JP2009017461A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 被振動部材と、
   前記被振動部材を振動させる圧電部材と、
   前記圧電部材の第一面に形成される第一駆動電極と、
   前記圧電部材の前記第一面の裏面となる第二面に形成される第二駆動電極と、
   前記圧電部材の前記第一面に、前記第一駆動電極とは独立して形成される振動検出電極と、
   前記圧電部材の前記第二面に、前記第二駆動電極とは独立して形成されるグランド電極と、
   前記第一駆動電極および前記第二駆動電極に接続され、前記第一駆動電極に電圧が印加されるときには前記第二駆動電極をグランドに接続し、前記第二駆動電極に電圧が印加されるときには前記第一駆動電極をグランドに接続する制御回路と、
   前記振動検出電極に接続され、前記被振動部材の共振周波数を検出する共振周波数検出手段とを有し、
   前記制御回路が前記第一駆動電極または前記第二駆動電極に電圧を印加すると、前記被振動部材に定在波が発生するものであって、
   前記圧電部材の短辺方向の長さを前記定在波の波長の１／２以下とするとともに、前記定在波の節部間の中心線上に重なるように、前記圧電部材を前記被振動部材に固定することを特徴とする駆動装置。
2. 被振動部材と、
   前記被振動部材を振動させる圧電部材と、
   前記圧電部材の第一面に形成される第一駆動電極と、
   前記圧電部材の前記第一面の裏面となる第二面に形成される第二駆動電極と、
   前記圧電部材の前記第一面に、前記第一駆動電極とは独立して形成され、前記第二駆動電極電気的に接続される第三駆動電極と、
   前記圧電部材の前記第一面に、前記第一駆動電極と前記第三駆動電極とは独立して形成される振動検出電極と、
   前記圧電部材の前記第二面に、前記第二駆動電極とは独立して形成される第一グランド電極と、
   前記圧電部材の前記第一面に、前記第一駆動電極と前記第三駆動電極と前記振動検出電極とは独立して形成され、前記第一グランド電極と電気的に接続される第二グランド電極と、
   前記第一駆動電極と前記第二駆動電極と前記第三駆動電極に接続され、前記第一駆動電極に電圧が印加されるときには前記第二駆動電極および前記第三駆動電極をグランドに接続し、前記第二駆動電極または前記第三駆動電極に電圧が印加されるときには前記第一駆動電極をグランドに接続する制御回路と、
   前記振動検出電極に接続され、前記被振動部材の共振周波数を検出する共振周波数検出手段とを有することを特徴とする駆動装置。
3. 前記制御回路は第一振動モードで前記被振動部材を振動させた後、前記第一振動モードとは節部の位置が重ならない第二振動モードで前記被振動部材を振動させることを特徴とする請求項１または２に記載の駆動装置。
4. 前記駆動装置を具備する撮像装置であって、
   前記被振動部材は、被写体像を光電変換する撮像素子の前方に配設された光学素子であり、
   前記圧電部材は、前記被写体像の有効光束の外部において前記光学素子に固定されるものであって、
   前記前記光学素子の前記圧電部材が固定される部分にはコーティングを施さないことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の駆動装置を具備する撮像装置。