JP4787550B2 - ガス分離方法及びガス分離装置 - Google Patents
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Description
図3に示す実験装置を使用して、PFCであるNF3とSF6との混合ガス(被処理ガス)の分離を行った。カラムは、内径60.5mm、長さ2.0mのものを1本使用した。カラム温度は120℃とし、充填材としてモレキュラシーブ13X(GLサイエンス社製、粒径60〜80メッシュ)を使用した。カラム出口を真空ポンプにて吸引しながら、NF3/SF6(NF3:1.0SLM、SF6:1.0SLM)の混合ガスを10分間導入した後、キャリアガスとして窒素10.0SLMを5分間供給してパージした(押出し)後、窒素の供給を5分間停止した。その後、窒素10.0SLM供給5分間、窒素供給停止5分間の操作を7回繰り返した。カラム出口から排出されるガスについてフーリエ変換赤外分光光度計(FT−IR、株式会社堀場エステック製、FG−100型)で分析した。
図3に示す実験装置を使用して、キャリアガスとして窒素10.0SLMを連続的にカラムに供給した以外は実施例1と同様にしてPFCであるNF3とSF6との混合ガス(被処理ガス)の分離を行った。カラム出口から排出されるガスについて実施例1と同様にして分析を行った。
Claims (9)
- 複数成分の特定ガスを含有する被処理ガスから各特定ガスを分離するガス分離方法であって、
前記被処理ガスを充填材が充填されたカラムに流通させて前記各特定ガスを分離する分離工程を含み、
前記分離工程において、前記被処理ガスを移送するためのガスを前記カラムに供給する操作と停止する操作とを所定の時間間隔で繰り返して供給することを特徴とするガス分離方法。 - 請求項1に記載のガス分離方法であって、
前記特定ガスはPFCガスであることを特徴とするガス分離方法。 - 請求項2に記載のガス分離方法であって、
前記PFCガスは、C,N,Sのうち少なくとも1つの元素を構成元素とするフッ素化合物のいずれか1つを含むことを特徴とするガス分離方法。 - 請求項3に記載のガス分離方法であって、
前記PFCガスは、CF4,C2F6,C3F8,CHF3,SF6,NF3またはCOF2のいずれか1つを含むことを特徴とするガス分離方法。 - 請求項2〜4のいずれか1項に記載のガス分離方法であって、
前記被処理ガスは、窒素を含むことを特徴とするガス分離方法。 - 請求項5に記載のガス分離方法であって、
前記PFCガスはNF3及びSF6であり、前記充填材はモレキュラシーブ13Xであることを特徴とするガス分離方法。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載のガス分離方法であって、
前記被処理ガスを移送するためのガスは、不活性ガスであることを特徴とするガス分離方法。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載のガス分離方法であって、
前記分離工程において複数のカラムを使用して、これら複数のカラムを順次利用することを特徴とするガス分離方法。 - 複数成分の特定ガスを含有する被処理ガスから各特定ガスを分離するガス分離装置であって、
充填材が充填されたカラムを利用して、前記各特定ガスを分離する分離手段と、
前記被処理ガスを移送するためのガスを前記カラムに供給する操作と停止する操作とを所定の時間間隔で繰り返して供給する供給手段と、
を有することを特徴とするガス分離装置。
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