JP2009105315A - 半導体基板の製造方法 - Google Patents
半導体基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009105315A JP2009105315A JP2007277504A JP2007277504A JP2009105315A JP 2009105315 A JP2009105315 A JP 2009105315A JP 2007277504 A JP2007277504 A JP 2007277504A JP 2007277504 A JP2007277504 A JP 2007277504A JP 2009105315 A JP2009105315 A JP 2009105315A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- oxide film
- silicon
- temperature
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 132
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 79
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 33
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 30
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 24
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 22
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 20
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 12
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 12
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 11
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N hydron Chemical compound [H+] GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 5
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 4
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 4
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 2
- 230000007847 structural defect Effects 0.000 abstract description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 24
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 4
- -1 hydrogen ions Chemical class 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005465 channeling Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 230000000415 inactivating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000009291 secondary effect Effects 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02205—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition
- H01L21/02208—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si
- H01L21/02211—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound being a silane, e.g. disilane, methylsilane or chlorosilane
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02205—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition
- H01L21/02208—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si
- H01L21/02214—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound comprising silicon and oxygen
- H01L21/02216—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound comprising silicon and oxygen the compound being a molecule comprising at least one silicon-oxygen bond and the compound having hydrogen or an organic group attached to the silicon or oxygen, e.g. a siloxane
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/02227—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process
- H01L21/0223—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by oxidation, e.g. oxidation of the substrate
- H01L21/02233—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by oxidation, e.g. oxidation of the substrate of the semiconductor substrate or a semiconductor layer
- H01L21/02236—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by oxidation, e.g. oxidation of the substrate of the semiconductor substrate or a semiconductor layer group IV semiconductor
- H01L21/02238—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by oxidation, e.g. oxidation of the substrate of the semiconductor substrate or a semiconductor layer group IV semiconductor silicon in uncombined form, i.e. pure silicon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/02227—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process
- H01L21/02255—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by thermal treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02337—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to a gas or vapour
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/20—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy
- H01L21/2003—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy characterised by the substrate
- H01L21/2007—Bonding of semiconductor wafers to insulating substrates or to semiconducting substrates using an intermediate insulating layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/265—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation
- H01L21/26506—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation in group IV semiconductors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/314—Inorganic layers
- H01L21/3143—Inorganic layers composed of alternated layers or of mixtures of nitrides and oxides or of oxinitrides, e.g. formation of oxinitride by oxidation of nitride layers
- H01L21/3144—Inorganic layers composed of alternated layers or of mixtures of nitrides and oxides or of oxinitrides, e.g. formation of oxinitride by oxidation of nitride layers on silicon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/32105—Oxidation of silicon-containing layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
- H01L21/7624—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology
- H01L21/76251—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology using bonding techniques
- H01L21/76254—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology using bonding techniques with separation/delamination along an ion implanted layer, e.g. Smart-cut, Unibond
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/49—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET
- H01L29/4908—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET for thin film semiconductor, e.g. gate of TFT
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78603—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film characterised by the insulating substrate or support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/28008—Making conductor-insulator-semiconductor electrodes
- H01L21/28017—Making conductor-insulator-semiconductor electrodes the insulator being formed after the semiconductor body, the semiconductor being silicon
- H01L21/28158—Making the insulator
- H01L21/28167—Making the insulator on single crystalline silicon, e.g. using a liquid, i.e. chemical oxidation
Abstract
【課題】SOI基板製造プロセスの一貫した低温化を図ること。
【解決手段】SOI基板に設けるゲート酸化膜を、450℃以下の温度で成長させた低温熱酸化膜13とCVD法による酸化膜14を積層させたものとする。熱酸化膜13は100Å以下の薄膜であるから、450℃以下の低温であっても充分である。下地の熱酸化膜13により界面準位等の構造的欠陥が抑制されるとともに、当該熱酸化膜上に形成されたCVD酸化膜14によってゲート酸化膜の厚み調整が可能となる。このような手法によれば、従来の一般的なシリコン酸化膜形成装置を用いてゲート酸化膜を低温形成することが可能となり、SOI基板製造プロセスの一貫した低温化が図られる。
【選択図】図1
【解決手段】SOI基板に設けるゲート酸化膜を、450℃以下の温度で成長させた低温熱酸化膜13とCVD法による酸化膜14を積層させたものとする。熱酸化膜13は100Å以下の薄膜であるから、450℃以下の低温であっても充分である。下地の熱酸化膜13により界面準位等の構造的欠陥が抑制されるとともに、当該熱酸化膜上に形成されたCVD酸化膜14によってゲート酸化膜の厚み調整が可能となる。このような手法によれば、従来の一般的なシリコン酸化膜形成装置を用いてゲート酸化膜を低温形成することが可能となり、SOI基板製造プロセスの一貫した低温化が図られる。
【選択図】図1
Description
本発明は、透明絶縁性基板上にシリコン膜を有する半導体基板の製造方法に関する。
半導体デバイスの高性能化を可能とする半導体基板として、SOI(Silicon On Insulator)基板が注目を浴びている(例えば、特許文献1や非特許文献1を参照)。これは、SOI構造を採用して単結晶シリコン薄膜下に酸化膜を埋め込むことにより、寄生容量を低減し、動作速度を向上させ、消費電力を抑えることが可能となるためである。
SOI基板を光デバイスとして利用する場合にはシリコン基板と貼り合わせる支持基板は透明絶縁性基板であることが必要となるが、そのような基板としては石英基板やサファイア基板の他、低コスト化の観点からホウ珪酸ガラス基板や結晶化ガラス基板なども検討されている。
しかし、これらの透明絶縁性基板は、シリコン結晶と熱膨張係数が大きく異なるため、SOI基板の製造工程が高温プロセスを含む場合には、貼り合わせ基板やSOI基板が割れたり欠けたりするという問題が生じる。このため、SOI基板の製造工程全般における低温化望まれており、特に、透明絶縁性基板上にSOI膜を形成した後にゲート酸化膜を形成する工程は低温化を図る必要がある。
近年では、高温を要する熱酸化に代わる低温酸化技術として、高濃度オゾンを用いた酸化法(非特許文献2)やマイクロ波励起プラズマによる酸化法(非特許文献3)も提案されているが、これらの手法は何れも、従来の装置とは異なる特殊な酸化システムを必要とする。
特許第3048201号公報
A. J. Auberton-Herve et al., "SMART CUT TECHNOLOGY: INDUSTRIAL STATUS of SOI WAFER PRODUCTION and NEW MATERIAL DEVELOPMENTS" (Electrochemical Society Proceedings Volume 99-3 (1999) p.93-106).
黒河明他「高濃度オゾンで形成した極薄シリコン酸化膜の界面構造」(電子技術総合研究所彙報、第63巻、第12号、p.501-507、2000年).
大見忠弘他「マイクロ波励起Kr/O2プラズマによるシリコン酸化膜の低温形成」『応用物理』(第69巻、第10号、p.1200-1204、2000年).
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、従来の一般的なシリコン酸化膜形成装置を用いて低温で形成されたゲート酸化膜を備えたSOI基板を提供することにある。
このような課題を解決するために、本発明の半導体基板の製造方法は、シリコン基板の主面に水素イオン注入層を形成するイオン注入工程と、透明絶縁性基板と前記シリコン基板の少なくとも一方の主面にプラズマ処理を施す表面処理工程と、前記透明絶縁性基板と前記シリコン基板の主面同士を貼り合わせる工程と、前記貼り合せ基板の前記シリコン基板からシリコン薄膜を機械的剥離して前記透明絶縁性基板の主面上にシリコン膜を有するSOI基板とする剥離工程と、前記SOI基板の前記シリコン膜を平坦化処理する工程と、前記平坦化後のシリコン膜表面を450℃以下の温度で熱酸化して100Å以下の酸化膜を形成する工程と、前記熱酸化膜上にCVD法で酸化膜を堆積してゲート酸化膜を形成する工程とを備えている。
前記CVD法による酸化は、例えば、N2OとSiH4の混合ガス、O2とSiH4の混合ガス、又はTEOSガスの少なくとも1種のガスにより行なわれる。
本発明の半導体基板の製造方法は、前記CVD法による酸化膜の形成の後に水素を0.1〜4モル%の濃度で含有する不活性化ガス雰囲気中で熱処理する工程を更に備えていることが好ましい。
また、前記剥離工程の前に、前記貼り合せ基板を100〜300℃の温度で熱処理する工程を備えるようにしてもよい。
本発明で用いられる透明絶縁性基板は、例えば、石英基板、サファイア基板、ホウ珪酸ガラス基板、又は結晶化ガラス基板である。
本発明では、SOI基板に形成するゲート酸化膜を、450℃以下の温度で成長させた低温熱酸化膜とCVD法による酸化膜を積層させたものとしたので、下地の熱酸化膜により界面準位等の構造的欠陥が抑制されるとともに、当該熱酸化膜上に形成されたCVD酸化膜によってゲート酸化膜の厚み調整が可能となる。このような手法によれば、従来の一般的なシリコン酸化膜形成装置を用いてゲート酸化膜を低温形成することが可能となり、SOI基板製造プロセスの一貫した低温化が図られる。
以下に、本発明の半導体基板の製造方法を実施例により説明する。なお、以下の実施例において透明絶縁性基板を石英基板として説明するが、本発明で用いられる透明絶縁性基板は、サファイア基板、ホウ珪酸ガラス基板、結晶化ガラス基板などであってもよい。
図1は、本発明の半導体基板の製造方法のプロセス例を説明するための図である。図1(A)に図示されたシリコン基板10は一般には単結晶Si基板であり、支持基板は石英基板20である。ここで、単結晶Si基板10は、例えば、CZ法(チョクラルスキ法)により育成された一般に市販されているSi基板であり、その導電型や比抵抗率などの電気特性値や結晶方位や結晶径は、本発明の方法で製造されるSOI基板が供されるデバイスの設計値やプロセスあるいは製造されるデバイスの表示面積などに依存して適宜選択される。なお、この単結晶Si基板10の表面(貼り合せ面)には、例えば熱酸化などの方法によって予め酸化膜が形成されていてもよい。
貼り合わされる単結晶Si基板10および石英基板20の直径は同一であり、後のデバイス形成プロセスの便宜のため、石英基板20にも単結晶Si基板10に設けられているオリエンテーション・フラット(OF)と同様のOFを設けておき、これらのOF同士を一致させて貼り合わせるようにすると好都合である。
先ず、Si基板10の温度が400℃を超えない状態(400℃以下)に保持される条件下で、単結晶Si基板10の表面に水素イオンを注入する(図1(A))。このイオン注入面が後の「接合面(貼り合せ面)」となる。水素イオン注入により、単結晶Si基板10の表面近傍の所定の深さ(平均イオン注入深さL)に均一なイオン注入層11が形成される(図1(B))。イオン注入工程中のSi基板10の温度を400℃以下に保持することとすると、いわゆる「マイクロキャビティ」の発生を顕著に抑制することができる。なお、本実施例では、水素イオン注入時の単結晶Si基板10の温度は200℃以上400℃以下に設定されている。
水素のイオン注入時のドーズ量は、SOI基板の仕様等に応じて、例えば1×1016〜4×1017atoms/cm2の範囲で適当な値が選択される。なお、従来より、水素イオンのドーズ量が1×1017atoms/cm2を越えるとその後に得られるSOI層の表面荒れが生じるとされ、7×1016atoms/cm2程度のドーズ量に設定するのが一般的である。しかし、本発明者らの検討によれば、従来法において生じるとされていた上記イオン注入条件で生じるSOI層の表面荒れの原因は、水素イオンのドーズ量そのものではなく、シリコン薄膜を剥離してSOI層を得るために採用されている比較的高温(例えば500℃)の熱処理工程中で生じる水素の拡散現象にあることが明らかとなった。
したがって、本発明のように、水素イオン注入工程を含む一貫した低温プロセス化が図られる場合には、水素イオン注入工程中はもとより、剥離工程も低温で実行されることとなり、当該剥離処理工程中での水素原子の拡散は著しく抑制されるため、高いドーズ量の水素イオン注入を施したとしてもSOI層の表面荒れを生じさせることはない。本発明者らは種々のドーズ量で水素イオン注入を施してSOI層の表面荒れへの影響を調査したが、400℃以下の低温熱処理でシリコン薄膜の剥離を実行する限り、少なくとも4×1017atoms/cm2までのドーズ量での表面荒れは認められなかった。
イオン注入層11の単結晶Si基板10表面からの深さ(平均イオン注入深さL)はイオン注入時の加速電圧により制御され、どの程度の厚さのSOI層を剥離させるかに依存して決定されるが、例えば、平均イオン注入深さLを0.5μm以下とし、加速電圧50〜100KeVなどとする。なお、Si結晶中へのイオン注入プロセスにおいて注入イオンのチャネリング抑制のために通常行われているように、単結晶Si基板10のイオン注入面に予め酸化膜等の絶縁膜を形成させておき、この絶縁膜を通してイオン注入を施すようにしてもよい。
この水素イオン注入後、単結晶Si基板10の接合面に、表面清浄化や表面活性化などを目的としたプラズマ処理を施す(図1(C))。なお、このプラズマ処理は、接合面となる表面の有機物除去や表面上のOH基を増大させて表面活性化を図るなどの目的で行われるものであり、単結晶Si基板10と石英基板20の双方の接合面に施してもよく、石英基板20の接合面にのみ施してもよい。つまり、単結晶Si基板10と石英基板20の何れか一方の接合面に施せばよい。
このプラズマ処理は、予めRCA洗浄等を施した表面清浄な単結晶Si基板および/または石英基板を真空チャンバ内の試料ステージに載置し、当該真空チャンバ内にプラズマ用ガスを所定の真空度となるように導入して実行する。なお、ここで用いられるプラズマ用ガス種としては、酸素ガス、水素ガス、アルゴンガス、またはこれらの混合ガス、あるいは水素ガスとヘリウムガスの混合ガスなどがある。プラズマ用ガスの導入後、100W程度の電力の高周波プラズマを発生させ、プラズマ処理される単結晶Si基板および/または石英基板の表面に5〜10秒程度の処理を施して終了する。
このような表面処理が施された単結晶Si基板10と石英基板20の表面を接合面として密着させて貼り合わせる(図1(D))。上述したように、単結晶Si基板10と石英基板20の少なくとも一方の表面(接合面)は、プラズマ処理により表面処理が施されて活性化しているために、室温で密着(貼り合せ)した状態でも後工程での機械的剥離や機械研磨に十分耐え得るレベルの接合強度を得ることができる。
なお、図1(D)の貼り合わせ工程に続いて、剥離工程の前に、単結晶Si基板10と石英基板20とを貼り合わせた状態で、100〜300℃の温度で熱処理する工程を設けるようにしてもよい。この熱処理工程は、単結晶シリコン基板10と石英基板20との接合強度を高めるという効果を得ることを主な目的とするものである。
この熱処理工程時の温度を300℃以下と設定する主な理由は、上述した「マイクロキャビティ」の発生を防ぐことに加え、単結晶シリコンと石英との熱膨張係数差と当該熱膨張係数差に起因する歪量、およびこの歪量と単結晶シリコン基板10ならびに石英基板20の厚みを考慮したことによる。
なお、この熱処理には、水素イオンの注入量によっては、単結晶Si基板10と石英基板20の両基板間の熱膨張係数差に起因する熱応力を生じさせてイオン注入層11内のシリコン原子の化学結合を弱化させるという副次的な効果も期待できる。
このような処理に続いて、貼り合わされた基板に何らかの手法により外部衝撃を付与して単結晶シリコンのバルクからシリコン膜を機械的に剥離して、石英基板20上にシリコン膜(SOI膜)12を備えた半導体基板(SOI基板)が得られる(図1(E))。なお、シリコン膜(SOI膜)12の剥離のための外部からの衝撃付与の手法としては種々のものがあり得るが、本実施例ではこの剥離は加熱なしに実行している。
このようにして得られたSOI膜の剥離後の表面の10μm×10μmの領域を原子間力顕微鏡(AFM)で測定したところ、RMSの平均値は5nm以下と良好であった。また、SOI膜の基板面内バラつき(PV)は4nm以下であった。このような比較的平滑な剥離面が得られる理由は、従来の熱剥離とは剥離メカニズムが異なるためである。
得られたSOI基板の表面(SOI膜表面)はCMP研磨が施されて平坦化され、更に洗浄されて清浄面とされる。
本発明のSOI基板はゲート酸化膜を備えており、当該酸化膜は下記の2つの工程で形成される。先ず、SOI膜12の清浄面を450℃以下の低い温度で熱酸化し、100Å以下の薄い下地の熱酸化膜13が形成される(図1(F))。一般的な熱酸化膜は900℃以上の温度を必要とするが、本発明では、熱酸化膜13は100Å以下の薄い膜とすることから、450℃以下の低温であっても充分である。例えば、450℃でドライ酸化法により12時間熱酸化した場合には、85Åの熱酸化膜が得られた。
次に、熱酸化膜13の上に、CVD法により、600℃以下の温度で酸化膜14を更に堆積する(図1(G))。この酸化膜14と熱酸化膜13がゲート酸化膜となる。CVD法による酸化用ガスとしては、例えば、N2OとSiH4の混合ガス、O2とSiH4の混合ガス、或いはTEOSガスなどを用いることができる。
このような構造のゲート酸化膜は、下地の熱酸化膜13により界面準位等の構造的欠陥が抑制されるとともに、当該熱酸化膜上に形成されたCVD酸化膜14によって厚みの調整が可能であるという利点がある。このような酸化手法を採用することにより、最適なゲート酸化膜厚が得られると同時に、ゲート酸化膜の形成プロセスが一貫して低温で実行されることとなるため、熱膨張率が異なる材料から成る複合基板(石英基板、サファイア基板、ホウ珪酸ガラス基板、又は結晶化ガラス基板上にシリコン膜を備えた基板)のシリコン膜中の結晶欠陥の発生を抑制することが可能となる。
なお、熱酸化膜13およびCVD酸化膜14中の構造的欠陥を電気的に不活性化することを目的として、CVD酸化膜14の形成の後に、水素を0.1〜4モル%の濃度で含有する不活性化ガス雰囲気中で熱処理する工程を更に設けるようにしてもよい。反応速度は基本的に水素の分圧に比例するために、水素濃度についての下限は特にないが(酸化時間を長くすればよい)、現実的には0.1モル%以上が望ましい。上限に関して言えば、爆発限界(水素濃度4モル%以下)のフォーミングガスが取り扱いが容易である。
本発明により、従来の一般的なシリコン酸化膜形成装置を用いてゲート酸化膜を低温形成することが可能となり、SOI基板製造プロセスの一貫した低温化が図られる。
10 シリコン基板
11 イオン注入層
12 シリコン膜(SOI膜)
13 熱酸化膜
14 CVD酸化膜
20 石英基板
11 イオン注入層
12 シリコン膜(SOI膜)
13 熱酸化膜
14 CVD酸化膜
20 石英基板
Claims (5)
- シリコン基板の主面に水素イオン注入層を形成するイオン注入工程と、
透明絶縁性基板と前記シリコン基板の少なくとも一方の主面にプラズマ処理を施す表面処理工程と、
前記透明絶縁性基板と前記シリコン基板の主面同士を貼り合わせる工程と、
前記貼り合せ基板の前記シリコン基板からシリコン薄膜を機械的剥離して前記透明絶縁性基板の主面上にシリコン膜を有するSOI基板とする剥離工程と、
前記SOI基板の前記シリコン膜を平坦化処理する工程と、
前記平坦化後のシリコン膜表面を450℃以下の温度で熱酸化して100Å以下の酸化膜を形成する工程と、
前記熱酸化膜上にCVD法で酸化膜を堆積してゲート酸化膜を形成する工程と、
を備えている半導体基板の製造方法。 - 前記CVD法による酸化は、N2OとSiH4の混合ガス、O2とSiH4の混合ガス、又はTEOSガスの少なくとも1種のガスにより行なわれる請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記CVD法による酸化膜の形成の後に水素を0.1〜4モル%の濃度で含有する不活性化ガス雰囲気中で熱処理する工程を更に備えている請求項1又は2に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記剥離工程の前に、前記貼り合せ基板を100〜300℃の温度で熱処理する工程を備えている請求項1乃至3の何れか1項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記透明絶縁性基板は、石英基板、サファイア基板、ホウ珪酸ガラス基板、又は結晶化ガラス基板の何れかである請求項1乃至4の何れか1項に記載の半導体基板の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007277504A JP2009105315A (ja) | 2007-10-25 | 2007-10-25 | 半導体基板の製造方法 |
KR1020080074004A KR101384845B1 (ko) | 2007-10-25 | 2008-07-29 | 반도체 기판의 제조 방법 |
US12/285,409 US7696059B2 (en) | 2007-10-25 | 2008-10-03 | Method for manufacturing semiconductor substrate |
EP08017578A EP2053645B1 (en) | 2007-10-25 | 2008-10-07 | Method for manufacturing a semiconductors substrate |
TW097140890A TWI437644B (zh) | 2007-10-25 | 2008-10-24 | Semiconductor substrate manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007277504A JP2009105315A (ja) | 2007-10-25 | 2007-10-25 | 半導体基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009105315A true JP2009105315A (ja) | 2009-05-14 |
Family
ID=40340775
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007277504A Withdrawn JP2009105315A (ja) | 2007-10-25 | 2007-10-25 | 半導体基板の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7696059B2 (ja) |
EP (1) | EP2053645B1 (ja) |
JP (1) | JP2009105315A (ja) |
KR (1) | KR101384845B1 (ja) |
TW (1) | TWI437644B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010137589A1 (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | 信越化学工業株式会社 | 貼り合わせsos基板 |
WO2013118694A1 (ja) * | 2012-02-08 | 2013-08-15 | 東京応化工業株式会社 | 積層体の製造方法 |
JP2017098577A (ja) * | 2012-01-12 | 2017-06-01 | 信越化学工業株式会社 | 熱酸化異種複合基板の製造方法 |
JP2018101746A (ja) * | 2016-12-21 | 2018-06-28 | 株式会社Sumco | pn接合シリコンウェーハの製造方法およびpn接合シリコンウェーハ |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010278337A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 表面欠陥密度が少ないsos基板 |
JP2010278338A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 界面近傍における欠陥密度が低いsos基板 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57149301A (en) | 1981-03-11 | 1982-09-14 | Daiichi Togyo Kk | Novel polysaccharide having coagulating property |
FR2681472B1 (fr) | 1991-09-18 | 1993-10-29 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication de films minces de materiau semiconducteur. |
KR100232886B1 (ko) * | 1996-11-23 | 1999-12-01 | 김영환 | Soi 웨이퍼 제조방법 |
US6155909A (en) * | 1997-05-12 | 2000-12-05 | Silicon Genesis Corporation | Controlled cleavage system using pressurized fluid |
KR100271790B1 (ko) * | 1997-12-20 | 2000-11-15 | 김영환 | 반도체장치및그의제조방법 |
TW452866B (en) * | 2000-02-25 | 2001-09-01 | Lee Tien Hsi | Manufacturing method of thin film on a substrate |
US6600173B2 (en) * | 2000-08-30 | 2003-07-29 | Cornell Research Foundation, Inc. | Low temperature semiconductor layering and three-dimensional electronic circuits using the layering |
TW523931B (en) * | 2001-02-20 | 2003-03-11 | Hitachi Ltd | Thin film transistor and method of manufacturing the same |
AU2002360825A1 (en) * | 2002-05-31 | 2003-12-19 | Advanced Micro Devices, Inc. | Diffusion barrier layer in semiconductor substrates to reduce copper contamination from the back side |
US7176528B2 (en) * | 2003-02-18 | 2007-02-13 | Corning Incorporated | Glass-based SOI structures |
WO2005027214A1 (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-24 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | 積層基板の洗浄方法及び基板の貼り合わせ方法並びに貼り合せウェーハの製造方法 |
KR20050106250A (ko) * | 2004-05-04 | 2005-11-09 | 네오폴리((주)) | 플라즈마를 이용한 다결정 박막 트랜지스터의 제조 방법 |
JP5183874B2 (ja) | 2004-12-28 | 2013-04-17 | 信越化学工業株式会社 | Soiウエーハの製造方法 |
JP2006210899A (ja) | 2004-12-28 | 2006-08-10 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Soiウエーハの製造方法及びsoiウェーハ |
US7446380B2 (en) * | 2005-04-29 | 2008-11-04 | International Business Machines Corporation | Stabilization of flatband voltages and threshold voltages in hafnium oxide based silicon transistors for CMOS |
-
2007
- 2007-10-25 JP JP2007277504A patent/JP2009105315A/ja not_active Withdrawn
-
2008
- 2008-07-29 KR KR1020080074004A patent/KR101384845B1/ko active IP Right Grant
- 2008-10-03 US US12/285,409 patent/US7696059B2/en active Active
- 2008-10-07 EP EP08017578A patent/EP2053645B1/en active Active
- 2008-10-24 TW TW097140890A patent/TWI437644B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010137589A1 (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | 信越化学工業株式会社 | 貼り合わせsos基板 |
JP2010278341A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 貼り合わせsos基板 |
JP2017098577A (ja) * | 2012-01-12 | 2017-06-01 | 信越化学工業株式会社 | 熱酸化異種複合基板の製造方法 |
WO2013118694A1 (ja) * | 2012-02-08 | 2013-08-15 | 東京応化工業株式会社 | 積層体の製造方法 |
KR101493665B1 (ko) | 2012-02-08 | 2015-02-13 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | 적층체의 제조 방법 |
US9023172B2 (en) | 2012-02-08 | 2015-05-05 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd | Method of manufacturing laminate |
JP2018101746A (ja) * | 2016-12-21 | 2018-06-28 | 株式会社Sumco | pn接合シリコンウェーハの製造方法およびpn接合シリコンウェーハ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI437644B (zh) | 2014-05-11 |
EP2053645A2 (en) | 2009-04-29 |
EP2053645A3 (en) | 2009-10-14 |
KR101384845B1 (ko) | 2014-04-15 |
US7696059B2 (en) | 2010-04-13 |
US20090111237A1 (en) | 2009-04-30 |
KR20090042139A (ko) | 2009-04-29 |
TW200929385A (en) | 2009-07-01 |
EP2053645B1 (en) | 2013-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101291956B1 (ko) | 증착된 장벽층을 구비한 유리 절연체 상의 반도체 | |
JP2008153411A (ja) | Soi基板の製造方法 | |
JP5064692B2 (ja) | Soi基板の製造方法 | |
JP2008198656A (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
JP5284576B2 (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
JP5249511B2 (ja) | Soq基板およびsoq基板の製造方法 | |
KR20100080777A (ko) | 열 처리를 사용하는 박리 과정에서 반도체 웨이퍼 재-사용 | |
EP1981064B1 (en) | Process for producing a soi wafer | |
TWI450366B (zh) | Semiconductor substrate manufacturing method | |
JP2009105315A (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
JP5220335B2 (ja) | Soi基板の製造方法 | |
KR20100027947A (ko) | 감소된 secco 결함 밀도를 갖는 반도체-온-절연체 기판의 제조 방법 | |
JP2008263087A (ja) | Soi基板の製造方法 | |
JP5292810B2 (ja) | Soi基板の製造方法 | |
JP5044195B2 (ja) | Soq基板の製造方法 | |
JP5019852B2 (ja) | 歪シリコン基板の製造方法 | |
JPH10200079A (ja) | 半導体部材の製造方法および半導体部材 | |
JP2008263010A (ja) | Soi基板の製造方法 | |
JP5443833B2 (ja) | 貼り合わせsoi基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20110104 |