JP2009018269A - ガス分離装置及びガス分離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のガスを含有する被処理ガスから特定ガスを分離、濃縮するガス分離装置において、直列に接続された内部を減圧状態にした複数のカラムを用い、複数の分離手段のうち少なくとも2つにおいて分離条件の少なくとも1つを異ならせることにより、特定ガスを高純度、高回収率で分離することができる。
【選択図】図1
Description
(1)λ<<Dの場合
このとき、ガスを構成する分子同士の衝突が十分に起こって一定の速度分布に達しており、ガスを連続流体として取り扱うことができる。このような取扱いが可能な領域は粘性流領域と呼ばれる。円管内の気体、すなわち円管流の場合、λ/Dの値がおおよそ0.01以下の場合には、粘性流領域に該当すると言われている。
(2)λ>>Dの場合
これに対し、装置内を減圧していく場合や、装置内を超高真空に排気した後ガスを導入する場合には、ガスの平均自由行程λが長くなり、領域内での分子衝突が不十分になる。このように、ガスを構成する分子同士の衝突よりも、分子と装置の器壁との衝突により、ガスの運動が規定されるような領域は分子流領域と呼ばれる。このとき、気体分子は連続流体ではなく、粒子として扱われる。円管流の場合、λ/Dの値がおおよそ10以上の場合には、分子流領域に該当すると言われている。
(3)両者の中間の場合
λ/Dの値が粘性流領域と分子流領域との中間にある場合のガスの流れは、中間流と呼ばれる。また、λ/Dの値が0.01〜0.1の場合にはすべり流、λ/Dの値が0.1〜10の場合には遷移流などと呼ばれることもある。
図3に示す実験装置を使用して、SF6と窒素(N2)との混合ガス(被処理ガス)の分離を行った。回収率向上を目的として、前段と後段とで分離条件のうちカラム温度を異ならせた。カラムは、外径19.05mm、内径16.57mm、長さ1.0Mのもの(材質:SUS製)を2本直列に接続して使用した。カラムの充填剤としてモレキュラシーブ13X(GLサイエンス社製)を使用した。カラム温度はカラム1(前段)を40℃、カラム2(後段)を120℃にした。カラム出口を真空ポンプにて1.0×10−3Pa程度の真空にした状態で、SF6/N2を含む混合ガスの分離を行った。1段目のガス供給濃度は85%SF6(N2バランス)で2.0SLMでボンベから供給した。供給時間は2分とした。実際には2段目からの混合ガスの返送により2.4SLMとなった。分析回収ライン(SF6)中のN2濃度をガスクロマトグラフ(株式会社島津製作所製GC−8APT(特)型)によって分析することでSF6濃度を求めた。他の不純物はないとした。クロマトの運転工程を図4に示す。1段目のカラムの回収出口にはバッファの為のボンベを設置し、2段目のクロマト分離のバッチ運転に対応させた。その結果得られた1段目のカラムの分析結果を図5に、2段目のカラムの分析結果を図6に示す。表1に結果をまとめた。
図3に示す実験装置を使用して、SF6と窒素(N2)との混合ガス(被処理ガス)の分離を行った。分離能向上を目的として、前段と後段とで分離条件のうちガス供給流速を異ならせた以外は実施例1と同様にして行った。以外は実施例1と同様にして行った。その結果得られた1段目のカラムの分析結果を図7に、2段目のカラムの分析結果を図8に示す。表1に結果をまとめた。
図9に示す実験装置を使用して、SF6と窒素(N2)との混合ガス(被処理ガス)の分離を行った。カラムは、外径19.05mm、内径16.57mm、長さ1.0Mのもの(材質:SUS製)を1本使用した以外は実施例1と同様にして行った。クロマトの運転工程を図10に示す。モレキュラシーブ13Xに対してN2は供給してすぐに排出が始まった。一方SF6は遅れて排出された。この工程を20分/サイクルで繰り返した(図11)。その結果得られた分離結果のGC分析結果を図12に示す。表1に結果をまとめた。
図3に示す実験装置を使用して、SF6と窒素(N2)との混合ガス(被処理ガス)の分離を行った。前段と後段とで分離条件を同じとした以外は実施例1と同様にして行った。その結果得られた1段目のカラムの分析結果を図13に、2段目のカラムの分析結果を図14に示す。表1に結果をまとめた。
Claims (15)
- 複数のガスを含有する被処理ガスから特定ガスを分離するガス分離装置であって、
カラムを利用して前記特定ガスを他のガスから分離するための直列に接続された複数の分離手段と、
前記カラム内部を減圧状態にする吸引手段と、
を有し、
前記複数の分離手段のうち少なくとも2つにおいて、分離条件の少なくとも1つが異なることを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1に記載のガス分離装置であって、
前記複数の分離手段のうち後段側から排出されたガスを前段側に返送する返送手段を有することを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1または2に記載のガス分離装置であって、
前記異なる分離条件が、前記カラムの充填剤の種類、前記カラムの充填剤の有無、前記カラムの温度、前記カラムの材質、前記カラムの形状、前記カラムの数、前記カラムに流通する被処理ガスの圧力、前記カラムに流通する被処理ガスの供給流量、前記カラムに流通する被処理ガスの供給流速、前記カラムに流通する被処理ガスの供給形態、及びキャリアガスの有無のうち少なくとも1つであることを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のガス分離装置であって、
前記カラム内部の圧力が1気圧未満であることを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のガス分離装置であって、
前記分離手段において複数のカラムを使用して、これら複数のカラムを順次利用することを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のガス分離装置であって、
前記分離手段において、前記カラム内の前記被処理ガスの流れは中間流あるいは分子流であることを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載のガス分離装置であって、
前記分離手段において、前記被処理ガスを移送するためのガスを使用せずに前記特定ガスを分離することを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載のガス分離装置であって、
前記カラムの出口に設けられた、分離後の特定ガスを回収するための流路を切り替える流路切替手段と、
前記カラムの出口から排出されるガスの分析を行う分析手段と、
を有し、
前記流路切替手段を切り替えるタイミングの決定は、前記分析手段の分析結果に基づいて行われることを特徴とするガス分離装置。 - 請求項8に記載のガス分離装置であって、
前記分析手段は、ガスの成分を特定することができる手段であることを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載のガス分離装置であって、
前記吸引手段は、前記カラムの一端側に設けられており、
前記カラムの他端側に設けられ、所定量の被処理ガスをパルス的にカラムに供給するように、被処理ガスのカラムへの供給を制御する供給制御手段と、
所定のタイミングで前記カラムから排出されるガスを採取する採取手段と、
を有し、
前記採取手段は前記被処理ガスがカラム内を移動する際に前記被処理ガスの構成成分の質量の差に起因する移動度の差を利用して前記特定ガスが濃縮された部分を採取することを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1〜10のいずれか1項に記載のガス分離装置であって、
前記被処理ガスがSF6とN2との混合ガスまたはNF3とSF6との混合ガスであり、前記複数の分離手段のうち前段側のカラムの充填材がモレキュラシーブ13X、後段側のカラムの充填剤がモレキュラシーブ5Aであることを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1〜10のいずれか1項に記載のガス分離装置であって、
前記被処理ガスがCF4とC2F6との混合ガスであり、前記複数の分離手段のうち前段側のカラムの充填材がモレキュラシーブ13X、後段側のカラムの充填剤がモレキュラシーブ3Aであることを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1〜10のいずれか1項に記載のガス分離装置であって、
前記被処理ガスがCF4とCHF3との混合ガスまたはCF4とNF3との混合ガスであり、前記複数の分離手段のうち前段側のカラムの充填材が活性炭、後段側のカラムの充填剤がシリカゲルであることを特徴とするガス分離装置。 - 複数のガスを含有する被処理ガスから特定ガスを分離するガス分離方法であって、
減圧下において、直列に接続された複数のカラムを用い、前記複数のカラムのうち少なくとも2つにおいて分離条件の少なくとも1つを異ならせて、前記被処理ガスの構成成分の質量の差に起因する移動度の差を利用して前記特定ガスが濃縮された部分を生じさせ、この特定ガスが濃縮された部分を採取することを特徴とするガス分離方法。 - 請求項14に記載のガス分離方法であって、
前記被処理ガスをカラムの一端から流入させ、被処理ガスにおける構成成分の各ガスにおけるカラム他端に到達する時間差を利用して前記特定ガスが濃縮された部分を採取することを特徴とするガス分離方法。
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