JP5355028B2 - 加速度センサ - Google Patents
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- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
Description
2 絶縁層
3 導体路
4 犠牲層
5 コンタクト孔
6 第1のシリコン層
7 エッチングストップ層
8 シリコン層
9 導電性のコンタクト
10,11 トレンチ構造体
12,14 中空部
15 質量体
17 メンブレン
18 キャップ
19 導電性のコーティング
Claims (10)
- 重心の外側で可動に支承されている質量体(15)を有する加速度センサであって、
前記質量体は材料層(8)から輪郭分離されることによって得られ、該質量体(15)の材料(16)は前記加速度センサの側面に達し、
該質量体(15)の上面に第1の電極が設けられており、
前記質量体(15)の下方に設けられた基板(1)上に第2の電極(3)が、前記第1の電極から離隔されるように配置されていることにより、該質量体(15)と該第2の電極とが、時間に依存する該質量体の位置変化を検出するための容量センサを構成し、
前記質量体(15)の下面にメンブレン層(17)が設けられており、
前記メンブレン層(17)は、前記質量体(15)の下側に設けられた中空部(12)を直接覆うように設けられており、
前記中空部(12)は、下方向に開いた開口を有し、
前記メンブレン層(17)は、下方に突出する少なくとも1つの固定エレメント(13)を有し、
前記固定エレメント(13)は、前記中空部(12)の下方に位置し、前記メンブレン層(17)は、前記固定エレメント(13)によって前記第2の電極(3)に可動に支承されていることにより、前記質量体(15)が静止位置から変位した場合に復元力を生成する少なくとも1つのばねエレメント(12,17)を形成する
ことを特徴とする、加速度センサ。 - 前記第1の電極および/または離隔して配置された前記第2の電極(3,19)は横方向の構造化部を有する、請求項1記載の加速度センサ。
- 前記メンブレン層(17)は、前記質量体(15)の下面に一体形で統合されている、請求項1または2記載の加速度センサ。
- 前記メンブレン層(17)の境界線の一部分のみが、前記質量体(15)の下面との素材結合部を有する、請求項1から3までのいずれか1項記載の加速度センサ。
- 前記中空部(12a,12b)は複数設けられており、
該複数の中空部(12a,12b)はそれぞれ1つの前記メンブレン層(17a,17b)によって相互に分離されている、請求項1から4までのいずれか1項記載の加速度センサ。 - 前記メンブレン層(17)はちょうど1つであり、
前記メンブレン層(17)は対称軸上で、該質量体(15)の重心の外側において該質量体(15)を支える、請求項1から5までのいずれか1項記載の加速度センサ。 - 前記質量体(15)は、すべての面で封止された空間内に設けられている、請求項1から6までのいずれか1項記載の加速度センサ。
- 前記空間内の圧力は大気圧と異なっている、請求項7記載の加速度センサ。
- 3つの空間的方向で横方向の加速度を測定するために、請求項1から8までのいずれか1項記載の加速度センサを使用する方法。
- 請求項1から8までのいずれか1項記載の加速度センサを有する自動車。
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