JP2008531426A - 大量流体送出システム内の流体の状態の制御 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図3
Description
例1
容器301は、容器に流体を高位置(図3の307)まで充填することによって、充填サイクルを完了し、待機しており、一方、容器303は、流体をその低位置(図3の309)まで分注することによって、分注サイクルを完了しているとする。
Claims (30)
- 流体を供給配管へ供給するための第1容器及び第2容器と、不活性ガスを前記第1及び第2容器に供給するための不活性ガス源と、制御器と、前記供給配管内に配置されているセンサーとを有する、大量流体分配システム内の流体の圧力を制御するための方法において、
前記制御器において前記センサーから制御信号を受信する段階と、
前記第1容器の分注サイクルを開始する段階であって、前記制御信号と、前記第2容器の第1水位と第2水位の間の流体の水頭圧力から第1信号を決める段階と、前記第1信号に基づいて前記第1容器内の流体に第1圧力を加える段階と、流体を前記第1容器の第1水位から第2水位まで分注する段階と、を含んでいる、前記第1容器の分注サイクルを開始する段階と、
前記第2容器の分注サイクルを開始する段階であって、前記制御信号と、前記第1容器の第1水位と第2水位の間の水頭圧力から第2信号を決める段階と、前記第2信号に基づいて前記第2容器内の流体に第2圧力を加える段階と、流体を前記第2容器の第1水位から第2水位まで分注する段階と、を含んでいる、前記第2容器の分注サイクルを開始する段階と、から成る方法。 - 前記制御器は、前記第2容器の分注サイクルから独立して、前記第1容器の分注サイクルを制御する、請求項1に記載の方法。
- 前記流体を前記第1容器から分注する段階は、前記供給配管内で所定の圧力を維持するために、前記制御信号に応えて、前記第1容器内の流体に加えられる前記不活性ガスの圧力を調節する段階を含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 前記流体を前記第2容器から分注する段階は、前記供給配管内で所定の圧力を維持するために、前記制御信号に応えて、前記第2容器内の流体に加えられる前記不活性ガスの圧力を調節する段階を含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 前記流体を前記第1容器の第2水位まで分注する段階の後で、且つ前記流体を前記第2容器から分注する段階の間に、流体源から前記第1容器を充填する段階を更に含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 前記流体源は、加圧された流体を供給する、請求項5に記載の方法。
- 前記第1容器を充填する段階は、前記流体源から前記流体を引き出すために前記第1容器内に真空を作り出す段階を含んでいる、請求項5に記載の方法。
- 前記流体を前記第2容器の第2水位まで分注する段階の後で、且つ前記流体を前記第1容器から分注する段階の間に、流体源から前記第2容器を充填する段階を更に含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 前記流体源は、加圧された流体を供給する、請求項8に記載の方法。
- 前記第1容器を充填する段階は、前記流体源から前記流体を引き出すために前記第1容器内に真空を作り出す段階を含んでいる、請求項8に記載の方法。
- 前記制御信号は、前記供給配管内の流体の圧力に対応している、請求項1に記載の方法。
- 前記制御信号は、前記供給配管内の流体の流量に対応している、請求項1に記載の方法。
- 前記流体は、酸、塩基、溶剤、及び化学機械研磨スラリーから成る半導体処理流体のグループから選択される、請求項1に記載の方法。
- 容量性、光学、又はデジタルセンサーによって、前記第1容器内の流体の第1水位と第2水位を検出する段階を更に含んでいる、請求項1に記載の方法。
- ロードセルによって、前記第1容器内の流体の第1水位と第2水位を検出する段階を更に含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 容量性、光学、又はデジタルセンサーによって、前記第2容器内の流体の第1水位と第2水位を検出する段階を更に含んでいる、請求項1に記載の方法。
- ロードセルによって、前記第2容器内の流体の第1水位と第2水位を検出する段階を更に含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 流体を供給配管へ供給するための第1容器及び第2容器と、不活性ガスを前記第1及び第2容器に供給するための不活性ガス源と、制御器と、前記供給配管内に配置されているセンサーとを有する、大量流体分配システム内の流体の圧力を制御するための方法において、
前記第1容器内の第1水位にある前記流体に、前記不活性ガスを掛ける段階と、
前記第1容器内の流体を、前記第1容器の前記第1水位から第2水位まで分注する段階と、
前記供給配管内で所定の流体圧力を維持するために、前記供給配管内の前記センサーからの信号に応えて、前記第1容器への前記不活性ガスの圧力を調節する段階と、
前記第2容器内の第1水位にある前記流体に、前記不活性ガスを掛ける段階と、
前記第2容器内の流体を、前記第2容器の前記第1水位から第2水位まで分注する段階と、
前記供給配管内で所定の流体圧力を維持するために、前記供給配管内の前記センサーからの信号に応えて、前記第2容器への前記不活性ガスの圧力を調節する段階と、から成り、
前記第1容器の前記第1水位にある前記流体に供給される前記不活性ガスの圧力は、前記第2容器の第1水位と第2水位の間の水頭圧力の変化に合わせて調節され、前記第2容器の前記第1水位に供給される前記不活性ガスの圧力は、前記第1容器の前記第1水位と第2水位の間の水頭圧力に合わせて調節される、方法。 - 供給配管と、流体を前記供給配管に供給するための第1容器及び第2容器と、不活性ガスを前記第1及び第2容器に供給するための不活性ガス供給源と、制御器と、前記供給配管内に配置されているセンサーとを有する、大量流体分配システム内の流体の圧力を制御するための方法において、
制御信号を前記センサーから前記制御器へ送る段階と、
前記制御信号と、前記第2容器の第1水位と第2水位の間の前記流体の水頭圧力の変化から第1信号を決める段階と、
前記第1信号に基づいて、第1不活性ガス圧力を前記第1容器に掛ける段階と、
前記流体を、前記第1容器から前記供給配管へ分注する段階と、
前記制御信号と、前記第1容器の第1水位と第2水位の間の前記流体の水頭圧力の変化から第2信号を決める段階と、
前記第2信号に基づいて、第2不活性ガス圧力を前記第2容器に掛ける段階と、
前記流体を、前記第2容器から前記供給配管へ分注する段階と、から成る方法。 - 前記流体を前記第1容器から分注する段階は、前記供給配管内で所定の圧力を維持するために、前記制御信号に応じて、前記第1容器への前記不活性ガス圧力を調節する段階を含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 前記流体を前記第2容器から分注する段階は、前記供給配管内で所定の圧力を維持するために、前記制御信号に応えて、前記第2容器への前記不活性ガス圧力を調節する段階を含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 流体を、第1容器と第2容器から少なくとも1つの使用地点に、前記少なくとも1つの使用地点における前記流体の圧力が実質的に一定となる条件の下で、交互に分注する段階を含んでいる、大量流体分配システムの圧力を制御するための方法。
- 交番容器大量流体分配システム内の流体圧力を制御するための装置において、
第1容器内の流体の第1水位と第2水位を検出するための第1の一対のセンサーを有する第1容器と、
第2容器内の流体の第1水位と第2水位を検出するための第2の一対のセンサーを有する第2容器と、
不活性ガスを前記容器に供給するための不活性ガス供給配管と、
第1マスター調整器と第1スレーブ調整器を含んでいる第1の一対の調整器であって、前記第1スレーブ調整器は、前記第1容器への前記不活性ガスの圧力を調整するようになっている第1の一対の調整器と、
第2マスター調整器と第2スレーブ調整器を含んでいる第2の一対の調整器であって、前記第2スレーブ調整器は、前記第2容器への前記不活性ガスの圧力を調整するようになっている第2の一対の調整器と、
制御センサーが中に配置されている流体供給配管であって、前記容器が流体を前記供給配管に交互に分注するようになっている、流体供給配管と、
制御器であって、前記制御センサーから制御信号を受信し、前記制御信号と、前記第2容器の第1水位と第2水位の間の流体の水頭圧力の変化とに基づいて第1信号を決め、前記制御信号と、前記第1容器の第1水位と第2水位の間の流体の水頭圧力の変化とに基づいて第2信号を決め、第1信号を第1マスター調整器に、第2信号を第2マスター調整器に送るようになっている制御器と、を備えている装置。 - 前記第1と第2の一対のセンサーは、容量性、光学、又はデジタルセンサーである、請求項23に記載の装置。
- 前記第1と第2の一対のセンサーはロードセルである、請求項23に記載の装置。
- 前記マスター調整器は電気空圧調整器である、請求項23に記載の装置。
- 前記スレーブ調整器はドーム型負荷圧力調整器である、請求項23に記載の装置。
- 前記制御センサーは圧力変換器である、請求項23に記載の装置。
- 前記制御センサーは流量計である、請求項23に記載の装置。
- 前記制御センサーは無線であり、前記制御器は無線信号を受信するようになっている、請求項23に記載の装置。
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