JP2008513990A - 共注入および続いて注入を行うことにより薄層を得るための方法 - Google Patents
共注入および続いて注入を行うことにより薄層を得るための方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
ドナー基板の厚み部分内に脆化領域を作製するように薄層を形成すべきドナー基板表面下へ核種の注入を行う工程と、
注入が行われた後にドナー基板の表面を支持基板と緊密に接触させる工程と、
ドナー基板の一部を支持基板上に転写し、かつ、支持基板上に薄層を形成するように脆化領域の高さでドナー基板を剥離する工程と、を含む方法に関する。
・12×1015/cm2のHe原子の核種量
・Y軸に沿って示されたHeの注入エネルギー(keV)
・X軸に沿って示された注入されたH原子の核種量(×1015/cm2)
・27keVのHの注入エネルギー
ドナー基板の厚み部分内に脆化領域を作製するように薄層を形成すべきドナー基板表面下に核種の注入を行う工程と、
注入が施された後にドナー基板の表面を支持基板と緊密に接触させる工程と、
ドナー基板の一部を支持基板上に転写し、かつ、支持基板上に薄層を形成するように脆化領域の高さでドナー基板を剥離する工程と、を含む、基板上の半導体材料の薄層を含む構造物を作製するための方法であって、
注入工程は、
ドナー基板の厚み部分内に第1の深さに前記脆化領域を作製するように、核種の注入を行うことに本質がある第1の注入操作と、
・前記第1の深さの脆化領域の高さにおいて行われなければならない剥離に影響を及ぼさないように第1の深さとは異なった第2の深さにおいて、
・下方で注入が行われるドナー基板の前記表面に向けた前記第1の注入操作中に注入された核種の拡散を防止し、したがって気泡形成を制限するゲッタリング領域
を作製するように選択された第2の注入条件による核種の注入を行うことに本質がある第2の注入操作と、を含むことを特徴とする方法を提案する。
第1の注入操作は、気泡形成の制限を可能にする注入条件に関連した検討事項とは独立に、支持基板上に形成される薄層の表面粗さを制限し、かつ、適した厚み部分均一性を得るために選択された第1の共注入の条件により行うことができ、
第2の注入条件は、前記第1の注入条件により求められる粗さ制限に影響を及ぼさないように、前記第1の深さとは異なった前記第2の深さに前記ゲッタリング領域を作製するように選択することができ、
第2の注入操作は、注入される核種をドナー基板に照射すること、または、前記核種を含むプラズマにドナー基板を露出させることのいずれかにより行うことができ、
前記第1および第2の深さの間の間隔は、有利に50nmと150nmの間に含むことができ、
第2の深さは前記第1の深さより低くすることができ、
方法は、ゲッタリング領域を含む薄層の一部を除去するように構成された薄膜化工程、および/または、ゲッタリング領域を硬化するように構成されたアニール工程をさらに含むことができ、
第1の注入操作は、水素およびヘリウムの核種などの少なくとも2つの異なった核種の共注入を含むことができ、
前記第1の注入操作中に、ヘリウムは水素の前に注入することができ、
第1の注入操作は、水素の核種などの単一の核種の注入を含むことができ、かつ、
第2の注入操作は、水素またはアルゴンの核種のみの注入を含むことができる。
第1のSOI構造物の共注入操作と同じ条件下での共注入操作、および、
その後のHのみの注入操作にある。
Claims (20)
- 基板上に半導体材料の薄層を含む構造物の作製方法であって、
(1)前記薄層が形成されるべきドナー基板の表面下へ核種の注入を行うことにより、前記ドナー基板の厚み部分内に脆化領域を作製する工程、
(2)注入が施された後に、前記ドナー基板の表面を支持基板と緊密に接触させる工程、
(3)前記脆化領域の高さで前記ドナー基板を剥離することにより、前記ドナー基板の一部を前記支持基板上に転写し、かつ、前記支持基板上に前記薄層を形成する工程、
を含み、
前記注入工程は、
(4)核種の注入を行うことにより、前記ドナー基板の厚み部分内の第1の深さに前記脆化領域を作製する第1の注入操作、
(5)以下の選択された第2の注入条件による核種の注入における第2の注入操作、
(a)前記第1の深さの前記脆化領域の高さにおいて行われる剥離に影響を及ぼさないような、前記第1の深さとは異なった第2の深さにおいて、
(b)その下方で注入が行われる前記ドナー基板の前記表面に向けた前記第1の注入操作中に、注入された核種の拡散を防止し、それにより、気泡形成を制限することのできるゲッタリング領域を作製する、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記第1の注入操作は前記第2の注入操作の前に行われることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の注入操作は前記第2の注入操作の後に行われることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の注入操作は、気泡形成の制限を可能にする注入条件とは独立に、前記支持基板上に形成される前記薄層の表面粗さを制限し、かつ、適切な厚み部分の均一性を得るために選択された第1の注入条件により行われることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2の注入条件は、前記第1の注入条件により求められている前記粗さの制限および均一性に影響を及ぼさないように、前記第1の深さとは異なった前記第2の深さに前記ゲッタリング領域を作製するように選択されることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記第2の注入操作は、前記ドナー基板の前記表面に、注入される前記核種で衝撃を与えることにより行われることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記第2の注入は、注入される前記核種を含むプラズマに前記ドナー基板を露出させることにより行われることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記第1および第2の深さの間の間隔は、50nmと150nmの間に含まれることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1および第2の注入条件は、前記第2の深さが前記第1の深さよりも浅く、したがって、前記ゲッタリング領域は、その下方で注入が行われる前記ドナー基板の前記表面と前記脆化領域の間における前記ドナー基板の厚み部分内に所在するように選択されることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ゲッタリング領域を含む前記薄層の一部を除去するための薄膜化工程をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記ゲッタリング領域を硬化するためのアニール工程をさらに含むことを特徴とする請求項9または10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1の注入操作は、少なくとも2つの異なった核種の共注入を含むことを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1の注入操作は、水素およびヘリウムの核種の共注入を含むことを特徴とする請求項12に記載の方法。
- ヘリウムは、前記第1の注入操作中に水素の前に注入されることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記第1の注入操作は、単一の核種の注入を含むことを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1の注入操作は、水素のみの注入を含むことを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 前記第2の注入操作は、水素のみの核種またはアルゴンのみの核種の注入を含むことを特徴とする請求項12から16のいずれか一項に記載の方法。
- 水素は前記第2の注入操作中に5×1016/cm2より小さな核種量で注入されるか、または、アルゴンは前記第2の注入操作中に、実質上、1×1014/cm2と1×1016/cm2の間に含まれる核種量で注入されることを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 構造物、特に請求項1から18のいずれか一項に記載の方法に基づき得られる絶縁体上半導体(SeOI)構造物であって、前記薄層は、小さな粗さ、特に、実質上、10×10μm2AFM走査により測定された35と60ÅRMAの間に含まれる粗さを示すことを特徴とする構造物。
- 請求項1から9のいずれか一項または請求項12から19のいずれか一項に記載の方法における前記注入工程直後に得られる中間構造物。
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