JP2009099502A - 表示装置の製造方法 - Google Patents
表示装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009099502A JP2009099502A JP2007272540A JP2007272540A JP2009099502A JP 2009099502 A JP2009099502 A JP 2009099502A JP 2007272540 A JP2007272540 A JP 2007272540A JP 2007272540 A JP2007272540 A JP 2007272540A JP 2009099502 A JP2009099502 A JP 2009099502A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- coating layer
- display device
- electrode
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 109
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 87
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 71
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 10
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 10
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 8
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 3
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 8
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 5
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 63
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 23
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 21
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 21
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 17
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920000144 PEDOT:PSS Polymers 0.000 description 6
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 6
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 6
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 6
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 5
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910017493 Nd 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000000313 electron-beam-induced deposition Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229920001467 poly(styrenesulfonates) Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1222—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer
- H01L27/1225—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer with semiconductor materials not belonging to the group IV of the periodic table, e.g. InGaZnO
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/7869—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film having a semiconductor body comprising an oxide semiconductor material, e.g. zinc oxide, copper aluminium oxide, cadmium stannate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/1201—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/20—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning
- H10K71/231—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by etching of existing layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】基板1上に駆動回路と発光部を形成する表示装置の製造方法である。発光部を形成する工程は、発光層に電荷を印加する透明アノード電極8を形成する工程と、透明アノード電8上に第1の被覆層9と第2の被覆層10を形成する工程と、第2の被覆層10をマスクとして第1の被覆層9をエッチングにより除去する工程と、第1の被覆層9が除去された透明アノード電極8上に発光層を含む層を形成する工程と、を有する。透明アノード電極8は、紫外線照射による洗浄を施したものと同等に清浄な表面となる。
【選択図】図2g
Description
前記発光部を形成する工程は、
発光層に電荷を印加する電極を形成する工程と、
前記電極上に被覆層を形成する工程と、
前記被覆層の少なくとも一部を除去する工程と、
前記被覆層が除去された前記電極上に前記発光層を含む層を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
製造方法は12の工程から構成され、その流れは図1のフローチャートに示すとおりである。図2a〜図2lには、本発明の製造方法によって作製されたボトムエミッション型アクティブマトリクス有機EL表示装置の断面図が示されている。
またこの他に、金属窒化物(MNx、ただしMは金属元素)を用いても良い。またこの他に、金属酸窒化物(MOxNy、ただしMは金属元素)を用いても良い。前記絶縁体膜の成膜法としては、スパッタ法、パルスレーザー蒸着法及び電子ビーム蒸着法などの気相法を用いるのが好ましい。しかし、成膜法はこれらの方法に限られるものではない。そして、前記絶縁体膜をパターニングすることによって、ゲート絶縁層3及び第1の被覆層9を形成する。すなわち、前記絶縁体膜の一部がゲート絶縁層3となり、他の一部が第1の被覆層9となる。このように、ゲート絶縁層3及び第1の被覆層9はいずれも同じ層である前記絶縁体膜から形成されるが、担う機能が異なるため、説明上、分けて記述している。ここまでの様子を図2cに示す。
ZnOを主たる構成元素とする酸化物、
In2O3を主たる構成元素とする酸化物、
Ga2O3を主たる構成元素とする酸化物、
及びこれらのうち2種以上を含む複合酸化物を主たる構成元素とする酸化物が望ましい。
特にIn2O3とZnOを含み、その合計がモル比で全体の半分以上含む酸化物が望ましい。
またこの他に、金属窒化物(MNx、ただしMは金属元素)を用いても良い。またこの他に、金属酸窒化物(MOxNy、ただしMは金属元素)を用いても良い。第2の被覆層10の成膜法としては、スパッタ法、パルスレーザー蒸着法及び電子ビーム蒸着法などの気相法を用いるのが好ましい。しかし、成膜法はこれらの方法に限られるものではない。そして、第2の被覆層10をパターニングすることによって、保護層7及び開口部を有する第2の被覆層10を形成する。すなわち、第2の被覆層10の一部が保護層7となり、他の一部が開口部を有する第2の被覆層10となる。このように、保護層7及び第2の被覆層10は、いずれも同じ層である第2の被覆層10から形成されるが、担う機能が異なるため、説明上、分けて記述している。このように被覆層は、第1の被覆層9と第2の被覆層10という2層以上の被覆層から構成され、特に、材料の異なる2種類以上の複数の層で構成される。以上の工程により、図2fに示す構造が完成する。
本発明は、薄膜トランジスタと有機EL素子とを、基板上に横置きする実施形態1の形態だけでなく、両者を積層する形態にも適用することができる。この形態の例を、図3a〜図3fを用いて説明する。
[poly (3, 4-ethylenedioxythiophene)-poly-(styrenesulfonate)]を滴下した様子を図4aに示す。比較のため、紫外線照射によって清浄化処理を施したITO薄膜上、及び未処理ITO薄膜上に、同様にPEDOT:PSSを滴下した様子を、図4b及び図4cにそれぞれ示す。本実施例の手法で清浄化したITO薄膜上においては、従来手法である、紫外線照射によって清浄化したITO薄膜と同様な濡れ性が確認できた。一方、未処理ITO薄膜上においては、PEDOT:PSSは接触角の大きな液滴状であった。これは、ITO薄膜表面の有機汚染の影響であると考えられる。以上の結果から、本実施例の手法を用いれば、紫外線照射による清浄化処理工程を設けなくても、紫外線照射処理を施した場合と同様の清浄な表面を有するITO薄膜を得られることが分かる。
2…ゲート電極
3…ゲート絶縁層
4…半導体層
5…ソース電極
6…ドレイン電極
7…保護層
8…透明アノード電極
9…第1の被覆層
10…第2の被覆層
11…正孔注入層
12…有機発光層
13…電子注入層
14…カソード電極
15…層間絶縁膜
16…プラグ
17…隔壁
18…封止層
Claims (12)
- 基板上に駆動回路と発光部を形成する表示装置の製造方法であって、
前記発光部を形成する工程は、
発光層に電荷を印加する電極を形成する工程と、
前記電極上に被覆層を形成する工程と、
前記被覆層の少なくとも一部を除去する工程と、
前記被覆層が除去された前記電極上に前記発光層を含む層を形成する工程と、を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記被覆層は、スパッタ法により作製されることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記被覆層の少なくとも一部を除去する工程は、ウェットエッチング、又はドライエッチングを含むことを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記被覆層をエッチングするためのエッチャントに対する前記電極のエッチングレートが、前記被覆層のエッチングレートよりも小さいことを特徴とする請求項3に記載の表示装置の製造方法。
- 前記被覆層は、前記駆動回路を構成する薄膜トランジスタのゲート電極、ゲート絶縁層、半導体層、ソース電極、ドレイン電極、又は保護層のいずれかの層と同時に形成されることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記被覆層は、酸化物、炭化物、窒化物、弗化物、及びそれらの化合物で構成される群から選択される無機材料からなることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記被覆層は、2層以上の被覆層から構成されることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記被覆層は、材料の異なる2種類以上の複数の層で構成され、
前記被覆層の少なくとも一部を除去する工程は、前記被覆層を構成する第1の被覆層の少なくとも一部を、前記第1の被覆層の上に形成された第2の被覆層をマスクとして用いて除去する工程を含むことを特徴とする請求項7に記載の表示装置の製造方法。 - 前記第1の被覆層をエッチングするためのエッチャントに対する前記第2の被覆層のエッチングレートが、前記第1の被覆層のエッチングレートよりも小さいことを特徴とする請求項8に記載の表示装置の製造方法。
- 前記発光部は、前記基板上に前記駆動回路と並置して形成されることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記発光部は、前記基板上に形成される前記駆動回路上に積層形成されることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記発光部は、有機EL素子であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007272540A JP5561899B2 (ja) | 2007-10-19 | 2007-10-19 | 表示装置の製造方法 |
US12/673,123 US8735194B2 (en) | 2007-10-19 | 2008-10-01 | Method of manufacturing display apparatus |
PCT/JP2008/068259 WO2009051041A1 (en) | 2007-10-19 | 2008-10-01 | Method of manufacturing display apparatus |
TW097139220A TW200934287A (en) | 2007-10-19 | 2008-10-13 | Method of manufacturing display apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007272540A JP5561899B2 (ja) | 2007-10-19 | 2007-10-19 | 表示装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009099502A true JP2009099502A (ja) | 2009-05-07 |
JP5561899B2 JP5561899B2 (ja) | 2014-07-30 |
Family
ID=40139351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007272540A Expired - Fee Related JP5561899B2 (ja) | 2007-10-19 | 2007-10-19 | 表示装置の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8735194B2 (ja) |
JP (1) | JP5561899B2 (ja) |
TW (1) | TW200934287A (ja) |
WO (1) | WO2009051041A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8324629B2 (en) | 2009-11-10 | 2012-12-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting display device and method of manufacturing the same |
JP2014209650A (ja) * | 2010-01-22 | 2014-11-06 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2017103463A (ja) * | 2009-08-07 | 2017-06-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011037213A1 (en) * | 2009-09-24 | 2011-03-31 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
WO2011077607A1 (ja) * | 2009-12-21 | 2011-06-30 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス基板及びそれを備えた表示パネル、並びにアクティブマトリクス基板の製造方法 |
KR102070537B1 (ko) * | 2010-02-18 | 2020-01-29 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 및 전자 장치 |
WO2015137337A1 (ja) * | 2014-03-11 | 2015-09-17 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10289784A (ja) * | 1997-04-14 | 1998-10-27 | Mitsubishi Chem Corp | 有機電界発光素子 |
JP2003031814A (ja) * | 2001-03-19 | 2003-01-31 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2006285180A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-19 | Samsung Sdi Co Ltd | 平板表示装置および平板表示装置の製造方法 |
JP2007026866A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 表示装置の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6500768B1 (en) * | 2000-10-30 | 2002-12-31 | Advance Micro Devices, Inc. | Method for selective removal of ONO layer |
JP2005123083A (ja) * | 2003-10-17 | 2005-05-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布組成物および有機el素子の製造方法 |
US7309895B2 (en) * | 2005-01-25 | 2007-12-18 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
JP4555727B2 (ja) | 2005-04-22 | 2010-10-06 | 株式会社 日立ディスプレイズ | 有機発光表示装置 |
-
2007
- 2007-10-19 JP JP2007272540A patent/JP5561899B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-10-01 US US12/673,123 patent/US8735194B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-10-01 WO PCT/JP2008/068259 patent/WO2009051041A1/en active Application Filing
- 2008-10-13 TW TW097139220A patent/TW200934287A/zh unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10289784A (ja) * | 1997-04-14 | 1998-10-27 | Mitsubishi Chem Corp | 有機電界発光素子 |
JP2003031814A (ja) * | 2001-03-19 | 2003-01-31 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2006285180A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-19 | Samsung Sdi Co Ltd | 平板表示装置および平板表示装置の製造方法 |
JP2007026866A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 表示装置の製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017103463A (ja) * | 2009-08-07 | 2017-06-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US9954005B2 (en) | 2009-08-07 | 2018-04-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising oxide semiconductor layer |
JP2018120231A (ja) * | 2009-08-07 | 2018-08-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
US8324629B2 (en) | 2009-11-10 | 2012-12-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting display device and method of manufacturing the same |
JP2014209650A (ja) * | 2010-01-22 | 2014-11-06 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US9136391B2 (en) | 2010-01-22 | 2015-09-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US9865744B2 (en) | 2010-01-22 | 2018-01-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8735194B2 (en) | 2014-05-27 |
WO2009051041A1 (en) | 2009-04-23 |
JP5561899B2 (ja) | 2014-07-30 |
US20120142131A1 (en) | 2012-06-07 |
TW200934287A (en) | 2009-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6602832B2 (ja) | 発光装置の作製方法 | |
JP5561899B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP6054629B2 (ja) | 平板表示装置用バックプレーン、これを備える平板表示装置、及びその製造方法 | |
TWI591816B (zh) | 有機發光二極體顯示器及其製造方法 | |
US8513661B2 (en) | Thin film transistor having specified transmittance to light | |
JP5906020B2 (ja) | 有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法 | |
US8518285B2 (en) | Substrate section for flexible display device, method of manufacturing the substrate section, and method of manufacturing organic light emitting display device including the substrate | |
US20100117072A1 (en) | Light emitting apparatus and method of manufacturing the same | |
CN104218058B (zh) | 有机发光显示装置 | |
CN106898551A (zh) | 制造薄膜晶体管的方法、薄膜晶体管基板和平板显示装置 | |
CN104867955A (zh) | 有机发光显示器及制造有机发光显示器的方法 | |
TWI557894B (zh) | 有機發光顯示裝置及其製造方法 | |
KR20120114053A (ko) | 박막트랜지스터, 이를 포함한 유기발광표시장치 및 유기발광표시장치의 제조방법 | |
CN102456843A (zh) | 有机发光显示设备 | |
US20140117363A1 (en) | Display panel device and method of manufacturing display panel device | |
US10847594B2 (en) | Organic light emitting display device | |
KR102162885B1 (ko) | 어레이기판 및 이의 제조방법 | |
TW201503360A (zh) | 有機發光顯示設備 | |
KR102177587B1 (ko) | 유기전계 발광소자 및 이의 제조 방법 | |
KR100728129B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
JP2005353577A (ja) | 有機電界発光表示装置及びその製造方法 | |
JP6121149B2 (ja) | 酸化物半導体素子、酸化物半導体素子の製造方法、表示装置及びイメージセンサ | |
US20170186626A1 (en) | Method for manufacturing a field-effect transistor | |
KR102456299B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 | |
JP2005019401A (ja) | 有機電界発光素子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090323 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20090427 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100617 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20100730 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101014 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101227 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20120727 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20120730 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20120731 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20120831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130418 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130613 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20130701 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140116 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140313 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140513 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140610 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5561899 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |