KR102338467B1 - 측정 프로브 - Google Patents

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KR102338467B1 KR1020200097738A KR20200097738A KR102338467B1 KR 102338467 B1 KR102338467 B1 KR 102338467B1 KR 1020200097738 A KR1020200097738 A KR 1020200097738A KR 20200097738 A KR20200097738 A KR 20200097738A KR 102338467 B1 KR102338467 B1 KR 102338467B1
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Abstract

본 발명은 공작물(M)의 위치나 형상을 측정하는 프로브몸체(10)와, 이 프로브몸체(10)를 공작기계에 결합시키는 송신커넥터(120)를 포함하며, 상기 프로브몸체(10)는, 내부에 상하로 관통된 삽입부(21)가 형성되고 하단에는 내향돌출턱(23)이 형성된 외통체(20); 이 외통체(20)의 삽입부(21)에 삽입되고 저면이 내향돌출턱(23)에 걸려지며, 측면에는 복수개의 가이드공(31)이 이격되고, 저면에는 각 가이드공(31)과 연통되는 한 쌍의 장착홀(32,33)이 형성되도록 수지로 일체로 성형된 내통체(30); 상기 외통체(20)의 내향돌출턱(23)과 내통체(30) 사이에 개재되며, 내통체(30)의 장착홀(32,33)과 정렬되도록 접점(41)이 형성된 회로기판(40); 상기 내통체(30)의 장착홀(32,33)에 끼워져서 회로기판(40)의 접점(41)과 접촉되는 접점볼(50); 상기 내통체(30)에 결합되는 회전축(60); 이 회전축(60)의 하단에 결합되는 탐침봉(70); 상기 회전축(60)과 외통체(20) 사이에 개재되어 회전축(60)을 원상복귀시키는 제1스프링(80); 상기 외통체(20)의 상면에 결합되는 상면커버(90); 및 상기 탐침봉(70)의 상단에 끼워지며 상면커버(80)의 저면에 탄성지지되는 제2스프링(100);을 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 프로브이다.

Description

측정 프로브{Measuring probe}
본 발명은 측정 프로브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공작물을 가공하는 장치에서 공작물의 위치 등의 정보를 측정하는 측정 프로브에 관한 것이다.
일반적으로 NC공작기계 등과 같은 장치는 입력된 가공수치 및 형상, 공구 이송속도 등의 가공조건에 의해 자동적으로 공구의 위치를 결정하고 입력된 좌표를 따라 공구가 이동하면서 공작물을 자동으로 가공한다. 이때, 측정 프로브를 이용하여 공작물의 위치와 형상 등을 측정함으로써 공구의 위치와 이동속도 등을 결정하게 된다.
도 1 및 도 2는 종래 측정 프로브를 도시한 것으로, 내부에는 중공(2)이 형성되고 저면에는 중공(2)과 연통된 통공(3)이 형성된 원통형 하우징(1)과, 이 하우징(1)의 하단으로 돌출되는 탐침봉(4)과, 이 탐침봉(4)의 상단부에 구비되어 하우징(1)의 통공(3) 둘레에 걸려지는 삼각판(5)과, 상기 탐침봉(4)의 하단에 공작물(M)에 접촉되는 탐침자(6)를 포함한다. 그리고 삼각판(5)의 꼭지점에 해당되는 부분에는 하우징(1)의 통공(2) 둘레에 구비된 접점(7)과 선택적으로 접촉되는 볼(8)이 구비된다. 삼각판(5)은 하우징(1)의 중공(2)의 내부에서 탐침봉(4)이 수직방향으로 위치되도록 스프링(9)에 의해 상면이 지지된다.
이와 같이 구성된 종래의 측정 프로브는 도 2에서와 같이, 삼각판(5)의 각 볼(8)과 하우징(1)의 각 접점(7)이 스프링(9)에 의해 모두 접촉된 상태에서, 탐침자(6)가 공작물(M)에 접촉되어 탐침봉(4)이 움직이면, 삼각판(5)의 일측 볼(8)이 하우징(1)의 일측 접점(7)에서 이격된다. 각각의 접점(7)과 볼(8)은 하나의 전기회로로 구성된다. 이에 따라, 탐침자(5)가 공작물(M)에 접촉하여 탐침봉(3)이 움직이면, 전기회로가 개방되면서 해당되는 좌표를 저장할 수 있도록 신호가 발생된다.
그런데 종래 측정 프로브는 탐침봉(4)이 공작물(M)과 접촉되면 삼각판(5)의 일측이 상승하고 탐침봉(4)이 공작물(M)에서 이격되면 상기 상승된 삼각판(5)의 일측이 하강되는데, 삼각판(5)이 하강되면서 정위치를 벗어나게 되면 삼각판(5)의 볼(8)이 접점(7)에서 벗어나서 접촉불량이 발생되므로 측정오차가 생겨 측정정밀성이 저하되는 문제가 있다.
한국 공개특허공보 제10-2005-0081575호
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 반복적으로 공작물과 접촉되더라도 정위치로 원상복귀되어 측정오차나 측정오류가 발생되는 것이 방지되고, 아울러 복수개의 공작기계마다 재측정하지 않고 1회 측정으로 복수개의 공작기계에서도 활용할 수 있어 작업이 편리하며 작업시간이 단축되어 생산성이 향상되는 측정 프로브를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 특징에 따르면, 공작물(M)과 접촉하여 공작물(M)의 위치나 형상을 측정하는 프로브몸체(10)와, 이 프로브몸체(10)를 공작기계에 결합시키며 프로브몸체(10)에서 측정된 공작물(M)에 관한 측정치를 공작기계로 송출하는 송신부(130)가 구비된 송신커넥터(120)를 포함하며, 상기 프로브몸체(10)는, 내부에 상하로 관통된 삽입부(21)가 형성되고 하단에는 내향돌출턱(23)이 형성된 외통체(20); 단관형상이며 상기 외통체(20)의 삽입부(21)에 삽입되고 저면이 내향돌출턱(23)에 걸려지며, 측면에는 상하로 연장된 복수개의 가이드공(31)이 원주방향을 따라 이격 형성되고, 저면에는 상기 각 가이드공(31)과 연통되는 한 쌍의 장착홀(32,33)이 형성되도록 수지로 일체로 성형된 내통체(30); 상기 외통체(20)의 내향돌출턱(23)과 내통체(30) 사이에 개재되며, 내통체(30)의 장착홀(32,33)과 정렬되도록 접점(41)이 형성된 회로기판(40); 상기 내통체(30)의 장착홀(32,33)에 끼워져서 회로기판(40)의 접점(41)과 접촉되는 접점볼(50); 상기 내통체(30)에 삽입되어 내통체(30)의 하단으로 돌출되는 축부(61)와, 이 축부(61)의 상단부에서 상기 내통체(30)의 각 가이드공(31)에 끼워지도록 돌출되며 접점볼(50)과 접촉되는 복수개의 가이드핀(62)을 포함하며, 상기 축부(61)가 사방으로 회동되는 회전축(60); 상기 회전축(60)의 하단에 결합되며, 공작물(M)과 접촉되는 탐침봉(70); 상기 회전축(60)과 외통체(20) 사이에 개재되어 회전축(60)을 원상복귀시키는 제1스프링(80); 상기 외통체(20)의 상면에 결합되는 상면커버(90); 및 상기 탐침봉(70)의 상단에 끼워지며 상면커버(80)의 저면에 탄성지지되는 제2스프링(100);을 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 프로브가 제공된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 송신커넥터(120)의 측면에는 송신부(130)와 복수개의 공작기계에 각각 설치되는 복수개의 수신기(170~174)를 페어링시키는 페어링버튼(140)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 측정 프로브가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 프로브몸체(10)의 외통체(20)의 외주면에는 나사산(22)이 형성되고, 상기 송신커넥터(120)의 하단에는 프로브몸체(10)의 외통체(20)의 나사산(22)이 결합되는 나사탭(121)이 형성되며, 상기 상면커버(90)의 저면에는 외통체(20)의 삽입부(21)에 끼워지는 결합링(91)이 일체로 하향 돌출되고, 상기 제2스프링(100)은 상면커버(80)의 결합링(91)의 내부에 삽입되며, 상기 외통체(20)의 삽입부(21)에 끼워져서 하단이 내통체(40)의 상면에 지지되고 상단이 상면커버(80)의 결합링(91)의 외주면에 끼워지는 제3스프링(110)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 측정 프로브가 제공된다.
이상에서와 같이 본 발명에 의하면, 탐침봉(80)이 결합되는 회전축(60)의 상단에 수평돌출된 가이드핀(62)을 상하로 가이드하는 가이드공(31)이 형성된 내통체(30)가 구비되어, 탐침봉(80)이 공작물(M)과 접촉 및 이격되면서 가이드핀(62)이 반복적으로 승강되더라도 회로기판(40)의 접점(41)과 정위치로 정렬되므로, 회전축(60)의 가이드핀(62)과 접점(41)간의 접촉불량으로 인한 측정오차 및 측정오류가 방지되기 때문에 측정정밀성이 향상된다. 이때, 내통체(30)는 상기 가이드공(31)과, 이 가이드공(31)과 연통되며 접점(41)과 접촉되는 접점볼(50)이 장착되는 장착홀(32,33)이 일체로 형성되도록 수지로 성형되므로, 부품수가 줄어 조립공정수가 줄기 때문에 측정 프로브의 생산성이 향상된다. 그리고 프로브몸체(10)를 공작기계에 장착시키고 공작물(M)에 관한 정보를 송신하는 송신커넥터(120)가 프로브몸체(10)와 나사결합되므로, 프로브몸체(10)를 송신커넥터(120)에서 용이하게 분리할 수 있어 탐침봉(80)을 비롯하여 기타 부품들의 교체가 편리하다.
한편, 송신커넥터(120)에는 송신커넥터(120)의 송신부(130)와 복수개의 공작기계에 각각 구비된 수신기(170~174)들과 페어링시키는 페어링버튼(140)이 구비되어, 측정 프로브를 하나의 공작기계에 장착시켜 측정하고 페어링버튼(140)만 누르면 다른 공작기계에서도 동일하게 적용할 수 있으므로, 각 공작기계마다 프로브몸체(10)를 개별적으로 장착시켜 공작물(M)의 위치나 형상 등의 정보를 측정할 필요가 없기 때문에, 작업이 편리하고 공작물(M)의 가공작업시간이 단축되어 생산성이 향상된다.
그리고 한편, 프로브몸체(10)의 탐침봉(80)이 장착되는 회전축(60)이 제1 및 제2스프링(70,100)에 의해 원상복귀되는 과정에서 내통체(30)가 유동되는 것을 방지하는 제3스프링(110)을 더 구비함으로써, 상기 접점볼(50)이 접점(41)과 좀 더 정밀하게 접촉되어 측정정밀성이 더욱 향상된다.
도 1은 종래 측정 프로브의 일례를 도시한 사시도
도 2는 상기 종래 측정 프로브의 작동을 보인 측단면도
도 3은 본 발명에 따른 측정 프로브의 일실시예를 도시한 분해사시도
도 4는 상기 실시예의 프로브몸체의 분해사시도
도 5는 상기 실시예의 작동을 보인 프로브몸체의 측단면도
도 6은 상기 실시예의 수신기들과의 페어링을 보인 개략도
상술한 본 발명의 목적, 특징들 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.
도 3 내지 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 측정 프로브를 도시한 도면이다. 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 측정 프로브는 공작물(M)의 위치나 형상을 측정하는 프로브몸체(10)와, 이 프로브몸체(10)를 도시안된 공작기계에 장착시키며 프로브몸체(10)에서 측정된 공작물(M)에 관한 측정치를 공작기계로 송신하는 전원커넥터(120)를 포함한다. 이때, 도 3 및 도 5와 같이 프로브몸체(10)의 하단에는 하부캡(160)이 결합된다.
상기 프로브몸체(10)는 외통체(20), 내통체(30), 회로기판(40), 접점볼(50), 회전축(60), 제1스프링(70), 탐침봉(80), 상면커버(90) 및 제2스프링(100)을 포함한다.
그리고 상기 외통체(20)는 내부에 상하로 관통된 삽입부(21)가 형성된 것으로, 도 4와 같이 원통형으로 이루어지는 것이 바람직하다. 외통체(20)의 하단에는 내향돌출턱(23)이 형성된다. 본 발명의 일실시예에 따른 측정 프로브는 외통체(20)의 외주면에 나사산(22)이 형성될 수 있다.
그리고 상기 내통체(30)는 단관형상으로 이루어져서 외통체(20)의 삽입부(21)에 삽입되며 저면이 내향돌출턱(23)에 걸려진다. 내통체(30)의 측면에는 상하로 연장된 복수개의 가이드공(31)이 원주방향을 따라 이격 형성되고, 저면에는 상기 각 가이드공(31)과 연통되는 한 쌍의 장착홀(32,33)이 이격 형성된다. 이와 같은 내통체(30)는 가이드공(31) 및 장착홀(32,33)이 일체가 되도록 수지로 성형된다. 이에 따라, 부품수가 줄어 부품조립공정이 간소화되므로 측정 프로브의 생산성이 향상되는 장점이 있다.
그리고 상기 회로기판(40)은 외통체(20)의 내향돌출턱(23)과 내통체(30) 사이에 개재되며, 상면에는 내통체(30)의 장착홀(32,33)과 정렬되도록 접점(41)이 형성된다. 도 4와 같이, 내통체(30)에 3개의 장공(31)과 각 장공(31)과 정렬되는 한 쌍의 장착홀(32,33)이 형성된 것을 예시하였고, 회로기판(40)의 접점(41)은 원호 형상이며 한 쌍의 장착홀(32,33)과 정렬되도록 3개가 이격 형성된 것을 예시하였다.
그리고 상기 접점볼(50)은 내통체(30)의 장착홀(32,33)에 끼워져서 회로기판(40)의 접점(41)과 접촉된다.
그리고 상기 회전축(60)은 내통체(30)에 삽입되어 내통체(30)의 하단으로 돌출되어 사방으로 회전되는 축부(61)와, 이 축부(61)의 상단부에서 상기 내통체(30)의 각 가이드공(31)에 끼워지도록 돌출된 복수개의 가이드핀(62)을 포함한다. 이에 따라, 축부(61)가 공작물(M)과 접촉 및 접촉해제되면 가이드핀(62)이 내통체(30)의 가이드공(31)을 따라 승강됨에 따라 축부(61)가 회전될 수 있다. 그리고 축부(61)에는 외향걸림턱(63)이 형성된다.
한편, 회전축(60)의 가이드핀(62)은 내통체(30)의 가이드공(31)에 끼워져서 접점볼(50)과 접촉됨으로써 회로기판(40)의 접점(41)과 접촉된 상태가 된다. 주지된 바와 같이, 접점볼(50)과 접촉된 회전축(60)의 가이드핀(62)은 회로기판(40)과 접촉되어 전기적 회로를 형성하게 된다. 이때, 회전축(60)이 회동되면서 일측 가이드핀(62)이 상승하게 되면, 도 5의 확대도시된 바와 같이 상기 일측 가이드핀(62)이 접점볼(50)과 이격되어 상기 전기적 회로가 끊겨지며, 주지된 바와 같이 전기적 단속을 감지하여 공작물(M)의 위치나 형상 등을 측정할 수 있고, 이로 인해 공작기계에 장착되는 공구의 영점세팅이 가능해진다.
그리고 상기 제1스프링(70)은 회전축(60)과 외통체(20) 사이에 개재되어 회전축(60)을 원상복귀시키는 것으로, 도 5와 같이 회전축(60)의 축부(61)에 끼워져서 일단이 외향걸림턱(63)에 걸려지고 타단이 외통체(20)의 하단에 걸려져서 상기 축부(62)가 공작물(M)과 접촉해제시 축부(62)를 원상복귀시킨다.
그리고 상기 탐침봉(80)은 회전축(60)의 하단에 결합되어 회전축(60)과 일체로 회전되며, 하단에는 주지된 바와 같이 공작물(M)과의 접촉신호를 발생시키는 탐침자(81)가 구비된다.
그리고 상기 상면커버(90)는 외통체(20)의 상면에 결합된다. 본 발명의 일실시예에 따른 측정 프로브는 상면커버(90)의 저면에 외통체(20)의 삽입부(21)에 끼워지는 결합링(91)이 일체로 하향 돌출될 수 있다.
그리고 상기 제2스프링(100)은 탐침봉(80)의 상단에 끼워지며 상면커버(90)의 저면에 탄성지지되어, 상기 제1스프링(70)과 함께 탐침봉(80)을 원상복귀시킨다. 본 발명의 일실시예에 따른 측정 프로브는 제2스프링(100)은 상면커버(90)의 결합링(91)의 내부에 삽입될 수 있다. 이에 따라, 제2스프링(100)의 상단 및 하단이 모두 기계적으로 결합되므로, 제2스프링(100)의 탄성력이 항상 안정적이고 효과적으로 작용하기 때문에 탐침봉(80)이 효과적으로 원상복귀될 수 있어 측정정밀성이 향상된다.
한편, 도 4 및 도 5와 같이 회전축(60)의 상단에 절연링(150)이 결합되며, 이 절연링(150)은 회전축(60)의 복수개의 가이드핀(62)과 제2스프링(100)을 격리시킨다. 즉, 일측 가이드핀(62)이 접점볼(50)과 이격되더라도 제2스프링(100)이 복수개의 가이드핀(62)과 모두 접촉되면 측정정밀성이 저하되기 때문에, 상기 제2스프링(100)을 가이드핀(62)에서 이격시킨다.
상기 송신커넥터(120)는 프로브몸체(10)를 도시안된 공작기계에 장착시키며 프로브몸체(10)에서 측정된 공작물(M)의 측정치를 공작기계로 송신한다. 본 발명의 일실시예에 따른 측정 프로브는 송신커넥터(120)의 하단에 상기 프로브몸체(20)의 외통체(20)의 나사산(22)에 나사결합되는 나사탭(121)이 형성될 수 있고, 상단이 주지된 바와 같이 공작기계에 결합된다.
그리고 송신커넥터(120)에는 프로브몸체(10)의 탐침봉(60)에 의해 측정된 공작물(M)에 관한 측정치를 공작기계로 송신하는 송신부(130)가 구비된다. 좀 더 구체적으로, 송신부(130)는 프로브몸체(10)의 회로기판(40)과 전기적으로 접속되어, 주지된 바와 같이 회전축(60)의 일측 가이드핀(62)이 회로기판(40)에서 떨어져서 전기회로가 개방됨에 따라 공작물(M)의 좌표가 저장된 공작물(M)에 관한 측정치를 공작기계로 무선송신한다. 이때, 송신커넥터(120)에는 송신부(130)에서 공작기계로 측정치를 송신하는 전파가 송출되는 전파출력부(141)가 형성된다.
본 발명의 일실시예에 따른 측정 프로브는 전원커넥터(120)에 공작기계에 장착된 수신기(170~174)와 페어링되는 페어링버튼(140)이 더 구비될 수 있다. 즉, 전원커넥터(120)에 구비된 송신부(130)와 복수개의 공작기계에 각각 구비된 수신기(170~174)를 무선연결하므로, 각각의 공작기계마다 측정 프로브를 설치하여 공작물(M)의 위치정보를 측정해야 할 필요가 없어 작업이 편리하고 작업시간이 단축되어 생산성이 향상된다.
본 발명의 일실시예에 따른 측정 프로브는 프로브몸체(10)에 제3스프링(110)이 더 구비될 수 있다. 도 4 및 도 5와 같이, 이 제3스프링(110)은 외통체(20)의 삽입부(21)로 삽입되며 하단이 내통체(30)의 상면에 걸려지고 상단이 상면커버(90)에 탄성지지되어, 탐침봉(80)이 회전될 때 내통체(30)가 유동되는 것을 방지한다. 이에 따라, 탐침봉(80)의 원상복귀과정에서 내통체(30)의 유동에 의해 접점볼(50)과 회로기판(40)의 접점(41)간에 정렬위치가 벗어나는 것이 방지되므로, 측정정밀성이 더욱 향상된다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
10 : 프로브몸체 20 : 외통체
30 : 내통체 31 : 가이드공
32,33 : 장착홀 40 : 회로기판
41 : 접점 50 : 접점볼
60 : 회전축 70 : 제1스프링
80 : 탐침봉 90 : 상면커버
100 : 제2스프링 110 : 제3스프링
120 : 송신커넥터 130 : 송신부
140 : 페어링버튼 150 : 절연링

Claims (3)

  1. 공작물(M)과 접촉하여 공작물(M)의 위치나 형상을 측정하는 프로브몸체(10)와, 이 프로브몸체(10)를 공작기계에 결합시키며 프로브몸체(10)에서 측정된 공작물(M)에 관한 측정치를 공작기계로 송출하는 송신부(130)가 구비된 송신커넥터(120)를 포함하며,
    상기 프로브몸체(10)는,
    내부에 상하로 관통된 삽입부(21)가 형성되고 하단에는 내향돌출턱(23)이 형성된 외통체(20);
    단관형상이며 상기 외통체(20)의 삽입부(21)에 삽입되고 저면이 내향돌출턱(23)에 걸려지며, 측면에는 상하로 연장된 복수개의 가이드공(31)이 원주방향을 따라 이격 형성되고, 저면에는 상기 각 가이드공(31)과 연통되는 한 쌍의 장착홀(32,33)이 형성되도록 수지로 일체로 성형된 내통체(30);
    상기 외통체(20)의 내향돌출턱(23)과 내통체(30) 사이에 개재되며, 내통체(30)의 장착홀(32,33)과 정렬되도록 접점(41)이 형성된 회로기판(40);
    상기 내통체(30)의 장착홀(32,33)에 끼워져서 회로기판(40)의 접점(41)과 접촉되는 접점볼(50);
    상기 내통체(30)에 삽입되어 내통체(30)의 하단으로 돌출되는 축부(61)와, 이 축부(61)의 상단부에서 상기 내통체(30)의 각 가이드공(31)에 끼워지도록 돌출되며 접점볼(50)과 접촉되는 복수개의 가이드핀(62)을 포함하며, 상기 축부(61)가 사방으로 회동되는 회전축(60);
    상기 회전축(60)의 하단에 결합되며, 공작물(M)과 접촉되는 탐침봉(70);
    상기 회전축(60)과 외통체(20) 사이에 개재되어 회전축(60)을 원상복귀시키는 제1스프링(80);
    상기 외통체(20)의 상면에 결합되는 상면커버(90); 및
    상기 탐침봉(70)의 상단에 끼워지며 상면커버(80)의 저면에 탄성지지되는 제2스프링(100);을 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 프로브.
  2. 제1항에 있어서, 상기 송신커넥터(120)의 측면에는 송신부(130)와 복수개의 공작기계에 각각 설치되는 복수개의 수신기(170~174)를 페어링시키는 페어링버튼(140)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 측정 프로브.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 프로브몸체(10)의 외통체(20)의 외주면에는 나사산(22)이 형성되고, 상기 송신커넥터(120)의 하단에는 프로브몸체(10)의 외통체(20)의 나사산(22)이 결합되는 나사탭(121)이 형성되며, 상기 상면커버(90)의 저면에는 외통체(20)의 삽입부(21)에 끼워지는 결합링(91)이 일체로 하향 돌출되고, 상기 제2스프링(100)은 상면커버(80)의 결합링(91)의 내부에 삽입되며, 상기 외통체(20)의 삽입부(21)에 끼워져서 하단이 내통체(40)의 상면에 지지되고 상단이 상면커버(80)의 결합링(91)의 외주면에 끼워지는 제3스프링(110)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 측정 프로브.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2510804B2 (ja) * 1991-02-25 1996-06-26 レニショウ メタロジィ リミテッド 接触プロ―ブおよびスタイラスモジュ―ル
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