JP2008537107A - 測定プローブ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 位置決定装置用のプローブであって、
プローブ本体と、
加工対象物に接触するスタイラスに接続されるあるいは接続可能な、スタイラスホルダーと、
前記プローブ本体と前記スタイラスホルダーとの間に接続され、前記スタイラスが加工対象物に接触するとき曲がる、少なくとも1つの曲げられる部材であって、該曲げられる部材は、そのような曲げの間、伸張あるいは圧縮にさらされない中立軸を有し、該部材の少なくとも一部分は該中立軸から離れ、前記部分は前記曲げの間、伸張あるいは圧縮にさらされる、少なくとも1つの曲げられる部材と、
前記スタイラスが加工対象物に接触するとき出力信号を生み出すように、前記中立軸から離れた前記部分に設置されたひずみ検出要素と
を備え、
前記曲げられる部材は、前記ひずみ検出要素が配置された前記部分よりも前記中立軸により近接したさらなる部分を有し、該さらなる部分は、前記ひずみ検出要素が配置された前記部分よりもより高い剛性を有することを特徴とするプローブ。 - 前記曲げられる部材は、前記中立軸に横切る方向において、非対称である、横断面を有することを特徴とする請求項1に記載のプローブ。
- 位置決定装置用のプローブであって、
プローブ本体と、
加工対象物に接触するスタイラスと、
前記本体と前記スタイラスとを接続するひずみ感受性構造体であって、軸を有し、そして、前記スタイラスが加工対象物に接触するとき前記軸に対して曲げられる少なくとも1つの部材を含む、ひずみ感受性構造体と、
その曲げに基づく信号を提供するように、前記曲げられる部材と関連付けられたひずみ検出要素と
を備え、
前記曲げられる部材は、前記軸に横切る方向において、非対称である、横断面を有することを特徴とするプローブ。 - 前記横断面は「T」の形にされていて、前記ひずみ検出要素は該T形状の細長い部分に取り付けられていることを特徴とする請求項2または3に記載のプローブ。
- 前記横断面は、台形であることを特徴とする請求項2または3に記載のプローブ。
- 前記横断面は、Uの形にされていることを特徴とする請求項2または3に記載のプローブ。
- 前記曲げられる部材は、前記軸に横切る横断面を有する複合構造を有し、該複合構造は、前記横断面の一方の部分における方が、該横断面の別の部分においてよりもより高い剛性を有することを特徴とする請求項1、2または3に記載のプローブ。
- 前記曲げられる部材は、その長さに沿う位置にノッチを有し、それがその曲げを調整することを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のプローブ。
- 前記曲げられる部材は、基部と、前記ひずみ検出要素用の支持体とを備え、該基部および該支持体はスペーサによって互いから離されていることを特徴とする請求項1、2または3に記載のプローブ。
- 1つの面内に実質的に延在する、複数の前記曲げられる部材があることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載のプローブ。
- 前記曲げられる部材は、前記プローブ本体に対して径方向に延在することを特徴とする請求項9に記載のプローブ。
- 前記曲げられる部材は、前記プローブ本体の軸周りに概して周辺に延在することを特徴とする請求項9に記載のプローブ。
- 位置決定装置用のプローブであって、
プローブ本体と、
加工対象物に接触するスタイラスと、
前記本体と前記スタイラスとを接続するひずみ感受性構造体であって、軸を有し、そして、前記スタイラスが加工対象物に接触するとき前記軸に対して曲げられる少なくとも1つの部材を含む、ひずみ感受性構造体と、
前記曲げられる部材の反対側に位置する側部に、その曲げに基づくそれぞれの信号を提供するように、取り付けられた一組のひずみ検出要素と、そして、
前記信号を受け、そして、組み合わされた出力信号を生み出すようにそれらを区別をつけて処理する回路と
を備えることを特徴とするプローブ。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008541081A (ja) * | 2005-05-10 | 2008-11-20 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 寸法測定用プローブ |
CN102169159A (zh) * | 2011-01-04 | 2011-08-31 | 豪勉科技股份有限公司 | 具应变规的点测装置 |
JP2016013492A (ja) * | 2010-01-22 | 2016-01-28 | バイオセンス・ウエブスター・インコーポレーテツド | 接触力を感知する遠位先端部を有するカテーテル |
JP2016194503A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 株式会社ミツトヨ | 接触プローブシステム |
KR101874828B1 (ko) | 2017-09-26 | 2018-07-05 | 주식회사 광익기술단 | 콘크리트 구조물의 공용내하력 측정장치 및 측정방법 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0508388D0 (en) * | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Surface sensing device with optical sensor |
GB0512138D0 (en) | 2005-06-15 | 2005-07-20 | Renishaw Plc | Method of determining measurement probe orientation |
GB0804467D0 (en) | 2008-03-11 | 2008-04-16 | Renishaw Plc | Touch trigger measurement probe |
EP2449353B1 (en) | 2009-06-30 | 2019-09-11 | Hexagon Technology Center GmbH | Articulated arm system with vibration detection and corresponding operating method |
IT1402715B1 (it) * | 2010-10-29 | 2013-09-18 | Marposs Spa | Sonda di tastaggio |
IT1403845B1 (it) * | 2010-10-29 | 2013-11-08 | Marposs Spa | Sonda di tastaggio e relativo metodo di controllo |
DE102011079738A1 (de) * | 2011-07-25 | 2013-01-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Tastkopf |
JP6611168B2 (ja) * | 2015-04-07 | 2019-11-27 | 株式会社ミツトヨ | プローブ測定力調整装置 |
US9851818B2 (en) | 2015-10-19 | 2017-12-26 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Handheld input apparatus |
US9886092B2 (en) | 2015-10-19 | 2018-02-06 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Haptics for a handheld input apparatus |
JP6212148B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2017-10-11 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ |
JP6216400B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2017-10-18 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ |
US10663274B2 (en) | 2017-01-27 | 2020-05-26 | Faro Technologies, Inc | Articulated arm coordinate measuring machine |
EP3460384A1 (en) | 2017-09-26 | 2019-03-27 | Renishaw PLC | Measurement probe |
KR102338467B1 (ko) * | 2020-08-05 | 2021-12-10 | 고택성 | 측정 프로브 |
EP4148372A1 (en) | 2021-09-09 | 2023-03-15 | Renishaw PLC | Measurement probe |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4934375Y1 (ja) * | 1973-06-16 | 1974-09-18 | ||
JPS5733301A (en) * | 1980-08-08 | 1982-02-23 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Copying probe for coordinate measuring machine |
JPS5844302A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-03-15 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 測定プロ−ブ |
JPS60140110A (ja) * | 1983-12-28 | 1985-07-25 | Mitsubishi Electric Corp | 物体表面の法線方向の測定方法及び装置 |
JPS62239001A (ja) * | 1986-04-11 | 1987-10-19 | Amada Co Ltd | タツチプロ−ブ |
JPH0431710A (ja) * | 1990-05-28 | 1992-02-03 | Toshiba Corp | 三次元測定プローブ |
JPH06258008A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-09-16 | Renishaw Plc | タッチプローブ、信号処理回路および方法 |
JPH09251026A (ja) * | 1996-03-15 | 1997-09-22 | Toshiba Corp | 走査プローブ顕微鏡 |
JPH1096618A (ja) * | 1995-09-25 | 1998-04-14 | Mitsutoyo Corp | タッチ信号プローブ |
JPH10239006A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Mitsutoyo Corp | タッチ信号プローブ |
JPH10288502A (ja) * | 1997-02-17 | 1998-10-27 | Mitsutoyo Corp | タッチ信号プローブ |
JP2002022433A (ja) * | 2000-05-01 | 2002-01-23 | Mitsutoyo Corp | ワーク形状測定センサおよびワーク形状測定装置 |
JP2002357403A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Mitsutoyo Corp | タッチ信号プローブの信号処理装置および信号処理方法 |
JP2004521339A (ja) * | 2001-02-23 | 2004-07-15 | カール ツァイス シュティフトゥング トレイディング アズ カール ツァイス | 作業場所を探触するためのプローブヘッドを有する座標測定装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4136458A (en) * | 1976-10-01 | 1979-01-30 | The Bendix Corporation | Bi-axial probe |
JPS6020102A (ja) * | 1983-07-14 | 1985-02-01 | Kawaguchiko Seimitsu Kk | 歪ゲ−ジ式測長器 |
US4553001A (en) * | 1983-12-05 | 1985-11-12 | Gte Valeron Corporation | Touch probe having nonconductive contact carriers |
DE3920716C1 (ja) * | 1989-06-24 | 1990-11-29 | Wild Leitz Gmbh, 6330 Wetzlar, De | |
US5209131A (en) * | 1989-11-03 | 1993-05-11 | Rank Taylor Hobson | Metrology |
US5319858A (en) * | 1990-11-24 | 1994-06-14 | Renishaw Plc | Touch probe |
EP0521703B1 (en) | 1991-07-03 | 1995-11-02 | Renishaw Metrology Limited | Signal processing circuit for trigger probe |
US5327657A (en) | 1991-07-11 | 1994-07-12 | Renishaw Metrology Ltd. | Touch probe |
DE4123081C2 (de) * | 1991-07-12 | 2001-05-17 | Zeiss Carl | Tastkopf vom schaltenden Typ |
WO1998036241A1 (fr) | 1997-02-17 | 1998-08-20 | Mitutoyo Corporation | Sonde d'injection de signaux tactiles non directionnels |
JP3352055B2 (ja) * | 1999-06-16 | 2002-12-03 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブの着座機構 |
US6718647B2 (en) * | 2000-06-14 | 2004-04-13 | Renishaw Plc | Force sensing probe |
GB0228368D0 (en) * | 2002-12-05 | 2003-01-08 | Renishaw Plc | Probe for high speed scanning |
DE102004011730A1 (de) * | 2004-03-05 | 2005-09-22 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät |
EP1610087B1 (fr) * | 2004-06-22 | 2010-01-20 | Tesa SA | Palpeur avec déclencheur |
-
2005
- 2005-03-24 GB GBGB0506158.5A patent/GB0506158D0/en not_active Ceased
-
2006
- 2006-03-24 US US11/885,545 patent/US7603789B2/en active Active
- 2006-03-24 EP EP06726507A patent/EP1866602B1/en active Active
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-
2012
- 2012-09-10 JP JP2012198868A patent/JP5611297B2/ja active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4934375Y1 (ja) * | 1973-06-16 | 1974-09-18 | ||
JPS5733301A (en) * | 1980-08-08 | 1982-02-23 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Copying probe for coordinate measuring machine |
JPS5844302A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-03-15 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 測定プロ−ブ |
JPS60140110A (ja) * | 1983-12-28 | 1985-07-25 | Mitsubishi Electric Corp | 物体表面の法線方向の測定方法及び装置 |
JPS62239001A (ja) * | 1986-04-11 | 1987-10-19 | Amada Co Ltd | タツチプロ−ブ |
JPH0431710A (ja) * | 1990-05-28 | 1992-02-03 | Toshiba Corp | 三次元測定プローブ |
JPH06258008A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-09-16 | Renishaw Plc | タッチプローブ、信号処理回路および方法 |
JPH1096618A (ja) * | 1995-09-25 | 1998-04-14 | Mitsutoyo Corp | タッチ信号プローブ |
JPH09251026A (ja) * | 1996-03-15 | 1997-09-22 | Toshiba Corp | 走査プローブ顕微鏡 |
JPH10288502A (ja) * | 1997-02-17 | 1998-10-27 | Mitsutoyo Corp | タッチ信号プローブ |
JPH10239006A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Mitsutoyo Corp | タッチ信号プローブ |
JP2002022433A (ja) * | 2000-05-01 | 2002-01-23 | Mitsutoyo Corp | ワーク形状測定センサおよびワーク形状測定装置 |
JP2004521339A (ja) * | 2001-02-23 | 2004-07-15 | カール ツァイス シュティフトゥング トレイディング アズ カール ツァイス | 作業場所を探触するためのプローブヘッドを有する座標測定装置 |
JP2002357403A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Mitsutoyo Corp | タッチ信号プローブの信号処理装置および信号処理方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008541081A (ja) * | 2005-05-10 | 2008-11-20 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 寸法測定用プローブ |
JP2016013492A (ja) * | 2010-01-22 | 2016-01-28 | バイオセンス・ウエブスター・インコーポレーテツド | 接触力を感知する遠位先端部を有するカテーテル |
CN102169159A (zh) * | 2011-01-04 | 2011-08-31 | 豪勉科技股份有限公司 | 具应变规的点测装置 |
JP2016194503A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 株式会社ミツトヨ | 接触プローブシステム |
KR101874828B1 (ko) | 2017-09-26 | 2018-07-05 | 주식회사 광익기술단 | 콘크리트 구조물의 공용내하력 측정장치 및 측정방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB0506158D0 (en) | 2005-05-04 |
EP1866602A1 (en) | 2007-12-19 |
JP5308811B2 (ja) | 2013-10-09 |
WO2006100508A1 (en) | 2006-09-28 |
EP2154471B1 (en) | 2012-05-02 |
US7603789B2 (en) | 2009-10-20 |
JP5611297B2 (ja) | 2014-10-22 |
EP2154471A1 (en) | 2010-02-17 |
JP2013040949A (ja) | 2013-02-28 |
EP1866602B1 (en) | 2010-01-20 |
CN101142461B (zh) | 2010-07-28 |
ATE456021T1 (de) | 2010-02-15 |
US20080163507A1 (en) | 2008-07-10 |
ATE556294T1 (de) | 2012-05-15 |
DE602006011861D1 (de) | 2010-03-11 |
CN101142461A (zh) | 2008-03-12 |
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