-27 2011-08-10 セイコーエプソン株式会社 成膜方法
JP4603489B2 (ja) * 2005-01-28 2010-12-22 セイコーエプソン株式会社 波長可変フィルタ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009134028A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2009134026A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP6613870B2 (ja) ガラス積層体、及び表示装置用保護材
JP5200538B2 (ja) 薄板ガラス積層体及び薄板ガラス積層体を用いた表示装置の製造方法
JP2009134025A5 (enrdf_load_stackoverflow)
TWI610798B (zh) 偏光薄膜及其製造方法、光學薄膜及影像顯示裝置
TWI730984B (zh) 可固化且光學透明之壓敏黏著劑及其用途
US10738172B2 (en) Display panel assembly and methods of making same
JP2009134027A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JPWO2008007622A1 (ja) 保護ガラス付ガラス基板、保護ガラス付ガラス基板を用いた表示装置の製造方法及び剥離紙用シリコーン
JP2009098465A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2009507963A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2013534721A (ja) ウェーハ支持システム用の変換層を加熱するために光学的調整を施した金属化光
KR20160010500A (ko) 유리 구조체와, 유리 구조체 처리 및 제조 방법
KR20180004241A (ko) 광학 부재의 제조 방법
WO2017217510A1 (ja) 硬化性ポリオルガノシロキサン組成物及びその使用
WO2022230874A1 (ja) 組成物
CN109795190A (zh) 光学部件及具备触摸传感器的产品的生产方法、光学部件
JP2018047676A (ja) 硬化性樹脂組成物及び加工フィルムの製造方法
CN104039908A (zh) 光学用透明粘合片的制造方法、光学用透明粘合片及使用它的显示装置
JP7192346B2 (ja) 粘着層付き透明面材および表示装置
TW201410451A (zh) 玻璃板氟樹脂積層體
JP6213126B2 (ja) 接着性組成物およびその接着方法、および接着後の剥離方法
JP6551151B2 (ja) ガラス積層体、電子デバイス用基板、及び電子デバイス
JP2009136120A5 (enrdf_load_stackoverflow)