JP2009103699A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】質量体(15)に設けられた第1の電極と、離隔して配置された第2の電極(3)とが、時間に依存する該質量体の位置変化を検出するための容量センサを構成し、該質量体の該容量センサに対向する側に少なくとも1つのばねエレメント(12,17)が設けられており、該質量体が静止位置から偏向した場合に該ばねエレメントは復元力を生成する加速度センサにおいて、該質量体が材料層(8)から輪郭分離されることによって得られ、少なくとも側面において該材料(16)によって包囲されている加速度センサ。
【選択図】図6
Description
2 絶縁層
3 導体路
4 犠牲層
5 コンタクト孔
6 第1のシリコン層
7 エッチングストップ層
8 シリコン層
9 導電性のコンタクト
10,11 トレンチ構造体
12,14 中空部
15 質量体
17 メンブレン
18 キャップ
19 導電性のコーティング
Claims (13)
- 重心の外側で可動に支承されている質量体(15)を有する加速度センサであって、
該質量体(15)に設けられた第1の電極と、離隔して配置された第2の電極(3)とが、時間に依存する該質量体の位置変化を検出するための容量センサを構成し、
該質量体の該容量センサに対向する側に少なくとも1つのばねエレメント(12,17)が設けられており、
該質量体が静止位置から偏向した場合に該ばねエレメント(12,17)は復元力を生成する加速度センサにおいて、
該質量体は材料層(8)から輪郭分離されることによって得られ、少なくとも側面において該材料(16)によって包囲されていることを特徴とする、加速度センサ。 - 可動に支承される前記質量体(15)を支承するために前記少なくとも1つのばねエレメント(12,17)は、該質量体の外側のちょうど1つの境界面に係合する、請求項1記載の加速度センサ。
- 前記容量センサは、前記質量体の2つの相互に対向する境界面に配置されている、請求項1または2記載の加速度センサ。
- 前記質量体(15)に設けられた第1の電極および/または離隔して配置された前記第2の電極(3,19)は横方向の構造化部を有する、請求項1から3までのいずれか1項記載の加速度センサ。
- 1つのばねエレメント(17)は前記質量体(15)の中空部(12)と該中空部(12)を包囲するメンブレン(17)とによって形成され、少なくとも1つの保持装置(13)が前記メンブレンに係合する、請求項1から4までのいずれか1項記載の加速度センサ。
- 前記メンブレン(13)は、前記質量体(15)の外側の境界面に一体形で統合されている、請求項5記載の加速度センサ。
- 前記メンブレン(17)の境界線の一部分のみが、前記質量体(15)の外側の境界面との素材結合部を有する、請求項5または6記載の加速度センサ。
- 前記ばねエレメントは複数の中空部(12a,12b)を有し、
該複数の中空部(12a,12b)はそれぞれ1つのメンブレン(17a,17b)によって相互に分離されている、請求項5から7までのいずれか1項記載の加速度センサ。 - 前記質量体はちょうど1つのばねエレメント(12,17)を有し、
該ばねエレメント(12,17)は対称軸上で、該質量体(15)の重心の外側に係合する、請求項1から8までのいずれか1項記載の加速度センサ。 - 前記質量体は、すべての面で封止された中空部内に設けられている、請求項1から9までのいずれか1項記載の加速度センサ。
- 前記中空部内の圧力は大気圧と異なっており、とりわけより低い、請求項10記載の加速度センサ
- 3つの空間的方向で横方向の加速度を測定するために、請求項1から11までのいずれか1項記載の加速度を使用する方法。
- 請求項1から11までのいずれか1項記載の加速度センサを有する自動車。
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