JP4683543B2 - ガス分離方法及びガス分離装置 - Google Patents
ガス分離方法及びガス分離装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4683543B2 JP4683543B2 JP2005176605A JP2005176605A JP4683543B2 JP 4683543 B2 JP4683543 B2 JP 4683543B2 JP 2005176605 A JP2005176605 A JP 2005176605A JP 2005176605 A JP2005176605 A JP 2005176605A JP 4683543 B2 JP4683543 B2 JP 4683543B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- column
- pfc
- processed
- nitrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Description
図4に示す実験装置を使用して、PFCであるCF4とC2F6との混合ガス(被処理ガス)の分離を行った。カラムは、内径60.5mm、長さ2.0mのものを1本使用した。カラム温度は120℃とし、充填材としてモレキュラシーブ13X(GLサイエンス社製、粒径60〜80メッシュ)を使用した。カラム出口を真空ポンプにて吸引しながら、CF4/C2F6(CF4:1.0SLM、C2F6:1.0SLM)の混合ガスを10分間導入した後、窒素10.0SLMでパージした(押出し)。カラム出口から排出されるガスについてフーリエ変換赤外分光光度計(FT−IR、株式会社堀場エステック製、FG−100型)で分析した。
参考例1の結果を元に、図1及び図2に示すガス分離装置を用い、図3に示す運転工程表に基づいてCF4とC2F6との混合ガス(被処理ガス)の連続分離を行った。カラムは、内径60.5mm、長さ2.0mのものを使用した。カラム温度は120℃とし、充填材としてモレキュラシーブ13X(GLサイエンス社製、粒径60〜80メッシュ)を使用した。参考例1の結果より、被処理ガスのカラムへの供給時間を10分とし、未分離混合ガスのカラムからの排出時間3分より長く設定し、PFC供給が10分で、1バッチが40分であるからカラム数は40÷10=4本とした。
図4に示す実験装置を使用して、CF4/C2F6(CF4:1.0SLM、C2F6:1.0SLM)の混合ガスの導入時間を5分間とした以外は、参考例1と同様にしてPFCであるCF4とC2F6との混合ガス(被処理ガス)の分離を行った。カラム出口から排出されるガスについて参考例1と同様にして分析を行った。
図1及び図2に示すガス分離装置を用い、図7に示す運転工程表に基づいてCF4とC2F6との混合ガス(被処理ガス)の連続分離を行った。カラム、充填材、カラム温度は実施例1と同じとした。参考例2の結果より、被処理ガスのカラムへの供給時間を5分とし、未分離混合ガスのカラムからの排出がない、すなわちCF4とC2F6との排出が重ならないようにした。PFC供給が5分で、1バッチが35分であるからカラム数は35÷5=7本とした。
図4に示す実験装置を使用して、CF4/C2F6(CF4:1.0SLM、C2F6:1.0SLM)の混合ガスの導入時間を20分間とした以外は、参考例1と同様にしてPFCであるCF4とC2F6との混合ガス(被処理ガス)の分離を行った。カラム出口から排出されるガスについて参考例1と同様にして分析を行った。
図1及び図2に示すガス分離装置を用い、図9に示す運転工程表に基づいてCF4とC2F6との混合ガス(被処理ガス)の連続分離を行った。カラム、充填材、カラム温度は実施例1と同じとした。参考例3の結果より、被処理ガスのカラムへの供給時間を20分とし、未分離混合ガスのカラムからの排出時間16分より長く設定した。また、PFC供給が20分で、1バッチが100分であるからカラム数は100÷20=5本とすればよいが、この条件ではPFCガス供給中に未分離混合ガスが排出されてくるため、次のカラムに未分離混合ガスを送るとすると、図9のようにカラム数が12本必要になってしまった。
図4に示す実験装置を使用して、CF4/C2F6(CF4:1.0SLM、C2F6:1.0SLM)の混合ガスの導入時間を10分間とした後、窒素2.0SLMでパージした(押出し)以外は、参考例1と同様にしてPFCであるCF4とC2F6との混合ガス(被処理ガス)の分離を行った。カラム出口から排出されるガスについて参考例1と同様にして分析を行った。
図1及び図2に示すガス分離装置を用い、図11に示す運転工程表に基づいてCF4とC2F6との混合ガス(被処理ガス)の連続分離を行った。カラム、充填材、カラム温度は実施例1と同じとした。参考例4の結果より、被処理ガスのカラムへの供給時間を10分とし、未分離混合ガスのカラムからの排出時間15分より短く設定した。また、PFC供給が10分で、1バッチが90分であるからカラム数は90÷10=9本とした。
Claims (8)
- 複数成分の特定ガスを含有する被処理ガスから各特定ガスを分離するガス分離方法であって、
前記被処理ガスを充填材が充填されたカラムに流通させて前記各特定ガスを分離し、複数の前記カラムを順次利用して前記各特定ガスを連続的に分離する分離工程と、
前記各カラムから排出される混合ガスであって、各特定ガスが分離されていない未分離混合ガスを移送して被処理ガスと共に次のカラムに供給する移送工程と、
を含み、
前記被処理ガスの前記各カラムへの供給を前記各カラムから未分離混合ガスが排出を始めるまでに停止し、かつ、前記被処理ガスの前記各カラムへの供給時間を、前記未分離混合ガスの前記各カラムからの排出時間以上とすることを特徴とするガス分離方法。 - 請求項1に記載のガス分離方法であって、
前記特定ガスはPFCガスであることを特徴とするガス分離方法。 - 請求項2に記載のガス分離方法であって、
前記PFCガスは、C,N,Sのうち少なくとも1つの元素を構成元素とするフッ素化合物のいずれか1つを含むことを特徴とするガス分離方法。 - 請求項3に記載のガス分離方法であって、
前記PFCガスは、CF4,C2F6,C3F8,CHF3,SF6,NF3またはCOF2のいずれか1つを含むことを特徴とするガス分離方法。 - 請求項2〜4のいずれか1項に記載のガス分離方法であって、
前記被処理ガスは、窒素を含むことを特徴とするガス分離方法。 - 請求項5に記載のガス分離方法であって、
前記PFCガスはCF4及びC2F6であり、前記充填材はモレキュラシーブ13Xであることを特徴とするガス分離方法。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載のガス分離方法であって、
前記分離工程において、前記被処理ガスを移送するためのガスとして不活性ガスを使用することを特徴とするガス分離方法。 - 複数成分の特定ガスを含有する被処理ガスから各特定ガスを分離するガス分離装置であって、
充填材が充填された複数のカラムを有し、前記複数のカラムを順次利用して、前記特定ガスを連続的に分離する分離手段と、
前記各カラムから排出される混合ガスであって、各特定ガスが分離されていない未分離混合ガスを、次のカラムに移送する移送手段と、
を有し、
前記被処理ガスの前記各カラムへの供給を前記各カラムから未分離混合ガスが排出を始めるまでに停止し、かつ、前記被処理ガスの前記各カラムへの供給時間を、前記未分離混合ガスの前記各カラムからの排出時間以上とすることを特徴とするガス分離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005176605A JP4683543B2 (ja) | 2005-06-16 | 2005-06-16 | ガス分離方法及びガス分離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005176605A JP4683543B2 (ja) | 2005-06-16 | 2005-06-16 | ガス分離方法及びガス分離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006346590A JP2006346590A (ja) | 2006-12-28 |
JP4683543B2 true JP4683543B2 (ja) | 2011-05-18 |
Family
ID=37642982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005176605A Expired - Fee Related JP4683543B2 (ja) | 2005-06-16 | 2005-06-16 | ガス分離方法及びガス分離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4683543B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5117797B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2013-01-16 | エア・ウォーター株式会社 | パーフルオロカーボンガスの精製方法および装置 |
JP5074132B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2012-11-14 | エア・ウォーター株式会社 | パーフルオロコンパウンドガスの精製方法および装置 |
JP2012194042A (ja) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Taiyo Nippon Sanso Corp | ガス分析計用前処理装置 |
CN111019110B (zh) * | 2019-12-25 | 2022-03-29 | 四川晨光博达新材料有限公司 | 一种联产氢氟酸和有机碳酸酯的尾气处理方法 |
CN114471468B (zh) * | 2021-12-14 | 2024-01-23 | 安徽新力电业科技咨询有限责任公司 | 应用金属-有机框架材料吸附分离六氟化硫中八氟丙烷的方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002273144A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-24 | Japan Atom Energy Res Inst | ガス分離装置 |
JP2004307507A (ja) * | 2003-04-08 | 2004-11-04 | Air Products & Chemicals Inc | 活性炭上での吸着によるcf4からc2f6の分離 |
-
2005
- 2005-06-16 JP JP2005176605A patent/JP4683543B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002273144A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-24 | Japan Atom Energy Res Inst | ガス分離装置 |
JP2004307507A (ja) * | 2003-04-08 | 2004-11-04 | Air Products & Chemicals Inc | 活性炭上での吸着によるcf4からc2f6の分離 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006346590A (ja) | 2006-12-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6551387B2 (en) | Gas separation apparatus | |
JP4212106B2 (ja) | ガス分離装置及びガス分離方法 | |
KR101107196B1 (ko) | 가스 분리 장치 및 가스 분리 방법 | |
JP4683543B2 (ja) | ガス分離方法及びガス分離装置 | |
US6530980B2 (en) | Gas separation apparatus | |
JP5093635B2 (ja) | ガス分離装置 | |
JP2019195758A (ja) | ガス分離装置及びガス分離方法 | |
JP4538622B2 (ja) | ガス分離装置 | |
JP4787550B2 (ja) | ガス分離方法及びガス分離装置 | |
JP4683544B2 (ja) | ガス分離方法及びガス分離装置 | |
KR101596150B1 (ko) | 불소화합물의 처리방법 및 이를 이용한 불소화합물의 처리장치 | |
EP1205232B1 (en) | Gas separation apparatus and gas separation method | |
JP2000005561A (ja) | フッ化物の処理方法 | |
JP2005046746A (ja) | ガス分離装置 | |
JP2000334249A (ja) | 膜と吸着を連続して用いる半導体製造における排ガスからのフッ素化合物の分離方法 | |
JP2020006324A (ja) | ガス分離装置及びガス分離方法 | |
JP2000117052A (ja) | フッ化物の回収方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080123 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100614 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110201 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110204 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140218 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |