JP2009035466A - ガラス製造装置の成形部及びガラス成形品の製造方法 - Google Patents

ガラス製造装置の成形部及びガラス成形品の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】本発明は、ガラス成形品の大小に関わらず、長時間、安定して製造できるフュージョン法を利用するガラス製造装置の成形部及びそれを用いたガラス成形品の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るガラス製造装置の成形部は、フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに用いられるガラス製造装置の成形部1において、溶融ガラスとの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金で形成され、かつ、前記イリジウム又はイリジウム合金からなる部分の表面のうち前記溶融ガラスと接触していない表面部分と大気との接触を遮断する大気遮蔽手段を有することを特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、液晶ディスプレイ表示基板用板ガラス等のガラス成形品を、フュージョン法を利用して作製するときに用いられるガラス製造装置の成形部及びそれを用いたガラス成形品の製造方法に関する。
従来、溶融ガラスより連続的にガラス成形品を形成し、極めて薄い板厚の板ガラスを製造する方法として、フュージョン法が知られている。
フュージョン法は、まず、溶融した原料ガラスを樋形状の溝を有するアルミナ系、ジルコン系等の耐火セラミックス材料で形成された成形部に流し込み、成形部の溝の容量以上に流し込むと溝側面の上端から溶融したガラスが溢れ出し、成形部の下端で合流したガラスを垂直方向に引き伸ばし、冷却して固めることによって板ガラスを製造する方法である。フュージョン法では、ガラスの成形時に無理な力がかからず、ガラスへのダメージを少なくして作製することができ、かつ、ガラス成形品の表面が自由表面のみで形成されるために液晶ディスプレイ表示基板用板ガラス等の高い平坦精度が要求されるガラス成形品を製造することに適した方法である(例えば、特許文献1を参照。)。
しかし、アルミナ系、ジルコン系等の耐火セラミックス材料で形成された成形部は、ガラス成形品の幅に対応する成形部の長さが長くなればなるほど製作することが困難になる。このため幅の広い大型のガラス成形品を製造するための成形部の製作に際しては、一体成形が望ましいが大型のガラス成形の場合、一体成形が不可能になるのでまず成形部を長手方向に幾つかの部分に分けて製作した後で、これらを連結することによって一体とした成形部を製作しなければならない。したがって完成した大型ガラス成形品製造用の成形部には継ぎ目ができてしまう。このため成形されるガラス成形品について、継ぎ目における筋の発生を防止して平坦精度を確保するために、高い精度の研磨仕上げ又は白金によるカバーが必要になる。
さらにアルミナ系、ジルコン系等の耐火セラミックス材料からなる成形部は溶融ガラスとの接触によって侵食を受けるため、成形されるガラス成形品の平坦精度の低下等の経時的な品質低下を生じ、ガラス製造装置の連続使用時間を長くすることができなかった。
そのため、成形部の表面に白金又は白金合金を被覆することによって、耐火セラミックス材料からなる成形部が溶融ガラスとの接触によって侵食されることを抑制し、併せて大型成形品製造用の成形部が有する継ぎ目を保護する方法が提案されている(例えば、特許文献2又は3を参照。)。
米国特許第3338696号明細書 特開2002−255575号公報 特開2007−153713号公報
しかし成形部は、耐火物からなる支持部材によって長手方向の両端で支えられているため、ガラス成形品の大型化が進むと、成形部及びガラスの自重によって中央付近に反りが発生する。その結果、成形部から溶融ガラスの溢れる位置によって下方への流量が変化するため、ガラスの厚みが異なる等、均質なガラスの成形が困難になるという問題があった。
また、白金又は白金合金は高温時における剛性が低いことから、成形部に白金又は白金合金を被覆した場合でも成形部の経時的な変形を防止することはできず、上記の問題を解決することはできなかった。
そこで本発明は、溶融ガラスとの接触による成形部の侵食の抑制と、高温時における成形部の剛性の保持を共に満たし、ガラス成形品の大小に関わらず、長時間、安定して製造できる、フュージョン法を利用するガラス製造装置の成形部及びそれを用いたガラス成形品の製造方法を提供することを目的とする。
本発明者は、フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに用いられるガラス製造装置の成形部の構造及び材料の組成を種々検討した結果、前記成形部における溶融ガラスとの接触部分を、イリジウム又はイリジウム合金で形成し、かつ、酸素との接触を避けることができる成形部であれば、白金又は白金合金と同様に溶融ガラスによる侵食を抑制することができ、かつ、高温度で高い剛性が得られることによって、上記問題を解決できることを見出し、発明を完成した。
すなわち本発明に係るガラス製造装置の成形部は、フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに用いられるガラス製造装置の成形部において、前記成形部は、溶融ガラスとの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金で形成され、かつ、前記イリジウム又はイリジウム合金からなる部分の表面のうち前記溶融ガラスと接触していない表面部分と大気との接触を遮断する大気遮蔽手段を有することを特徴とする。
本発明に係るガラス製造装置の成形部は、イリジウム又はイリジウム合金で形成された構造を有するか、或いは、構造体をイリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造を有していてもよい。イリジウム又はイリジウム合金は高温度での剛性が高く、圧縮荷重によりクリープ変形も小さいため、成形部の構造材料又は被覆材料として使用すると成形部の変形を防止することができる。
本発明に係るガラス製造装置の成形部には、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体の構造を有し、前記大気遮蔽手段は、前記中空体の内部空間に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給するための配管である場合が含まれる。成形部の軽量化のためにその内部を中空構造とすることが好ましい。このとき中空体の内部空間に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスの混合ガスを通気する配管を設けることによって、中空体内面のイリジウム又はイリジウム合金が大気中の酸素と接触して酸化され揮発することを防止することができる。
本発明に係るガラス製造装置の成形部には、構造体をイリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造を有し、かつ、前記大気遮蔽手段は、前記構造体と前記被覆しているイリジウム又はイリジウム合金との間隙に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給するための配管である場合が含まれる。前記配管を設けることによって、構造体とそれを被覆しているイリジウム又はイリジウム合金との間隙及び構造体中に存在する大気によってイリジウム又はイリジウム合金が酸化され揮発することを防止できる。
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、前記大気遮蔽手段は、その外表面のうち溶融ガラスと接触していない表面部分を保護しつつ前記成形部を支持する耐火物材料からなる支持部材であることが好ましい。イリジウム又はイリジウム合金からなる外表面のうち成形部の長手方向の両端面及びその縁部は溶融ガラスと接触しないため、支持部材によって大気との接触を遮断することによって、その外表面が酸化され揮発することを防止できる。
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、大気遮蔽手段として不活性ガスを供給する配管を使用する場合、前記不活性ガスが、窒素ガスであることが好ましい。経済的に酸素を遮断することができる。
本発明に係るガラス製造装置の成形部には、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体の内部空間に、金属又はセラミックスの梁が通されて前記成形部が支持されている場合が含まれる。成形部の剛性を高めて変形を防止できる。
本発明に係るガラス製造装置の成形部には、イリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造体はセラミックス又は金属で形成されてなり、前記成形部は前記構造体によって支持されている場合が含まれる。
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、前記金属又はセラミックスの梁又は前記被覆されている構造体の材質がイリジウム又はイリジウム合金である場合が含まれる。
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、前記被覆しているイリジウム又はイリジウム合金の厚みが、0.5〜3.0mmであることが好ましい。この厚みであれば成形部に十分な高温強度を付与することができる。
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、前記支持部材によってかけられる両端から内側への圧力により、前記成形部の上面が直線状に保持されることが好ましい。成形部の高温度におけるクリープ変形をさらに防止できる。
本発明に係るガラス成形品の成形方法は、溶融ガラスの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金からなるガラス製造装置の成形部を用いて、フュージョン法によってガラス成形品を製造する方法において、前記成形部を取り囲む製造雰囲気を、不活性ガス雰囲気又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気とすることを特徴とする。
本発明は、フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに、ガラス成形品の大小に関わらず、成形部及びガラスの自重による成形部の反りを低減でき、かつ、成形部が溶融ガラスとの接触によって侵食を受けることを低減できる。この結果、フュージョン法を利用してガラス成形品を長期間、安定して製造できる。
以下本発明について実施形態を示して詳細に説明するが本発明はこれらの記載に限定して解釈されない。本発明の効果を奏する限り、実施形態は種々の変形をしてもよい。なお、同一部材・同一部位には同一符号を付した。
図1に本実施形態に係るガラス製造装置の概略正面図を示す。ここで最初に図1を使用して、フュージョン法によるガラス成形品の製造方法について説明する。図1に示すように、成形部1の両端9,10には、上流側支持部材2と下流側支持部材3がそれぞれ係合し、両端9,10から内側方向へ圧力をかけることによって、成形部の上面4が直線状に保持されている。また上流側支持部材2には、溶融ガラスの導入路5が設けられている。
導入路5は、清澄された溶融ガラスを成形部1の溝部6に供給するために設けられていて、供給された溶融ガラスは、溝部6に沿って上流側支持部材2側から下流側支持部材3側に流動するとともに成形部1の上面4よりオーバーフローする。
オーバーフローした溶融ガラス(不図示)は、成形部1の側面7に沿って流れ、下端8において一体化し、下方に引っ張られることによって板状のガラス成形品が連続的に形成される。
次に本実施形態に係るガラス製造装置の成形部について説明する。図1において、成形部1は、溶融ガラスとの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金で形成されている。すなわち、少なくとも溝部6の表面、上面4及び側面7の表面がイリジウム又はイリジウム合金で形成されている。さらに本実施形態に係るガラス製造装置の成形部1は、イリジウム又はイリジウム合金からなる表面のうち溶融ガラスと接触していない表面部分と大気との接触を遮断する大気遮断手段を有している。
イリジウム又はイリジウム合金は、溶融ガラスによる侵食を受けにくく、かつ、ガラス製造時の高温度においても高い剛性を有しているため、圧縮荷重によりクリープ変形も小さいため成形部の構造材料又は被覆材料として使用すると成形部の変形を防止することができ、成形部1は長期間、高品質のガラス成形品を製造することができる。
しかし、イリジウム又はイリジウム合金は高温度において大気中の酸素と反応して酸化され揮発し、消耗が進みやすい。そのため、本実施形態に係るガラス製造装置の成形部1では、溶融ガラスと接触していない部分は大気との接触を遮断する大気遮断手段を設けている。大気遮断手段を設けることによって、ガラス製造時の高温度においても、高い剛性を維持しつつ、消耗を抑制することができるため、高品質で精度の高いガラス成形品を長時間連続して製造することが可能となった。以下、成形部1について、5つの形態(第1実施形態から第5実施形態)に分けて説明する。大気遮断手段は各形態によって変形例があり、一緒に説明することとする。
第1実施形態から第5実施形態に係るガラス製造装置の成形部1a,1b,1c,1d,1eの断面概略図を、図2〜図6に示す。第1実施形態に係るガラス製造装置の成形部1aは、図2に示すように、一体型の成形部1aであって、イリジウム又はイリジウム合金の単一材料によって成形部1a全体が形成されている。図1において、イリジウム又はイリジウム合金からなる成形部1の外表面であってガラスと接触しない表面としては、成形部1の両端9,10がある。そこで、上流側支持部材2及び下流側支持部材3を大気遮蔽手段として、両端9,10の端面及びその縁部が大気と接触しないように保護することが好ましい。イリジウム又はイリジウム合金が高温度において大気中の酸素と反応して酸化され揮発し、消耗することを防止するためである。また、上流側支持部材2と下流側支持部材3は、成形部の両端9,10から内側方向へ圧力をかけており、これによって成形部の上面4が直線状に保持されている。直線状に保持するためには、支持部材2,3による内側への圧力を調整する圧力調整手段(不図示)を設けることが好ましい。圧力調整手段は、例えば、支持部材2,3間の距離を調整するスライド機構である。クリープ変形の程度は温度によって変化するため、支持部材による内側への圧力は、圧力調整手段によって必要に応じて調整可能である。
第2実施形態に係るガラス製造装置の成形部1bは、図3に示すように、セラミックス材料若しくは金属材料で形成される構造体15aをイリジウム又はイリジウム合金からなる被覆層17によって被覆している構造を有する。なお、構造体15aはバルク体である。
一方、第3実施形態に係るガラス製造装置の成形部1cは、図4に示すように、セラミック材料若しくは金属材料で形成された構造体15bが内部空間21を有する中空構造である。この場合、成形部1cの軽量化をすることができる。
第2実施形態又は第3実施形態では、図3又は図4において、構造体15a,15bとそれを被覆しているイリジウム又はイリジウム合金からなる被覆層17との間隙30に大気が侵入又は存在した場合に、イリジウム又はイリジウム合金が大気中の酸素と反応して酸化され揮発するため、大気遮断手段として成形部1b、1cの間隙30に不活性ガス又は不活性ガスと水素との混合ガスを供給する配管(図1の配管11)を設けることが好ましい。例えば、図1に示すように、成形部1b,1cの両端9,10の一方にガス供給用の配管11を設ける。ここで供給された不活性ガス又は不活性ガスと水素との混合ガスは、成形部1b,1cの構造上の間隙より排出されるが、成形部1b,1cの両端9,10の他方にガス排出用の配管12をさらに設けてガスを排出してもよい。ここで不活性ガスは、窒素ガスであることが好ましい。イリジウム又はイリジウム合金からなる被覆層17と酸素との接触を経済的に遮断することができる。また、不活性ガス中に混合する水素の比率は、0.1〜20%が好ましい。さらに、成形部1b,1cの両端9,10の外表面のイリジウム又はイリジウム合金は溶融ガラスと接触しないため、第1実施形態と同様に、支持部材2,3も大気遮断手段とし、溶融ガラスとの非接触部分を大気から支持部材2,3によって遮断してイリジウム又はイリジウム合金を保護することが好ましい。
第4実施形態に係るガラス製造装置の成形部1dは、図5に示すように、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体19aの構造を有している。成形部の軽量化及び材料コストの低減のためには、成形部1dを中空構造とすることが好ましい。この場合、中空体19aの内部空間21に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給することによって、中空体内面のイリジウム又はイリジウム合金が大気中の酸素と接触して酸化され揮発することを防止することができる。したがって、大気遮断手段として中空構造の成形部1dの内部空間21に不活性ガス又は不活性ガスと水素との混合ガスを供給する配管(図1の配管11)を設けることが好ましい。第2実施形態と同様に、ガス排出用の配管12をさらに設けてガスを排出してもよい。不活性ガスは窒素ガスであることが好ましい。さらに成形部1dにおいても、第1実施形態と同様に、支持部材2,3も大気遮断手段とすることが好ましい。
第5実施形態に係るガラス製造装置の成形部1eは、図6に示すように、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体19bの内部空間21に、金属又はセラミックス材料の梁23が通されて成形部1eが支持されている。梁23によって成形部1eの剛性を高めて変形を防止することができる。梁23は、金属であれば加工性がよいため、断面が、I形(例えば図6に示した)、H形、T形、溝形、山形(L形)の部材を使用できる。また、成形部1eにおいても、第4実施形態と同様の大気遮断手段、すなわち、不活性ガス又は不活性ガスと水素との混合ガスを供給する配管を設けることが好ましい。また、ガス排出用の配管12をさらに設けてもよい。不活性ガスは窒素ガスであることが好ましい。さらに第1実施形態と同様に、支持部材2,3も大気遮断手段とすることが好ましい。
ここで第2、第3及び第5実施形態におけるセラミックス材料の例としては、アルミナ系、ジルコン系、ムライト系、シリカアルミナ等の耐火物セラミックス材料が挙げられ、金属材料の例としては、高温で強度を有するイリジウム、イリジウム合金、モリブデン、モリブデン合金、タングステン、タングステン合金、ニッケル合金等の耐熱性金属材料が挙げられる。
本実施形態に係るガラス製造装置の成形部では、第1〜第5の実施形態のいずれも、支持部材2,3は耐火物材料、例えばアルミナ、ジルコニア、ジルコン、シリコンナイトライド、ボロンナイトライドからなることが好ましい。
本実施形態に係るガラス製造装置の成形部では、イリジウム又はイリジウム合金の被覆層17の厚みが、0.5〜3.0mmであることが好ましい。0.5mmより薄いと、自重等によって板材が変形するおそれがあり、3.0mmより厚いと板としての表面の平坦性を保つことが難しくなる。
本実施形態に係るイリジウム合金として適した組成を次に説明する。例えば、イリジウムにロジウムを添加することによって、強度向上及び揮発抑制の効果がある。また、レニウム、モリブデン、タングステン、ニオブ、タンタル、ジルコニウム又はハフニウムを1種類又はこれらのうち2種類以上を組み合わせて添加することによって、強度、加工性及び溶接性が向上する効果がある。上記の添加金属がイリジウムと固溶する範囲においてイリジウム合金を作製し、本実施形態に係るイリジウム合金として使用することが好ましい。
本実施形態に係るロジウムを含有したイリジウム合金では、ロジウムの含有量として0.5〜25.0原子%、より好ましくは、5.0〜20.0原子%である。なお、この場合、イリジウムの含有量は、75.0〜99.5原子%、好ましくは、80.0〜95.0%である。以下、イリジウムの含有量の記載は省略する。ロジウムの含有量が0.5原子%より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、25.0原子%より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
本実施形態に係るレニウムを含有したイリジウム合金では、レニウムの含有量として0.5〜40.0原子%、より好ましくは、1.0〜10.0原子%である。レニウムの含有量が0.5原子%より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、40.0原子%より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
本実施形態に係るモリブデンを含有したイリジウム合金では、モリブデンの含有量として0.5〜23.0原子%、より好ましくは、1.0〜10.0原子%である。モリブデンの含有量が0.5原子%より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、23.0原子%より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
本実施形態に係るタングステンを含有したイリジウム合金では、タングステンの含有量として0.5〜19.0原子%、より好ましくは、5.0〜15.0原子%である。タングステンの含有量が0.5原子%より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、19.0原子%より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
本実施形態に係るニオブを含有したイリジウム合金では、ニオブの含有量として0.5〜16.0原子%、より好ましくは、1.0〜5.0原子%である。ニオブの含有量が0.5原子%より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、16.0原子%より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
本実施形態に係るタンタルを含有したイリジウム合金では、タンタルの含有量として0.5〜16.0原子%、より好ましくは、1.0〜5.0原子%である。タンタルの含有量が0.5原子%より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、16.0原子%より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
本実施形態に係るジルコニウムを含有したイリジウム合金では、ジルコニウムの含有量として0.5〜7.0原子%、より好ましくは、0.5〜3.0原子%である。ジルコニウムの含有量が0.5原子%より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、7.0原子%より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
本実施形態に係るハフニウムを含有したイリジウム合金では、ハフニウムの含有量として0.5〜9.5原子%、より好ましくは、0.5〜5.0原子%である。ハフニウムの含有量が0.5原子%より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、9.5原子%より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
本実施形態に係るガラス成形品の製造方法は、第1〜第5の各実施形態の成形部1a,1b,1c,1d,1eを使用して製造する方法の他に、例えば、図1に示すようなフュージョン法を利用したガラス製造装置において、成形部1を取り囲む製造雰囲気を、不活性ガス雰囲気又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気として製造することもできる。この方法によれば、第1〜第5の各実施形態と同様に成形部のイリジウム又はイリジウム合金が大気と接触することが遮断されて、酸化され揮発することが抑制される。したがって長期間のガラス製造をすることができる。
図1に示すガラス製造装置において、図2、図3及び図6に示したガラス製造装置の成形部を作製し、イリジウム及びイリジウム合金で形成された箇所については、その加工状態(材料加工時の割れの有無、表面の平坦性)を確認した。その後、以下の条件で用いて、窒素ガス雰囲気で、成形部の両端9,10に支持部材2,3によって内側へ圧力をかけながら、溶融したアルミノシリケートガラスを導入路5より成形部1の溝部6に供給し、上面4よりオーバーフローさせ、100〜300m/時間の速度で下方に引っ張り、板ガラスを連続的に製造した。成形部の良否の判別は、連続1週間の使用後冷却、再度1週間使用したときの成形部の状態(表面の揮発の有無、上部の反りの有無)を目視することによって行なった。
(実施例1)
図2の成形部1をイリジウムで作製した。
(実施例2)
図2の成形部1aをイリジウムにロジウムを0.5原子%含有した合金で作製した。
(実施例3)
図2の成形部1aをイリジウムにロジウムを25原子%含有した合金で作製した。
(実施例4)
図2の成形部1aをイリジウムにレニウムを0.5原子%含有した合金で作製した。
(実施例5)
図2の成形部1aをイリジウムにレニウムを40.0原子%含有した合金で作製した。
(実施例6)
図2の成形部1aをイリジウムにモリブデンを0.5原子%含有した合金で作製した。
(実施例7)
図2の成形部1aをイリジウムにモリブデンを40.0原子%含有した合金で作製した。
(実施例8)
図2の成形部1aをイリジウムにタングステンを0.5原子%含有した合金で作製した。
(実施例9)
図2の成形部1aをイリジウムにタングステンを19.0原子%含有した合金で作製した。
(実施例10)
図2の成形部1aをイリジウムにニオブを0.5原子%含有した合金で作製した。
(実施例11)
図2の成形部1aをイリジウムにニオブを16.0原子%含有した合金で作製した。
(実施例12)
図2の成形部1aをイリジウムにタンタルを0.5原子%含有した合金で作製した。
(実施例13)
図2の成形部1aをイリジウムにタンタルを16.0原子%含有した合金で作製した。
(実施例14)
図2の成形部1aをイリジウムにジルコニウムを0.5原子%含有した合金で作製した。
(実施例15)
図2の成形部1aをイリジウムにジルコニウムを7.0原子%含有した合金で作製した。
(実施例16)
図2の成形部1aをイリジウムにハフニウムを0.5原子%含有した合金で作製した。
(実施例17)
図2の成形部1aをイリジウムにハフニウムを9.5原子%含有した合金で作製した。
(実施例18)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムを0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例19)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムを3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例20)
図3の成形部1bの構造体15aとしてモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにロジウムを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例21)
図3の成形部1bの構造体15aとしてタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにロジウムを25.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例22)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにロジウムを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例23)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにロジウムを25.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例24)
図3の成形部1bの構造体15aとしてモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにレニウムを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例25)
図3の成形部1bの構造体15aとしてタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにレニウムを40.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例26)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにレニウムを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例27)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにレニウムを40.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例28)
図3の成形部1bの構造体15aとしてモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにモリブデンを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例29)
図3の成形部1bの構造体15aとしてタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにモリブデンを23.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例30)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにモリブデンを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例31)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにモリブデンを23.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例32)
図3の成形部1bの構造体15aとしてモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにタングステンを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例33)
図3の成形部1bの構造体15aとしてタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにタングステンを19.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例34)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにタングステンを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例35)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにタングステンを19.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例36)
図3の成形部1bの構造体15aとしてモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにニオブを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例37)
図3の成形部1bの構造体15aとしてタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにニオブを16.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例38)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにニオブを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例39)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにニオブを16.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例40)
図3の成形部1bの構造体15aとしてモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにタンタルを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例41)
図3の成形部1bの構造体15aとしてタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにタンタルを16.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例42)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにタンタルを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例43)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにタンタルを16.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例44)
図3の成形部1bの構造体15aとしてモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにジルコニウムを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例45)
図3の成形部1bの構造体15aとしてタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにジルコニウムを7.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例46)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにジルコニウムを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例47)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにジルコニウムを7.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例48)
図3の成形部1bの構造体15aとしてモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにハフニウムを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例49)
図3の成形部1bの構造体15aとしてタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにハフニウムを9.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例50)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにハフニウムを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例51)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにハフニウムを9.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例52)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムを0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例53)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムを3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例54)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにロジウムを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例55)
図6の梁23にイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにロジウムを25.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例56)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにロジウムを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例57)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにロジウムを25.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例58)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにレニウムを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例59)
図6の梁23にイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにレニウムを40.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例60)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにレニウムを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例61)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにレニウムを40.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例62)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにモリブデンを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例63)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにモリブデンを23.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例64)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにモリブデンを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例65)
図6の梁23にイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにモリブデンを23.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例66)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにタングステンを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例67)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにタングステンを19.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例68)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにタングステンを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例69)
図6の梁23にイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにタングステンを19.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例70)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにニオブを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例71)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにニオブを16.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例72)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにニオブを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例73)
図6の梁23にイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにニオブを16.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例74)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにタンタルを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例75)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにタンタルを16.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例76)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにタンタルを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例77)
図6の梁23にイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにタンタルを16.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例78)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにジルコニウムを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例79)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにジルコニウムを7.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例80)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにジルコニウムを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例81)
図6の梁23にイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにジルコニウムを7.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例82)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにハフニウムを0.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例83)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにハフニウムを9.5原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例84)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにハフニウムを0.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(実施例85)
図6の梁23にイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにハフニウムを9.5原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例1)
図2の成形部1aをジルコンで作製した。
(比較例2)
図2の成形部1aをイリジウムにロジウムを27原子%含有した合金で作製した。
(比較例3)
図2の成形部1aをイリジウムにレニウムを42原子%含有した合金で作製した。
(比較例4)
図2の成形部1aをイリジウムにモリブデンを25原子%含有した合金で作製した。
(比較例5)
図2の成形部1aをイリジウムにタングステンを21原子%含有した合金で作製した。
(比較例6)
図2の成形部1aをイリジウムにニオブを18原子%含有した合金で作製した。
(比較例7)
図2の成形部1aをイリジウムにタンタルを18原子%含有した合金で作製した。
(比較例8)
図2の成形部1aをイリジウムにジルコニウムを9.0原子%含有した合金で作製した。
(比較例9)
図2の成形部1aをイリジウムにハフニウムを11.0原子%含有した合金で作製した。
(比較例10)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムを0.3mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例11)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムを3.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例12)
図3の成形部1bの構造体15aとしてモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにロジウムを27原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例13)
図3の成形部1bの構造体15aとしてタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにロジウムを27原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例14)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにレニウムを42原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例15)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにレニウムを42原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例16)
図3の成形部1bの構造体15aとしてモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにモリブデンを25原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例17)
図3の成形部1bの構造体15aとしてタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにモリブデンを25原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例18)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにタングステンを21原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例19)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにタングステンを21原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例20)
図3の成形部1bの構造体15aとしてモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにニオブを18原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例21)
図3の成形部1bの構造体15aとしてタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにニオブを18原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例22)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにタンタルを18原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例23)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにタンタルを18原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例24)
図3の成形部1bの構造体15aとしてモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにジルコニウムを9.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例25)
図3の成形部1bの構造体15aとしてタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにジルコニウムを9.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例26)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにハフニウムを11.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例27)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにハフニウムを11.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例28)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムを0.3mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例29)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムを3.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例30)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにロジウムを27原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例31)
図6の梁23にイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにロジウムを27原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例32)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにレニウムを42原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例33)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにレニウムを42原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例34)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにモリブデンを25原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例35)
図6の梁23にイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにモリブデンを25原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例36)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにタングステンを21原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例37)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにタングステンを21原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例38)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにニオブを18原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例39)
図6の梁23にイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにニオブを18原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例40)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにタンタルを18原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例41)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにタンタルを18原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例42)
図6の梁23にジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムにジルコニウムを9.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例43)
図6の梁23にイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムにジルコニウムを9.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例44)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムにハフニウムを11.0原子%含有した合金を0.5mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例45)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムにハフニウムを11.0原子%含有した合金を3.0mmの厚さで被覆して作製した。
(比較例46)
図3の成形部1bの構造体15aとしてジルコンを用い、その被覆層17にイリジウムを0.5mmの厚さで被覆して作製し、大気雰囲気で溶解した。
(比較例47)
図3の成形部1bの構造体15aとしてイリジウムを用い、その被覆層17にイリジウムを3.0mmの厚さで被覆して作製し、大気雰囲気で溶解した。
(比較例48)
図6の梁23にモリブデンを用い、その被覆層17にイリジウムを0.5mmの厚さで被覆して作製し、大気雰囲気で溶解した。
(比較例49)
図6の梁23にタングステンを用い、その被覆層17にイリジウムを3.0mmの厚さで被覆して作製し、大気雰囲気で溶解した。

Figure 2009035466

Figure 2009035466
Figure 2009035466
Figure 2009035466
結果を表1〜表4に示した。実施例1〜85については、使用後冷却時及び再使用後も反り等もなく、問題がないことが確認されたが、比較例1、10及び28については、上部で反り等が確認され、再度使用することができなかった。また、比較例2〜9、11及び29については、表面の平坦性に差があり、ガラスの厚みが箇所によって差が生じる恐れがある為、使用することができなかった。また、比較例12〜27、比較例30〜45については、板材の加工時に割れが確認され、ガラス製造装置の成形部として使用することができなかった。また、比較例46〜49については、イリジウムの表面揮発が確認され、再度使用することができなかった。
本発明の実施形態の一例を示すガラス製造装置の正面概略図である。 本発明の第1実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。 本発明の第2実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。 本発明の第3実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。 本発明の第4実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。 本発明の第5実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。
符号の説明
1,1a,1b,1c,1d,1e 成形部
2 上流側支持部材
3 下流側支持部材
4 上面
5 導入路
6 溝部
7 側面
8 下端
9,10 側端
11 ガス供給用配管
12 ガス排出用配管
15a、15b 構造体
17 被覆層
19a、19b 中空体
21 内部空間
23 梁
30 間隙

Claims (12)

  1. フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに用いられるガラス製造装置の成形部において、前記成形部は、溶融ガラスとの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金で形成され、かつ、前記イリジウム又はイリジウム合金からなる部分の表面のうち前記溶融ガラスと接触していない表面部分と大気との接触を遮断する大気遮蔽手段を有することを特徴とするガラス製造装置の成形部。
  2. 前記成形部は、イリジウム又はイリジウム合金で形成された構造を有するか、或いは、構造体をイリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造を有することを特徴とする請求項1に記載のガラス製造装置の成形部。
  3. 前記成形部は、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体の構造を有し、前記大気遮蔽手段は、前記中空体の内部空間に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給するための配管であることを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス製造装置の成形部。
  4. 前記成形部は、構造体をイリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造を有し、かつ、前記大気遮蔽手段は、前記構造体と前記被覆しているイリジウム又はイリジウム合金との間隙に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給するための配管であることを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス製造装置の成形部。
  5. 前記大気遮蔽手段は、前記成形部の外表面のうち前記溶融ガラスと接触していない表面部分を保護しつつ前記成形部を支持する耐火物材料からなる支持部材であることを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載のガラス製造装置の成形部。
  6. 前記不活性ガスが、窒素ガスであることを特徴とする請求項3又は4に記載のガラス製造装置の成形部。
  7. 前記イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体の内部空間に、金属又はセラミックスの梁が通されて前記成形部が支持されていることを特徴とする請求項3に記載のガラス製造装置の成形部。
  8. 前記イリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造体はセラミックス又は金属で形成されてなり、前記成形部は前記構造体によって支持されていることを特徴とする請求項4に記載のガラス製造装置の成形部。
  9. 前記金属がイリジウム又はイリジウム合金であることを特徴とする請求項7又は8に記載のガラス製造装置の成形部。
  10. 前記被覆しているイリジウム又はイリジウム合金の厚みが、0.5〜3.0mmであることを特徴とする請求項2又は4に記載のガラス製造装置の成形部。
  11. 前記成形部は、前記支持部材によってかけられる両端から内側への圧力により、前記成形部の上面が直線状に保持されることを特徴とする請求項5に記載のガラス製造装置の成形部。
  12. 溶融ガラスの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金からなるガラス製造装置の成形部を用いて、フュージョン法によってガラス成形品を製造する方法において、前記成形部を取り囲む製造雰囲気を、不活性ガス雰囲気又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気とすることを特徴とするガラス成形品の製造方法。
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