JP2009048817A5 - 酸化物超電導線材の熱処理装置及びその製造方法 - Google Patents

Claims (8)

1. 外筒と内筒により形成された円筒状の熱処理空間を備えた炉芯管と、この炉芯管の外周に配置されたヒータと、前記熱処理空間内部に炉芯軸に対して回転可能に配置されたテープ状の被熱処理物を巻回するための多数の貫通孔が形成された円筒状の回転体と、前記外筒と前記回転体との間に配置された前記被熱処理物へ雰囲気ガスを供給するためのガス供給管と、前記雰囲気ガスを前記回転体と前記内筒との間から排出するためのガス排出路とを備えたことを特徴とする酸化物超電導線材の熱処理装置。
2. 外筒と回転体との間に配置されたガス供給管は、前記回転体に対して雰囲気ガスを噴出するための多数のガス噴出孔を備え、炉芯軸に平行に配置された複数の管状体を炉芯軸に垂直な断面において対称に配置したことを特徴とする請求項１記載の酸化物超電導線材の熱処理装置。
3. ガス排出路は、雰囲気ガスを吸入するための多数のガス吸入孔を備えた外側円筒体とこの内部に同心状に配置された内側円筒体により形成された円筒状のガス排出路を有するガス排出管からなることを特徴とする請求項１記載の酸化物超電導線材の熱処理装置。
4. 円筒状の回転体に形成された多数の貫通孔の径は、テープ状の被熱処理物のテープ幅と同等であることを特徴とする請求項１乃至３いずれか１項記載の酸化物超電導線材の熱処理装置。
5. 外筒と内筒により形成された円筒状の熱処理空間を備えた炉芯管と、この炉芯管の外周に配置されたヒータと、前記熱処理空間内部に炉芯軸に対して回転可能に配置され、酸化物超電導体の前駆体膜を有するテープ状の被熱処理物を巻回するための多数の貫通孔が形成された円筒状の回転体と、前記外筒と前記回転体との間に炉芯軸に平行に配置され、前記回転体に対して雰囲気ガスを噴出するための多数のガス噴出孔を備えた管状体の複数本を炉芯軸に垂直な断面において対称に配置し、前記被熱処理物へ雰囲気ガスを供給するためのガス供給管と、前記雰囲気ガスを前記回転体と前記内筒との間から排出するための多数のガス吸入孔を備えた外側円筒体とこの内部に同心状に配置された内側円筒体により形成された円筒状のガス排出路を有するガス排出管とを備えたことを特徴とする酸化物超電導線材の熱処理装置。
6. 請求項１乃至５記載の酸化物超電導線材の熱処理装置を用い、基板上に１層あるいは複数層の２軸配向性を持つ無機材料薄膜層からなる中間層を形成した複合基板の上に、Ｙ系（１２３）超電導層を構成する金属元素を含む金属有機酸塩または有機金属化合物を有機溶媒中に溶解した混合溶液を塗布後仮焼したテープ状線材からなる被熱処理物を前記円筒状の回転体の外周に巻回し、前記ヒータを加熱しながら前記ガス供給管から雰囲気ガスを供給するととともに、前記雰囲気ガスを前記ガス排出路から排出させることを特徴とする酸化物超電導線材の製造方法。
7. 混合溶液中の金属元素を含む金属有機酸塩は、オクチル酸塩、ナフテン酸塩、ネオデカン酸塩または三弗化酢酸塩のいずれか１種よりなることを特徴とする請求項６記載の酸化物超電導線材の製造方法。
8. 外筒と内筒により形成された円筒状の熱処理空間を備えた炉芯管の前記熱処理空間内部に、炉芯軸に対して回転可能に配置され、かつ多数の貫通孔が形成された円筒状の回転体の外周に酸化物超電導体の前駆体膜を有するテープ状の被熱処理物を巻回し、前記外筒と前記回転体との間に前記炉芯軸に平行に配置され、かつ前記炉芯軸に垂直な断面において対称に配置された多数のガス噴出孔を備えた複数本の管状体からなるガス供給管から前記回転体に対して雰囲気ガスを噴出させ、前記回転体と前記内筒との間に配置され、かつ多数のガス吸入孔を備えた外側円筒体とこの内部に同心状に配置された内側円筒体により形成された円筒状のガス排出路を有するガス排出管から前記雰囲気ガスを排出するとともに、前記炉芯管の外周に配置されたヒータを加熱することにより、前記被熱処理物を熱処理することを特徴とする酸化物超電導線材の製造方法。