JP2009526651A - 正確な制御を用いて液体をディスペンスする方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図2
Description
本願は、圧力又は流量の非常に正確な制御を必要とする条件下で液体を配送する方法及び装置を提供する。特には、本発明は、高純度の薬品又はスラリーを、半導体製造プロセスにおける1つ以上の使用場所へと配送する方法であって、薬品又はスラリーの流量が、使用場所への一定の流量で提供される方法を提供する。
液体ディスペンスシステム(dispensing system)の終点へと提供される液体の量を正確に制御することが多くの場合に望ましい。更には、有害な効果を有し得るスパイク(spiking)を避けるべく、提供される液体の量ができるだけ一定であることが重要である。これは、提供される液体の量が、成膜、エッチング、洗浄などのプロセスに大いに影響を与え得る半導体製造プロセスにとりわけ当てはまる。圧力のばらつきは、非再現性及び、究極的には、収量の低下をもたらし得る。フロー制御も重要である。スラリーを必要とする半導体プロセスなどの或るプロセスにとっては、流量を、粒子をスラリー中に懸濁させておくのに必要な速度に維持することが重要である。或いは、高純度の薬品用途にとっては、最適な濾過を確実にするのに、一貫した流量を維持することが重要である。流量の変化も、配管又は濾過カートリッジにおける摩擦損失(例えば水頭損失)などによって、供給システム(distribution system)内の圧力に影響を与え得る。
本願は、圧力又は流量の非常に正確な制御を必要とする条件下で液体を配送する方法及び装置を提供する。特には、本発明は、高純度の薬品又はスラリーを、半導体製造プロセスにおける1つ以上の使用場所へと配送する方法であって、薬品又はスラリーの流量が、使用場所への一定の流量で提供される方法を提供する。
本発明の好ましい実施形態が示されている添付の図面を参照しながら、本発明を、下で、より十分に説明する。しかしながら、本発明は、多くの異なる形態で具現化されても良く、ここで述べられる実施形態に限定されるように解釈されるべきでない。むしろ、これら実施形態は、この開示が完全且つ徹底的となり且つ本発明の範囲を当業者に十分に伝えるように提供されている。
Claims (28)
- 流体供給システムであって、
流体を使用場所へとディスペンスする遠心ポンプと、
前記遠心ポンプに接続された圧力容器であって、前記遠心ポンプが加圧された流体を前記圧力容器から受け取る圧力容器と、
前記圧力容器内の圧力を調節する圧力調節手段と、
前記ディスペンスされた流体の一部を前記圧力容器へと戻すリターンラインと
を具備した流体供給システム。 - 請求項1記載の流体供給システムであって、前記使用場所に近接して位置しており、前記流体の状態を監視するセンサを更に具備した流体供給システム。
- 請求項2記載の流体供給システムであって、前記センサが圧力変換器である流体供給システム。
- 請求項2記載の流体供給システムであって、前記センサが流量計である流体供給システム。
- 請求項2記載の流体供給システムであって、コントローラを更に具備した流体供給システム。
- 請求項5記載の流体供給システムであって、前記コントローラは、信号を前記遠心ポンプ及び前記圧力調節手段へと送るように及び信号を前記センサから受け取るように適合されている流体供給システム。
- 請求項1記載の流体供給システムであって、前記圧力容器に接続された流体ソースを更に具備した流体供給システム。
- 請求項1記載の流体供給システムであって、前記圧力容器に接続されており、流体を前記使用場所にディスペンスする第2遠心ポンプを更に具備した流体供給システム。
- 請求項2記載の流体供給システムであって、前記リターンライン中に位置した第2センサを更に具備し、前記第2センサは、信号を前記圧力調節手段へと送るように適合されている流体供給システム。
- 請求項1記載の流体供給システムであって、前記圧力容器がロードセルである流体供給システム。
- 請求項1記載の流体供給システムであって、前記使用場所が半導体製造プロセスである流体供給システム。
- 請求項1記載の流体供給システムであって、前記圧力調節手段に接続されており、前記圧力容器内の圧力を制御する不活性ガスソースを更に具備した流体供給システム。
- 流体供給システム内の圧力を制御する方法であって、
遠心ポンプの速度を制御して、所定の圧力を使用場所で維持することと、
圧力調節手段を制御して、所定の圧力を前記遠心ポンプに接続された圧力容器内で維持することと、
前記使用場所に近接して位置したセンサを用いて前記流体の状態を測定することであって、前記測定された状態は、前記遠心ポンプの速度及び前記圧力調節手段を制御するために使用されることと
を含んだ方法。 - 請求項13記載の方法であって、前記測定された状態を示す信号を、前記センサからコントローラへと送ることを更に含んだ方法。
- 請求項14記載の方法であって、前記コントローラは、前記遠心ポンプの速度を、前記センサからの前記信号に基づいて制御する方法。
- 請求項14記載の方法であって、前記コントローラは、前記圧力容器内の圧力を、前記センサからの前記信号に基づいて制御する方法。
- 請求項14記載の方法であって、フィードバック制御を使用して前記流体供給システム内の圧力を制御することを更に含み、前記コントローラが、前記送られた信号を受け取り、制御信号を前記遠心ポンプへと送って、前記速度を調節する方法。
- 請求項17記載の方法であって、前記コントローラが、第2制御信号を前記圧力調節手段へと送って、前記圧力容器内の圧力を調節する方法。
- 請求項14記載の方法であって、フィードバック制御を使用して前記流体供給システム内の圧力を制御することを更に含み、前記コントローラが、前記送られた信号を受け取り、制御信号を前記圧力調節手段へと送って、前記圧力容器内の圧力を調節する方法。
- 請求項14記載の方法であって、前記圧力容器に近接して位置した第2センサを用いて前記流体の状態を測定することを更に含んだ方法。
- 請求項20記載の方法であって、前記測定された条件を示す信号を、前記第2センサから前記コントローラへと送ることを更に含んだ方法。
- 請求項21記載の方法であって、前記コントローラは、前記遠心ポンプの速度を、前記第2センサからの前記信号に基づいて制御する方法。
- 請求項21記載の方法であって、前記コントローラは、前記圧力容器内の圧力を、前記第2センサからの前記信号に基づいて制御する方法。
- 請求項21記載の方法であって、前記コントローラは、両方の信号に基づいて、前記遠心ポンプの速度と前記圧力容器内の圧力とを制御する方法。
- 請求項20記載の方法であって、前記流体の状態を測定する前記工程は、前記流体の圧力を測定することを含んでいる方法。
- 請求項20記載の方法であって、前記流体の状態を測定する前記工程は、前記流体の流量を測定することを含んでいる方法。
- 請求項13記載の方法であって、第2遠心ポンプの速度を制御することを更に含んだ方法。
- 請求項13記載の方法であって、前記圧力容器内の前記流体の重さ又はレベルを示す信号を送ることを更に含み、前記圧力容器がロードセルである方法。
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