JPWO2018193491A1 - レーザビームプロファイル測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、レーザビームの二次元プロファイルを測定するレーザビームプロファイル測定装置であって、レーザ光が入射する入射面と前記レーザ光が出射する出射面とを有する、板状またはブロック状の蛍光発生素子と、前記蛍光発生素子内で発生し前記出射面から出射する蛍光を、前記レーザ光から分離する光分離素子と、前記蛍光を受けるイメージ素子と、を含み、前記板状またはブロック状の蛍光発生素子は、当該蛍光発生素子の前記入射面及び前記出射面と斜め方向に交わる、閉じられた傾斜面を有する。
tan2θ≧2b/a
ただし、角度θの単位はradである。
θ≧b/a
ただし、角度θの単位はradである。
tan2θ=2b/a (1)
と求められる。ただし、角度θの単位はradである。
θ=b/a (2)
と表わされる。ただし、角度θの単位はradである。
11 蛍光板
11a 入射面
11b 出射面
11c 傾斜面
12 レーザビーム
13 蛍光
Claims (10)
- レーザビームの二次元プロファイルを測定するレーザビームプロファイル測定装置であって、
レーザ光が入射する入射面と前記レーザ光が出射する出射面とを有する、板状またはブロック状の蛍光発生素子と、
前記蛍光発生素子内で発生し前記出射面から出射する蛍光を、前記レーザ光から分離する光分離素子と、
前記蛍光を受けるイメージ素子と、
を含み、
前記板状またはブロック状の蛍光発生素子は、当該蛍光発生素子の前記入射面及び前記出射面と斜め方向に交わる、閉じられた傾斜面を有する、
レーザビームプロファイル測定装置。 - 前記蛍光発生素子は、少なくとも前記蛍光が透過する支持体をさらに有し、前記支持体の一の面が、前記蛍光発生素子の前記出射面に光学的に接合されている、請求項1に記載のレーザビームプロファイル測定装置。
- 前記閉じられた傾斜面は、前記入射面を上底/下底とし前記出射面を下底/上底とする円錐台または角錐台の側面を成す、請求項1に記載のレーザビームプロファイル測定装置。
- 前記閉じられた傾斜面は、前記蛍光発生素子の厚みを超えて前記支持体に達する溝により形成されている、請求項2に記載のレーザビームプロファイル測定装置。
- 前記蛍光発生素子の前記閉じられた傾斜面が前記入射面及び前記出射面と交わる角度をθ、前記蛍光発生素子の入射面の幅をa、厚みをbとするとき、角度θが以下の関係を満たす、請求項1に記載のレーザビームプロファイル測定装置。
tan2θ≧2b/a
ただし、角度θの単位はradである。 - 前記蛍光発生素子の前記閉じられた傾斜面が前記入射面及び前記出射面と交わる角度をθ、前記蛍光発生素子の入射面の幅をa、厚みをb(ただし、b≪aである)とするとき、角度θが以下の関係を満たす、請求項1に記載のレーザビームプロファイル測定装置。
θ≧b/a
ただし、角度θの単位はradである。 - 前記イメージ素子に向かう光の一部を受ける受光素子と、光シャッターと、開閉制御部とをさらに含み、前記開閉制御部は、前記受光素子が受ける光の強度が所定のしきい値より小さいときに前記光シャッターが開くよう、前記光シャッターの動作を制御する、請求項1に記載のレーザビームプロファイル測定装置。
- 前記蛍光発生素子は、Ndを原子組成百分率で2%(2at.%)以上含有する、Nd:YAG蛍光板である、請求項1に記載のレーザビームプロファイル測定装置。
- 前記蛍光発生素子は、Cr4+イオンが添加された、Cr,Yb:YAG蛍光板である、請求項1に記載のレーザビームプロファイル測定装置。
- 前記蛍光発生素子は、Nd:YAG蛍光板とYb:YAG蛍光板との重ね合わせを含む、請求項1に記載のレーザビームプロファイル測定装置。
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