JP2009032769A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スイッチング素子IGBT102と逆並列接続する還流用ダイオードを、順方向電流が流れ始める電圧値のオン電圧が互いに異なる半導体材料からなる第1のダイオードのSiCダイオード106と第2のダイオードのSiダイオード107とを並列に接続し、かつ、少なくとも、還流用ダイオードの順方向電流が遮断する際のリカバリ電流に関し、第1のダイオードのSiCダイオード106よりもオン電圧が低い第2のダイオードのSiダイオード107のリカバリ電流の遮断速度があらかじめ定めた閾値よりも緩やかになるように調整する。また、SiCダイオードをショットキー型ダイオード、SiダイオードをPN接合型ダイオードまたはPIN型ダイオードとする。
【選択図】図1
Description
Diode)が適用されている。
図1は、本発明に係る第1の実施形態の半導体装置を適用するスイッチ回路の構成を示す回路図であり、パワー用のスイッチ回路として誘導負荷Lmを駆動するハーフブリッジ回路100の回路構成の一例を示している。図1のハーフブリッジ回路100においては、Si製のスイッチング素子IGBT102およびIGBT103が、入力電源の正側、負側の電源端子104,105間に直列に接続され、かつ、スイッチング素子IGBT102とIGBT103との接続点に駆動対象となる誘導負荷Lmが接続される。
Vfp: 還流用ダイオード順方向電圧の最大値(V)
x : 電気角(rad)
Duty:スイッチング素子駆動用のPWM信号のデューティ
式(1)より、スイッチング素子駆動用のPWM信号のデューティが一定であっても、還流用ダイオードの順方向電流の最大値Ifpと順方向電圧の最大値Vfpとの積を小さくすれば、還流用ダイオードの伝導損失Psatつまりスイッチング損失を低減することが可能であることがわかる。
Vf: 還流用ダイオード順方向電圧(V)
Js: デバイス定数
k: ボルツマン定数
q: 電荷量(1.6×10−19)(C)
T: 絶対温度(k)
さらに、還流用ダイオードの順方向電流Ifは、前述の還流用ダイオード順方向電流密度Jとチップ面積Dとの積、
If=J×D
として表すことができるので、式(1)および式(2)より、Siダイオードの還流用ダイオード順方向電圧つまりSiダイオード107の両端電圧Vfが同じ電圧値であった場合、チップサイズすなわちチップ面積Dを大きくことにより、Siダイオード107の還流用ダイオードの順方向電流Ifを大きくすることができることがわかる。
次に、第1の実施形態の図1に示す還流用ダイオードを構成するSiCダイオード106、Siダイオード107からなる半導体装置10のチップ構成の一例について、図8、図9を用いて説明する。
次に、本発明の第3の実施形態について図10を用いて説明する。図10は、本発明に係る半導体装置の第3の実施形態として、SiCダイオードとSiダイオードとを並列接続した半導体装置のチップ構造の一例を示す構造図であり、第2の実施形態において示した図8、図9の場合とは異なり、図1のハーフブリッジ回路100において、スイッチング素子IGBT102に逆並列接続する第1のダイオードのSiCダイオード106、第2のダイオードのSiダイオード107の半導体装置10として、第1のダイオードのSiCダイオード107を形成する第1の半導体チップであるSiCダイオードチップ内に、第2のダイオードのSiダイオード107を形成した一例を示している。
以上に説明した各実施形態においては、還流用ダイオードとしてSiCダイオードとSiダイオードとを、1個ずつ、並列接続して構成した場合について説明したが、前述したように、本発明は、かかる場合に限るものではなく、SiCダイオードおよび/またはSiダイオードを、複数個さらに並列接続して構成するようにしても良いし、また、還流用ダイオードの第1のダイオード、第2のダイオードとして、SiCダイオード、Siダイオード以外のGa(ガリウム)系やIn(インジウム)系やGe(ゲルマニウム)系などの半導体材料からなるダイオードを採用しても良い。
Claims (10)
- パワー用スイッチ回路に用いられる還流用ダイオードを実装する半導体装置において、前記還流用ダイオードを、順方向電流が流れ始める電圧値であるオン電圧が互いに異なる半導体材料からなる第1のダイオードと第2のダイオードとを並列に接続して構成し、かつ、少なくとも、前記還流用ダイオードの順方向電流が遮断する際に、前記第1のダイオードよりもオン電圧が低い前記第2のダイオードのリカバリ電流の遮断速度があらかじめ定めた閾値よりも緩やかであることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の半導体装置において、前記第1のダイオードおよび/または前記第2のダイオードが、並列接続した複数個のダイオードから構成されることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1または2に記載の半導体装置において、前記第1のダイオードは、半導体材料としてSiC(炭化シリコン)を用いたSiCダイオードであり、前記第2のダイオードは、半導体材料としてSi(シリコン)を用いたSiダイオードであることを特徴とする半導体装置。
- 請求項3に記載の半導体装置において、前記第1のダイオードを形成するSiCダイオードが、ショットキー型ダイオードであり、前記第2のダイオードを形成するSiダイオードが、PN接合型ダイオードまたはPIN型ダイオードであることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体装置において、前記第1のダイオードを形成する第1の半導体チップと前記第2のダイオードを形成する第2の半導体チップとを、両者の半導体チップ間の距離、および、給配電用のブスバーとの間の距離が、あらかじめ定めた閾値以内に収まるように、互いに隣接させて、同一の回路基板上または同一の前記ブスバー上に配置することを特徴とする半導体装置。
- 請求項5に記載の半導体装置において、前記第1の半導体チップと前記第2の半導体チップとを、同一の回路基板上に隣接させて配置する場合、前記第1の半導体チップと前記第2の半導体チップとを並列接続する前記ブスバーに対して、平行な状態で配置することを特徴とする半導体装置。
- 請求項5に記載の半導体装置において、前記第1の半導体チップと前記第2の半導体チップとを、同一の回路基板上に隣接させて配置する場合、前記第1の半導体チップと前記第2の半導体チップとを並列接続する前記ブスバーに対して、垂直な状態で配置することを特徴とする半導体装置。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体装置において、前記第1のダイオードを形成する第1の半導体チップ内に前記第2のダイオードを形成することを特徴とする半導体装置。
- 請求項1ないし8のいずれかに記載の半導体装置において、さらに、前記還流用ダイオードと逆並列接続するスイッチング素子を、前記還流用ダイオードと同一の回路基板上または同一の給配電用のブスバー上に形成することを特徴とする半導体装置。
- 請求項9に記載の半導体装置において、前記還流用ダイオードと逆並列接続する前記スイッチング素子が、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)であることを特徴とする半導体装置。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010200585A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Nissan Motor Co Ltd | スイッチング回路 |
JP2010206106A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置、電力変換装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2011004243A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | スイッチ回路 |
JP2012156548A (ja) * | 2012-04-18 | 2012-08-16 | Hitachi Ltd | フリーホイールダイオードを有する回路装置 |
US8643345B2 (en) | 2009-03-31 | 2014-02-04 | Fuji Electric Co., Ltd. | Combined semiconductor rectifying device and the electric power converter using the same |
WO2014049807A1 (ja) | 2012-09-28 | 2014-04-03 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置、およびそれを用いた電力変換装置 |
JP2015065767A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 東芝ライテック株式会社 | 整流回路、電子回路及び電子機器 |
JP2015082841A (ja) * | 2013-10-22 | 2015-04-27 | アーベーベー・テクノロジー・アーゲー | 半導体モジュールおよびこのようなモジュール上で逆導電トランジスタを切り換える方法 |
EP2947772A1 (en) * | 2014-05-23 | 2015-11-25 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device and power converter using the same |
JPWO2015114787A1 (ja) * | 2014-01-31 | 2017-03-23 | 株式会社日立製作所 | 半導体素子の駆動装置およびそれを用いた電力変換装置 |
CN112750811A (zh) * | 2019-10-30 | 2021-05-04 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置 |
CN112805830A (zh) * | 2019-04-01 | 2021-05-14 | 富士电机株式会社 | 半导体模块 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017045901A (ja) | 2015-08-27 | 2017-03-02 | トヨタ自動車株式会社 | 還流ダイオードと車載用電源装置 |
JP6542174B2 (ja) | 2016-09-21 | 2019-07-10 | 株式会社東芝 | 半導体装置及び半導体装置の制御方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11510000A (ja) * | 1995-06-21 | 1999-08-31 | エービービー リサーチ リミテッド | 変換器回路、少なくとも1つのスイッチングデバイスを有する回路結合構成および回路モジュール |
JP2008271207A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Hitachi Ltd | フリーホイールダイオードとを有する回路装置 |
-
2007
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11510000A (ja) * | 1995-06-21 | 1999-08-31 | エービービー リサーチ リミテッド | 変換器回路、少なくとも1つのスイッチングデバイスを有する回路結合構成および回路モジュール |
JP2008271207A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Hitachi Ltd | フリーホイールダイオードとを有する回路装置 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010200585A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Nissan Motor Co Ltd | スイッチング回路 |
JP2010206106A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置、電力変換装置及び半導体装置の製造方法 |
US8643345B2 (en) | 2009-03-31 | 2014-02-04 | Fuji Electric Co., Ltd. | Combined semiconductor rectifying device and the electric power converter using the same |
JP2011004243A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | スイッチ回路 |
JP2012156548A (ja) * | 2012-04-18 | 2012-08-16 | Hitachi Ltd | フリーホイールダイオードを有する回路装置 |
JP5948426B2 (ja) * | 2012-09-28 | 2016-07-06 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置、およびそれを用いた電力変換装置 |
WO2014049807A1 (ja) | 2012-09-28 | 2014-04-03 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置、およびそれを用いた電力変換装置 |
JP2015065767A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 東芝ライテック株式会社 | 整流回路、電子回路及び電子機器 |
JP2015082841A (ja) * | 2013-10-22 | 2015-04-27 | アーベーベー・テクノロジー・アーゲー | 半導体モジュールおよびこのようなモジュール上で逆導電トランジスタを切り換える方法 |
JPWO2015114787A1 (ja) * | 2014-01-31 | 2017-03-23 | 株式会社日立製作所 | 半導体素子の駆動装置およびそれを用いた電力変換装置 |
EP2947772A1 (en) * | 2014-05-23 | 2015-11-25 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device and power converter using the same |
JP2015222777A (ja) * | 2014-05-23 | 2015-12-10 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置およびそれを用いた電力変換装置 |
US9654027B2 (en) | 2014-05-23 | 2017-05-16 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device and power converter using the same |
CN112805830A (zh) * | 2019-04-01 | 2021-05-14 | 富士电机株式会社 | 半导体模块 |
CN112750811A (zh) * | 2019-10-30 | 2021-05-04 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置 |
JP2021072348A (ja) * | 2019-10-30 | 2021-05-06 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP7178980B2 (ja) | 2019-10-30 | 2022-11-28 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
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