JP2008506841A - 電流プロフィールの可変による銅メッキ硬度を制御するための電解メッキ方法 - Google Patents

電流プロフィールの可変による銅メッキ硬度を制御するための電解メッキ方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2008506841A
JP2008506841A JP2007521511A JP2007521511A JP2008506841A JP 2008506841 A JP2008506841 A JP 2008506841A JP 2007521511 A JP2007521511 A JP 2007521511A JP 2007521511 A JP2007521511 A JP 2007521511A JP 2008506841 A JP2008506841 A JP 2008506841A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrolytic plating
pulse current
copper
current
plating method
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007521511A
Other languages
English (en)
Inventor
ローダリック ディー ハードマン
トレバー ぺアーソン
アーネスト ロング
アレン ガードナー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MacDermid Inc
Original Assignee
MacDermid Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MacDermid Inc filed Critical MacDermid Inc
Publication of JP2008506841A publication Critical patent/JP2008506841A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/34Pretreatment of metallic surfaces to be electroplated
    • C25D5/38Pretreatment of metallic surfaces to be electroplated of refractory metals or nickel
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/18Electroplating using modulated, pulsed or reversing current

Abstract

【課題】適用する電流のプロフィールを変えることにより、銅の電解メッキの硬度の制御が容易な電解メッキ方法を提供する。
【解決手段】酸性の銅の電解メッキ浴を用いた物品への電解メッキ方法であって、下記工程(a)および(b)を含む電解メッキ方法である。
(a)酸性の銅の電解メッキ浴中に、物品を懸架する工程
(b)物品の表面に、所定厚さの銅メッキをするために、逆電流パルスのプロフィールを有する電流を所定時間流して、電解メッキする工程であって、(i)カソードのパルス電流の印加時間、(ii)アノードのパルス電流の印加時間、(iii)カソードのパルス電流密度、(iV)アノードのパルス電流密度からなる群から選択される少なくとも一つの要因を変えることにより、銅メッキの硬度を調整または変更する電解メッキする工程
【選択図】 図1

Description

本発明は、酸性の銅の電解メッキ浴(銅メッキ溶液)を用いた物品への電解メッキ方法に関する。特に、適用するパルス電流プロフィールを変えることにより、銅の電解メッキの硬度の制御が容易な電解メッキ方法に関する。
酸性の銅の電解メッキ浴を用いたメッキ方法は、各種工業分野において良く知られている。そのほとんどのメッキ方法において、メッキされる対象物を電解液中に懸架(載置)することが行われており、これは、ラックメッキ方法と呼ばれている。このようなメッキ方法の適用分野として、家庭品や自動車関連製品の装飾用仕上げ、電気形成方法、および印刷用シリンダーロールの製造等が挙げられる。また、電解メッキが行われることが知られている限り、ラックメッキ方法は、他の適用分野での適用も公知である。
物品(部品)の電気メッキは、通常、電解液を収容した適当なタンク(メッキ浴の容器)の中に、被メッキ物である物品を部分的あるいは全体的に浸漬(載置)して、行われる。そして、銅層を積層しやすくして、かつ、適当な接着性を発揮できるように、電気メッキが施される物品に対して、銅を析出させてメッキする前に、適当な前処理が行われる。また、電気メッキが施される物品を、回路内のカソードと、電源に接続された回路の終端としての適当なアノードとの間において、物品内部と、電解液中に直流電流(一定方向電流)を流すことによって、電気メッキを有効なものとするのである。通常、メッキ浴であるタンクには、ろ過装置と、温度制御装置とが備えてあり、メッキプロセスを制御している。また、電解液の攪拌装置としてのエア(空気)を吹き込むことによって、すなわち、電解液の攪拌移動が所望により行われる。
ここで、典型的な電解液の組成としては、濃度が50〜250g/リットルの硫酸銅5水和物(CuSO・5HO、copper sulphate pentahydrate)と、濃度が20〜150ml/リットルの濃縮硫酸と、任意成分であるが、濃度が20〜200mg/リットルの塩化物イオン(chloride ion)ト、同様に任意成分であるが、添加剤と、が含まれている。また、電気用途に使用される典型的な電解液のメッキ浴としては、低濃度の硫酸銅と、高濃度の硫酸とを使用するが、電子分野、装飾用途、印刷用シリンダー製品等に使用される典型的な電解液のメッキ浴としては、高濃度の硫酸銅と、低濃度の硫酸とを使用している。
また、酸性の銅の電解メッキ浴を用いて、銅メッキする際に利用する逆電流パルスメッキ方法は、電子工業分野においては知られており、例えば、酸性の銅の電解メッキ浴から、回路基板や他の基材上に銅をメッキするのに利用されている。そして、米国特許6319384号公報(発明者:テイラーら)の内容を、本発明の中に含んだり、参照したりすることができるが、半導体基板上への銅の電解メッキ方法を開示している。ここで、酸性の銅の電解メッキ浴は、ブライター剤やレベリング剤の使用を実質的に排除しているものである。
また、電子分野の応用において、添加剤の基礎化学に基づいて、直流電流によるメッキ条件と比較した逆電流パルスメッキ方法の条件による挙動について、ティー ペアソン(T.pearson)の博士論文(1989年、英国、アストン大学)である「クロムおよび銅の電解メッキにおけるパルス電流効果」に記載されており、この内容の主題についてもまた、全体的に参照されて、本発明に含められるものである。すなわち、スルフォプロピルサルファイド(Sulphopropyl sulphide)およびポリアルキレングリコール(polyalkylene glycol)が含まれた添加剤は、塩素イオンと協同するとのことである。したがって、一般的には、電子分野の応用における電解メッキ浴は、マット状であって、比較的柔らかい銅メッキ層であって、100〜120HV50(荷重50g条件で測定されるビッカース硬度、以下、単に、HVと表記する場合がある。)を形成することが知られている。
また、最近の米国出願10/274634号公報には、酸性の銅の電解メッキ浴を用いた、自動車業界やサニタリー用途のプラスチックに対するメッキ、あるいは自動車のホイールを構成する合金に対するメッキとしての逆電流パルスメッキ方法について記載している。すなわち、逆電流パルスメッキ方法によれば、基材を通して、積層された銅メッキの分布を改良することができる。また、そのような酸性の銅の電解メッキ浴は、レベリング剤を含んでおり、銅メッキの輝きやさび模様を改良するために添加されることも記載している。
また、最近の米国出願2002/0079228号公報(放置)には、発明者がロバートスミス(Robert Smith)であるが、グラビア印刷用シリンダーロールの電解メッキ方法について記載している。すなわち、かかる電解メッキ方法は、硫酸銅と、硫酸と、塩素イオンとに基づくメッキ浴であって、表面のピッチング(pitting)やノジュール(nodulue)を最小限にすべく、添加剤を含まないメッキ浴を用いた逆電流パルスメッキ方法である。
また、印刷用シリンダーロールの製造において、特定硬度を有する銅メッキが必要とされるが、この制御のために、メッキ浴への添加剤が用いられている。制限されるものではないが、典型的な添加剤としては、通常、1〜100mg/リットルの濃度で電解液に添加される硫化物である。したがって、ある種の印刷用シリンダーロールは、硬度として、約210HV(例えば、ロトグラビアロールの用途)を有する銅メッキが必要とされ、また、ある種の印刷用シリンダーロールは、硬度として、約240HV(例えば、エンボスロールの用途)や190HV(例えば、エッチングロールの用途)を有する銅メッキが必要とされる。また、これらのメッキ硬度は、所定時間が経過したのちにも、安定的に維持されることが必要である。装飾用途におけるアディティブパッケージにおいては、しばしば、200HV50のオーダーのメッキ硬度が必要とされ、自己アニールした際には、1〜2週間の間に、120〜150HV50のオーダーのソフトなメッキ硬度になることが必要である。
また、電解メッキ成分としての、ヘキサバレントクロム(6価クロム)を含むメッキ浴を用いた逆電流パルスメッキ方法によれば、異なる硬度のクロムメッキ層が形成されることが見出されている(参照:ミラー&パン(Miller&Pan)、メッキおよび表面仕上げ(Plating & Finishing)、1992年、49ページ)。また、シャッターら(Sutterら)は、パルス電流メッキ方法によれば、異なる硬度のニッケルメッキ層が形成されることを報告しており(参照:インターフィニッシュ、1984年)、ケンドリックも同様の報告であり(参照:トランス.IMF.Vol.44、ページ78〜83)、クロッセイも同様の報告である(参照:トランス.IMF.Vol45、ページ68〜83)。
また、ティー ペアソン(T.pearson)は、博士論文(1989年、英国、アストン大学)である「クロムおよび銅の電解メッキにおけるパルス電流効果」において、ヘキサバレントクロム(6価クロム)を含むメッキ浴を用いた逆電流パルスメッキ方法によれば、異なる硬度のクロムメッキ層が形成されることを報告している。しかしながら、直流電流パルスを用いたメッキ法と比較して、逆電流パルスを用いた得られる銅メッキの硬度はあまり変化しないということも見出している。ちなみに、電子分野の応用において使用される電解液のメッキ浴の組成では、メッキ硬度として100〜120HV50が報告されている。
そこで、本出願によれば、パルス電流プロフィールの変更により、銅メッキの硬度を変化させることができる電解銅メッキ法を提供することを目的としたものである。
このことは、例えば、銅メッキの硬度が異なる印刷用シリンダーロールのメッキを含む生産においても、同じ電解液が使えることから、特に有用な電解メッキ法である。
したがって、工場の操作適合性についても改良することができる。すなわち、製造プラントで必要な電解銅メッキ用のタンクの数を減らしたり、あるいは、製造能力を増加させたりすることにもつながるものである。
しかしながら、発明者としては、パルス電流プロフィールを可変する応用として、銅メッキの硬度を変えられることは、印刷用シリンダーロールのメッキを含む生産にのみ制限されるのではなく、他の電気メッキ用途にも適用できることを認識しているものである。
本発明によれば、酸性の銅の電解メッキ浴を用いた物品への電解メッキ方法であって、下記工程(a)および(b)を含むことを特徴とする電解メッキ方法が提供される。
(a)酸性の銅の電解メッキ浴中に、物品を懸架(載置)する工程
(b)物品の表面に、所定厚さの銅メッキをするために、逆電流パルスのプロフィールを有する電流を所定時間流して、電解メッキする工程であって、(i)カソードのパルス電流の印加時間、(ii)アノードのパルス電流の印加時間、(iii)カソードのパルス電流密度、(iV)アノードのパルス電流密度からなる群から選択される少なくとも一つの要因を変えることにより、銅メッキの硬度を調整(または変更)する電解メッキする工程
本発明は、酸性の銅の電解メッキ浴を用いた物品への電解メッキ方法において、物品の表面における銅メッキの厚さを調節するために、逆電流パルスのプロフィールを有する電流を利用している。そして、かかる銅メッキは、所望であって、かつ、制御された硬度を有している。本発明は、同じ電解液から、異なる硬度を有する銅メッキを形成するのに特に有用な電解メッキ方法である。
ここで、酸性の銅の電解メッキ浴は、通常、銅イオンと、対イオンの供給源と、任意であるが、さらに、塩素イオンと、メッキ層を硬くするための添加剤とを含んでいる。他の添加剤としては、公知のブライト剤や湿潤剤を、メッキ層の特性を向上させるために、電解メッキ浴に添加することができる。
また、酸性の銅の電解メッキ浴が、濃度が約12〜75g/リットルとなるように銅イオンを含むことが好ましい。そして、硫酸銅5水和物(CuSO・5HO)は、本発明の電解メッキ浴に用いられる銅化合物の一例である。他の銅化合物としては、当業者に公知の銅化合物、例えば、銅メタンサルフォネート(copper methanesulphonate)やその混合物を、メッキ層の特性を向上させるために、電解メッキ浴に添加することができる。電解メッキ浴における硫酸銅5水和物の濃度は、約60〜300g/リットルの範囲であり、約70〜250g/リットルの範囲であることが好ましい。
また、酸性の銅の電解メッキ浴において、銅イオンの対イオン源として最も適当なものは、サルフェートイオン(sulphate ion)であって、メタンサルフォネートイオン(methanesulphonate ion)やその混合物である。
そして、好適なサルフェートイオンの供給源は硫酸である。そして、酸性の銅の電解メッキ浴において、その濃度が約25〜200ml/リットルとなるように、硫酸(濃度98重量%)を含むことが好ましく、その濃度が約30〜120ml/リットルとなるように、硫酸(濃度98重量%)を含むことがより好ましい。
また、任意であるが、酸性の銅の電解メッキ浴において、濃度が約10〜500mg/リットルとなるように塩化物イオンを含むことが好ましく、約60〜150mg/リットルとなるように塩化物イオンを含むことがより好ましい。
また、酸性の銅の電解メッキ浴が、銅メッキの硬度が、直流電流による電解メッキの硬度、通常、200〜220HV程度になるように向上させるための添加剤を含むことが好ましい。このような適当な添加剤としては、硫黄化合物(2価)であって、チオウレア化合物やその誘導体等であることが好ましい。また、スルフォアルキルサルファイド(sulphoalkyl sulphide)、塩化物イオン、ポリアルキレングリコール化合物と併用する場合、硬い銅メッキを形成するために、レベリング剤として、フェナジン染料(phenazine dye)等の添加剤を使用することも好ましい。前述した硬化性向上のための添加剤は、単独で使用しても良く、あるいは組み合わせて使用しても良い。これらの硬化性向上のための添加剤の電解液中の濃度は、通常、1〜100mg/リットルの範囲である。もちろん、発明者らは、他の硬化性向上のための添加剤を使用することを認識しており、これらの種類に制限されるものでない。
また、本発明の酸性の銅の電解メッキ浴に対して、湿潤剤やブライト剤等の少なくとも一つの市販の添加剤を含むことも好ましい。このような添加剤は、最小限の表面のピッチング(pitting)とすることもできるし、他のメッキ特性、例えば、外観特性を改良するために添加することもできる。
また、逆電流パルスのプロフィールが、カソードのパルス電流およびアノードのパルス電流の交互変換プロフィールであることが好ましい。そして、カソードのパルス電流の印加時間が2〜100msecであり、アノードのパルス電流の印加時間が0.1〜10msecであることが好ましい。
また、任意であるが、逆電流パルスのプロフィールが、カソードのパルス電流を印加するための付加時間を有したり、カソードのパルス電流の印加と、アノードのパルス電流の印加との間に、電流値がゼロとなるゼロ電流時間(デッド時間)を設けたりすることが好ましい。
また、印加するパルス電流の平均電流密度は、用途によるが、1.0〜35.0A/dm2の範囲内の値とすることが好ましい。例えば、印刷用シリンダーロールを製造する際には、印加するパルス電流の平均電流密度を20A/dm2とすることが好ましく、装飾用メッキの形成のためには、約2〜5A/dm2の範囲内の値とすることが好ましい。また、アノードのパルス電流における印加時間の間の電流密度を、カノードのパルス電流における印加時間の間の電流密度の0倍〜5倍の範囲内の値とすることが好ましく、1倍〜3倍の範囲内の値とすることがより好ましい。
また、電解反応の間に、電解メッキ浴に適用するパルス電流のプロフィールを制御することによって、直流電流で得られる完全なメッキ硬度よりも除々に柔らかくすることができることが判明している。そして、銅メッキの硬度を制御するためには、(i)カソードのパルス電流の印加時間、(ii)アノードのパルス電流の印加時間、(iii)カソードのパルス電流密度、(iV)アノードのパルス電流密度からなる群から選択される少なくとも一つの要因を変えることが有効である。
より好ましいメッキ硬度の調整は、対応する要因の割合の変化(例えば、カソードのパルス電流の印加時間/アノードのパルス電流の印加時間の割合、および/またはカソードのパルス電流密度/アノードのパルス電流密度の割合)によってなされる。
また、好ましいメッキ硬度の調整要因としては、カソードのパルス電流の印加時間/アノードのパルス電流の印加時間である。したがって、メッキ硬度は、このような方法で制御することができ、操作者は、唯一の銅メッキ浴から、例えば、異なるメッキ硬度を有する印刷用シリンダーロールを製造することが可能となる。
以下に示す実施例(一部、従来例を含む。)は、本発明の各種態様の例示であって、これに制限されるものではない。また、以下に示す実施例において使用した酸性の銅の電解メッキ浴中には、濃度が150g/リットルの硫酸銅5水和物と、濃度が100ml/リットルの硫酸と、濃度が90mg/リットルの塩化物イオンと、適当な添加剤(CuMACパルス、マクダーミッド社製)と、が含まれている。
また、ブラス製テストパネルの大きさは、幅50mm、長さ90mmであって、それをフルセル(Hull cell)に50mmの深さになるように浸漬し、メッキ硬度が測定できる程度の厚さになるように電解銅メッキを形成した。また、電解銅メッキは、温度30℃で実施し、リン酸化銅アノード(phosphorised copper anode)を使用した。さらに、電解メッキ浴中のメッキ液を攪拌するために、磁性攪拌棒を使用した。
そして、得られた銅メッキの硬度を、検量済みのレイズ社製のビッカースマイクロ硬度測定器を用いて測定した。その際、荷重を50gとした。さらに、このようにして測定した硬度(HV50)を4週間以上にわたってモニターし、銅メッキの硬度の値が安定することを確認した。
Figure 2008506841
表1中の実施例1および2は、直流電流(一定方向電流)を用いた電解銅メッキに対応しており、従来技術を示している。
一方、本発明に属する実施例3〜22は、前パルス時間としてのカソードからのパルス電流の印加時間を10、15、20、30msec(ms)とするとともに、逆パルス時間としてのアノードからのパルス電流の印加時間を0.5、0.75、1.0、1.5msec(ms)として、逆パルス電流のプロフィールの大きさ等を変えることによって、メッキ硬度の最大値(約200HV)から、80HV程度まで値を低下させることができることを示している。
そして、上述した結果は、図1に示すことができる(原明細書の10ページに表示)。すなわち、明確に電流のパルスパターン(前パルス時間と、逆パルス時間、電流割合)と、メッキ硬度との間に、所定の関係があることを示しているといえる。
また、上述した結果から、本発明によれば、パルス電流のプロフィールを変えることによって、一つのメッキ浴から、硬度が異なる銅メッキが得られることを示しているといえる。
パルス電流パターンと、メッキ硬度との間の関係を説明するために供する図である。

Claims (15)

  1. 酸性の銅の電解メッキ浴を用いた物品への電解メッキ方法であって、下記工程(a)および(b)を含むことを特徴とする電解メッキ方法。
    (a)前記酸性の銅の電解メッキ浴中に、前記物品を懸架する工程
    (b)前記物品の表面に、所定厚さの銅メッキをするために、逆電流パルスのプロフィールを有する電流を所定時間流して、電解メッキする工程であって、(i)カソードのパルス電流の印加時間、(ii)アノードのパルス電流の印加時間、(iii)カソードのパルス電流密度、(iV)アノードのパルス電流密度からなる群から選択される少なくとも一つの要因を変えることにより、前記銅メッキの硬度を調整または変更する電解メッキする工程
  2. 前記酸性の銅の電解メッキ浴が、濃度が12〜75g/リットルの銅イオンと、それに対する硫酸対イオンとを含むことを特徴とする請求項1に記載の電解メッキ方法。
  3. 前記酸性の銅の電解メッキ浴が、濃度が25〜200ml/リットルの硫酸(濃度98重量%)を含むことを特徴とする請求項2に記載の電解メッキ方法。
  4. 前記酸性の銅の電解メッキ浴が、濃度が10〜500mg/リットルの塩化物イオンを含むことを特徴とする請求項2に記載の電解メッキ方法。
  5. 前記酸性の銅の電解メッキ浴が、メッキの硬度を向上させるための添加剤を含むことを特徴とする請求項1に記載の電解メッキ方法。
  6. 前記酸性の銅の電解メッキ浴が、湿潤剤、ブライト剤、レベリング剤、および他のメッキ改良剤からなる群から選択される少なくとも一つの添加剤を含むことを特徴とする請求項1に記載の電解メッキ方法。
  7. 前記逆電流パルスのプロフィールが、カソードのパルス電流およびアノードのパルス電流が交互に変換するプロフィールであることを特徴とする請求項1に記載の電解メッキ方法。
  8. 前記カソードのパルス電流の印加時間が2〜100msecであることを特徴とする請求項7に記載の電解メッキ方法。
  9. 前記アノードのパルス電流の印加時間が0.1〜10msecであることを特徴とする請求項7に記載の電解メッキ方法。
  10. 前記逆電流パルスのプロフィールが、カソードのパルス電流を印加するための付加時間を有することを特徴とする請求項7に記載の電解メッキ方法。
  11. 前記カソードのパルス電流を印加するための付加時間が最大1時間であることを特徴とする請求項10に記載の電解メッキ方法。
  12. 前記カソードのパルス電流の印加と、前記アノードのパルス電流の印加との間に、電流値がゼロとなる時間を有することを特徴とする請求項7に記載の電解メッキ方法。
  13. 前記パルス電流の平均電流密度を1.0〜35.0A/dm2の範囲内の値とすることを特徴とする請求項1に記載の電解メッキ方法。
  14. 前記アノードのパルス電流における印加時間の間の電流密度を、前記カノードのパルス電流における印加時間の間の電流密度の0倍〜5倍の範囲内の値とすることを特徴とする請求項13に記載の電解メッキ方法。
  15. (i)カソードのパルス電流の印加時間および(ii)アノードのパルス電流の印加時間からなる群から選択される少なくとも一つの要因を変えることにより、前記銅メッキの硬度を調整または変更する電解メッキを行うことを特徴とする請求項1に記載の電解メッキ方法。
JP2007521511A 2004-09-16 2005-07-11 電流プロフィールの可変による銅メッキ硬度を制御するための電解メッキ方法 Pending JP2008506841A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/943,113 US7329334B2 (en) 2004-09-16 2004-09-16 Controlling the hardness of electrodeposited copper coatings by variation of current profile
PCT/US2005/024184 WO2006036252A2 (en) 2004-09-16 2005-07-11 Controlling the hardness of electrodeposited copper coatings by variation of current profile

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008506841A true JP2008506841A (ja) 2008-03-06

Family

ID=36032728

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007521511A Pending JP2008506841A (ja) 2004-09-16 2005-07-11 電流プロフィールの可変による銅メッキ硬度を制御するための電解メッキ方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7329334B2 (ja)
EP (1) EP1789611A4 (ja)
JP (1) JP2008506841A (ja)
CN (1) CN101432467B (ja)
WO (1) WO2006036252A2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009215590A (ja) * 2008-03-10 2009-09-24 Bridgestone Corp 銅‐亜鉛合金電気めっき方法、それを用いたスチールワイヤ、スチールワイヤ‐ゴム接着複合体およびタイヤ
US9376758B2 (en) 2010-12-21 2016-06-28 Ebara Corporation Electroplating method

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7521128B2 (en) 2006-05-18 2009-04-21 Xtalic Corporation Methods for the implementation of nanocrystalline and amorphous metals and alloys as coatings
US9005420B2 (en) * 2007-12-20 2015-04-14 Integran Technologies Inc. Variable property electrodepositing of metallic structures
CN103334135A (zh) * 2013-06-19 2013-10-02 西北工业大学 一种超细晶铜线的制备方法
CN103668370A (zh) * 2013-12-19 2014-03-26 潮州市连思科技发展有限公司 一种光盘脉冲电镀方法
CN109716536A (zh) * 2016-09-16 2019-05-03 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 用于在构件上产生电的接触部的方法
US10648097B2 (en) 2018-03-30 2020-05-12 Lam Research Corporation Copper electrodeposition on cobalt lined features

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5280235A (en) * 1975-12-27 1977-07-05 Toppan Printing Co Ltd Production method of copper electrodeposited product
JPH05214586A (ja) * 1990-08-03 1993-08-24 Mcgean Rohco Inc グラビアロールの銅めっき
JP2000500529A (ja) * 1995-11-21 2000-01-18 アトーテヒ ドイッチュラント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 金属層の電解析出のための方法
JP2000068651A (ja) * 1998-08-25 2000-03-03 Nippon Riironaaru Kk 充填されたブラインドビアホールを有するビルドアッププリント配線板の製造方法
JP2000173949A (ja) * 1998-12-09 2000-06-23 Fujitsu Ltd 半導体装置及びその製造方法並びにめっき方法及び装置
JP2000297395A (ja) * 1999-04-15 2000-10-24 Japan Energy Corp 電気銅めっき液
JP2001210932A (ja) * 2000-01-26 2001-08-03 Matsushita Electric Works Ltd プリント配線板の製造方法
JP2001303289A (ja) * 2000-03-08 2001-10-31 Applied Materials Inc 変調された波形を使用する金属の電気化学堆積方法
JP2002146586A (ja) * 2000-11-09 2002-05-22 Mitsubishi Rayon Co Ltd 銅電着方法およびレンズ型の製造方法
JP2003147583A (ja) * 2001-11-15 2003-05-21 Totoku Electric Co Ltd 銅被覆アルミニウム線
WO2003099490A1 (de) * 2002-05-27 2003-12-04 Concast Ag Verfahren zur galvanischen beschichtung einer stranggiesskokille
JP2004204351A (ja) * 2002-12-20 2004-07-22 Rohm & Haas Electronic Materials Llc 逆パルスめっき組成物および逆パルスメッキ方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3923610A (en) * 1974-08-27 1975-12-02 Intaglio Service Corp Method of copper plating gravure cylinders
US4666567A (en) * 1981-07-31 1987-05-19 The Boeing Company Automated alternating polarity pulse electrolytic processing of electrically conductive substances
DK172937B1 (da) * 1995-06-21 1999-10-11 Peter Torben Tang Galvanisk fremgangsmåde til dannelse af belægninger af nikkel, kobalt, nikkellegeringer eller kobaltlegeringer
US6465744B2 (en) * 1998-03-27 2002-10-15 Tessera, Inc. Graded metallic leads for connection to microelectronic elements
US6319384B1 (en) * 1998-10-14 2001-11-20 Faraday Technology Marketing Group, Llc Pulse reverse electrodeposition for metallization and planarization of semiconductor substrates
US6793796B2 (en) * 1998-10-26 2004-09-21 Novellus Systems, Inc. Electroplating process for avoiding defects in metal features of integrated circuit devices
US6610192B1 (en) * 2000-11-02 2003-08-26 Shipley Company, L.L.C. Copper electroplating
US20020079228A1 (en) * 2000-12-27 2002-06-27 Robert Smith Electroplating of gravure cylinders
US6723219B2 (en) * 2001-08-27 2004-04-20 Micron Technology, Inc. Method of direct electroplating on a low conductivity material, and electroplated metal deposited therewith

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5280235A (en) * 1975-12-27 1977-07-05 Toppan Printing Co Ltd Production method of copper electrodeposited product
JPH05214586A (ja) * 1990-08-03 1993-08-24 Mcgean Rohco Inc グラビアロールの銅めっき
JP2000500529A (ja) * 1995-11-21 2000-01-18 アトーテヒ ドイッチュラント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 金属層の電解析出のための方法
JP2000068651A (ja) * 1998-08-25 2000-03-03 Nippon Riironaaru Kk 充填されたブラインドビアホールを有するビルドアッププリント配線板の製造方法
JP2000173949A (ja) * 1998-12-09 2000-06-23 Fujitsu Ltd 半導体装置及びその製造方法並びにめっき方法及び装置
JP2000297395A (ja) * 1999-04-15 2000-10-24 Japan Energy Corp 電気銅めっき液
JP2001210932A (ja) * 2000-01-26 2001-08-03 Matsushita Electric Works Ltd プリント配線板の製造方法
JP2001303289A (ja) * 2000-03-08 2001-10-31 Applied Materials Inc 変調された波形を使用する金属の電気化学堆積方法
JP2002146586A (ja) * 2000-11-09 2002-05-22 Mitsubishi Rayon Co Ltd 銅電着方法およびレンズ型の製造方法
JP2003147583A (ja) * 2001-11-15 2003-05-21 Totoku Electric Co Ltd 銅被覆アルミニウム線
WO2003099490A1 (de) * 2002-05-27 2003-12-04 Concast Ag Verfahren zur galvanischen beschichtung einer stranggiesskokille
JP2004204351A (ja) * 2002-12-20 2004-07-22 Rohm & Haas Electronic Materials Llc 逆パルスめっき組成物および逆パルスメッキ方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009215590A (ja) * 2008-03-10 2009-09-24 Bridgestone Corp 銅‐亜鉛合金電気めっき方法、それを用いたスチールワイヤ、スチールワイヤ‐ゴム接着複合体およびタイヤ
US9376758B2 (en) 2010-12-21 2016-06-28 Ebara Corporation Electroplating method

Also Published As

Publication number Publication date
US7329334B2 (en) 2008-02-12
WO2006036252A2 (en) 2006-04-06
WO2006036252A3 (en) 2008-01-24
US20060054505A1 (en) 2006-03-16
CN101432467B (zh) 2012-04-04
EP1789611A2 (en) 2007-05-30
EP1789611A4 (en) 2010-01-06
CN101432467A (zh) 2009-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008506841A (ja) 電流プロフィールの可変による銅メッキ硬度を制御するための電解メッキ方法
JP4342294B2 (ja) 逆パルスめっき組成物および逆パルスメッキ方法
JP3285886B2 (ja) 電気めっき溶液組成物
KR100546989B1 (ko) 구리층을 일렉트로리틱 디포지트하는 방법
KR101943175B1 (ko) 반-광택 니켈 또는 니켈 합금의 증착을 위한 갈바닉 니켈 또는 니켈 합금 전기도금 배스, 전기도금 방법 및 이를 위한 상기 배스 및 화합물의 용도
JP2015165053A (ja) 電着浴、電着システム、及び電着方法
KR102001322B1 (ko) 구리-니켈 합금 전기 도금욕
JPS63270491A (ja) グラビアロールの銅めっき法およびその電気めっき浴組成物
JP2006316328A (ja) 2層フレキシブル銅張積層板の製造方法
Karahan Effects of pH value of the electrolyte and glycine additive on formation and properties of electrodeposited Zn-Fe coatings
US20060257683A1 (en) Stainless steel electrolytic coating
TWI481745B (zh) 製造低氧含量之銅電沈積物的添加劑
US20040074775A1 (en) Pulse reverse electrolysis of acidic copper electroplating solutions
US20090223827A1 (en) Pulse Reverse Electrolysis of Acidic Copper Electroplating Solutions
EP0892087A2 (en) Electroplating of low-stress nickel
JP2009149978A (ja) 銅−亜鉛合金電気めっき浴およびこれを用いためっき方法
JP5586951B2 (ja) 酸化還元法におけるホスフィン酸および/またはホスホン酸の使用
EP3415664B1 (en) Aqueous acidic copper electroplating bath and method for electrolytically depositing of a copper coating
US3287236A (en) Electrodeposition of copper and solutions therefor
WO2010101212A1 (ja) 銅-亜鉛合金電気めっき浴およびこれを用いためっき方法
GB2057503A (en) Palladium Electrodeposition Compositions
Ignatova et al. Effect of saccharine on the properties of Ni-Co alloy coatings deposited in citrate electrolytes
RU2379381C1 (ru) Электролит железнения
Karahan Research Article Effects of pH Value of the Electrolyte and Glycine Additive on Formation and Properties of Electrodeposited Zn-Fe Coatings
BRPI0601418B1 (pt) método eletrolítico para obtenção de níquel nanocristalino

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20081016

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090518

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090601

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090811

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100722

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20101215