JP2008519263A - 集光ビームを測定する為の方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
光ビームの輝度プロファイルの変化は、ビームの全出力に変化がなくても、性能上、著しい不利な結果を有する場合がある。
Claims (25)
- 波長λを含む光ビームをプロファイルする方法において:
光ビームを受け取るステップと;
受け取った光ビームで蛍光材料の蛍光を発生させることにより、波長λと異なる波長λ’で二次光を発生させるステップと;
受け取った光ビームから前記二次光を分離するステップと;
分離された前記二次光を光学的にセンサに向けるステップと;
を備える方法。 - 受け取った光ビームの一部の中に前記蛍光材料が配置され、前記光ビームと前記蛍光材料を互いに移動させるステップを更に備える、請求項1に記載の方法。
- 前記光ビームは、前記光ビームの入射方向に対し実質的に直交する軸を有する円筒に入射され;
前記光ビームと前記蛍光材料を互いに移動させるステップは、前記円筒を前記軸の周りに回転させるステップを備える、請求項2に記載の方法。 - 前記光ビームは、前記光ビームの入射方向に対し実質的に平行な軸を有する円盤に入射され;
前記光ビームと前記蛍光材料を互いに移動させるステップは、前記円盤を前記軸の周りに回転させるステップを備える、請求項2に記載の方法。 - 前記光ビームと前記蛍光材料を互いに移動させるステップは、前記円盤の前記軸の周りに前記センサを回転させるステップを更に備える、請求項4に記載の方法。
- 前記蛍光は、前記円盤の周りに螺旋状に配列された一連の不連続点として分布される、請求項4に記載の方法。
- 向けられた分離された二次光の焦点を前記センサに合わせるステップを更に備える、請求項1に記載の方法。
- 向けられた分離された二次光にフィルタをかけ、波長λで光を遮断するステップを更に備える、請求項1に記載の方法。
- 波長λは、およそ808nmであり、波長λ’は、およそ1064nmである、請求項1に記載の方法。
- 前記光ビームは、実質的に単色である、請求項1に記載の方法。
- 光ビームをプロファイルする装置において:
本体と;
前記光ビームを受け取るように配向された前記本体の表面近くに配置された蛍光材料と;
光センサと;
前記光ビームから波長λ’で光を分離させ、波長λ’で前記光を前記光センサに向けるように適合された光学アレンジメントと;
を備え、
前記蛍光材料は、前記光ビームによる励起に応じて波長λと異なる波長λ’で光を放射し;
前記本体は、前記波長λおよびλ’に対し実質的に透過性を有する、前記装置。 - 前記蛍光材料は、前記本体の前記表面に配置されている、請求項11に記載の装置。
- 前記蛍光材料は、前記本体の前記表面にわたり堆積された膜により構成される、請求項12に記載の装置。
- 前記蛍光材料は、前記本体の前記表面の下方で前記本体内に配置されている、請求項11に記載の装置。
- 前記光学アレンジメントは、波長λおよびλ’のうち一つの波長を有する光を実質的に送り、前記波長λおよびλ’のうち他の波長を有する光を実質的に反射する前記本体内の表面を含む、請求項11に記載の装置。
- 前記光学アレンジメントは、前記光センサに向けられる光を前記光センサに焦点を合わせるように配置されたレンズを含む、請求項11に記載の装置。
- 前記光学アレンジメントは、前記光センサに焦点が合わされた光にフィルタをかけるように配置された、波長λを有する光の伝送を遮断する伝送特性を有するフィルタを更に含む、請求項16に記載の装置。
- 前記光センサは、光検出器を備える、請求項11に記載の装置。
- 前記光センサは、カメラを備える、請求項11に記載の装置。
- 前記本体は、前記光ビームの入射方向に対し、実質的に直交する軸を有する中空円筒を備え;
前記光アレンジメントは、前記中空円筒の中空部分内に表面を含み、これが、波長λおよびλ’のうち一方の波長を有する光を実質的に伝送し、前記波長λおよびλ’のうち他方の波長を有する光を実質的に反射し;
前記装置は、前記軸周りに前記中空円筒を回転させるように前記本体に結合されたモータを更に備える、請求項11に記載の装置。 - 前記本体は、前記光ビームの入射方向に対して実質的に平行な軸を有する円盤を備え;
前記装置は、前記軸の周りに前記円盤及び前記光学アレンジメントを回転させるように結合されたモータを更に備える、請求項11に記載の装置。 - 前記蛍光は、前記円盤の周りに螺旋状に配置された一連の不連続点として分布される、請求項10に記載の装置。
- 前記波長λは、1064nm未満であり、前記蛍光材料は、Nd:YAGを備える、請求項11に記載の装置。
- 前記波長λは、1064nm未満であり、前記蛍光材料は、ガラスに埋め込まれたNdイオンを備える、請求項11に記載の装置。
- 前記光ビームは、実質的に単色である、請求項10に記載の装置。
濃縮した光ビームを測るための方法と装置
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