JP2009088133A - 溝付ボンディングワイヤ用スプール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 円筒状胴部とその両側に突出したフランジ部とからなり、一方のフランジ部の外周縁から円筒状胴部へ連なる案内溝を設けたボンディングワイヤ用スブ−ルにおいて、円筒状胴部の円筒面の途中からフランジ部との交差部に向けて凹面状に削り取られた蹄(ひずめ)形溝が、案内溝と連接して形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図5
Description
例えば、特許文献1には、「ワイヤーその他の線条を芯軸上に周回させて収容する巻取ドラムの一部に巻付端初の線条を引出し状とする」(同公報1ページ左欄17−19行・第1図)ことが記載されている。
また、案内溝の深さは、最も浅いところでも使用する高純度Al線またはAl合金線の最大線径よりも大きな深さの溝にし、その溝にスロープを設け、円筒状胴部に近づくにつれ漸次浅くすることが通常である。このような案内溝を通ったボンディングワイヤは、案内溝から円筒状胴部へと移り、スプールに巻かれていく。
図1は、固定ガイド1、可動ガイド2、案内クランプ3、スプール4およびボンディングワイヤ5の相対的な位置関係を示し、図2はこれを模式的に表した図である。図3は、巻き取り工程を示す模式的工程分解図である。
半導体装置用のボンディングワイヤ5は、所定の引張り強さや伸び率等の機械的特性が調整され、ボビン(図1の右方外に置かれていることとする)に巻かれている。このボビンから巻き解かれたボンディングワイヤ5は、以下に述べるように、スプールに巻き取られる。
図1に示すように、ボビンから出たボンディングワイヤ5は、その先端が案内クランプ3によって挟持され、固定ガイド1、可動ガイド2を経由して、スプール4方向に案内される。
この案内クランプ3によって挟持されたボンディングワイヤ5は、まず、案内クランプ3および可動ガイド2によってスプール4の外側の所定位置に隣接して載置させる(図2、図3(a))。次いで、載置されたボンディングワイヤ5の先端をスプール4の外側に設けた適当な固定手段で固定する(図3(c))。固定手段は、例えば、スプール4の外側の所定位置に取り付けた固定クランプ13(図3)によってボンディングワイヤの先端部分を挟んで固定する。ボンディングワイヤ5の先端部分が固定されると、案内クランプ3はボンディングワイヤ5から離れ、最初の位置に戻って、ボンディングワイヤの所定量がスプールに巻き終わるまで待機する(図3(d))。
最後は可動ガイド2が溝なし受け口11にきたところでモータを止め、可動ガイド2を移動させ、待機していた案内クランプ3によってボンディングワイヤ5を挟持させてスプール4の外側方向に案内し、ボンディングワイヤ5が溝なし受け口11を越えたところでボンディングワイヤ5を切断し、その切断後端をスプールに固定して保持・固定させる。
最後に、両フランジ9、9’の外側面にあるボンディングワイヤ5をテープ等で止めている。
他方、ボンディングワイヤは、半導体装置を接続するためのものなので、最終熱処理によって伸びや引っ張り強度等の機械的性質があらかじめ調整されている。このため、釣り糸やモータコイルのような細線とは異なり、あらかじめ調整されたボンディングワイヤの場合は、スプールに巻き取る際に外部から必要以上の余分の外力を加えると、折れ曲がったり、ワイヤ特性が異なったりして、ボンディングワイヤの特性に悪影響を与える可能性がある。
以後は、従来と同様に、可動ガイド2をトラバースさせながらボンディングワイヤ5を所定の張力で円筒状胴部7上を端から端まで第1層を巻いていく。この動作を繰り返して多層に巻いていき、数百ないし数千m程度までの必要な長さのボンディングワイヤ巻線を得ることができる。
また、当該蹄(ひずめ)形溝の円筒面から中心線に向かっての最大深さがボンディングワイヤの半径以上であることが好ましい。このようにすると、円筒状胴部に沿って巻かれやすくなり、安定して巻き取ることができるからである。
さらに、ボンディングワイヤの材質は、純度99.99質量%以上の高純度アルミニウム(Al)またはアルミニウム(Al)合金である場合に、特に適している。
図3(a)は、可動ガイド2を通り案内クランプ3によって挟持されたボンディングワイヤ5がスプール4の外側の所定位置にある状態を示す。ここで、スプール4の外側にある固定クランプ13は開いた状態になっている。次いで、図3(b)に示すように、ボンディングワイヤ5が固定クランプ13に載置されるように可動ガイド2および案内クランプ3が移動する。この状態から図3(c)に示すように、固定クランプ13が閉じてボンディングワイヤ5の先端がスプール4の外側で固定される。次いで、図3(d)に示すように、案内クランプ3がボンディングワイヤ5を離し、スプール4から離れて最初の位置に戻ってボンディングワイヤがスプールに巻き終わるまで待機する。
ここで、図3(e)ないし図3(f)の工程のボンディングワイヤ5がスプール4の円筒状胴部7に巻きついていく様子を図4および図5を用いて更に詳述する。
本発明においては、円筒状胴部7の蹄(ひずめ)形溝12の少なくとも一部が案内溝8と連接している。案内溝の深さは、従来と同様に、最も浅いところでも使用するワイヤの最大線径よりも大きな深さの溝にし、その溝にスロープを設けてある。そのためボンディングワイヤが多段に巻かれていっても、案内溝8の中では、ボンディングワイヤ5はフランジ9の側面より下に潜っており、その案内溝8のスロープに沿って後方から蹄(ひずめ)形溝12に入る。このボンディングワイヤ5は、円柱部分14の斜めに削り取られた側壁に当たる。ボンディングワイヤ5は、軟質の金属細線が用いられ、強い張力を加えることができないため、ボンディングワイヤ5は、たるまないようにすることが必要になる。
本発明のように、円柱部分14の側壁を設けると、フランジ側面よりも下に潜っているボンディングワイヤ5が、フランジ9のなだらかなスロープ面に沿ってフランジ9の側面の上に出てくると、ボンディングワイヤ5が案内クランプ3によって引っ張られているため、ボンディングワイヤ5は円柱部分14の側壁に接してスプール4の円筒状胴部7のフランジとの交差部10に隙間なく張り付くことができる。
ここで、フランジ9の内部からフランジ表面にボンディングワイヤが出てくるスロープは、ボンディングワイヤ5の傾斜がスプール4の溝付受け口6と可動ガイド2とによって決定されることから、ボンディングワイヤ5ができるだけこの傾斜角度に載っているほうが、ボンディングワイヤ5に折れ目がつかないので好ましい。
他方、円筒状胴部7の蹄(ひずめ)形溝12の内側を深く削り込みすぎると、今度は、第2列めのボンディングワイヤ5が誤って第1列めのボンディングワイヤ5にのっかったまま第2層になったり、第2層めで、第1列のボンディングワイヤ5と第2列のボンディングワイヤ5が誤って巻かれたりする。
両つばスプールの形状は、次のとおりである。
円筒状胴部の外径が45mm、長さが25mm、フランジの外径が90mmの両つばスプールに、それぞれ1個の切欠きを設けた。その一方の切欠きのコ−ナーから、幅および深さが1mmの案内溝を設け、案内溝の1辺が円筒状胴部に入り込む開始点を送出し溝の入口面とし、円筒状胴部から出ていく終了地点を送出し溝の頂点とした。円筒状胴部を削り取った最大の深さは0.6mmであり、そのときの蹄(ひずめ)形溝の高さは0.2mm、フランジ切欠き面の幅は0.15mmとした。
このような両つばスプールに、線径0.2mmのAl−1質量%Si合金からなるボンディングワイヤを巻きつけて、最初の巻き不良を調べた。500m巻線を100個作製したが、巻き不良は0個であった。
実施例において円筒状胴部の蹄(ひずめ)形溝を削り取らず、案内溝だけを設けた両つばスプールに上記実施例と同一のボンディングワイヤを巻きつけて、最初の巻き不良を調べたところ、すべて第1列のボンディングワイヤと円筒状胴部とのあいだの水平方向に隙間を生じていた。
以上の実施例、比較例から明らかなように、本発明によれば、ボンディングワイヤの最初の巻き不良をなくすが可能となったことがわかる。
2:可動ガイド
3:案内クランプ
4:スプール
5:ボンディングワイヤ
6:溝付受け口
7:(スプール4の)円筒状胴部
8:(スプール4の)案内溝
9、9’:フランジ
10:(円筒状胴部の外周面とフランジの内側面との)交差部
11:溝なし受け口
12:蹄(ひずめ)形溝
13:固定クランプ
14:円柱部分
Claims (5)
- 円筒状胴部とその両側に突出したフランジ部とからなり、一方のフランジ部の外周縁から円筒状胴部へ連なる案内溝を設けたボンディングワイヤ用スプールにおいて、円筒状胴部の円筒面の途中からフランジ部との交差部に向けて凹面状に削り取られた蹄(ひずめ)形溝が、案内溝と連接して形成されていることを特徴とする溝付ボンディングワイヤ用スプール。
- 当該蹄(ひずめ)形溝のフランジ部から円筒長手方向に向かっての最大高さがボンディングワイヤの直径よりも大きい請求項1に記載の溝付ボンディングワイヤ用スプール。
- 当該蹄(ひずめ)形溝の円筒部から中心線に向かっての最大深さがボンディングワイヤの直径よりも大きい請求項1に記載の溝付ボンディングワイヤ用スプール。
- 射出成形された熱可塑性樹脂からなる請求項1に記載の溝付ボンディングワイヤ用スプール。
- 純度99.99質量%以上の高純度アルミニウム(Al)またはアルミニウム(Al)合金からなるボンディングワイヤを巻き取るためのものである請求項1に記載の溝付ボンディングワイヤ用スプ−ル。
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