JP2009021340A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レチクルステージを支持する構造体のうち、第1支持部材によって支持されていない隅部に、振動を減衰させる手段を備えた第2支持部材を設ける。
【選択図】図1
Description
まず以下に、本実施例の露光装置の大まかな説明する。図8に示すように、露光装置105は、照明装置101、レチクルを搭載したレチクルステージ102、投影光学系103、ウエハを搭載したウエハステージ104とを有する。露光装置105は、レチクルに形成された回路パターンをウエハに投影露光するものであり、ステップアンドリピート投影露光方式またはステップアンドスキャン投影露光方式であってもよい。
本発明の別の実施形態としては、実施例1に記載の露光装置において、振動を減衰させる機構15を、図7に示すアクティブダンパーにしたものがある。このアクティブダンパーは、主に、計測手段29とアクチュエータ28によって構成される。計測手段29は、レチクルステージ11を支持する構造体12と投影光学系17を支持する構造体16との間の相対距離を計測するものである。
次に、図9及び図10を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。
2 レチクルステージを支持する構造体
3 第1支持部材
4 第2支持部材
5 振動を減衰させる手段
6 面
11 レチクルステージ
12 レチクルステージを支持する構造体
13 第1支持部材
14 第2支持部材
15 振動を減衰させる機構
16 投影光学系を支持する構造体
17 投影光学系
Claims (6)
- レチクルのパターンで基板を露光する露光装置において、
前記レチクルを保持するレチクルステージと、
前記レチクルステージを支持するn(n≧4)角形の構造体と、
前記構造体を3箇所で支持する3つの第1支持部材と、
前記3つの第1支持部材の少なくとも一つよりも前記構造体の角に近い位置で前記構造体を支持する第2支持部材とを有し、
前記第2支持部材は前記構造体の振動を減衰させる手段を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記第2支持部材は、前記レチクルステージを支持する構造体のn箇所の隅部のうち、前記第1支持部材で支持されていない隅部を支持することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記第1支持部材は、キネマティックマウントであることを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記振動を減衰させる手段は、シリンダとピストンとシリンダ内部に封入された粘性流体とを備え、
前記シリンダと前記ピストンとの間を通過する粘性流体の抵抗を利用することを特徴とする請求項1〜3に記載の露光装置。 - 前記振動を減衰させる機構は、前記レチクルステージを支持する構造体と、前記第1支持部材と前記第2支持部材とが設置される面との間の距離を計測する計測手段と、
前記計測手段の出力信号にもとづいて、前記構造体と前記面との間の振動を抑制する向きに力を発生させるアクチュエータとを備えることを特徴とする請求項1〜3に記載の露光装置。 - 請求項1〜5の露光装置を用いてウエハを露光する工程と、
前記ウエハを現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007182153A JP5264112B2 (ja) | 2007-07-11 | 2007-07-11 | 露光装置 |
KR1020080064230A KR20090006748A (ko) | 2007-07-11 | 2008-07-03 | 노광장치 및 디바이스 제조방법 |
TW097125739A TW200921760A (en) | 2007-07-11 | 2008-07-08 | Exposure apparatus and device manufacturing method |
US12/170,380 US7626683B2 (en) | 2007-07-11 | 2008-07-09 | Exposure apparatus and device manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007182153A JP5264112B2 (ja) | 2007-07-11 | 2007-07-11 | 露光装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009021340A true JP2009021340A (ja) | 2009-01-29 |
JP2009021340A5 JP2009021340A5 (ja) | 2010-08-26 |
JP5264112B2 JP5264112B2 (ja) | 2013-08-14 |
Family
ID=40252823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007182153A Expired - Fee Related JP5264112B2 (ja) | 2007-07-11 | 2007-07-11 | 露光装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7626683B2 (ja) |
JP (1) | JP5264112B2 (ja) |
KR (1) | KR20090006748A (ja) |
TW (1) | TW200921760A (ja) |
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-
2007
- 2007-07-11 JP JP2007182153A patent/JP5264112B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-07-03 KR KR1020080064230A patent/KR20090006748A/ko active IP Right Grant
- 2008-07-08 TW TW097125739A patent/TW200921760A/zh unknown
- 2008-07-09 US US12/170,380 patent/US7626683B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7626683B2 (en) | 2009-12-01 |
KR20090006748A (ko) | 2009-01-15 |
US20090015817A1 (en) | 2009-01-15 |
JP5264112B2 (ja) | 2013-08-14 |
TW200921760A (en) | 2009-05-16 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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|
A521 | Written amendment |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20121019 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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