JP2009049087A - 電子部品と電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品の集積回路部の非形成面である第2の面5に局所的な段差部13を設けて集積基板2の厚みに中央部と端部で差を持たせることにより、電子部品に反りがあっても、反りと局所的な段差部13の深さを相殺させることが可能となり、第2の面5内において第2の電極6を全て、ほぼ同一平面内に存在させることができるため、3次元的に積層した構成においても、集積基板の電極の接合面積を均一化せしめ、接続信頼性を向上させるという効果を奏する。
【選択図】図3
Description
図8は、従来技術を用いて3次元的に積層した構成の電子部品の断面図を示し、図9は従来技術では対応できない、大きな反りをもった電子部品を3次元的に積層した構成の断面図を示す。
その上、集積基板2の超薄型化と外形サイズの大型化への要求の加速度的な進行により、集積基板2の厚さを100ミクロン以下まで超薄型化して、集積基板2を複数個、3次元的に積層することが強く望まれている。
集積基板2は薄型化するほど、反り値が大きくなるため、集積基板2の厚さが100ミクロン以下になると、集積基板2の反りは約1ミクロンではとどまらず、数ミクロンの反りが発生することが分かっている。反り値は、第1の絶縁層7の材料がSiOやSiN、ポリイミドなどの材料に依存して変動する。しかし集積基板2が薄型化するほど反り量が大きくなる傾向がある。これは、第1の絶縁層7を形成する際に発生する膜応力の作用が、集積基板2の薄型化に伴い相対的に強くなるためである。
請求項3記載の電子部品は、請求項1記載の電子部品において、前記集積基板の中心部から前記段差までおよび前記段差から端部までの厚さが前記端部方向に向かうほどに薄くなることを特徴とする。
請求項7記載の電子部品は、請求項5記載の電子部品において、前記集積基板の中心部から前記段差までおよび前記段差から端部までの厚さが前記端部方向に向かうほどに厚くなることを特徴とする。
請求項11記載の電子部品は、請求項10記載の電子部品において、前記3次元実装される電子部品に形成される前記集積回路のうちの1または複数のいずれかが、振動子または可動部を有する機能素子であることを特徴とする。
以下、本発明の実施例1における、貫通ビア8を用いて3次元的に積層した構成から成る電子部品1について図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の実施例1における、凸形状の反りをもつ集積基板の断面図を示す。図2は、本発明の実施例1における、凸形状の反りをもつ集積基板にバンプを形成した状態での断面図を示す。図3は、本発明の実施例1における、凸形状の反りをもつ2枚の集積基板をバンプにより接続した断面図を示す。
この状態で、集積回路部の形成面すなわち第1の面3が凸形状に反っていても、反り量と第2の面5の凸部の高さが相殺される。したがって、第2の面5内において第2の電極6を全て、ほぼ同一平面12内に存在させることが可能となる。
続いて、図3に示すように、2枚の集積基板2を、第2の面5同士を互いに向かい合わせて接続させる場合を説明する。2枚の集積基板2のいずれにおいても、第2の面5には、段差部13を設けて集積基板2の厚みを中央部のほうが端部に比べて厚くなるように凸部を形成している。そのため、集積回路部の形成面すなわち第1の面3が凸形状に反っていても、反り量と第2の面5の凸部の高さが相殺される。したがって、2枚の集積基板2のいずれにおいても、第2の面5内において第2の電極6を全て、ほぼ同一平面12内に存在させることができる。そのため、第2の面5同士を向かい合わせて接合する場合、バンプ11の接合面積を均一化し、接続信頼性を向上させることが可能になる。
以下に、本発明に用いられる、一般的な集積基板2の材料や形成方法などについて説明する。第1の電極4は、例えばアルミニウム3層と、その間に埋設したタングステンプラグなどにより構成される。アルミニウム最上層の表面には、金/ニッケル/銅/チタンなどから成るめっきを形成している。このときのめっきの厚さは、金で、約0.5ミクロンであり、ニッケルで、約2ミクロンとしている。
第1の面3上に形成した集積回路部は、半導体集積回路のみならず、MEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)素子を適用してもよい。あるいは集積回路とMEMS両者を混在させた構成の集積回路であってもよい。MEMSは半導体集積回路製造技術とマイクロマシン加工技術をシリコン基板に適用し、高度な寸法精度と加工精度をもつ、超小型の振動子や可動部を持つマイクロデバイスである。MEMSの機能としては共振子,フィルタ,伝送線路、インダクタ,スイッチ,アンテナなど非常に多くの種類があり、光通信、医療機器,センサー,無線通信などにも幅広く適用することができる。
以下、本発明の実施例2における、貫通ビア8を用いて3次元的に積層した構成から成る電子部品について図面を参照しながら説明する。図4は、本発明の実施例2における、凹形状の反りをもつ集積基板の断面図を示す。図5は、本発明の実施例2における、凹形状の反りをもつ集積基板にバンプを形成した状態での断面図を示す。図6は、本発明の実施例2における、凹形状の反りをもつ2枚の集積基板をバンプにより接続した断面図を示す。
この状態で、集積回路部の形成面すなわち第1の面3が凹形状に反っていても、反り量と第2の面5の凹部の深さが相殺される。したがって第2の面5内において第2の電極6を全て、ほぼ同一平面12内に存在させることが可能となる。
その結果、図6に示すように、2枚の集積基板2を、第2の面5同士を向かい合わせて接合する場合、バンプ11の接合面積を均一化し、接続信頼性を向上させることが可能になる。
以下、本発明の実施例3における、貫通ビア8を用いて3次元的に積層した構成から成る電子部品1について図面を参照しながら説明する。図7は、本発明の実施例3における、凸形状および凹形状の反りをもつ複数の集積基板を積層された電子部品の構成の断面図を示す。
2 集積基板
3 第1の面
4 第1の電極
5 第2の面
6 第2の電極
7 第1の絶縁層
8 貫通ビア
9 第2の絶縁層
10 パッケージ基板
11 バンプ
12 同一平面
13 段差部
Claims (13)
- 集積基板の第1の面上に集積回路を形成してなり前記第1の面が凸形状となるように反る電子部品であって、
前記第1の面上の前記集積回路形成領域を含む全面に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成された第1の電極と、
前記第1の面に対する前記集積基板の裏面となる第2の面上に形成された第2の電極と、
前記集積基板の厚さが周辺部に比べて中央部が厚くなるように前記第2の面に形成される段差と
を有することを特徴とする電子部品。 - 前記第1の面と前記第2の面が平行であることを特徴とする請求項1記載の電子部品。
- 前記集積基板の中心部から前記段差までおよび前記段差から端部までの厚さが前記端部方向に向かうほどに薄くなることを特徴とする請求項1記載の電子部品。
- 前記集積基板の中心部から前記段差までおよび前記段差から端部までの厚さが、それぞれ前記端部方向に向かうほど前記中心部からの距離に比例して薄くなることを特徴とする請求項1記載の電子部品。
- 集積基板の第1の面上に集積回路を形成してなり前記第1の面が凹形状となるように反る電子部品であって、
前記第1の面上の前記集積回路形成領域を含む全面に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成された第1の電極と、
前記第1の面に対する前記集積基板の裏面となる第2の面上に形成された第2の電極と、
前記集積基板の厚さが周辺部に比べて中央部が薄くなるように前記第2の面に形成される段差と
を有することを特徴とする電子部品。 - 前記第1の面と前記第2の面が平行であることを特徴とする請求項5記載の電子部品。
- 前記集積基板の中心部から前記段差までおよび前記段差から端部までの厚さが前記端部方向に向かうほどに厚くなることを特徴とする請求項5記載の電子部品。
- 前記集積基板の中心部から前記段差までおよび前記段差から端部までの厚さが、それぞれ前記端部方向に向かうほど前記中心部からの距離に比例して厚くなることを特徴とする請求項5記載の電子部品。
- 前記第1の電極と対応する前記第2の電極とを貫通ビアを用いて電気的に接続することを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれかに記載の電子部品。
- 請求項9記載の電子部品を、前記第2の電極と前記第2の電極同士を接続するように3次元実装してなることを特徴とする電子部品。
- 前記3次元実装される電子部品に形成される前記集積回路のうちの1または複数のいずれかが、振動子または可動部を有する機能素子であることを特徴とする請求項10記載の電子部品。
- ウェハの第1の面に集積回路あるいは機能素子を形成する工程と、
前記ウェハの第2の面を研削して前記ウェハを薄型化する工程と、
薄型化された前記ウェハの前記第2の面に段差を設ける工程と、
前記ウェハに貫通ビアを形成して前記第1の電極と前記第2の電極を電気的に接続する工程と、
前記ウェハを個々の電子部品に分割する工程と、
複数個の前記電子部品を積層して前記第1の電極と前記第2の電極を電気的に接続する工程と
からなることを特徴とする電子部品の製造方法。 - 前記段差の形成を、前記ウェハの第2の面をエッチングすることにより行うことを特徴とする請求項12記載の電子部品の製造方法。
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