JP2009001433A - 封着材料 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、大気雰囲気の焼成において、ガラス組成中のSnOの酸化を抑制することにより、封着材料の流動性を確保し、結果として、表示装置等の製造コストを低廉化することを技術的課題とする。
【解決手段】本発明の封着材料は、ガラス組成中にSnOを10〜80モル%含有するガラス粉末と、金属粉末とを含有することを特徴とし、更には金属粉末の含有量が0.01〜30体積%であることを特徴とする。
【選択図】なし
【解決手段】本発明の封着材料は、ガラス組成中にSnOを10〜80モル%含有するガラス粉末と、金属粉末とを含有することを特徴とし、更には金属粉末の含有量が0.01〜30体積%であることを特徴とする。
【選択図】なし
Description
本発明は、プラズマディスプレイパネル(以下、PDP)、蛍光表示管(以下、VFD)、各種電子放出素子を有する各種形式のフィールドエミッションディスプレイ(以下、FED)等の表示装置、LED等の発光デバイス、ICパッケージ等のセラミックパッケージ、水晶振動子等の圧電デバイスおよび球レンズキャップ部品等の金属パッケージ等の封着に好適な封着材料に関するものである。
従来、PDP、VFD、FED等の表示装置等を気密封着するために、PbO−B2O3系ガラス粉末を用いた封着材料が使用されてきた。一般的に、この封着材料は、封着温度が約430〜530℃、熱膨張係数が約70〜100×10-7/℃の特性を有している。
しかしながら、近年の環境的観点から、PbOを実質的に含まない封着材料が求められており、例えば、SnO−P2O5系ガラス粉末等を用いた封着材料が提案されている。
特開2002−293573号公報
特開平11−292564号公報
特開2004−35316号公報
一般的に、SnO−P2O5系ガラス粉末は、ガラス組成中にSnOを多量に含有しているため、熱処理工程でSnOがSnO2に酸化されやすい。SnO−P2O5系ガラスにおいて、Snは、二価で存在するよりも、四価で存在する方が、ガラスとして安定であることから、熱処理工程でSnOが容易にSnO2に酸化する。ところが、ガラス組成中でSnO2の含有量が増加すると、ガラスの熱的安定性が損なわれるため、SnO−P2O5系ガラスを封着材料として用いる場合、熱処理工程でガラス組成中のSnOを酸化させないことが重要になる。
特許文献1には、SnO−P2O5系ガラス粉末にSnO粉末やSb2O3粉末を添加すれば、大気中で封着材料を焼成しても、ガラス組成中のSnOが酸化し難くなり、封着材料の流動性が低下し難くなることが記載されている。
しかし、SnO−P2O5系ガラス粉末にSnO粉末を添加した後、大気中で焼成すると、焼成中にSnO粉末がガラスに溶け込むことに起因して、ガラス組成中のSnO含有量が多くなり、SnO2結晶が析出しやすくなる。一旦、ガラスに結晶が析出すれば、封着材料の流動性が損なわれ、結局のところ、所望の効果が得られなくなる。また、SnO−P2O5系ガラス粉末にSb2O3粉末を添加すれば、Sb2O3が環境負荷物質であることから、近年の環境的要請を満たすことができない。
一般的に、封着材料として用いるSnO−P2O5系ガラス粉末は、ガラス組成中にSnOを10〜80モル%含有している。SnO−P2O5系ガラスは、ガラス組成中のSnOの含有量が多くなるにつれて、例えば、SnOの含有量が50モル%以上になると、大気中の焼成で、ガラスに結晶が析出しやすくなり、所望の流動性を得るためには、N2雰囲気や減圧雰囲気等の低酸素雰囲気で焼成する必要がある(要すれば、特許文献2、3参照)。
また、封着材料は、ビークル(有機溶媒中に有機樹脂を溶解させたもの)中に分散し、ペースト化した上で、ディスペンサー等の塗布機に投入し、所望の封着パターンを被封着物に形成する。次に、封着工程に移行する前に、有機樹脂の分解温度まで熱処理温度を上げ、有機樹脂を分解揮発しなければならない。既述の通り、SnO−P2O5系ガラス粉末を大気中で焼成する場合、ガラス粉末の流動性が損なわれ、気密封着できない場合がある。このような場合、脱バインダー後、大気中で封着できないため、焼成雰囲気を減圧、或いは窒素雰囲気にしなければならない。
通常、減圧、或いは窒素雰囲気の焼成は、大気雰囲気の焼成よりも設備設計上、高コストになり、結果的に最終製品のコストが高騰してしまう。
そこで、本発明は、大気雰囲気の焼成において、ガラス組成中のSnOの酸化を抑制することにより、封着材料の流動性を確保し、結果として、表示装置等の製造コストを低廉化することを技術的課題とする。
本発明者等が鋭意努力した結果、ガラス組成中にSnOを10〜80モル%含有するガラス粉末に金属粉末を添加することにより、上記技術的課題が解決できることを見出し、本発明として、提案するものである。すなわち、本発明の封着材料は、ガラス組成中にSnOを10〜80モル%含有するガラス粉末と、金属粉末とを含有することを特徴とする。
既述の通り、SnO含有ガラス粉末の問題点は、大気雰囲気で焼成する際に、ガラスの流動性が著しく悪くなることである。ガラスが流動しなくなるメカニズムの詳細は判明していないが、おそらくガラス粉末の表面でガラス組成中のSnOがSnO2へ酸化されるためであろうと推測される。一旦、ガラス粉末の表面層にSnO2が生成してしまうと、たとえ、それが極めて薄いものであっても、ガラス粉末は一気に流動性を失ってしまうのである。
このような現象を踏まえて、本発明者等は、SnO含有ガラス粉末を大気中で焼成する際、SnOの酸化に起因して生じる流動性の低下を防ぐためには、ガラス粉末に金属(ガラスより還元力が大きい金属)粉末を添加することが有効であることを見出した。
金属粉末を添加する効果は、ガラス組成中のSnOの酸化に先立って、金属粉末自身が酸化されることにより、SnOの酸化を遅らせることであろうと推測される。したがって、金属粉末に求められる性質は、ガラスが軟化流動する温度域(250〜600℃)で酸化されて酸素をとりこむ傾向が、SnO含有ガラスに比べて大きく、且つSnO含有ガラスの流動性を阻害しないことである。このような観点から、金属粉末としては、Al、Fe、Cuが最適である。
第二に、本発明の封着材料は、金属粉末の含有量が0.01〜30体積%であることに特徴付けられる。
第三に、本発明の封着材料は、金属粉末の平均粒子径D50が0.1〜20μmであることに特徴付けられる。ここで、「平均粒子径D50」は、レーザー回折法で測定した値を指す。
第四に、本発明の封着材料は、金属粉末がAg、Al、Bi、Co、Cr、Cu、Fe、In、Mg、Mn、Mo、Ni、Sn、Ti、W、Zrの群から選ばれる一種または二種以上であることに特徴付けられる。
第五に、本発明の封着材料は、ガラス粉末が、ガラス組成として、下記酸化物換算のモル%表示で、SnO 30〜70%、P2O5 15〜50%、B2O3 0〜25%、ZnO 0〜45%、Li2O 0〜10%、Al2O3 0〜10%、SiO2 0〜10%、MgO 0〜5%含有することに特徴付けられる。
第六に、本発明の封着材料は、更に、耐火性物質粉末を含有し、体積%表示で、ガラス粉末55〜95%、金属粉末0.1〜10%、耐火性物質粉末4〜40%含有することに特徴付けられる。
第七に、本発明の封着材料は、実質的にPbOを含有しないことに特徴付けられる。ここで、「実質的にPbOを含有しない」とは、PbOの含有量が1000ppm以下の場合を指す。このようにすれば、近年の環境的要請を的確に満たすことができる。
本発明の封着材料において、ガラス粉末は、ガラス組成中にSnOを10〜80モル%含有し、好ましくはSnOを30〜70モル%含有する。SnOの含有量が10モル%より少ないと、封着工程でガラス組成中のSnOが酸化しても、ガラス表面に結晶が析出し難いため、本発明がもたらす効果を的確に享受できない。また、SnOの含有量が80モル%より多いと、ガラス粉末に金属粉末を添加しても、封着工程でSnOの酸化を抑制し難くなる。
本発明の封着材料において、金属粉末はAg、Al、Bi、Co、Cr、Cu、Fe、In、Mg、Mn、Mo、Ni、Sn、Ti、W、Zrの群から選ばれる一種または二種以上であることが好ましく、Al、Cu、Feの群から選ばれる一種または二種以上であることがより好ましい。金属粉末として、上記金属を選択すれば、封着工程でガラス組成中のSnOが酸化される事態を的確に抑制することができる。
本発明の封着材料において、金属粉末の平均粒子径D50は、0.1μm〜20μmが好ましく、1〜10μmがより好ましい。金属粉末の平均粒子径D50が0.1μmより小さいと、金属粉末の製造コストが高騰する。金属粉末の平均粒子径D50が20μmより大きいと、還元効果が小さくなり、SnO−P2O5系ガラスの流動性が乏しくなる。
本発明の封着材料において、金属粉末の含有量は、0.01〜30体積%が好ましく、0.1〜10体積%がより好ましい。金属粉末の含有量が0.01体積%より少ないと、ガラスに表面結晶化が生じやすくなり、SnO−P2O5系ガラスの流動性が乏しくなる。一方、金属粉末の含有量が30体積%より多いと、相対的にガラス粉末の含有量が少なくなり、封着材料の流動性が低下しやすくなる。
本発明の封着材料において、軟化点は200℃〜600℃が好ましく、250℃〜530℃がより好ましい。封着材料の軟化点が200℃より低いと、ガラスの骨格構造が不安定になることに起因して、ガラスの熱的安定性が損なわれやすくなり、ガラス粉末に金属粉末を添加しても、封着工程でガラスに結晶が析出しやすくなる。一方、封着材料の軟化点が600℃より高いと、低温で封着し難くなり、表示装置等の蛍光体の蛍光特性等が劣化しやすくなる。ここで、本発明でいう「軟化点」は、マクロ型示差熱分析(DTA)装置で測定した値を指す。
本発明の封着材料において、ガラス粉末は、SnO−P2O5系ガラスが好ましい。SnO−P2O5系ガラスは、低融点であって、熱的安定性が良好であり、しかも封着強度に優れている。更に、SnO−P2O5系ガラスは、ガラス組成として、下記酸化物換算のモル%表示で、SnO 10〜80%(好ましくは30〜70%)、P2O5 15〜50%、B2O3 0〜25%、ZnO 0〜45%、Li2O 0〜10%、Al2O3 0〜10%、SiO2 0〜10%、MgO 0〜5%含有することが好ましい。なお、以下の%表示は、特に限定がある場合を除き、モル%を指す。
SnO−P2O5系ガラスのガラス組成範囲を上記のように限定した理由を下記に示す。
SnOは、ガラスの融点を低下させる必須成分であり、その含有量は10〜80%、好ましくは30〜70%、より好ましくは40〜70%、更に好ましくは50〜66%である。特に、SnOの含有量が40%以上であれば、ガラスの流動性に優れ、高い気密性を確保することができる。SnOの含有量が10%より少ないと、ガラスの粘性が高くなり過ぎ、封着温度が高くなるおそれがある。また、SnOの含有量が80%より多いと、ガラス化が困難になる。
P2O5は、ガラス形成酸化物であり、ガラスを安定化させる成分である。その含有量は、15〜50%、好ましくは15〜40%、より好ましくは17〜30%、更に好ましくは20〜25%未満である。P2O5の含有量が50%以上であると、ガラスの耐水性が低下し、表示装置等の長期信頼性を担保し難くなる。一方、P2O5の含有量が15%より少ないと、ガラスの熱的安定性が乏しくなる。また、一般的に、ガラス形成酸化物であるP2O5の含有量が少なくなるにつれて、ガラスの熱的安定性が乏しくなるが、本発明の封着材料は、金属粉末を添加しているため、P2O5が少量であっても、ガラスの熱的安定性が良好である。
B2O3は、ガラス形成酸化物であり、ガラスを安定化させる成分である。その含有量は0〜25%であり、好ましくは0〜20%、より好ましくは0.1〜15%、更に好ましくは1〜12%である。特に、低温で封着を行う場合、B2O3の含有量を1〜5%とすれば、ガラスを低温化することができる。また、一般的に、ガラス形成酸化物であるB2O3の含有量が少なくなるにつれて、ガラスの熱的安定性が乏しくなるが、本発明の封着材料は、金属粉末を添加しているため、B2O3の含有量が少ない場合であっても、良好に焼成することができる。B2O3の含有量が25%より多いと、ガラス組成のバランスが取れなくなり、ガラス溶融時にガラスが分離し、ガラス融液表面にスカムが発生しやすくなる。一方、B2O3を少量添加、例えば2%程度添加すれば、逆にスカムの発生を抑制することができる。更に、B2O3の含有量が25%より多いと、ガラスの粘性が高くなりすぎ、ガラスの流動性が悪化する。
ZnOは、中間酸化物であり、ガラスを安定化させる成分である。その含有量は0〜45%、好ましくは0〜25%、より好ましくは0〜15%、更に好ましくは0〜10%、特に好ましくは3〜10%である。ZnOの含有量が45%より多いと、ガラス組成のバランスを欠き、逆にガラスの熱的安定性が低下しやすくなる。
アルカリ金属酸化物R2Oの内、少なくとも1種類をガラス組成中に含有させると、ガラス基板等との接着力を高めることができる。その含有量は0〜20%、好ましくは0〜10%である。特に、ガラスの熱的安定性、例えば封着時の表面結晶化を考慮した場合、R2Oは合量で10%以下とするのが好ましい。R2Oの合量が20%より多いと、封着時にガラスが失透しやすくなる。なお、R2Oの内、Li2Oが最もガラス基板等との接着力を向上させる能力が高いが、Li2Oは、封着時にガラス基板等の被封着物に含まれるアルカリ元素とイオン交換し、ガラス基板等にマイクロクラックが発生しやすくなる。したがって、マイクロクラックを防止するため、Li2Oの含有量は10%以下とするのが好ましい。
Al2O3は、中間酸化物であり、ガラスを安定化させる成分であるとともに、ガラスの熱膨張係数を低下させる成分である。その含有量は0〜10%、より好ましくは0〜5%、更に好ましくは0.1〜5%である。特に、Al2O3の含有量を0.5〜5%とすれば、ガラスの熱的安定性や熱膨張係数を調整しやすくなる。一方、Al2O3の含有量が10%より多いと、ガラスの軟化温度が上昇し、低温封着が困難となるとともに、ガラスの流動性が損なわれる。
SiO2は、ガラス形成酸化物であり、ガラスを安定化させる成分である。その含有量は0〜10%、好ましくは0.5〜5%である。特に、SiO2を少量添加、例えば0.5%程度添加すれば、ガラスの熱的安定性が向上し、封着時にガラスが失透し難くなる。SiO2を5%以下とすれば、ガラスの軟化温度はあまり上昇せず、低温封着を行うことができる。一方、SiO2の含有量が10%より多いと、ガラスの軟化温度が上昇し、低温封着が困難になるとともに、ガラスの流動性が損なわれる。
アルカリ土類酸化物R’Oは、網目修飾酸化物であり、これらの含有量は合量で0〜15%、特に0〜5%であることが好ましい。R’Oが15%より多いと、ガラスが熱的に不安定になりやすい。特に、R’Oの内、MgOは、ガラスを安定化させることに加えて、低温化させる効果が高く、その含有量を0〜5%とするのが好ましい。
上記成分以外にも、例えば下記の成分をガラス組成に含有させることができる。
WO3は、被封着物との接着力を向上させる効果がある成分であるとともに、ガラスの耐候性を向上させる成分であり、WO3をガラス組成に適量添加すれば、長期間にわたって信頼性の高い封着層を形成することができる。WO3の含有量は0〜20%、好ましくは0〜15%、より好ましくは1〜15%、更に好ましくは3〜10%である。WO3の含有量が20%より多いと、原料コストの高騰を招くことに加えて、ガラスの軟化点が上昇し、低温封着が困難となる。
MoO3、Nb2O5、TiO2、ZrO2、CuO、MnOは、ガラスを安定化させる成分であり、その含有量は合量で0〜35%、好ましくは0〜25%である。これらの成分が合量で35%より多いと、ガラスが熱的に不安定になり、ガラスを安定に製造し難くなる。
MoO3は、ガラス組成に少量添加すると、被封着物との濡れ性を改善できる成分である。その含有量は0〜5%、より好ましくは0.1〜3%である。MoO3の含有量が5%より多いと、ガラス溶融時の粘度が高くなることに加えて、ガラス組成のバランスを欠き、ガラスが失透しやすくなる。
Nb2O5、TiO2およびZrO2は、ガラスの安定性を向上させる成分であるとともに、ガラスの耐候性を向上させる成分である。これらの成分の含有量は、いずれも0〜15%が好ましく、0〜10%がより好ましい。これらの成分の含有量が15%より多いと、ガラスを溶融しにくくなるとともに、ガラス組成のバランスを欠き、ガラスが不安定になりやすい。
CuOの含有量は0〜10%、特に0〜5%が好ましい。CuOの含有量が10%より多いと、ガラス組成のバランスを欠き、ガラスが熱的に不安定になりやすい。
MnOの含有量は0〜15%、特に0〜8%が好ましい。MnOの含有量が15%より多いと、ガラス組成のバランスを欠き、ガラスが熱的に不安定になりやすい。
In2O3は、ガラスの耐候性を向上させる成分であり、その含有量は0〜10%、好ましくは0〜5%である。しかし、In2O3は貴金属酸化物であるため、In2O3の含有量が10%より多いと、ガラスの原料コストの高騰を招き、封着材料の用途に制限が課させることになる。
ランタノイド酸化物は、網目修飾酸化物であり、必須成分ではないが、ガラス組成中にランタノイド酸化物を合量で0.1%以上含有させると、ガラスの耐候性が向上する。一方、ランタノイド酸化物の含有量が15%より多いと、封着温度が高くなりやすい。したがって、耐候性と封着温度のバランスを考慮すると、ランタノイド化合物の含有量は、合量で0〜15%が好ましく、0.1〜10%がより好ましい。ランタノイド酸化物としては、La2O3、CeO2、Nd2O3等が使用可能である。なお、ランタノイド酸化物に加えて、他の希土類酸化物、例えば、Y2O3を添加すると、ガラスの耐候性を更に向上させることができる。ランタノイド酸化物を除く希土類酸化物の含有量は0〜5%が好ましい。希土類酸化物の含有量が5%より多いと、封着温度が高くなりやすい。
Ta2O5は、耐候性を向上させる効果があり、その含有量は0〜10%が好ましい。Ta2O5の含有量が10%より多いと、ガラスの軟化点が高くなりすぎる。
TeO2は、軟化点を低下させる効果がある成分であり、その含有量は0〜15%が好ましい。TeO2の含有量が15%より多いと、ガラスの熱的安定化が損なわれる。
F2は、表示装置等に含まれる蛍光体の蛍光特性に悪影響を与える可能性がある成分であるが、ガラスの低温化や脱泡に効果がある成分である。その含有量は0〜10%とするのが好ましく、0〜5%とするのがより好ましく、0〜3%とするのが更に好ましい。F2の含有量が10%より多いと、蛍光体の蛍光特性に悪影響を与える可能性が高くなる。
本発明の封着材料において、熱膨張係数の調整、機械的強度の向上、流動性の改善等を図るため、更に、耐火性物質粉末を含有させることが好ましく、体積%表示で、ガラス粉末55〜95%、金属粉末0.1〜10%、耐火性物質粉末4〜40%に規制することがより好ましい。耐火性物質粉末の含有量が4体積%より少ないと、上記効果を享受し難くなる。耐火性物質粉末の含有量が40体積%より多いと、ガラス粉末の含有量が相対的に少なくなるため、封着材料の流動性が乏しくなり、所望の封着強度が得られにくくなる。
耐火性物質粉末として、コーディエライト、ジルコン、酸化第二錫、酸化ニオブ、リン酸ジルコニウム、ウイレマイト、ムライト等が使用可能である。また、[AB2(MO4)3]の基本構造を有する耐火性物質粉末も使用可能である。ここで、AはLi、Na、K、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cu、Ni、Mn等の元素が適合する。BはZr、Ti、Sn、Nb、Al、Sc、Y等の元素が適合する。MはP、Si、W、Mo等の元素が適合する。ここで、[AB2(MO4)3]の基本構造を有する耐火性物質粉末の中では、NbZr(PO4)3が低膨張であり、且つガラスの熱的安定性を阻害しにくいため、好ましい。耐火性物質粉末は、2種以上を混合して使用しても、差し支えない。
表示装置等の製造工程において、封着材料は、ビークルと混合し、ペースト状にして被封着物に塗布されたり、タブレットに加工して、被封着物に固定されたりする。
ガラスペーストの塗布は、スクリーン印刷機やディスペンサー等の塗布機で行われる。ガラスペーストは、所望の封着パターンを正確に形成するために、適正な粘度に規制する必要がある。また、ガラスペーストは、塗布後は速やかに乾燥し、グレーズ工程で有機樹脂が低温で分解することも要求される。このような事情から、ビークルは、一般的に、揮発しやすい有機溶媒に、低温で分解しやすい有機樹脂を溶かしたものが使用される。
有機樹脂は、ペーストの粘度を調整する成分であり、その添加量は、封着材料100質量%に対し、0〜20質量%であることが好ましい。有機樹脂として、ポリエチレングリコール誘導体、ニトロセルロース、ポリエチレンカーボネート、メチルセルロース、アクリル樹脂、ポリメチルスチレン等が使用可能であり、これらを単独あるいは混合して使用することができる。なお、有機樹脂を選択する際には、有機樹脂の分解終了温度をガラス粉末のガラス転移点以下とするのが好ましい。このような有機樹脂を選択することにより、グレーズ工程で樹脂が完全に分解除去され、SnO−P2O5系ガラスの変質や発泡を防止することができる。例えば、ポリエチレングリコール誘導体、ポリエチレンカーボネート、ポリメチルスチレン等は、分解終了温度が300℃以下であり、これらの樹脂は、ガラス転移点が300℃以下のガラス粉末に好適であるが、ガラス転移点が300℃を超えるガラス粉末にも好適である点は言うまでもない。なお、本発明でいう「有機樹脂の分解終了温度」とは、熱天秤分析(TG)で有機樹脂の重量減少が終了する(ほぼ0%になる)温度を指し、TGは昇温速度10℃/分、大気中で行う。
有機溶媒は、封着材料をペースト化するための成分であり、その添加量は、封着材料100質量%に対し、5〜20質量%であることが好ましい。溶媒としては、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオール、酢酸イソアミル、ブチルカルビトールアセテート(BCA)、テルピネオール、N,N−ジメチルホルムアミド、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、炭酸ジメチル、プロピレンカーボネート、N−メチル−2−ピリドン、ターピネオール、メンタノール、ブチルカルビトール、トルエン等を単独あるいは混合して使用することができる。また、ガラス組成中のSnOの酸化を更に抑制する必要性がある場合には、有機樹脂の使用量を減らす、或いは有機樹脂を実質的に使用しないことが望まれる。このような場合、有機溶媒として、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールに代表されるような、炭素数5〜20の側鎖を有する脂肪族炭化水素の複数個の水素を水酸基に置換したアルコールを用いると、有機樹脂を実質的に含有しなくても、ペーストを高粘性にすることができるため、好ましい。
タブレットは、上記の封着材料に、所定の割合で有機樹脂等を添加した後、造粒器で顆粒化し、これを金型でプレス成型し、脱バインダー、焼結することで作製することができる。
有機樹脂を選択する際には、有機樹脂の分解終了温度をガラス粉末のガラス転移点以下とするのが好ましい。このような有機樹脂を選択することにより、グレーズ工程で樹脂が完全に分解除去され、SnO−P2O5系ガラスの変質や発泡を防止することができる。例えば、ポリエチレンカーボネート、ポリエチレングリコール誘導体、ポリメチルスチレン等は、ガラス転移点が300℃以下であるため、好ましい。なお、これらの樹脂が、ガラス転移点300℃以上のガラス粉末にも好適である点は言うまでもない。また、有機樹脂の添加量は、封着材料100質量%に対し、0.1〜10質量%であることが好ましい。
封着材料を顆粒化する際に、有機溶媒を添加すれば、スプレードライヤー等で顆粒化しやすくなるとともに、顆粒の粒度を調整しやすくなる。有機溶媒の添加量は、封着材料100質量%に対し、5〜20質量%であることが好ましい。有機溶媒としては、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオール、酢酸イソアミル、ブチルカルビトールアセテート(BCA)、テルピネオール、N,N−ジメチルホルムアミド、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、炭酸ジメチル、プロピレンカーボネート、N−メチル−2−ピリドン、ターピネオール、メンタノール、ブチルカルビトール、トルエン等を単独あるいは混合して使用することができる。また、ガラス組成中のSnOの酸化を更に抑制する必要性がある場合には、有機樹脂の使用量を減らすことが望まれる。このような場合、有機溶媒として、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールに代表されるような、炭素数5〜20の側鎖を有する脂肪族炭化水素の複数個の水素を水酸基に置換したアルコールを用いると、有機樹脂が少量であっても、ペーストを高粘性にすることができるため、好ましい。
本発明の封着材料の封着方法として、勿論、電気炉で封着材料を焼成し、構成部材同士を封着する方法を採用することもできるが、レーザー等の局所加熱装置を用いて、封着すべき部位のみを局所加熱し、構成部材同士を封着する方法を採用することもできる。このようにすれば、構成部材の劣化を抑えることができるとともに、短時間で封着を完了することができる。その結果、光部品等の品質や信頼性を高めることができるとともに、光部品等の製造効率を高めることができる。なお、レーザー等で封着材料を局所加熱する場合、加熱箇所から1mm程度離れた部分の温度は100℃以下である。
特に、LED等の発光デバイスの封着、例えば金属ケースと波長変換部材を封着する場合、レーザー等でガラス粉末を溶解させると、発光素子の劣化を抑えながら、金属ケースと波長変換部材を短時間で封着することができる。その結果、LED等の発光デバイスの信頼性に不具合が生じにくくなる。
局所加熱装置で封着する場合、ガラス粉末に光吸収特性を有するCu粉末等を添加することが好ましい。このようにすれば、YAG:Ndレーザーから出射される光エネルギーを熱エネルギーに効率良く変換することができる。
本発明の封着材料は、ガラス組成中のSnOが酸化しにくいため、大気雰囲気で焼成することが好ましい。また、大気雰囲気で焼成すると、電気炉の雰囲気制御を行う必要がなく、表示装置等の製造コストを下げることができる。なお、本発明の封着材料は、減圧、或いは窒素雰囲気等で焼成しても、良好に流動することから、これらの雰囲気で焼成する態様を排除するものではない。
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。表1は、SnO−P2O5系ガラス粉末(試料No.A、B)を示している。
試料No.A、Bは、次のようにして調製した。まず表1のガラス組成になるように、試料No.Aは、ガラス原料としてメタリン酸第一錫、酸化第一錫、無水ホウ酸、酸化マグネシウムおよび金属アルミニウム粉を調合し、試料No.Bは、正リン酸、メタリン酸第一錫、無水ホウ酸、メタリン酸アルミニウムおよびメタリン酸バリウムを調合した。さらに、それぞれを混合した後、アルミナルツボに入れ、超耐熱性結晶化ガラスの蓋をして800〜850℃で2時間溶融した。次いで、溶融ガラスを水冷ローラー間に通して、薄板状に成形し、得られたガラスをボールミルにて粉砕後、目開き45μm(325メッシュ)の篩を通過させて、平均粒子径D50が10μmのガラス粉末を得た。試料No.Aは、ガラス転移点が327℃、屈伏点が350℃、熱膨張係数(30〜250℃)が106×10-7/℃であり、試料No.Bは、ガラス転移点が302℃、屈伏点が331℃、熱膨張係数(30〜250℃)が112×10-7/℃であった。
ガラス転移点、屈伏点および熱膨張係数は、押し棒式熱膨張係数測定(TMA)装置を用いて、測定した。測定試料は、溶融ガラスを流し出して、5φ×20mmに加工したものを使用した。
表2は、本発明の実施例(試料No.1〜7)と比較例(試料No.8)を示している。なお、表2に示した金属粉末の粒度は、Al(500メッシュパス品)が平均粒子径D50=7μm、Al(150メッシュパス品)が平均粒子径D50=21μm、Cu(325メッシュパス品)が平均粒子径D50=10μm、Fe(325メッシュパス品)が平均粒子径D50=9μmである。
表2の各試料は、表2に示す割合で混合した後、熱膨張係数、焼成状態および流動性を評価した。
「熱膨張係数」は、次のようにして測定した。まず表2に示した各試料を表2に示した各封着温度まで10℃/分で昇温して、その温度で10分間保持した後、徐冷し、φ5×20mmに加工することで測定用試料を得た。熱膨張係数は、押し棒式熱膨張係数測定(TMA)装置を用いて、30〜250℃の温度範囲で測定した。
「焼成状態」は、まず表2に示した封着材料の密度分に相当する重量を金型に入れて、外径20mmのボタン状にプレスした。次に、このボタンを窓板ガラスの上に乗せて、大気雰囲気の電気炉内で表2に示した封着温度まで10℃/分で昇温して、その温度で10分間保持した後、ボタンの表面に結晶が生じているか否かを200倍の光学顕微鏡で観察することで評価した。ボタン表面に結晶が析出していなかったものを「○」、ボタン表面に僅かに結晶の析出が認められたものを「△」、ボタン表面の全体に結晶が析出していたものを「×」として評価した。その結果、試料No.1〜7は、焼成状態が良好であるとともに、十分に軟化流動しており、いずれも封着材料として好適な特性を有していた。具体的には、ガラス粉末に金属粉末(Al、Cu、Fe)を添加すれば、ガラスの熱的安定性が向上することが分かる。一方、比較例のNo.8は、大気中で焼成すると、ボタン表面に光沢がなく、粉末がそのまま焼結されたような状態であり、焼成状態が不良であった。
「流動性」は、次のようにして評価した。まず表2に示した封着材料の密度分に相当する重量を金型に入れて、外径20mmのボタン状にプレスした。次に、このボタンを窓板ガラスの上に載せて、大気雰囲気の電気炉内で表2に示した封着温度まで10℃/分で昇温して、その温度で10分間保持した後、ボタンの直径を測定し、評価した。その結果、試料No.1〜7は、流動径が20.0mm以上であり、流動性が良好であった。一方、比較例のNo.8は、流動径が17.0mmであり、流動性が不良であった。
<ペースト評価>
表2に示した各封着材料(No.1〜5)と2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールを質量比で10:1の割合で混合した後、3本ロールミルで均一に混練して、ペースト状の試料を得た。このガラスペーストを窓板ガラスに塗布し、150℃で30分間乾燥して、その後、大気雰囲気の電気炉内で表2に示した封着温度まで10℃/分で昇温し、その温度で10分間保持した。このようにして焼成した後、各試料の焼成状態を観察した。その結果、各試料は、ペースト化した場合であっても、焼成状態が良好であった。また、各試料の表面を観察したところ、滑らかな光沢のある表面を呈しており、十分に軟化流動していた。
表2に示した各封着材料(No.1〜5)と2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールを質量比で10:1の割合で混合した後、3本ロールミルで均一に混練して、ペースト状の試料を得た。このガラスペーストを窓板ガラスに塗布し、150℃で30分間乾燥して、その後、大気雰囲気の電気炉内で表2に示した封着温度まで10℃/分で昇温し、その温度で10分間保持した。このようにして焼成した後、各試料の焼成状態を観察した。その結果、各試料は、ペースト化した場合であっても、焼成状態が良好であった。また、各試料の表面を観察したところ、滑らかな光沢のある表面を呈しており、十分に軟化流動していた。
<タブレット評価>
表2に示した各封着材料(No.1〜5)、ポリメチルスチレンおよびトルエンを質量比で20:1:4の割合で混合して、スラリー状混濁液にし、このスラリー状混濁液を噴霧造粒して、平均粒子径D50が約50μmの顆粒を得た。続いて、得られた顆粒を20mmφの金型に充填し、1.0t/cm2の圧力でプレス成型し、生成型体とした。その後、この生成型体を350℃で10分間焼結して各タブレットを得た。次に、得られたタブレットを窓板ガラスに載せ、大気雰囲気の電気炉内で表2に示した封着温度まで10℃/分で昇温し、その温度で10分間保持した。このようにして焼成した後、各試料の焼成状態の観察した。その結果、各試料は、タブレット化した場合であっても、焼成状態が良好であった。また、各試料の表面を観察したところ、滑らかな光沢のある表面を呈しており、十分に軟化流動していた。また、発泡も認められず、タブレットとして使用できるものであった。
表2に示した各封着材料(No.1〜5)、ポリメチルスチレンおよびトルエンを質量比で20:1:4の割合で混合して、スラリー状混濁液にし、このスラリー状混濁液を噴霧造粒して、平均粒子径D50が約50μmの顆粒を得た。続いて、得られた顆粒を20mmφの金型に充填し、1.0t/cm2の圧力でプレス成型し、生成型体とした。その後、この生成型体を350℃で10分間焼結して各タブレットを得た。次に、得られたタブレットを窓板ガラスに載せ、大気雰囲気の電気炉内で表2に示した封着温度まで10℃/分で昇温し、その温度で10分間保持した。このようにして焼成した後、各試料の焼成状態の観察した。その結果、各試料は、タブレット化した場合であっても、焼成状態が良好であった。また、各試料の表面を観察したところ、滑らかな光沢のある表面を呈しており、十分に軟化流動していた。また、発泡も認められず、タブレットとして使用できるものであった。
本発明の封着材料は、PDP、VFD、FED等の表示装置、LED等の発光デバイス、ICパッケージ等のセラミックパッケージ、水晶振動子等の圧電デバイスおよび球レンズキャップ部品等の金属パッケージの封着等に好適である。
なお、本明細書は、説明の便宜上、SnO−P2O5系ガラス粉末を含有する封着材料を主として説明したが、本発明に係るガラス粉末は、SnO−P2O5系ガラス粉末に限定されるものではない。
Claims (7)
- ガラス組成中にSnOを10〜80モル%含有するガラス粉末と、金属粉末とを含有することを特徴とする封着材料。
- 金属粉末の含有量が0.01〜30体積%であることを特徴とする請求項1に記載の封着材料。
- 金属粉末の平均粒子径D50が0.1〜20μmであることを特徴とする請求項1または2に記載の封着材料。
- 金属粉末がAg、Al、Bi、Co、Cr、Cu、Fe、In、Mg、Mn、Mo、Ni、Sn、Ti、W、Zrの群から選ばれる一種または二種以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の封着材料。
- ガラス粉末が、ガラス組成として、下記酸化物換算のモル%表示で、SnO 30〜70%、P2O5 15〜50%、B2O3 0〜25%、ZnO 0〜45%、Li2O 0〜10%、Al2O3 0〜10%、SiO2 0〜10%、MgO 0〜5%含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の封着材料。
- 更に、耐火性物質粉末を含有し、
体積%表示で、ガラス粉末55〜95%、金属粉末0.1〜10%、耐火性物質粉末4〜40%含有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の封着材料。 - 実質的にPbOを含有しないことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の封着材料。
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