JP2009139198A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 カード基板1の主面側に複数のプローブユニット3を配置すると共に、裏面側に補強板2を配置し、複数の上記プローブユニット3の支持台31をそれぞれ独立して、上記カード基板1に設けられた貫通孔4を介して上記補強板2に固定することによって熱の影響によるプローブユニット間の相対的な位置ずれを極力小さくなるようにした。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1によるプローブカードの一例を示した図であり、図1(a)はプローブカードの断面図であって、カード基板1の裏面に補強板2が取り付けられ、カード基板1の主面上にプローブユニット3が設けられている。図1(b)はカード基板1の裏面側から見たプローブカードの平面図であって、補強板2がカード基板1の裏面に取り付けられている状態を示している。
2 補強板
3 プローブユニット
31 支持台
32 検査針(プローブ)
4 貫通孔
5 突出部
Claims (2)
- カード基板の主面側に複数のプローブユニットが配置されると共に、上記カード基板の裏面側に補強板が配置され、
上記プローブユニットが、検査対象物に接触して電気信号路となる複数の検査針と、台上に上記検査針が固定されている支持台とを有し、
複数の上記プローブユニットの上記支持台がそれぞれ独立して、上記カード基板に設けられた貫通孔を介して上記補強板に固定されていることを特徴とするプローブカード。 - 上記支持台は、上記補強板の熱変形の挙動に直接従うように上記補強板に固定したことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03157949A (ja) * | 1989-11-15 | 1991-07-05 | Nec Yamaguchi Ltd | 半導体装置の検査装置 |
JPH0798330A (ja) * | 1993-09-28 | 1995-04-11 | Nippon Maikuronikusu:Kk | プローブカード |
JP2007093320A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | 接続装置及び被検査装置の検査方法 |
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Patent Citations (3)
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JP2007093320A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | 接続装置及び被検査装置の検査方法 |
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JP5084477B2 (ja) | 2012-11-28 |
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