JP2008526028A - 熱伝達メッシュを組み込んだ冷却装置 - Google Patents
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Abstract
Description
a)冷却液体を収容する空所を定義する、中空本体を包含する構造と、
b)冷却流体と回路パッケージとの直接接触を確立し、該パッケージから、前記空所内に収容された冷却流体へ熱伝導を行なうように、前記構造が開口部或いは通路を定義していて、前記冷却流体の流路には熱結合メッシュが設けられてあり、
c)流体から熱を奪うように機能する熱伝達手段へ熱を伝達するため、流体を循環させる手段、
という構成からなる。
a)熱伝達面を有した、電気機器からの熱源と、
b)この熱伝達面付近に延在してそこから伝達された熱を受け取り、波状のワイヤと別のワイヤとを含み、これらのワイヤが間隙を形成しているワイヤ・メッシュと、
c)前記メッシュから熱伝達を受け取るよう、冷却流体がメッシュに対してほぼ平行にそして間隙を通って流れるようにする手段と
を含む熱伝達装置を提供しようとすることを含むものである。
織成ワイヤ・メッシュは、ボール・グリッド・アレイ(BOA)、ピン・グリッド・アレイ(PGA)、ランド・グリッド・アレイ(LGA)、或いはワイヤ・ボンディングよりも一層細いピッチを提供する。絶縁金属ワイヤとしては、直径0.0005インチ以下のものが利用しやすい。織成ワイヤ・クロースは、ノードのところにトランジスタのようなダイオードや半導体スイッチを含むシステムにおいて、1平方インチ当たり100万個以上(1500/mm2より多い)アドレス指定可能なノードを設けるのに充分なメッシュとして利用し易い。織成ワイヤ・メッシュ・グリッドは、軸線によって変わるピッチを持つよう製作できる。ダッチ織りは、軸線間のピッチの寸法差オーダーで製作できる。このような構成によれば、比較的大きな横断面の行導体の粗いピッチと、比較的小さい横断面導体の細かいピッチとを介して、グリッドに対して更なる効果的電力供給が可能となる。
織成ワイヤ・メッシュは、ダイ上の対応接触配列よりもかなり薄いので、これによりアライメント許容限度をより一層大きくすることができる一方で、各々のパッドと電気的に通信するために少なくとも1本のワイヤと、および/または、メッシュに数を増したワイヤを設けることで、電気通信状態の選択肢を増やすことができるようにするのを確実にする。
或る構成では、通信のためにダイ(単数または複数)のアクティブ面に設けた織成ワイヤ・メッシュ・グリッドと、金属経路を通して設けた、電力用のバックサイド・グリッドとを使用する。
また、織成ワイヤ・メッシュ配列は、電力を供給するために、或いは、アースおよび/またはEMI/RFIシールドとしての機能を果たすために、ダイの片面に設けた単一の電気導体として使用することもできる。
織成ワイヤ・メッシュは、熱伝達用の面積を著しく増大させることができる。
織成ワイヤ・メッシュでは、幅の狭い蛇行流体経路の配列を創り出すことによって熱伝達を増大させることができ、これによって、有効境界層の厚さとそれに関連した熱抵抗とを減らすことができる。
本発明で意図した流体移動は、伝統的なまたはループ・タイプの熱パイプに類似した流体伝達構成での局所的な沸騰によって行ってもよいし、能動的なポンプ作用によって流体を強制的に流動させて熱伝達量を高めてもよい。システムからの熱は、典型的には、局所的な空気流に伝えられるが、これは、自由対流によって、或いはまた強制対流によって行なって熱伝達率を高める。相変化(沸騰)での強制対流冷却と、熱交換システムの空気側の強制対流冷却によって、高い熱伝達率が可能になる。たとえば、10KW/cm2を超過する熱伝達率が可能である。パソコンに使用される高電力密度マイクロプロセッサは、15W/cm2までの熱出力密度を有するので、このレベルにおいては、増大させたクロック率および高密度トランジスタ配列に付随した出力密度で通常の増大とみなして作業を続けることができるかどうかという問題を呈する。
部分環境冷却は、或る種の電子機器構成や光電子構成にとって魅力的であるし、また、必要でもあり、圧縮冷凍および熱電子工学を含めた技術を活用して現在の工業技術で達成することができる。
「マイクロチャネル冷却」のような別の高率熱伝達構成では電気導体配列がないので、織成ワイヤ・メッシュのような絞りの周りに流れを通す手段がなくチャネル目詰まりが生じてしまい、集積回路ダイに付随した熱的不均衡により適切な熱伝達を行うのがもっと難しいこととなる。
ワイヤ・メッシュ・グリッドは、不均一に加熱された電子部品における熱伝達を最適化するというような目的に対し流れ構成を促進するために、選択的にポリマーを充填することができる。
マイクロエレクトロニクス・システムおよび光電子システムにおける主要な故障のメカニズムとしては熱機械的故障が挙げられることが多い。隣接した要素間の熱循環、温度勾配、および熱膨張率差が誘因である。
本発明の織成ワイヤ・メッシュは、ダイとの間において、或いは、ダイと回路板やエンドプレートのような別の要素との間において、弾性変形や可塑変形を介して、機械的に対応するインターポーザーの機能をする。配列のワイヤに対して使用される金属、および、ワイヤと配列の熱的機械的履歴は、機械的コンプライアンスをもたらすように選択される。追加のコンプライアンスは、多数のらせん構造ストランドのコンプライアント絶縁コーティングを備えたワイヤを使用するか、および/または、1つまたはそれ以上の軸線において導電性ポリマーまたは導電性にコーティングしたポリマー・ワイヤ/フィラメントを使用するか、および/または、ワイヤ接触領域で局所的な弾性変形を可能にするために非常に薄いダイを使用するか、および/または、織成メッシュとダイのインアクティブ側との間に、或いは、インアクティブ要素に対向してエラストマー層を使用することにより実現される。
熱可塑性および/または熱硬化性のポリマー/エラストマーをメッシュと一体加工して、機械的安定性および/またはコンプライアンスを向上させることもできる。
3次元電子機器では、アライメントは非常に重要な問題である。多くの3次元プロセスでは、シンギュレーション(singulation)前にウェーハのアライメントが必要である。本発明に対して提案されたアライメント手段は、ウェーハ対ウェーハのアライメント或いはダイ対ダイのアライメントよりもむしろ、ダイのシンギュレーション、および、ダイ対メッシュのアライメントを想定している。提案手段を以下に挙げる。
・はんだ表面張力を介しての自動アライメント: この手法は、現在、BGAで使用されている。典型的な集積回路ダイには、アクティブ面は1つしないので、この面は、メッシュを固定する固定具によってワイヤ・メッシュ・ノードと整合され、メッシュの上と下のダイを、溶融ハンダの表面張力を介してメッシュに順応させることができる。
・ダイボンド・パッドよりもかなり細かいピッチを有するメッシュ:この原理は、異方性導電部材で使用可能である。
・機械的な通路および/またはノッチおよび最小限の拘束固定具: メッシュには、アライメント・ピン、機械的経路、電気的経路、光学的経路、および/または流体経路に対する開放領域がある。
・結合用にウェーハ対ウェーハを整合するのに使用される光学手段:
・上記手段を組み合わせたもの:
ロータ安定性:
ロータとそれに伴うステータとの間のクリアランスは、特に3M製のFluorinert(登録商標)のような超低粘度液体の場合には、非常に小さくなければならない。これには精密な製作作業と多段ベアリングハブが必要である。流体速度が局所的に増加した結果としてロータ対ステータ間にわずかに小さいギャップのあるステータ領域に向かって、ロータがますます引っ張られるようにさせる、積極フィードバック・ループ(ベルヌーイ効果)があるのがよい。
ロータ熱伝達:
ロータの片側が高温側掃引面熱交換器として機能し、ロータの反対側が低温側掃引熱交換器として機能するとした場合、ロータは、片側から反対側への熱伝達を最小限に抑えなければならない。
ロータ耐久性:
ガラス・ロータは、低コスト、低熱伝導率、そして高剛性対質量を可能にする。螺旋ロータ・ダイナミック・ポンプが好ましい。
図5:メッシュ90
図6:メッシュ91
図7:メッシュ92
図8:メッシュ93
図9:メッシュ94
図10:メッシュ95
図11:メッシュ96(結合ボール116に注目)。
織成メッシュ配列は、流体流に対し更に体積を上乗せするので、これによって、シリコン・マイクロチャネルを詰まらせるかもしれない障害物の周囲で流れをそらすことができる。メッシュは、また、ミクロ流体静的混合器としても機能し、流体の流れを、第1の拘束層、次いで別の拘束層と、周期的に接触させる。平面における2次元対1次元流能力を加えることで、電気的、機械的、構造的、流体的、熱的、および/または光学的目的に対する経路のような障害物を含むシステムを作り出す能力を得ることもできる。
織成メッシュは、非常に異なった熱膨張率を有する材料間で、機械的/構造的コンプライアント層の機能を果たす。これは、熱機械的故障がマイクロエレクトロニクスにおける主要な故障メカニズムであるから、大きな利点である。
本発明によれば、新しい、より効果的な熱伝達手段、電力伝達手段を設けることによって半導体ダイの両面に集積回路を設けることができる。
Claims (56)
- 電気素子パッケージを冷却する装置において、前記装置が、
a)冷却液体を入れた空所を構成する中空本体を包含する構造を含み、
b)この構造が開口部または通路を構成しており、それによって、冷却流体の前記パッケージとの直接接触が確立されてパッケージから空所内に入っている流体への熱伝達が行われ、
c)さらに、前記熱伝達を向上させるように設置したメッシュと、
d)流体を循環させて流体から熱を奪うように機能する別の熱伝達手段に熱を伝達する手段と、
を含む組み合わせになる装置。 - 前記メッシュは、流体がメッシュによって構成される蛇行通路を通って流れるに従って、前記流体への熱伝達を向上させるように、流体循環経路内に、前記開口部または通路と組み合わせてあることを特徴とする請求項1記載の組み合わせ。
- 前記メッシュがマイクロメッシュであることを特徴とする請求項2記載の組み合わせ。
- 前記メッシュが前記開口部の横方向に延びていることを特徴とする請求項2記載の組み合わせ。
- 前記メッシュがダッチ織りストランド・パターンを構成していることを特徴とする請求項4記載の組み合わせ。
- 前記メッシュが前記開口部を覆った状態で延びているマイクロメッシュであることを特徴とする請求項3記載の組み合わせ。
- 前記メッシュがダッチ織りストランド・パターンを構成していることを特徴とする請求項6記載の組み合わせ。
- 前記組み合わせは、前記開口部に隣接して、ボディとパッケージによって構成された表面間に流体シールを含むことを特徴とする請求項1記載の組み合わせ。
- 前記組み合わせは、循環経路に沿って流体を移動させるように機能する、空所と組み合わせたポンプを含むことを特徴とする請求項1記載の組み合わせ。
- 前記ポンプは、空所内の流体へと露出していることを特徴とする請求項9記載の組み合わせ。
- 前記ポンプは、流体剪断面として機能する移動面を有することを特徴とする請求項10記載の組み合わせ。
- 前記ポンプを駆動するために、前記空所の外側に設置されたモータを含むことを特徴とする請求項10記載の組み合わせ。
- 前記モータとポンプとの間に、磁気継手を含むことを特徴とする請求項12記載の組み合わせ。
- 前記ボディおよびモータに対するハウジングと、該ハウジング上に設けてあって流体からハウジングへ伝達された熱を受け取る熱伝達フィンと、これらフィンを冷却する関係に冷却流体を移動させる手段と、を含むことを特徴とする請求項12記載の組み合わせ。
- 熱伝達装置において、前記装置の組み合わせが、、
a)熱伝達面を有する、電気機器からの熱源と、
b)前記熱伝達面に近接して延在しそこから熱を受け取るワイヤ・メッシュであって、或るワイヤと他のワイヤとから成り、これらのワイヤが間隙を形成しているようになるワイヤ・メッシュと、
c)前記間隙を通って流れるようにメッシュに対してほぼ並行に冷却流体を流し、メッシュから伝達された熱を受け取る手段と、
からなる熱伝達装置。 - 前記メッシュは前記熱伝達面と接触していることを特徴とする請求項15記載の組み合わせ。
- 前記手段は、メッシュに対してほぼ平行な方向に、前記流体をメッシュ内へ案内することを特徴とする請求項15記載の組み合わせ。
- 前記ワイヤの少なくともいくつかが金属製であることを特徴とする請求項15記載の組み合わせ。
- 前記メッシュがワイヤで織ったものであることを特徴とする請求項15記載の組み合わせ。
- 前記メッシュは片面が前記熱伝達面に対しほぼ平行に延在していることを特徴とする請求項15記載の組み合わせ。
- メッシュには反対側の面が有り、前記手段が、メッシュの前記反対側の面に対してほぼ平行に延在している冷却材流案内面を含んでいることを特徴とする請求項20記載の組み合わせ。
- 最初に言及した第1のメッシュから流れる前記冷却流体を受け取る第2の熱伝達メッシュと、第外2のメッシュから熱を伝達するための別の手段とを含むことを特徴とする請求項15記載の組み合わせ。
- 前記別の手段が、前記第2のメッシュの構成する平面に対してほぼ平行に前記第2のメッシュを通して冷却流体を流すことを特徴とする請求項22記載の組み合わせ。
- 前記手段が、第2のメッシュを通過した流体から熱が伝達されるようになるフィンと、前記フィン全体にわたって空気を循環させるファンと、を含むことを特徴とする請求項23記載の組み合わせ。
- 請求項15の組み合わせにおいて、メッシュは、
i)正方形配列の織りパターン、
ii)三角形配列の織りパターン、
iii)ワイヤ上の絶縁コーティング、
iv)絶縁コーティングのない電気接触面ゾーンによって中断された、ワイヤ上の絶縁コーティング、
v)スイッチング要素或いはダイオードが取り付けられているゾーン、
vi)LEDが取り付けられたゾーン、
vii)レーザが取り付けられたゾーン、
viii)或る一方向に延びた電力導管となるワイヤと、別の或る方向に延びた通信信号導管となるワイヤ、
ix)ダッチ織り、
x)1平方インチ当たり百万以上のアドレス指定可能なノード、
のうちの1つそれ以上により特徴付けられるワイヤを含むことを特徴とする請求項15記載の組み合わせ。 - 請求項15の組み合わせにおいて、前記メッシュは第1のメッシュであって、さらに、該第1のメッシュから熱を受け取り且つ熱を熱拡散手段に伝達できるようにするために、第1のメッシュから冷却流体を受け取る第2のメッシュを含むことを特徴とする請求項15記載の組み合わせ。
- 前記メッシュは実質的に平坦であり、該メッシュの平坦に伸長する長さ方向に前記冷却流体がメッシュ内を流れることを特徴とする請求項15記載の組み合わせ。
- 冷却流体は、また、前記熱伝達面と接触して流れることを特徴とする請求項27記載の組み合わせ。
- 前記第1のメッシュは実質的に平坦であり、該第1のメッシュの平坦に伸長する長さ方向(単数または複数)に前記冷却流体が第1のメッシュ内を流れ、前記第2のメッシュは実質的に平坦であり、該第2のメッシュの平坦に伸長する長さ方向(単数または複数)に前記冷却流体が第2のメッシュ内を流れることを特徴とする請求項26記載の組み合わせ。
- 請求項29の組み合わせにおいて、第2のメッシュは、
i)第1のメッシュから離隔している、
ii)前記第1のメッシュから連続している、
のうちの1つであることを特徴とする請求項29記載の組み合わせ。 - 請求項29記載の組み合わせが、前記第1および第2のメッシュの間に位置付けられた流体冷却材ポンプを含むことを特徴とする請求項29記載の組み合わせ。
- 前記第1および第2のメッシュのうち少なくとも1つが、冷却流体がそこを通過して流れる間隙を形成している織り合わせストランドを有することを特徴とする請求項29記載の組み合わせ。
- 前記織り合わせストランドが多数のサブストランド熱導体を含むことを特徴とする請求項32記載の組み合わせ。
- 請求項32の組み合わせにおいて、前記ストランドは、
i)ダッチ織りパターン、
ii)ダイヤモンド織りパターン、
iii)三軸(triaxial)織りパターン
のうちの少なくとも1つの形を取ることを特徴とする請求項32記載の組み合わせ。 - 請求項32の組み合わせが、或るストランドに結合ボールを含んでいることを特徴とする請求項32記載の組み合わせ。
- パッケージを有する集積回路を冷却する装置であって、前記装置は該集積回路に取付け可能で、中空ボディを有しており、前記中空ボディによって形成された空所が、その開口部を通ってから、冷却装置と集積回路との間に接触をもたらす面のところを流れて集積回路を冷却するための流体を含んでいるので、該流体が集積回路パッケージと直接的接触するようになることを特徴とする装置。
- 流体はポンプによって空所内部を移動されることを特徴とする請求項36記載の装置。
- ポンプは外部モータへの磁気連結によって駆動されることを特徴とする請求項37記載の装置。
- 空所の開口部は実質的に円形であり、集積回路と冷却装置の空所との間でOリングによって構成されたシール(seal)を含むことを特徴とする請求項36記載の装置。
- マイクロメッシュが、空所の開口部を覆っていることを特徴とする請求項36記載の装置。
- マイクロメッシュは、ダッチ織りパターンを使用していることを特徴とする請求項40記載の装置。
- マイクロメッシュは、ダイヤモンド織りパターンを使用していることを特徴とする請求項40記載の装置。
- マイクロメッシュは、三軸織りパターンを使用していることを特徴とする請求項40記載の装置。
- マイクロメッシュは、サブ導体を有する織りパターンを使用していることを特徴とする請求項40記載の装置。
- マイクロメッシュは、結合ボールを取り付けた織りパターンを使用していることを特徴とする請求項5記載の装置。
- 流体は、空所内のポンプによって空所内部を移動されることを特徴とする請求項40記載の装置。
- ポンプは、外部モータへの磁気連結によって駆動されることを特徴とする請求項46記載の装置。
- ポンプは、容積形ポンプであることを特徴とする請求項40記載の装置。
- ポンプは、剪断面を有することを特徴とする請求項40記載の装置。
- 外部モータは、前記冷却流体を通すメッシュから伝達された熱を受け取る冷却フィンを全体にわたって空気を移動させるファンを駆動することを特徴とする請求項38記載の装置。
- 冷却流体は、低粘度フルオロカーボネートであることを特徴とする請求項50記載の装置。
- 請求項15記載の装置は、前記メッシュ・ワイヤの少なくともいくつかと電気通信状態にある電気回路を含むことを特徴とする請求項15記載の装置。
- 熱拡散手段は、冷却流体から伝達された熱を受け取る際に相を変えるように機能する別の流体を含むことを特徴とする請求項26記載の組み合わせ。
- 請求項22記載の組み合わせが、冷却流体流路構造用の前記メッシュのうち、少なくとも1つのメッシュの少なくとも一部または複数部分に、選択的に充填したポリマーを含むことを特徴とする請求項22記載の組み合わせ。
- 前記ポンプは、ガラス製ディスク・ロータを有することを特徴とする請求項31記載の組み合わせ。
- 前記パッケージは、少なくとも部分的にメッシュ内に埋め込ませるか或いは沈め込ませてあることを特徴とする請求項1記載の組み合わせ。
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