JP2009063472A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ハウジング20の圧力導入孔24内にセンシング部30を配置し、センシング部30をハウジング20の孔部25に圧力媒体の導入方向と同じ方向に密着固定する。これによると、センシング部30のシール方向と圧力媒体の導入方向とが同じになっているため、圧力媒体の導入方向の逆向きにセンシング部30に軸力を加える必要がない。したがって、センシング部30に大きな軸力を加える必要もなく、そのための部品も無くすことができる。また、センシング部30を固定するための部品を無くしたことで、圧力センサの外径を小さくすることもできる。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態で示される圧力センサは、例えば車両に搭載され、高圧センサとして用いられる。例えば、直噴エンジンのコモンレールにおける燃料圧の測定、ブレーキ油圧の測定、CO2ガス圧の測定、燃料電池車の水素ガス圧の測定等に採用される。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図4は、本実施形態に係る圧力センサのうちセンシング部30付近の拡大断面図である。この図に示されるように、ハウジング20の孔部25の壁面に凹み部26が設けられており、当該凹み部26内にOリング50が配置されている。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図5は、本実施形態に係る圧力センサの全体断面図である。この図に示されるように、ハウジング20の一端部にテーパ面を有する引っ掛け部27が設けられている。他方、ケースプラグ10の他端部の側面には、ハウジング20の引っ掛け部27が引っ掛かる段差14が設けられている。
本実施形態では、第1、第3実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図6は、本実施形態に係る圧力センサのうちセンシング部30付近の拡大断面図である。この図に示されるように、本実施形態では、ターミナル11とセンシング部30との電気的接続にフレキシブル基板15が用いられている。当該フレキシブル基板15は、バンプやはんだ等によってターミナル11やセンシング部30の貫通電極32bに接合されている。
本実施形態では、第1、第3実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図7は、本実施形態に係る圧力センサのうちセンシング部30付近の拡大断面図である。この図に示されるように、センシング部30のうち固定部32の側面に雄ネジ部32cが設けられている一方、ハウジング20の孔部25に雌ネジ部25bが設けられており、これらのネジ部25b、32cによってセンシング部30がハウジング20にねじ止めされている。
本実施形態では、第5実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図8(a)は本実施形態に係るターミナルを示した図、図8(b)はセンシング部30の固定部32のうちゲージ部31とは反対側の端面を見た図である。
本実施形態では、第1、第3実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図9は、本実施形態に係る圧力センサのうちセンシング部30付近の拡大断面図である。本実施形態では、図9に示されるように、センシング部30がハウジング20の孔部25に挿入され、センシング部30の固定部32のうちハウジング20の収容凹部21に露出した部分とハウジング20との境界部分が溶接されて溶接部60が形成されている。すなわち、本実施形態では、センシング部30の固定部32が溶接可能な材質、例えば金属で構成されている。
本実施形態では、第7実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図10は、本実施形態に係る圧力センサのうちセンシング部30付近の拡大断面図である。この図に示されるように、本実施形態では、センシング部30の固定部32とハウジング20の圧力導入孔24の壁面との境界部分が溶接されて溶接部61が形成されている。
本実施形態では、第1、第3実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図11は、本実施形態に係る圧力センサのうちセンシング部30付近の拡大断面図である。この図に示されるように、孔部25に挿入されたセンシング部30は、孔部25周辺のハウジング20によってかしめられている。このため、センシング部30の固定部32の側面に凹み部32dが設けられており、当該凹み部32dに孔部25の壁面が接するようにハウジング20が変形することで、センシング部30がハウジング20にかしめ固定されている。
本実施形態では、第9実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図12は、本実施形態に係る圧力センサのうちセンシング部30付近の拡大断面図である。この図に示されるように、ハウジング20の孔部25内に段差25cが設けられており、当該段差25cにセンシング部30の固定部32が引っ掛かった状態とされている。本実施形態では、孔部25内に段差25cが設けられていることで、孔部25の径がケースプラグ10側よりも圧力導入孔24側が大きくなっている。また、固定部32と段差25cとがメタルタッチシールされている。さらに、第9実施形態と同様に、センシング部30がハウジング20にかしめ固定されている。
本実施形態では、第1、第3実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図13は、本実施形態に係る圧力センサのうちセンシング部30付近の拡大断面図である。この図に示されるように、センシング部30の固定部32の各貫通電極32bとターミナル11とがバンプ17にて電気的に接続されている。このように、図2に示される接続部13を用いずにバンプ17を用いることもできる。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図14は、本実施形態に係る圧力センサのうちセンシング部30付近の拡大断面図である。この図に示されるように、ハウジング20の孔部25のうち圧力導入孔24側の角部が凹んだ凹み部25dが設けられており、この凹み部25dにOリング51が配置されている。
上記各実施形態では、それぞれの圧力センサを単独で実現することができ、他方で各実施形態を組み合わせた圧力センサを実現することもできる。例えば、図2に示される圧力センサに図5に示される引っ掛け部27を設けた構成とすることもできる。
Claims (13)
- 圧力導入孔(24)を有するハウジング(20)と、前記ハウジング(20)の一端部側に一体に組み付けられるケースプラグ(10)とを備え、前記ハウジング(20)の他端部に設けられた開口部(23)から前記圧力導入孔(24)内を経由して前記ケースプラグ(10)側に圧力媒体が導入されてなる圧力センサであって、
一端部側に前記ハウジング(20)の圧力導入孔(24)に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム(31b)を有するセンシング部(30)を備え、
前記ハウジング(20)の圧力導入孔(24)の底部には、当該圧力導入孔(24)と前記ハウジング(20)の一端部側とを繋ぐ孔部(25)が設けられており、
前記センシング部(30)は、前記ダイヤフラム(31b)が前記ハウジング(20)の開口部(23)側に向けられ、前記圧力媒体の導入方向と同じ方向に前記孔部(25)に差し込まれて前記ハウジング(20)に固定されると共に、前記ハウジング(20)の一端部側と前記圧力導入孔(24)との間をシールすることを特徴とする圧力センサ。 - 前記センシング部(30)の他端部の角部にテーパ面(32a)が形成され、
前記ハウジング(20)の孔部(25)の内部のうち前記ハウジング(20)の一端側には、前記ハウジング(20)の他端部側に広がるテーパ状の傾斜部(25a)が設けられており、
前記センシング部(30)の他端部側が前記ハウジング(20)の孔部(25)に配置され、前記センシング部(30)のテーパ面(32a)と前記孔部(25)の傾斜部(25a)との接触面がメタルタッチシールされていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記孔部(25)の壁面に凹み部(26)が設けられており、この凹み部(26)内にOリング(50)が配置されていることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記ハウジング(20)の孔部(25)の壁面に雌ネジ部(25b)が形成され、前記センシング部(30)の側面に雄ネジ部(32c)が形成されており、前記雌ネジ部(25b)および前記雄ネジ部(32c)によって、前記センシング部(30)が前記ハウジング(20)の孔部(25)にねじ止めされていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記ハウジング(20)の一端部側に露出した前記センシング部(30)の他端部と前記ハウジング(20)との境界部分に溶接されて溶接部(60)が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記センシング部(30)の側面と前記ハウジング(20)の圧力導入孔(24)の壁面との境界部分が溶接されて溶接部(61)が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記センシング部(30)の側面に凹み部(32d)が設けられており、この凹み部(32d)に前記ハウジング(20)の孔部(25)の壁面が接するように前記ハウジング(20)が変形することで、前記センシング部(30)が前記ハウジング(20)にかしめ固定されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記孔部(25)内には、前記孔部(25)のうち前記ケースプラグ(10)側よりも前記圧力導入孔(24)側の径を大きくする段差(25c)が設けられ、
前記センシング部(30)の側面に凹み部(32d)が設けられており、前記段差(25c)に前記センシング部(30)が当接すると共に、前記凹み部(32d)に前記ハウジング(20)の孔部(25)の壁面が接するように前記ハウジング(20)が変形することで、前記センシング部(30)が前記ハウジング(20)にかしめ固定されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記ケースプラグ(10)には、当該ケースプラグ(10)のうちハウジング(20)側に露出するようにインサート成形されたターミナル(11)が設けられており、
前記センシング部(30)と前記ターミナル(11)とを電気的に接続するバンプ(17)が前記センシング部(30)と前記ターミナル(11)との間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記孔部(25)のうち前記圧力導入孔(24)側の角部に当該角部が凹んだ凹み部(25d)が設けられ、この凹み部(25d)にOリング(50)が配置されており、
さらに、前記圧力導入孔(24)の底に前記Oリング(50)を押さえつける圧入部材(70)が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 請求項1ないし10のいずれか1つに記載の圧力センサの製造方法であって、前記センシング部(30)を用意する工程を含んでおり、
前記センシング部(30)を用意する工程は、
半導体ウェハ(40)を用意する工程と、
前記半導体ウェハ(40)の一面側に前記ダイヤフラム(31b)を複数形成する工程と、
前記半導体ウェハ(40)のうち前記複数のダイヤフラム(31b)が形成された一面とは反対側の他面に板部材を貼り合わせる工程と、
前記半導体ウェハ(40)と前記板部材とが張り合わされたものをダイシングカットして個々のセンシング部(30)に分割する工程とを含んでいることを特徴とする圧力センサの製造方法。 - 請求項1ないし10のいずれか1つに記載の圧力センサの製造方法であって、前記センシング部(30)を用意する工程を含んでおり、
前記センシング部(30)を用意する工程は、
半導体ウェハ(40)を用意する工程と、
前記半導体ウェハ(40)の一面側に前記ダイヤフラム(31b)を複数形成する工程と、
前記半導体ウェハ(40)をダイシングカットして個々のセンシング部(30)に分割する工程とを含んでいることを特徴とする圧力センサの製造方法。 - 請求項1ないし10のいずれか1つに記載の圧力センサの製造方法であって、
前記センシング部(30)を前記圧力媒体の導入方向と同じ方向に前記孔部(25)に差し込んで前記センシング部(30)を前記孔部(25)に固定する工程を含んでいることを特徴とする圧力センサの製造方法。
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