JP2008502154A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 酸素濃度が２ｐｐｍ未満であり、波長１９３ｎｍでの吸光度が１ｃｍ^-1またはそれ未満である１，１'−ビシクロヘキシル、デカヒドロナフタレンまたはｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエンより本質的になる組成物。
2. 波長が１９３ｎｍから２４８ｎｍのＵＶ光線を放出するレーザを提供し、フォトレジストポリマーを含んでなるターゲット表面を提供し、ターゲット表面の少なくとも一部をレーザからの経路に沿って誘導されるＵＶ光線で像様照光し、経路の少なくとも一部に液体アルカンより本質的になる組成物を配置することを含んでなる方法であって、前記液体アルカンが、非環式アルカン、環状アルカン、分岐アルカン、非分岐アルカンおよびこれらの混合物よりなる群から選択され、ターゲット表面が前記組成物に浸漬される、上記方法。
3. アルカンが、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン、デカン、デカヒドロナフタレンラセミ酸塩、ｃｉｓ−デカヒドロナフタレン、ｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレン、ｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン、１，１'−ビシクロヘキシル、２−エチルノルボルナン、ｎ−オクチル−シクロヘキサン、ドデカン、テトラデカン、ヘキサデカン、２−メチル−ペンタン、３−メチルペンタン、２，２−ジメチルブタン、２，３−ジメチルブタン、オクタヒドロインデンおよびこれらの混合物よりなる群から選択される請求項２に記載の方法。
4. 液体アルカンの屈折率が波長範囲内で１．６〜１．７の範囲である請求項２に記載の方法。
5. 光源が１９３ｎｍまたは２４８ｎｍの光を放出するレーザであり、表面がフォトレジストポリマーを含んでなり、表面が液体に浸漬され、表面を照光している光が表面の像様露光を発生させるものである請求項２または４に記載の方法。
6. １つもしくはそれ以上の吸着剤床と酸素を最小限におさえた雰囲気とを含んでなる閉ループ液体再利用精製系にて再利用させることで、光への曝露後に液体を再生することをさらに含んでなる請求項２に記載の方法。
7. 波長１９３ｎｍまたは２４８ｎｍの光を放出するレーザと、フォトレジストポリマーを含んでなる表面であって、レーザの起動時に当該表面の少なくとも一部が、レーザから放出される光で照らされるように配置された表面と、表面を照らしている放出光の少なくとも一部が液体アルカンより本質的になる組成物を介して伝達されるようにレーザと表面との間に配置された液体アルカンより本質的になる組成物とを含んでなり、当該表面が前記組成物に浸漬される装置。
8. 表面がトップコートポリマーをさらに含んでなる請求項７に記載の装置。
9. トップコートが、フッ素化溶媒に可溶な非晶質フッ素化ポリマーより本質的になる請求項８に記載の装置。
10. 非晶質フッ素化ポリマーが、ヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン、パーフルオロジメチルジオキソール、パーフルオロメチルビニルエーテル、パーフルオロブテニルビニルエーテルおよびパーフルオロプロピルビニルエーテルから選択される２つまたはそれ以上のモノマーから調製されるコポリマーを含んでなるか、ポリマーが、パーフルオロブテニルビニルエーテルのホモポリマーである請求項９に記載の装置。