JP2008517151A - 回転可能なターゲットスパッタリング装置用エンドブロック - Google Patents
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Abstract
Description
(1)ソケットが、エンドブロックに接続され、従って、電気的に回転可能な接触部のステータとして作用する。スピンドルは、回転可能なターゲットに電気的に接続され、ロータとして作用する(従属請求項10)。
(2)スピンドルがエンドブロックに接続され、ターゲットがソケットに電気的に接続される(従属請求項11)。従って、ソケットがロータになり、スピンドルがステータとなる。
いずれの場合も、接触シューは、前述したように、半径方向外方に押圧される。
以下、添付の図面を参照して、本発明をさらに詳細に説明する。
Claims (12)
- 回転可能なスパッタリングターゲットへの給電用エンドブロックであって、円筒状のソケットと、前記ソケットの内側に同軸に配置されたスピンドルとを備え、前記ソケットと前記スピンドルとが相対的に回転可能であり、前記ソケットが、電気的端部をなす少なくとも1つの電気接触リングを備えているようなエンドブロックにおいて、
前記スピンドルが、少なくとも2つの導電シューを備え、前記各導電シューが、前記スピンドルと電気的に並列に接続され、かつ、前記各導電シューの各々が、少なくとも1つの弾性要素によって、前記電気接触リングの内面に対向して半径方向外方に押圧され、前記内面と電気的にすべり接触していることを特徴とするエンドブロック。 - 前記導電シューの数が、4から16の間の任意の数であることを特徴とする請求項1に記載のエンドブロック。
- 前記ソケットが、前記電気接触リングを少なくとも2つ備え、該各電気接触リングは、互いに電気的に絶縁された状態で同軸に取り付けられており、前記各導電シューのそれぞれが、前記各電気接触リングのうちの少なくとも1つの前記内面と電気接触し、前記電気接触リングの全てが、前記電気的端部に並列に接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載のエンドブロック。
- 前記各導電シューのそれぞれが、1、2、3または4個の弾性要素によって、前記電気接触リングに対して押圧されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のエンドブロック。
- 前記弾性要素が、金属製スプリングであることを特徴とする請求項4に記載のエンドブロック。
- 前記弾性要素が、エラストマースプリングであることを特徴とする請求項4に記載のエンドブロック。
- 前記導電シューの少なくとも1つが、前記電気接触リングの少なくとも1つの前記内面と接触する台形の接触面を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のエンドブロック。
- 前記ソケットが、前記各電気接触リングのうちの少なくとも1つの内側に、前記導電シューから磨耗粒子を回収するための空洞を有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のエンドブロック。
- 前記導電シューが、銀、銅、黒鉛、または二硫化モリブデンを含む材料から作製されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のエンドブロック。
- 前記ソケットが、前記エンドブロックに固定した状態で取り付けられていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載のエンドブロック。
- 前記スピンドルが、前記エンドブロックに、固定した状態で取り付けられていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載のエンドブロック。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載のエンドブロックを備えたスパッタリング装置。
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