JP2008528807A - ヘッドサスペンション構成要素のための単一パス二重厚み式電気めっきシステム - Google Patents

Abstract

第１および第２の陽極を浴内に入れた電気めっき溶液の浴を有する電気めっきシステムを提供することによって、ディスクドライブサスペンション構成要素の両側における露出した導体領域を同時に電気めっきするための方法。サスペンション構成要素は、電気めっき溶液の浴中で第１および第２の陽極間に位置決めされる。第１の電気めっき電流が、第１の陽極と構成要素の第１の表面における露出した導体領域との間に生成される。第２の電気めっき電流が、第２の陽極と第２の表面における露出した導体領域との間に生成される。それによって、導電性材料の層が、構成要素の両側における露出した導体領域にめっきされる。時間および大きさなどの、第１および第２のめっき電流のパラメータを制御することによって、導体の対向する側面に、同じかまたは異なる厚みに導電性材料の層をめっきすることができる。

Description

関連出願の相互参照

本出願は、２００５年１月２５日に出願された「ヘッドサスペンション構成要素のための単一パス二重厚み式電気めっき法（Single Pass Dual Thickness Electroplating Method for head Suspension Components）」なる名称の米国仮出願第６０／６４６，９３４号の利益を主張し、その出願を、参照により全体として本明細書に組み込んでいる。

本発明は、ディスクドライブのヘッドサスペンション構成要素における部分に電気めっきするためのシステムである。特に、本発明は、サスペンション構成要素の異なる部分を異なるめっき厚みに同時に電気めっきするためのシステムである。

フレキシャなどの、いわゆるワイヤレスまたは一体型リードのディスクドライブヘッドサスペンション構成要素の銅もしくは銅合金のリードまたは導体、端子パッド、および他の部分は、通例、金、ニッケル、銀および／または他の導電性材料で電気めっきされて、電気接続性を向上させかつ汚染を低減する。たとえば、普通の一めっき構成では、金層の下にニッケル層が含まれる。

図１は、サスペンション構成要素における部分に導電性材料をめっきするために使用可能な電気めっきシステムのめっき槽（図示せず）に位置する先行技術のめっきシステム１１０の構成要素の概略図である。図１に示すタイプの設備は、香港のＰＥＮＣケミカルズ・アンド・マシーナリ・カンパニ（PENC Chemicals and Machinery Co.）などのサプライヤから市販されている。図示のように、複数の陽極１１８が、円形ラック１１６の回りに離間配置されている。電気めっきされるべき部分を備えたサスペンション構成要素を有するパネル１１４が、ラック１１６に取り付けられている。パネル１１４は、陰極として機能する。特に、めっき槽のめっき溶液に曝され、それによって導電性材料を受け取るように意図された導電性リードの層が、陰極として機能する。

サブトラクティブ法を用いて材料の積層シートから製造されるワイヤレスフレキシャは、典型的には、電気めっきされるべき表面積の大部分（たとえば約９５％）がパネルの第１の側面１２０にあり、電気めっきされるべき表面積の残りが第２の側面１２２にある。ワイヤレスフレキシャは、典型的には、ばね金属層を有し、導体、端子パッド等がばね金属層の一側面に形成されている。したがって、フレキシャは、典型的には、ばね金属に形成された導体がパネル１１４の第１の側面１２０にあるように、パネル１１４に取り付けられる。導体に取り付けられた、ばね金属層における部分を除去して、フレキシャの第２の側面１２２から導体へのアクセス経路を作成してもよい。両側から導体へのアクセス経路を備えた、フレキシャにおけるこれらの部分のいくつかは、フライングリード領域として知られている場合があり、この領域における導体の部分は、フライングリードとして周知である。

電気めっきは、非常に指向性のあるプロセスである傾向がある。陽極１１８と露出した導電性材料（陰極の役割をする）との間を流れる電流によって、めっき溶液中のめっき材料が、パネル１１４の第１の側面１２０（すなわち、陽極１１８に直接面するように位置決めされた側面）における露出した導電性材料にめっきされる傾向がある。しかしながら、陽極からパネル１１４の第２の側面１２２への比較的小量の電流漏れがある。また、パネル１１４の第２の側面１２２においてめっきされる表面面積量が比較的小さいので、たとえパネル１１４の第２の側面における導電性材料が、陽極１１８に露出されていなくても（すなわち、第２の側面は陽極に直接面してはいない）、この漏れ電流は、典型的には、第２の側面１２２に適切な電気めっきをもたらすのに十分である。

サスペンション構成要素の異なる部分を、めっき材料の異なる厚みに電気めっきすることが望ましいときもある。たとえば、サスペンションに取り付けられた読み出し／書き込みヘッドの端子へハンダボール接合（ＳＢＢ）される端子には、比較的薄い電気めっき層を施すのが、一般に望ましい。多すぎる金めっきがはんだと混合した場合にはときどき生じる可能性があるはんだ脆化を低減するために、この位置には薄いめっき層が望ましい。他方では、比較的厚いめっき層は、フライングリードが他のディスクドライブ構成要素に超音波接合されるフライングリード裏面には、望ましい。この用途では、比較的厚い金めっきによって、接合の向上がもたらされる。

異なるフレキシャ部分を異なる厚みにめっきするための周知のアプローチには、従来のフォトリソグラフィレジスト処理を用いて、めっきすべきでないフレキシャ部分を、サスペンションの他の部分がめっきされているときに覆ってシールドすることが含まれる。たとえば、第１の厚みにめっきすべき導体および第２の厚みにめっきすべき下地特徴部を有するフレキシャでは、下地特徴部の場所は、導体が比較的薄いニッケルおよび／または金層で電気めっきされている間、レジストによってマスクすることができる。導体が電気めっきされた後で、導体がレジストでマスクされ、下地特徴部の場所からレジストが取り去られて、下地特徴部が電気めっきされる。

さらに他の周知のアプローチには、フライングリードの場所でめっき厚みを増加させる追加プロセスステップを用いることが含まれる。たとえば、上記の薄いニッケル／金層めっきに続いて、フライングリード以外の導体の部分およびめっきされた下地特徴部を、レジストでマスクすることができる。次に、追加の、典型的には比較的厚い金または他の材料の層を、フライングリード上に電気めっきすることができる。さらに、めっきされた下地特徴部は、上記の方法で製造することができる。これらの比較的厚い金のフライングリードは、カプセル化または非カプセル化形状で製造することができる。図２は、導電性リード１３８の断面図であるが、導電性リード１３８は、比較的厚い金カプセル化層１３６によってカプセル化された比較的薄いニッケルめっき層１３２と比較的薄い金めっき層１３４とを備えた銅合金部分１３０を有する。図３は、導電性リード１４８の断面図であるが、導電性リード１４８は、比較的厚い金層１４６によって完全にはカプセル化されていない比較的薄いニッケルめっき層１４２と比較的薄い金めっき層１４４とを備えた銅合金部分１４０を有する。図３に示す非カプセル化リード１４８の利点は、必要とする金量がより少ないということである。しかし、この利点は、非カプセル化された表面、継ぎ目のマスキングに関連して必要とされる追加プロセスステップ、および関連する製造歩留まりへの影響という短所を付随する。

いわゆる追加プロセスもまた周知であり、ワイヤレスサスペンションを製造するために用いられる。しかしながら、上記の、めっきされる下地特徴部の製造プロセスは、一般には、これらのタイプの追加プロセスと共に効果的に用いるのには適していない。

異なる厚みを有する電気めっき部分または層を備えたサスペンション構成要素を製造するための効率的なプロセスの必要性が依然としてある。追加的なワイヤレスサスペンション構成要素製造プロセスに組み込むことができるかかるプロセスは、特に望ましいであろう。

本発明の一実施形態は、露出した導体領域を備えた第１および第２の対向する表面を有するディスクドライブサスペンションの構成要素に電気めっきするための方法である。本方法には、めっき材料を含む電気めっき溶液の浴ならびに浴における第１および第２の陽極を有する電気めっきシステムを提供することが含まれる。サスペンション構成要素は、第１と第２の陽極との間で浴に位置決めされる。第１の電気めっき電流が、第１の陽極と第１の表面における露出した導体領域との間に印加されて、第１の表面における露出した導体領域に、導電性めっき材料の層をめっきする。第２の電気めっき電流が、第２の陽極と第２の表面における露出した導体領域との間に印加されて、第２の表面における露出した導体領域に、導電性めっき材料の層をめっきする。

第１の陽極および構成要素と第２の陽極および構成要素との間で異なる電流を印加して、第１および第２の表面に、異なる厚みを有するめっき材料の層を実現することができる。電流は、大きさまたは期間を様々にすることができる。同じかまたは異なる厚みを有する材料の追加層を、構成要素が続いてシステムを通過する間に、構成要素にめっきすることができる。

本発明の別の実施形態は、ディスクドライブサスペンション構成要素の対向する第１および第２の表面における部分を同時に電気めっきするためのシステムである。このシステムには、ある量の電気めっき溶液を保持する電気めっき容器と、第１および第２の陽極と、第１および第２の陽極間に構成要素を支持するための構造体とが含まれる。電源手段が、陽極と電気的に通じており、陽極とサスペンション構成要素との間の電流を陽極に生成させる。

図９を参照すると、本発明の一実施形態による、両面二重厚み式めっきを提供できる単一パス電気めっきシステム１０には、めっき容器または槽１２が含まれ、その中にめっき溶液１４が入れられている。電気めっきシステム１０は、ワイヤレスフレキシャなどのサスペンション構成要素にめっきするためのリールツーリール電気めっきプロセスと関連して用いるように構成されている。電気めっきシステム１０には、材料ウェブ２０を槽１２の中へ巻き出して、ウェブ２０がめっき溶液と接触するようにする供給リールなどの巻き出し部材２６が含まれる。受け取りリールなどの巻き取り部材２８は、材料ウェブ２０が槽１２を通過した後で、それを巻き取る。ウェブ２０は、複数のサスペンション構成要素４０を含む材料シートであり、下記で説明するように、本発明のめっきプロセスのために事前に準備されている。ウェブ２０（およびサスペンション構成要素４０）は、第１の表面または側面２２、および第１の側面に対向する第２の表面または側面２４を有する。めっき溶液１４には、サスペンション構成要素の選択された部分にめっきするための金を含むことができる。代替として、めっき溶液１４には、ニッケル、銀、銅、パラジウム、はんだ材料などの他のめっき材料、またはこれらの材料のいずれかを含有する合金を含むことができる。

陽極３０のペアがめっき溶液１４中に位置して、これらの陽極の１つがウェブ２０の第１の側面２２に隣接して位置決めされ、かつもう一方の陽極がウェブ２０の第２の側面２４に隣接して位置決めされるようにする。整流器または他の適切な装置などの電源３２が、電気導体３４を介して陽極３０と電気的に通じている。電源３２によって、電気信号が陽極３０のそれぞれに供給される。電源３２は、同じかまたは異なる電気信号（たとえば信号の同じか異なるレベル、大きさ、タイプおよび／または期間）を個別の陽極３０に供給できる。電源３２が陽極３０に電気信号を供給すると、陽極は、めっき溶液１４中に電流を生成する。ウェブ２０のサスペンション構成要素４０には、それらの第１の側面２２および第２の側面２４のそれぞれからアクセス可能な露出した導電性材料が含まれるが、これについては、下記でより詳細に説明する。露出した導電性材料は、陰極として機能する。陽極３０と陰極との間で電流が生成されると、めっき溶液１４における導電性材料が、ウェブ２０の露出した導電性材料上にめっきされる。

サスペンション構成要素４０の露出した導電性材料上に施されるめっき材料の厚みは、陽極３０とウェブ２０の露出した導電性材料との間に流れるめっき電流の量、および電流がサスペンション構成要素に印加される期間によって、制御することができる。上記のように、サスペンション構成要素４０の異なる部分は、異なる厚みのめっきを含むことができるのが好ましい。各陽極によって生成される電流は、異なるレベルおよび期間で印加できるので、第１の側面２２からアクセス可能な露出した導体表面のめっきは、第２の側面２４からアクセス可能な露出した導体表面より厚いめっき材料層を有することができ、必要に応じて逆の場合も同様である。したがって、第１および第２の陽極とウェブ２０との間に印加される電流量および／または電流が印加される期間を制御することによって、電気めっきシステム１０は、サスペンション構成要素に４０に対し、単一のめっきプロセスで異なる表面に様々な厚みの導電性めっき材料を施すことができる。

図４〜６は、本発明のめっきプロセスによってめっきできるサスペンション構成要素４０の概略図である。従来または周知のプロセスを用いて、サスペンションなどの構成要素４０を製造することができる。サスペンション構成要素４０は、様々な従来または周知の構造のいずれでも有することができる。例として、サスペンション構成要素４０の図示の実施形態には、めっきされる前にステンレス鋼または他の同様の材料で作製されたばね金属層４２が含まれる。ポリイミドまたは他の適切な材料で作製された誘電体層４４が、第１の側面２２におけるばね金属層４２における部分の上に延び、導電性リード４６が、誘電体層上に形成される。導電性リード４６は、銅または銅合金を始めとする任意の適切な導電性材料で作製することができる。導電性リード４６には、それぞれ第１および第２の主面４５および４７、ならびに２つの側部表面４３がある。一実施形態において、導電性リード４６は、誘電体層４４に追加的に施され、また導電性リードの第２の主面４７は、誘電体層と接触している。導電性リード４６の第１の主面４５および側面４３における部分の上にカバー層４８が配置されて、導電性リードを保護する。カバー層４８によって覆われた導電性リード４６の部分は、典型的にはめっきされない。カバー層４８は、誘電体層４４と同じかまたは同様の材料で作製することができる。

サスペンション構成要素４０には導電性パッド５０を含むことができるが、この導電性パッド５０は、誘電体層４４およびばね金属層４２に支持され、かつ露出された、すなわちカバー層４８によって覆われていない導電性リード４６の部分である。導電性パッド５０は、導電性リード４６の様々な場所に位置することができ、また個別の導電性リードは、任意の数の導電性パッドを有することができる。導電性パッド５０は、導電性リード４６の他の部分と同じ幅を有するように示されているが、他の幅、サイズまたは形状を有することができる。導電性パッド５０を用いて、導電性リード４６と、サスペンション構成要素にかまたはその外部に位置する電気部品との間に電気的連通をもたらすことができる。たとえば、導電性指導４６は、スライダ上の磁気ヘッド（図示せず）、サスペンション構成要素４０にかまたはその外部に位置する電気もしくは電子駆動部品（図示せず）、マイクロアクチュエータ（図示せず）または他の導電性リードと電気的に接続することができる。

サスペンション構成要素４０の図示の実施形態にはまた、フライングリード５２が含まれる。フライングリード５２は、カバー層４８によって覆われず、かつ誘電体層４４またはばね金属層４２によって支持されていない導電性リード４６の部分である。フライングリード５２は、誘電体層４４およびばね金属層４２を通って形成された開口部５４の上へ延びることができる。したがって、フライングリード５２のそれぞれの第２の主面４７は、サスペンション構成要素４０の第２の側面２４において露出している。一実施形態において、誘電体層４４を通って広がる開口部５４の部分５６は、誘電体層がばね金属層の上へ延びるように、ばね金属層４２を通って広がる開口部の部分５８より小さい。開口部５４は、たとえば、ばね金属層４２および誘電体層４４をエッチングすることを始めとする様々な周知の方法で形成することができる。図４〜６に示すサスペンション構成要素４０は、概略図である。実際の構成要素は、フレキシャ、ジンバルおよびばね領域などの他の構造体、ならびに導電性パッド５０およびフライングリード５２などの多数の特徴部を有し得る。たとえば、導電性リードの一部は、構成要素の幅の外へ延びて（図示せず）、それにより、構成要素の第１の側面および第２の側面の両方で露出する場合もある。

図７Ａ〜Ｂは、本発明の一実施形態により電気めっきシステム１０でめっきされた後のサスペンション構成要素４０を示す。めっき材料の層６０が、サスペンション構成要素４０の第１の側面２２における導電性パッド５０およびフライングリード５２に施されている。さらに、めっき材料の層７０が、サスペンション構成要素４０の第２の側面２４からアクセス可能なフライングリード５２の部分に施されている。フライングリード５２に接する層７０の厚み７２は、層６０の厚み６２より厚い。

代替として、層６０の厚み６２は、層７０の厚み７２と同じかまたはより厚くすることができる。上記のように、めっき材料の層６０、７０には、金、銀、ニッケルまたはそれらの合金を含むことができる。図９に関連して上記したように、電源３２から、めっき溶液１４内に位置決めされた個別陽極３０に供給される電気信号のタイプおよび期間によって、層６０および７０におけるめっき材料の厚みが決定される。導電性パッド５０の側面（図５の４３）は、第１の層６０と共に効果的にめっきされる。フライングリード５２の側面４３は、層６０および／または層７０と共に効果的にめっきされる。なぜなら、両側からの漏れ電流が、フライングリードの側面まで達するからである（図示せず）。その結果、導電性リードは、層６０および７０が側面４３のそれぞれにおけるめっき材料まで達すると、カプセル化されて、それにより、フライングリード５２には継ぎ目が残されない。

図８Ａ〜Ｂは、本発明の別の実施形態により電気めっきシステム１０でめっきされた後のサスペンション構成要素２４０を示す。サスペンション構成要素２４０には、サスペンション構成要素２４０の第１の側面２２２における導電性パッド２５０およびフライングリード２５２に施されためっき材料２６０が含まれる。さらに、サスペンション構成要素２４０には、フライングリード２５２の第２の側面２４７に施されためっき材料２７０が含まれるが、フライングリード２５２は、サスペンション構成要素２４０の第２の側面２２４に対して露出している。めっき材料２６０には、第１の層２６４および第２の層２６６が含まれ、めっき材料２７０には、第１の層２７４および第２の層２７６が含まれる。第１の層２６４、２７４には、ニッケルまたはその合金など、あるめっき材料を含むことができ、第２の層２６６、２７６には、金、銀、銅、パラジウム、はんだ材料または合金などの別のめっき材料を含むことができる。図示の実施形態において、第１の層２６４および２７４は、厚みが同じである。第２の層２６６および２７６は、互いと比較して、およびそれらのそれぞれの第１の層２６４および２７４と比較して、異なる厚みであるように示されている。しかしながら、各層の厚みは、本発明の範囲から逸脱せずに変更することが可能である。めっき溶液内において陽極と陰極との間に生成される電流を制御して、それぞれの層の厚みを決定することができる。

第１の層２６４および２７４は、図９に示しかつ上記したように、これらの層を電気めっきすることによって、サスペンション構成要素２４０の導電性リード２４６に施すことができる。めっき溶液１４には、第１の層２６４および２７４を形成するめっき材料が含まれる。第１の層２６４および２７４が施された後で、第２の層２６６および２７６が、サスペンション構成要素に同様に電気めっきされる。第２の層２６６および２７６を形成するめっき材料を含む第２の電気めっき動作は、異なるめっき溶液を用いて、システム１０と類似した第２のめっきシステムで実行することができる。後のめっき動作で施される追加層は、本発明の範囲から逸脱せずに、同様に追加することができる。上記の相違を除いて、サスペンション構成要素２４０は、サスペンション構成要素４０と同様であり、類似の特徴部は、２ＸＸシリーズにおける参照番号を用いて識別される。

図１０は、本発明の別の実施形態による単一パス両面電気めっきシステム３１０を示す。電気めっきシステム３１０には、めっき溶液３１４を入れためっき槽３１２が含まれる。第１の陽極３３０が、ウェブ３２０の第１の側面３２２に隣接してめっき溶液３１４中に位置決めされ、第２の陽極３３１が、ウェブ３２０の第２の側面３２４に隣接してめっき溶液３１４に位置決めされている。第１の電源３３２が、第１の陽極３３０と電気的に通じており、第２の電源３３３が、第２の陽極３３１と電気的に通じている。３３２および３３３などの別個の電源によって、第１および第２の側面にそれぞれ印加される電流の量および期間の制御に改善をもたらし、それによって、構成要素４０に関連して上記したように、構成要素または構成要素における部分の対向する側面に施されるめっき材料層の厚みをより正確に決定することができる。上記の相違を除いて、電気めっきシステム３１０は、上記の電気めっきシステム１０と同じかまたは同様にすることができ、類似の特徴部は、３ＸＸシリーズにおける参照番号を用いて識別される。

図１１は、本発明のさらに別の実施形態による単一パス両面電気めっきシステム４１０を示す。電気めっきシステム４１０には、めっき溶液４１４を入れためっき槽４１２が含まれる。複数の陽極４３０が、ウェブ４２０の第１の側面４２２に隣接してめっき溶液４１４中に位置決めされ、複数の第２の陽極４３１が、ウェブ４２０の第２の側面４２４に隣接してめっき溶液４１４中に位置決めされている。電源４３２が、複数の第１の陽極４３０および第２の陽極４３１と電気的に通じている。複数の第１の陽極４３０および第２の陽極４３１は、ウェブが巻き出し部材４２６と巻き取り部材４２８との間に供給されたときに、ウェブ４２０の露出した導電性部分により均一な電流を供給することによって、めっき被覆率を改善することができる。上記の相違を除いて、電気めっきシステム４１０は、上記の電気めっきシステム１０と同じかまたは同様にすることができ、類似の特徴部は、４ＸＸシリーズにおける参照番号を用いて識別される。

図１２は、本発明のさらに別の実施形態による単一パス両面電気めっきシステム５１０を示す。電気めっきシステム５１０には、めっき溶液５１４を入れためっき槽５１２が含まれる。複数の陽極５３０が、ウェブ５２０の第１の側面５２２に隣接してめっき溶液５１４中に位置決めされ、複数の第２の陽極５３１が、ウェブ５２０の第２の側面５２４に隣接してめっき溶液５１４中に位置決めされている。第１の電源５３２が、複数の第１の陽極５３０と電気的に通じており、第２の電源５３３が、複数の第２の陽極５３１と電気的に通じている。第１および第２の電源５３２および５３３によって、複数の第１の陽極５３０および第２の陽極５３１から流れる電流の制御に改善をもたらし、それによって、ウェブ２０に印加される電流の量および期間をさらに正確にすることができる。上記の相違を除いて、電気めっきシステム５１０は、電気めっきシステム４１０と同じかまたは同様にすることができ、類似の特徴部は、５ＸＸシリーズにおける参照番号を用いて識別される。

本発明によって、重要な利点が提供される。本発明により、サスペンション構成要素の異なる側面における部分を始めとして、これらの構成要素の異なる部分を、異なるかつ独立して調整される厚みに同時に電気めっきすることが可能になる。完全にカプセル化されたトレースを、金または他のめっき材料の追加消費なしに作製することができる。本方法は、効率的であり、また追加的な製造プロセスと共に用いることができる。

好ましい実施形態に関連して本発明を説明したが、当業者は、本発明の趣旨および範囲から逸脱せずに、形状および詳細の変更ができることを理解されよう。たとえば、いくつかの陽極は、図９〜１２に示すように互いに対向するのではなく、構成要素のウェブの長さに沿って互いに離間配置することができる。

めっき槽に位置する先行技術のめっきシステムにおける構成要素の概略図である。 異なる厚みを有する複数の導電性めっき層でめっきされた先行技術の導電性リードの断面図を示す。 導電性めっき層の代替パターンを有する代替の先行技術導電性リードを示す。 本発明の一実施形態によってめっきされるタイプの導電性トレースを有するサスペンション構成要素の主面の概略図である。 図４のサスペンション構成要素の反対側の主面の概略図である。 図４のライン６−６に沿って取られたサスペンション構成要素の側面図である。 本発明の一実施形態に従い、トレースの対向する表面でめっき材料が異なる厚みを有するように、めっき材料をトレースの対向する表面に形成する、図６のサスペンション構成要素の概略図である。 図７Ａのサスペンション構成要素の一部の詳細図である。 本発明の別の実施形態に従い、トレースの対向する表面でめっき材料が異なる厚みを有するように、めっき材料をトレースの対向する表面に形成する、図６のサスペンション構成要素の概略図である。 図８Ａのサスペンション構成要素の一部の詳細図である。 サスペンション構成要素の両側に陽極を位置決めして、サスペンション構成要素の２つの側面に異なる厚みの導電性材料の層を同時にめっきする、本発明の一実施形態による単一パス二重厚み式めっきシステムの概略図である。 図９のめっきシステムにおける別の実施形態の概略図である。 サスペンション構成要素の両側に複数の陽極を配置した、図９のめっきシステムのさらに別の実施形態の概略図である。 サスペンション構成要素の両側に配置された陽極に複数の電源を結合した、図１１のめっきシステムの別の代替実施形態の概略図である。

Claims (20)

1. ディスクドライブサスペンションの構成要素に電気めっきするための方法であって、
   めっき材料を含む電気めっき溶液の浴と当該浴における第１および第２の陽極とを有する電気めっきシステムを提供すること、
   露出した導体領域を備えた第１および第２の対向する表面を有するサスペンション構成要素を提供すること、
   前記電気めっき溶液の浴中で前記第１および第２の陽極間に前記サスペンション構成要素を位置決めすること、
   前記第１の陽極と前記第１の表面における前記露出した導体領域との間に第１の電気めっき電流を印加して、前記第１の表面における前記露出した導体領域に導電性めっき材料の第１の層をめっきすること、および
   前記第２の陽極と前記第２の表面における前記露出した導体領域との間に第２の電気めっき電流を印加して、前記第２の表面における前記露出した導体領域に導電性めっき材料の第１の層をめっきすること、
   を含む方法。
2. 前記第１および第２の電気めっき電流を印加することによって、前記第１および第２の表面が、異なる厚みを有するめっき材料の第１の層でめっきされる、請求項１に記載の方法。
3. 前記第１および第２の電気めっき電流を印加することによって、前記第１および第２の表面が、ほぼ同じ厚みを有するめっき材料の第１の層でめっきされる、請求項１に記載の方法。
4. 前記第１および第２の電気めっき電流を印加することが、前記第１および第２の陽極の１つと前記露出した導体領域との間に、前記第１および第２の陽極のもう一方と前記露出した導体領域との間に印加される電流より大きな電流を印加することを含む、請求項１に記載の方法。
5. 前記第１および第２の電気めっき電流を印加することが、前記第１および第２の陽極の１つと前記露出した導体領域との間に、前記第１および第２の陽極のもう一方と前記露出した導体領域との間に印加される電流より長い期間、電流を印加することを含む、請求項１に記載の方法。
6. 前記第１の陽極と前記露出した導体領域との間に前記第１の電気めっき電流を印加することが、前記第２の陽極と前記露出した導体領域との間に前記第２の電気めっき電流を印加することと同時に実行される、請求項１に記載の方法。
7. 前記第１および第２の電気めっき電流を印加することが、前記第１および第２の電気めっき電流を異なる時間で印加することを含む、請求項１に記載の方法。
8. 前記第２の電気めっき電流を印加することが、前記第１の電気めっき電流を印加した後に前記第２の電気めっき電流を印加することを含む、請求項１に記載の方法。
9. 前記第１の表面における導電性めっき材料の前記第１の層に導電性めっき材料の第２の層をめっきすることと、前記第２の表面における導電性めっき材料の前記第１の層に導電性めっき材料の第２の層をめっきすることとをさらに含む、請求項１に記載の方法。
10. 前記第１の表面における前記第２の導電性層が、前記第１の表面における前記第１の導電性層と異なる厚みを有する、請求項９に記載の方法。
11. 前記第１の表面における前記第２の導電性層が、前記第２の表面における前記第２の導電性層と異なる厚みを有する、請求項９に記載の方法。
12. ディスクドライブサスペンション構成要素の対向する第１および第２の表面における部分に電気めっきするためのシステムであって、
    ある量の電気めっき溶液を保持する電気めっき容器と、
    第１の陽極と、
    第２の陽極と、
    前記第１および第２の陽極間に前記サスペンション構成要素を支持するための構造体と、
    前記第１および第２の陽極と電気的に通じている電源手段であって、前記第１の陽極に、前記第１の陽極と前記サスペンション構成要素の第１の側面との間に前記第１の電気めっき電流を生成させ、かつ前記第２の陽極に、前記第２の陽極と前記サスペンション構成要素の第２の側面との間に第２の電流を生成させる電源手段と、
    を含むシステム。
13. 第１および第２の陽極から離れて配置された第３の陽極をさらに含み、前記第３の陽極が、電源手段と電気的に通じて、前記第３の陽極と前記サスペンション構成要素の前記第１および第２側面の１つとの間に電流を生成する、請求項１２に記載のシステム。
14. 前記サスペンション構成要素を含む材料ウェブと、
    前記材料ウェブを前記めっき溶液中へ供給するための巻き出し部材と、
    前記めっき溶液を通して供給された前記材料ウェブを受け取るための巻き取り部材と、
    をさらに含み、
    前記第１および第２の陽極が、前記巻き出しおよび巻き取り部材間に位置決めされている、請求項１２に記載のシステム。
15. 前記電気めっき溶液が金を含む、請求項１２に記載のシステム。
16. 前記電気めっき溶液がニッケルを含む、請求項１２に記載のシステム。
17. 前記電気めっき溶液が銀を含む、請求項１２に記載のシステム。
18. 前記電気めっき溶液が銅を含む、請求項１２に記載のシステム。
19. 前記電気めっき溶液がパラジウムを含む、請求項１２に記載のシステム。
20. 前記電気めっき溶液がはんだ材料を含む、請求項１２に記載のシステム。

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