JP2009088309A - 光半導体装置及びその製造方法と金属キャップ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光半導体素子40が実装されたステム10と、天板部の開口部23にガラス窓26が封着されたキャップ主要部22aとその外周底部から外部に屈曲して突き出たリング状のフランジ部22bとから構成され、かつステム10の上にフランジ部22bが抵抗溶接されて光半導体素子40を気密封止する金属キャップ20とを含み、キャップ主要部22aとフランジ部22bとを繋ぐフランジ屈曲部21の外面側に、周方向に一周する凹部CPが設けられている。
【選択図】図4
Description
本発明の光半導体装置では、光半導体素子が実装されたステムの上に金属キャップが抵抗溶接されて光半導体素子が気密封止されている。金属キャップは、天板部に設けられた開口部にガラス窓が封着されたキャップ主要部と、その外周底部から外部に屈曲して突き出たリング状のフランジ部とから構成される。そして、キャップ主要部とフランジ部とを繋ぐフランジ屈曲部の外面側に周方向に一周する凹部が設けられている。
図4〜図6は本発明の第1実施形態の光半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図10及び図11は本発明の第2実施形態の光半導体装置の製造方法を示す断面図である。図10及び図11においては、第1実施形態と同一要素については同一符号を付してその詳しい説明を省略する。
Claims (9)
- 光半導体素子が実装されたステムと、
天板部の開口部にガラス窓が封着されたキャップ主要部と、該キャップ主要部の外周底部から外部に屈曲して突き出たリング状のフランジ部とから構成される金属キャップであって、前記ステムの上に前記フランジ部が抵抗溶接されて前記光半導体素子を気密封止する前記金属キャップとを有し、
前記キャップ主要部と前記フランジ部とを繋ぐフランジ屈曲部の外面側に、周方向に一周する凹部が設けられていることを特徴とする光半導体装置。 - 前記凹部は、前記フランジ部の付け根部分からその先端側に設けられ、前記凹部の前記キャップ主要部側の側面は前記キャップ主要部の側面と同一面を構成しており、前記凹部の外側に前記凹部の底面から上側に突出して周方向に一周する突出縁部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光半導体装置。
- 前記凹部は、前記キャップ主要部の下部側面に設けられており、前記凹部の下側側面が前記フランジ部の外面と同一面を構成していることを特徴とする請求項1に記載の光半導体装置。
- 光半導体素子が実装されたステムと、
天板部に設けられた開口部にガラス窓が封着されたキャップ主要部と、該キャップ主要部の外周底部から外部に屈曲して突き出たリング状のフランジ部とから構成される金属キャップであって、前記キャップ主要部と前記前記フランジ部とを繋ぐフランジ屈曲部の外面側に周方向に一周する凹部が設けられた前記金属キャップとを用意する工程と、
前記ステム及び前記金属キャップを溶接電極によって挟んで鍛圧した状態で電圧を印加することにより、前記金属キャップの前記フランジ部を前記ステムに抵抗溶接して前記光半導体素子を気密封止する工程とを有し、
前記金属キャップの前記フランジ部の外面に前記溶接電極の鍛圧面が当接することを特徴とする光半導体装置の製造方法。 - 前記凹部は、前記フランジ部の付け根部分からその先端側に設けられ、前記凹部の前記キャップ主要部側の側面は前記キャップ主要部の側面と同一面を構成しており、前記凹部の外側に前記凹部の底面から上側に突出して周方向に一周する突出縁部が設けられていることを特徴とする請求項4に記載の光半導体装置の製造方法。
- 前記凹部は、前記キャップ主要部の下部側面に設けられており、前記凹部の下側側面が前記フランジ部の外面と同一面を構成していることを特徴とする請求項4に記載の光半導体装置の製造方法。
- 光半導体素子が実装されたステムの上に抵抗溶接されて前記光半導体素子を気密封止するための金属キャップであって、
天板部に設けられた開口部にガラス窓が封着されたキャップ主要部と、該キャップ主要部の外周底部から外部に屈曲して突き出たリング状のフランジ部とから構成され、
前記キャップ主要部と前記前記フランジ部とを繋ぐフランジ屈曲部の外面側に、周方向に一周する凹部が設けられていることを特徴とする金属キャップ。 - 前記凹部は、前記フランジ部の付け根部分からその先端側に設けられ、前記凹部の前記キャップ主要部側の側面は前記キャップ主要部の側面と同一面を構成しており、前記凹部の外側に前記凹部の底面から上側に突出して周方向に一周する突出縁部が設けられていることを特徴とする請求項7記載の金属キャップ。
- 前記凹部は、前記キャップ主要部の下部側面に設けられており、前記凹部の下側側面が前記フランジ部の外面と同一面を構成していることを特徴とする請求項7に記載の金属キャップ。
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