JP2005046746A - ガス分離装置 - Google Patents
ガス分離装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005046746A JP2005046746A JP2003282061A JP2003282061A JP2005046746A JP 2005046746 A JP2005046746 A JP 2005046746A JP 2003282061 A JP2003282061 A JP 2003282061A JP 2003282061 A JP2003282061 A JP 2003282061A JP 2005046746 A JP2005046746 A JP 2005046746A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- nitrogen
- separated
- separation
- pfc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】製造工程10から生じるCF4、C2F6を含むPFCガスを含有する排ガスを濃縮装置18で濃縮した後、窒素をキャリアガスとしてクロマト分離装置20でクロマト分離する。このクロマト分離装置20には、モレキュラーシーブ13XやF−9を充填しておく。これによって、PFCガス中のCF4,C2F6を効果的に分離することができる。
【選択図】図1
Description
試験カラムとして外径1/8インチ、5mのものを1つ用意し、ここにモレキュラーシーブ13X(ジーエルサイエンス社製)で粒径60〜80メッシュ(180〜250μm)のものを充填した。
Claims (3)
- 少なくともCF4とC2F6を含有する被処理ガスから各ガスを分離するガス分離装置であって、
CF4およびC2F6の両方の有効直径より大きな径の吸着細孔を有するゼオライトが充填されたカラムを有し、これを利用して被処理ガスをクロマト分離することを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記ゼオライトは、モレキュラーシーブ13Xまたはその同等品であることを特徴とするガス分離装置。 - 請求項1または2に記載の装置において、
前記クロマト分離手段は、複数のクロマトカラムを有し、これらクロマトカラムを順次利用することを特徴とするガス分離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003282061A JP2005046746A (ja) | 2003-07-29 | 2003-07-29 | ガス分離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003282061A JP2005046746A (ja) | 2003-07-29 | 2003-07-29 | ガス分離装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005046746A true JP2005046746A (ja) | 2005-02-24 |
Family
ID=34267388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003282061A Pending JP2005046746A (ja) | 2003-07-29 | 2003-07-29 | ガス分離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005046746A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007319811A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Hitachi Ltd | Pfcガスの濃縮方法 |
CN110607513A (zh) * | 2018-06-14 | 2019-12-24 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 一种硒化装置和硒回收利用方法 |
JP2020056064A (ja) * | 2018-10-01 | 2020-04-09 | 国立大学法人大阪大学 | フルオロカーボン膜の成膜方法及び成膜装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10249157A (ja) * | 1997-03-14 | 1998-09-22 | Nippon Sanso Kk | フロンの回収方法 |
JPH10263363A (ja) * | 1997-03-26 | 1998-10-06 | Mitsui Chem Inc | Nf3の回収方法および装置 |
JPH11319465A (ja) * | 1998-04-17 | 1999-11-24 | L'air Liquide | 過弗化化合物からcf4およびc2f6を分離する方法 |
JP2001302551A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-10-31 | Japan Pionics Co Ltd | パーフルオロカーボンの回収方法及び分解方法 |
JP2001338910A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Showa Denko Kk | ハロゲン系ガスの除害剤、除害方法及びその用途 |
JP2002035527A (ja) * | 2000-07-26 | 2002-02-05 | Japan Atom Energy Res Inst | ガス分離装置 |
JP2002147948A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-22 | Japan Organo Co Ltd | ガス分離装置及びガス分離方法 |
JP2002273144A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-24 | Japan Atom Energy Res Inst | ガス分離装置 |
JP2004307507A (ja) * | 2003-04-08 | 2004-11-04 | Air Products & Chemicals Inc | 活性炭上での吸着によるcf4からc2f6の分離 |
-
2003
- 2003-07-29 JP JP2003282061A patent/JP2005046746A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10249157A (ja) * | 1997-03-14 | 1998-09-22 | Nippon Sanso Kk | フロンの回収方法 |
JPH10263363A (ja) * | 1997-03-26 | 1998-10-06 | Mitsui Chem Inc | Nf3の回収方法および装置 |
JPH11319465A (ja) * | 1998-04-17 | 1999-11-24 | L'air Liquide | 過弗化化合物からcf4およびc2f6を分離する方法 |
JP2001302551A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-10-31 | Japan Pionics Co Ltd | パーフルオロカーボンの回収方法及び分解方法 |
JP2001338910A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Showa Denko Kk | ハロゲン系ガスの除害剤、除害方法及びその用途 |
JP2002035527A (ja) * | 2000-07-26 | 2002-02-05 | Japan Atom Energy Res Inst | ガス分離装置 |
JP2002147948A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-22 | Japan Organo Co Ltd | ガス分離装置及びガス分離方法 |
JP2002273144A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-24 | Japan Atom Energy Res Inst | ガス分離装置 |
JP2004307507A (ja) * | 2003-04-08 | 2004-11-04 | Air Products & Chemicals Inc | 活性炭上での吸着によるcf4からc2f6の分離 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007319811A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Hitachi Ltd | Pfcガスの濃縮方法 |
CN110607513A (zh) * | 2018-06-14 | 2019-12-24 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 一种硒化装置和硒回收利用方法 |
JP2020056064A (ja) * | 2018-10-01 | 2020-04-09 | 国立大学法人大阪大学 | フルオロカーボン膜の成膜方法及び成膜装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6551387B2 (en) | Gas separation apparatus | |
JP4212106B2 (ja) | ガス分離装置及びガス分離方法 | |
KR101107196B1 (ko) | 가스 분리 장치 및 가스 분리 방법 | |
US6530980B2 (en) | Gas separation apparatus | |
JP5093635B2 (ja) | ガス分離装置 | |
JP4683543B2 (ja) | ガス分離方法及びガス分離装置 | |
JP4538622B2 (ja) | ガス分離装置 | |
JP2019195758A (ja) | ガス分離装置及びガス分離方法 | |
JP2005046746A (ja) | ガス分離装置 | |
EP3858463A1 (en) | Installation and method for recovering gaseous substances from gas flows | |
JP4787550B2 (ja) | ガス分離方法及びガス分離装置 | |
EP1205232B1 (en) | Gas separation apparatus and gas separation method | |
JP4683544B2 (ja) | ガス分離方法及びガス分離装置 | |
JP2020006324A (ja) | ガス分離装置及びガス分離方法 | |
JP2009291677A (ja) | 溶剤精製装置 | |
JP2000167346A (ja) | 有機溶剤ガスの分離方法 | |
JP2010131497A (ja) | 排ガス処理装置及び排ガス処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060228 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060303 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060502 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060614 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090818 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091215 |