JP2005519346A - 真空紫外で高い透明性を有するフッ素含有化合物 - Google Patents
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Abstract
Description
i)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ−CH2CH3基は存在しない、2〜10個の炭素原子を有する環状、線状、もしくは分枝状ヒドロフルオロカーボン、
ii)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつエーテル酸素の両側に水素を有するシーケンス(CH−O−CH)は存在しない、X−Rf a[ORf b]nORf cY〔式中、XおよびYは、水素またはフッ素であることが可能であり、かつRf a、Rf b、およびRf cは、炭素1〜3個の線状もしくは分枝状フルオロカーボン基である〕、
iii)CnF2n−v+2Hv〔式中、n=2〜10、v<n+1、フッ素の数は水素の数に等しいかまたはそれよりも多く、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在しない〕、
iv)CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、
v)CF3CH2CF2CH3、
vi)F[CF(CF3)CF2O]nCFHCF3〔式中、n=1〜5〕、
vii)F[CF(CF3)CF2O]nCF2CF3〔式中、n=1〜5〕、
viii)HCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕、ならびに
ix)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した水素は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつ6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、しかも窒素または酸素のいずれにも、すぐ隣接したC−H結合は存在しない、環状、線状、もしくは分枝状のペルフルオロカーボンアミンおよびヒドロフルオロカーボンアミンならびにエーテル−アミン、
よりなる群から選択される1種もしくはそれ以上の化合物とを含んでなる組成物を提供する。
i)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ−CH2CH3基は存在しない、2〜10個の炭素原子を有する環状、線状、もしくは分枝状ヒドロフルオロカーボン、
ii)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつエーテル酸素の両側に水素を有するシーケンス(CH−O−CH)は存在しない、X−Rf a[ORf b]nORf cY〔式中、XおよびYは、水素またはフッ素であることが可能であり、かつRf a、Rf b、およびRf cは、炭素1〜3個の線状もしくは分枝状フルオロカーボン基である〕、
iii)CnF2n−v+2Hv〔式中、n=2〜10、v<n+1、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在しない〕、
iv)CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、
v)CF3CH2CF2CH3、
vi)F[CF(CF3)CF2O]nCFHCF3〔式中、n=1〜5〕、
vii)F[CF(CF3)CF2O]nCF2CF3〔式中、n=1〜5〕、
viii)HCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕、ならびに
x)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した水素は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつ6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、しかも窒素または酸素のいずれにも、すぐ隣接したC−H結合は存在しない、環状、線状、もしくは分枝状のペルフルオロカーボンアミンおよびヒドロフルオロカーボンアミンならびにエーテル−アミン、
よりなる群から選択される化合物を、1種もしくはそれ以上の光化学活性種を抽出するための1つもしくはそれ以上の手段を用いた処理に、少なくとも該1種もしくはそれ以上の光化学活性種の所望の濃度が達成されるまで、付すことを含んでなる方法を提供する。
a)140〜260nmの範囲の電磁放射線を放射することのできる線源から電磁放射線を放射することと、
b)該放射線の少なくとも一部分を受容するように配置されたターゲット上で該放射線を受容することと
を含んでなり、
1種もしくはそれ以上の光透過性組成物が、該放射線源と該ターゲットとの間に配置され、該光透過性組成物のうちの少なくとも1種が、20ppm未満の水と、90ppm未満の酸素と、
i)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ−CH2CH3基は存在しない、2〜10個の炭素原子を有する環状、線状、もしくは分枝状ヒドロフルオロカーボン、
ii)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、かつエーテル酸素の両側に水素を有するシーケンス(CH−O−CH)は存在しない、X−Rf a[ORf b]nORf cY〔式中、XおよびYは、水素またはフッ素であることが可能であり、かつRf a、Rf b、およびRf cは、炭素1〜3個の線状もしくは分枝状フルオロカーボン基である〕、
iii)CnF2n−v+2Hv〔式中、n=2〜10、v<n+1、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在しない〕、
iv)CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、
v)CF3CH2CF2CH3、
vi)F[CF(CF3)CF2O]nCFHCF3〔式中、n=1〜5〕、
vii)F[CF(CF3)CF2O]nCF2CF3〔式中、n=1〜5〕、
viii)HCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕、ならびに
ix)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した水素は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつ6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、しかも窒素または酸素のいずれにも、すぐ隣接したC−H結合は存在しない、環状、線状、もしくは分枝状のペルフルオロカーボンアミンおよびヒドロフルオロカーボンアミンならびにエーテル−アミン、
よりなる群から選択される1種もしくはそれ以上の化合物とを含んでなる組成物を含んでなる方法を包含する。
140〜260nmの範囲の電磁放射線を放射することのできる線源から電磁放射線を放射することと、
該放射線の少なくとも一部分を受容するように配置されたターゲット上で該放射線を受容することと
を含んでなり、
1種もしくはそれ以上の光透過性組成物が、該放射線源と該ターゲットとの間に配置され、該光透過性組成物のうちの少なくとも1種が、1種もしくはそれ以上の光化学活性種を抽出するための1つもしくはそれ以上の手段で処理された組成物を含んでなり、該組成物が、
i)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ−CH2CH3基は存在しない、2〜10個の炭素原子を有する環状、線状、もしくは分枝状ヒドロフルオロカーボン、
ii)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつエーテル酸素の両側に水素を有するシーケンス(CH−O−CH)は存在しない、X−Rf a[ORf b]nORf cY〔式中、XおよびYは、水素またはフッ素であることが可能であり、かつRf a、Rf b、およびRf cは、炭素1〜3個の線状もしくは分枝状フルオロカーボン基である〕、
iii)CnF2n−y+2Hv〔式中、n=2〜10、v<n+1、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在しない〕、
iv)CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、
v)CF3CH2CF2CH3、
vi)F[CF(CF3)CF2O]nCFHCF3〔式中、n=1〜5〕、
vii)F[CF(CF3)CF2O]nCF2CF3〔式中、n=1〜5〕、
viii)HCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕、ならびに
ix)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した水素は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつ6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、しかも窒素または酸素のいずれにも、すぐ隣接したC−H結合は存在しない、環状、線状、もしくは分枝状のペルフルオロカーボンアミンおよびヒドロフルオロカーボンアミンならびにエーテル−アミン、
よりなる群から選択される1種もしくはそれ以上の化合物を含んでなる方法を包含する。
140〜260nmの範囲の電磁放射線を放射することのできる線源から電磁放射線を放射することと、
該放射線の少なくとも一部分を受容するように配置されたターゲット上で該放射線を受容することと
を含んでなり、
該ターゲットまたは該線源のうちの少なくとも一方が、該放射線源と該ターゲットとの間に配置された1マイクロメートルあたり<5の吸光度により特徴づけられる1種もしくはそれ以上の光透過性フッ素化有機液体中に液浸され、該光透過性フッ素化有機化合物のうちの少なくとも1種が、1種もしくはそれ以上の光化学活性種を抽出するための1つもしくはそれ以上の手段を用いた処理に付されたものである方法を包含する。
i)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ−CH2CH3基は存在しない、2〜10個の炭素原子を有する環状、線状、もしくは分枝状ヒドロフルオロカーボン、
ii)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、かつエーテル酸素の両側に水素を有するシーケンス(CH−O−CH)は存在しない、X−Rf a[ORf b]nORf cY〔式中、XおよびYは、水素またはフッ素であることが可能であり、かつRf a、Rf b、およびRf cは、炭素1〜3個の線状もしくは分枝状フルオロカーボン基である〕、
iii)CnF2n−v+2Hv〔式中、n=2〜10、v<n+1、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在しない〕、
iv)CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、
v)CF3CH2CF2CH3、
vi)F[CF(CF3)CF2O]nCFHCF3〔式中、n=1〜5〕、
vii)F[CF(CF3)CF2O]nCF2CF3〔式中、n=1〜5〕、
viii)HCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕、ならびに
ix)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した水素は存在せず6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ窒素または酸素のいずれにも、すぐ隣接したC−H結合は存在しない、環状、線状、もしくは分枝状のペルフルオロカーボンアミンおよびヒドロフルオロカーボンアミンならびにエーテル−アミン、
よりなる群から選択される化合物を含んでなる。
i)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ−CH2CH3基は存在しない、2〜10個の炭素原子を有する環状、線状、もしくは分枝状ヒドロフルオロカーボン、
ii)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、かつエーテル酸素の両側に水素を有するシーケンス(CH−O−CH)は存在しない、X−Rf a[ORf b]nORf cY〔式中、XおよびYは、水素またはフッ素であることが可能であり、かつRf a、Rf b、およびRf cは、炭素1〜3個の線状もしくは分枝状フルオロカーボン基である〕、
iii)CnF2n−v+2Hv〔式中、n=2〜10、v<n=1、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在しない〕、
iv)CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、
v)CF3CH2CF2CH3、
vi)F[CF(CF3)CF2O]nCFHCF3〔式中、n=1〜5〕、
vii)F[CF(CF3)CF2O]nCF2CF3〔式中、n=1〜5〕、
viii)HCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕、ならびに
ix)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した水素は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ窒素または酸素のいずれにも、すぐ隣接したC−H結合は存在しない、環状、線状、もしくは分枝状のペルフルオロカーボンアミンおよびヒドロフルオロカーボンアミンならびにエーテル−アミン、
よりなる群から選択される1種もしくはそれ以上の化合物とを含んでなる。
140〜260nmの範囲の電磁放射線を放射することのできる線源から電磁放射線を放射することと、
該放射線の少なくとも一部分を受容するように配置されたターゲット上で該放射線を受容することと
を含んでなり、
1種もしくはそれ以上の光透過性組成物が、該放射線源と該ターゲットとの間に配置され、該光透過性組成物のうちの少なくとも1種が、20ppm未満の水と、90ppm未満の酸素と、
i)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ−CH2CH3基は存在しない、2〜10個の炭素原子を有する環状、線状、もしくは分枝状ヒドロフルオロカーボン、
ii)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在せず、しかもエーテル酸素の両側に水素を有するシーケンス(CH−O−CH)は存在しない、X−Rf a[ORf b]nORf cY〔式中、XおよびYは、水素またはフッ素であることが可能であり、かつRf a、Rf b、およびRf cは、炭素1〜3個の線状もしくは分枝状フルオロカーボン基である〕、
iii)CnF2n−y+2Hv〔式中、n=2〜10、v<n+1、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在しない〕、
iv)CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、
v)CF3CH2CF2CH3、
vi)F[CF(CF3)CF2O]nCFHCF3〔式中、n=1〜5〕、
vii)F[CF(CF3)CF2O]nCF2CF3〔式中、n=1〜5〕、
viii)HCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕、ならびに
よりなる群から選択される1種もしくはそれ以上の化合物とを含んでなる組成物を含んでなる方法を包含する。
6μmおよび25μm離間して配置されたCaF2ウィンドウを有する液体サンプルセルを使用した。セルを空にした状態およびセルに〜N(CF2CF2CF2CF3)3、フロリナート(FluorinertTM)FC−40を満たした状態で透過光強度を測定した。〜N(CF2CF2CF2CF3)3、フロリナート(FluorinertTM)FC−40は、157nmにおいてA/μm=0.21を有することがわかった。
6μmおよび25μm離間して配置されたCaF2ウィンドウを有する液体サンプルセルを使用した。セルにバートレル(Vertrel(登録商標))XFを満たした状態で透過光強度を測定した。バートレル(Vertrel(登録商標))XFは、157nmにおいてA/μm=0.0026を有することがわかった。
入手したままのバートレル(Vertrel(登録商標))XFのサンプルを、6マイクロメートルスペーサーを有する液体サンプルセル中に充填し、次に、6ジュール/cm2の157nm放射線で照射した。このサンプルは、52.7ジュール/cm2の10%PCD寿命を示した。
入手したままのバートレル(Vertrel(登録商標))XFのサンプルを、6マイクロメートルスペーサーを有する液体サンプルセル中に充填し、次に、20ジュール/cm2の157nm放射線で照射した。このサンプルは、47.5ジュール/cm2の10%PCD寿命を示した。
6マイクロメートルおよび25マイクロメートル離間して配置されたCaF2ウィンドウを有する液体サンプルセルを使用した。セルにH−ガルデン(H−Galden(登録商標))ZT85を満たした状態で透過光強度を測定した。H−ガルデン(H−Galden(登録商標))ZT85は、157nmにおいてA/μm=0.0037を有することがわかった。
入手したままのH−ガルデン(H−Galden(登録商標))ZT85のサンプルを、25マイクロメートルスペーサーを有する液体サンプルセル中に充填し、次に、15ジュール/cm2の157nm放射線で照射した。液体セル中にバブルが生成した。
入手したままのH−ガルデン(H−Galden(登録商標))ZT85のサンプルを、25マイクロメートルスペーサーを有する液体サンプルセル中に充填し、次に、30ジュール/cm2の157nm放射線で照射した。液体セル中にバブルが生成した。
前処理の施されていないH−ガルデン(H−Galden(登録商標))ZT85のサンプルを、25マイクロメートルスペーサーを有する液体サンプルセル中に充填し、次に、30ジュール/cm2の157nm放射線で照射した。液体セル中にバブルが生成した。
長さ約2フィート×直径1インチのハステロイチューブに3Aモレキュラーシーブを充填し、310℃のチューブオーブン中に配置し、窒素ガスで一晩パージングした。翌朝、最初に窒素パージガスを液体窒素冷却トラップに通し、実験の残りの部分が行えるように適度に乾燥していることを確認した。次に、チューブ炉を停止し、乾燥窒素のパージを保持しながらモレキュラーシーブを室温まで戻した。約1〜2グラムの乾燥した3Aモレキュラーシーブを、ハステロイチューブのバックエンドから、10mlのH−ガルデン(H−Galden(登録商標))ZT85溶媒がすでに入っている1オンスサンプルバイアルに、直接注いだ。ただちに、ゴムセプタムでバイアルに蓋をし、次に、溶媒と3Aモレキュラーシーブとが良好な接触を行えるように一晩ローリングさせた。
H−ガルデン(H−Galden(登録商標))ZT85を用いて、実施例4の方法を再び繰り返した。25.4ジュール/cm2の初期線量それに続く87.5ジュール/cm2の最終線量によりレーザー照射を行って、113ジュール/cm2の全線量を生成させた。25.4ジュールの初期線量を超えた領域での10%PCD寿命は、868ジュール/cm2であった。
実施例4の方法および材料を繰り返し用いて、試験に供するH−ガルデン(H−Galden(登録商標))ZT85の試料を作製した。12.75ジュール/cm2の初期線量それに続く12.25ジュール/cm2の最終線量により照射を行って、25ジュール/cm2の全線量を生成させた。12.75ジュールの初期線量を超えた領域での10%PCD寿命は、569ジュール/cm2であった。
1オンスサンプルバイアルに10mlのH−ガルデン(H−Galden(登録商標))ZT85溶媒を充填し、ただちに、ゴムセプタムで蓋をした。このH−ガルデン(H−Galden(登録商標))ZT85のカール・フィッシャー分析を行ったところ、257ppmの水が見いだされた。したがって、販売業者により供給されたままで通常の実験室条件下の通常のガラス容器中で取り扱われるH−ガルデン(H−Galden(登録商標))ZT85は、約257ppmの水を含有すると予想される。
1オンスサンプルバイアルに10mlのソルカン(SolkaneTM)365mfc溶媒を充填し、ただちに、ゴムセプタムで蓋をした。このソルカン(SolkaneTM)365mfcのカール・フィッシャー分析を行ったところ、218ppmの水が見いだされた。したがって、販売業者により供給されたままで通常の実験室条件下の通常のガラス容器中で取り扱われるソルカン(SolkaneTM)365mfcは、約218ppmの水を含有すると予想される。
1オンスサンプルバイアルに10mlのバートレル(VertrelTM)XF溶媒を充填し、ただちに、ゴムセプタムで蓋をした。このバートレル(VertrelTM)XFのカール・フィッシャー分析を行ったところ、72ppmの水が見いだされた。したがって、販売業者により供給されたままで通常の実験室条件下の通常のガラス容器中で取り扱われるバートレル(VertrelTM)XFは、約72ppmの水を含有すると予想される。
Claims (37)
- 140〜260nmの波長において<1の吸光度/マイクロメートルにより特徴づけられる有機組成物であって、20ppm未満の水と、90ppm未満の酸素と、
i)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ−CH2CH3基は存在しない、2〜10個の炭素原子を有する環状、線状、もしくは分枝状ヒドロフルオロカーボン、
ii)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつエーテル酸素の両側に水素を有するシーケンス(CH−O−CH)は存在しない、X−Rf a[ORf b]nORf cY〔式中、XおよびYは、水素またはフッ素であることが可能であり、かつRf a、Rf b、およびRf cは、炭素1〜3個の線状もしくは分枝状フルオロカーボン基である〕、
iii)CnF2n−v+2Hv〔式中、n=2〜10、v<n+1、フッ素の数は水素の数に等しいかまたはそれよりも多く、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在しない〕、
iv)CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、
v)CF3CH2CF2CH3、
vi)F[CF(CF3)CF2O]nCFHCF3〔式中、n=1〜5〕、
vii)F[CF(CF3)CF2O]nCF2CF3〔式中、n=1〜5〕、
viii)HCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕、ならびに
ix)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した水素は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ窒素または酸素のいずれにも、すぐ隣接したC−H結合は存在しない、環状、線状、もしくは分枝状のペルフルオロカーボンアミンおよびヒドロフルオロカーボンアミンならびにエーテル−アミン、
よりなる群から選択される1種もしくはそれ以上の化合物とを含んでなる組成物。 - 前記1種もしくはそれ以上の化合物が、ペルフルオロトリブチルアミン、ペルフルオロ−N−メチルモルホリン、CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、およびHCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕よりなる群から選択される請求項1に記載の組成物。
- 前記1種もしくはそれ以上の化合物が、ペルフルオロトリブチルアミン、ペルフルオロ−N−メチルモルホリン、CF3CFHCFHCF2CF3、CF3CH2CF2CH3、およびHCF2O(CF2O)n(CF2CF2O)mCF2H〔式中、n+m=2〜6〕よりなる群から選択される請求項1に記載の組成物。
- 前記1種もしくはそれ以上の化合物のうちの少なくとも1種が液体である請求項1に記載の組成物。
- 140〜260nmの波長において<1の吸光度/マイクロメートルにより特徴づけられる有機組成物を調製する方法であって、
i)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ−CH2CH3基は存在しない、2〜10個の炭素原子を有する環状、線状、もしくは分枝状ヒドロフルオロカーボン、
ii)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつエーテル酸素の両側に水素を有するシーケンス(CH−O−CH)は存在しない、X−Rf a[ORf b]nORf cY〔式中、XおよびYは、水素またはフッ素であることが可能であり、かつRf a、Rf b、およびRf cは、炭素1〜3個の線状もしくは分枝状フルオロカーボン基である〕、
iii)CnF2n−v+2Hv〔式中、n=2〜10、v<n+1、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在しない〕、
iv)CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、
v)CF3CH2CF2CH3、
vi)F[CF(CF3)CF2O]nCFHCF3〔式中、n=1〜5〕、
vii)F[CF(CF3)CF2O]nCF2CF3〔式中、n=1〜5〕、
viii)HCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕、ならびに
ix)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した水素は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつ6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、しかも窒素または酸素のいずれにも、すぐ隣接したC−H結合は存在しない、環状、線状、もしくは分枝状のペルフルオロカーボンアミンおよびヒドロフルオロカーボンアミンならびにエーテル−アミン、
よりなる群から選択される化合物を、1種もしくはそれ以上の光化学活性種を抽出するための1つもしくはそれ以上の手段を用いた処理に、少なくとも該1種もしくはそれ以上の光化学活性種の所望の濃度が達成されるまで、付すことを含んでなる方法。 - 前記1種もしくはそれ以上の光化学活性種が水分を含んでなり、かつ所望の濃度が20ppm以下である請求項5に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の光化学活性種が酸素を含んでなり、かつ所望の濃度が90ppm以下である請求項5に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の光化学活性種が水分および酸素を含んでなり、かつ所望の濃度がそれぞれ20ppm以下および90ppm以下である請求項5に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の化合物が、ペルフルオロトリブチルアミン、ペルフルオロ−N−メチルモルホリン、CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、およびHCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕よりなる群から選択される請求項5に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の化合物が、ペルフルオロトリブチルアミン、ペルフルオロ−N−メチルモルホリン、CF3CFHCFHCF2CF3、CF3CH2CF2CH3、およびHCF2O(CF2O)n(CF2CF2O)mCF2H〔式中、n+m=2〜6〕よりなる群から選択される請求項5に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の化合物のうちの少なくとも1種が液体である請求項5に記載の方法。
- 前記手段が、前記化合物をモレキュラーシーブに接触させることを含んでなる請求項5に記載の方法。
- 前記手段が、不活性ガスでスパージングすることを含んでなる請求項5に記載の方法。
- 前記手段が、前記化合物をモレキュラーシーブに接触させることと、前記化合物を不活性ガスでスパージングすることとを含んでなる請求項5に記載の方法。
- 基材上に光学画像を形成する方法であって、
a)140〜260nmの範囲の電磁放射線を放射することのできる線源から電磁放射線を放射することと、
b)該放射線の少なくとも一部分を受容するように配置されたターゲット上で該放射線を受容することと
を含んでなり、
1種もしくはそれ以上の光透過性組成物が、該放射線源と該ターゲットとの間に配置され、該光透過性組成物のうちの少なくとも1種が、20ppm未満の水と、90ppm未満の酸素と、
i)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ−CH2CH3基は存在しない、2〜10個の炭素原子を有する環状、線状、もしくは分枝状ヒドロフルオロカーボン、
ii)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつエーテル酸素の両側に水素を有するシーケンス(CH−O−CH)は存在しない、X−Rf a[ORf b]nORf cY〔式中、XおよびYは、水素またはフッ素であることが可能であり、かつRf a、Rf b、およびRf cは、炭素1〜3個の線状もしくは分枝状フルオロカーボン基である〕、
iii)CnF2n−v+2Hv〔式中、n=2〜10、v<n+1、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在しない〕、
iv)CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、
v)CF3CH2CF2CH3、
vi)F[CF(CF3)CF2O]nCFHCF3〔式中、n=1〜5〕、
vii)F[CF(CF3)CF2O]nCF2CF3〔式中、n=1〜5〕、
viii)HCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕、ならびに
ix)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した水素は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつ6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、しかも窒素または酸素のいずれにも、すぐ隣接したC−H結合は存在しない、環状、線状、もしくは分枝状のペルフルオロカーボンアミンおよびヒドロフルオロカーボンアミンならびにエーテル−アミン、
よりなる群から選択される1種もしくはそれ以上の化合物とを含んでなる組成物を含んでなる方法。 - 前記1種もしくはそれ以上の化合物が、ペルフルオロトリブチルアミン、ペルフルオロ−N−メチルモルホリン、CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、およびHCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕よりなる群から選択される請求項15に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の化合物が、ペルフルオロトリブチルアミン、ペルフルオロ−N−メチルモルホリン、CF3CFHCFHCF2CF3、CF3CH2CF2CH3、およびHCF2O(CF2O)n(CF2CF2O)mCF2H〔式中、n+m=2〜6〕よりなる群から選択される請求項15に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の化合物のうちの少なくとも1種が液体である請求項15に記載の方法。
- 前記放射線源および前記ターゲットのうちの前記少なくとも一方が、前記光透過性組成物中に液浸される請求項15に記載の方法。
- 放射線源とターゲットの両方が、前記光透過性組成物中に液浸される請求項15に記載の方法。
- 基材上に光学画像を形成する方法であって、
140〜260nmの範囲の電磁放射線を放射することのできる線源から電磁放射線を放射することと、
該放射線の少なくとも一部分を受容するように配置されたターゲット上で該放射線を受容することと
を含んでなり、
1種もしくはそれ以上の光透過性組成物が、該放射線源と該ターゲットとの間に配置され、該光透過性組成物のうちの少なくとも1種が、1種もしくはそれ以上の光化学活性種を抽出するための1つもしくはそれ以上の手段で処理された組成物を含んでなり、該組成物が、
i)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつ−CH2CH3基は存在しない、2〜10個の炭素原子を有する環状、線状、もしくは分枝状ヒドロフルオロカーボン、
ii)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつエーテル酸素の両側に水素を有するシーケンス(CH−O−CH)は存在しない、X−Rf a[ORf b]nORf cY〔式中、XおよびYは、水素またはフッ素であることが可能であり、かつRf a、Rf b、およびRf cは、炭素1〜3個の線状もしくは分枝状フルオロカーボン基である〕、
iii)CnF2n−y+2Hv〔式中、n=2〜10、v<n+1、2個よりも長い連続した隣接C−H結合は存在せず、6個よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在しない〕、
iv)CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、
v)CF3CH2CF2CH3、
vi)F[CF(CF3)CF2O]nCFHCF3〔式中、n=1〜5〕、
vii)F[CF(CF3)CF2O]nCF2CF3〔式中、n=1〜5〕、
viii)HCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕、ならびに
ix)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH−CH)よりも長い連続した水素は存在せず、−CH2CH3基は存在せず、かつ6個(CF−CF−CF−CF−CF−CF)よりも長い連続した隣接C−F結合は存在せず、しかも窒素または酸素のいずれにも、すぐ隣接したC−H結合は存在しない、環状、線状、もしくは分枝状のペルフルオロカーボンアミンおよびヒドロフルオロカーボンアミンならびにエーテル−アミン、
よりなる群から選択される1種もしくはそれ以上の化合物を含んでなる方法。 - 光化学活性種が水分を含んでなり、かつ所望の濃度が20ppm以下である請求項21に記載の方法。
- 光化学活性種が酸素を含んでなり、かつ所望の濃度が90ppm以下である請求項21に記載の方法。
- 1種もしくはそれ以上の光化学活性種が水分および酸素を含んでなり、かつ所望の濃度がそれぞれ20ppm以下および90ppm以下である請求項21に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の化合物が、ペルフルオロトリブチルアミン、ペルフルオロ−N−メチルモルホリン、CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、およびHCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕よりなる群から選択される請求項21に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の化合物が、ペルフルオロトリブチルアミン、ペルフルオロ−N−メチルモルホリン、CF3CFHCFHCF2CF3、CF3CH2CF2CH3、およびHCF2O(CF2O)n(CF2CF2O)mCF2H〔式中、n+m=2〜6〕よりなる群から選択される請求項21に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の化合物のうちの少なくとも1種が液体である請求項21に記載の方法。
- 前記手段が、前記化合物をモレキュラーシーブに接触させることを含んでなる請求項21に記載の方法。
- 前記手段が、不活性ガスでスパージングすることを含んでなる請求項21に記載の方法。
- 前記手段が、前記化合物をモレキュラーシーブに接触させることと、前記化合物を不活性ガスでスパージングすることとを含んでなる請求項21に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の化合物のうちの少なくとも1種が液体である請求項21に記載の方法。
- 前記放射線源および前記ターゲットのうちの前記少なくとも一方が、前記光透過性組成物中に液浸される請求項21に記載の方法。
- 放射線源とターゲットの両方が、前記光透過性組成物中に液浸される請求項21に記載の方法。
- 基材上に光学画像を形成する方法であって、
140〜260nmの範囲の電磁放射線を放射することのできる線源から電磁放射線を放射することと、
該放射線の少なくとも一部分を受容するように配置されたターゲット上で該放射線を受容することと
を含んでなり、
該ターゲットまたは該線源のうちの少なくとも一方が、該放射線源と該ターゲットとの間に配置された1マイクロメートルあたり<5の吸光度により特徴づけられる1種もしくはそれ以上の光透過性フッ素化有機液体中に液浸され、該光透過性フッ素化有機化合物のうちの少なくとも1種が、1種もしくはそれ以上の光化学活性種を抽出するための1つもしくはそれ以上の手段を用いた処理に付されたものである方法。 - 前記1種もしくはそれ以上の光化学活性種が水分を含んでなり、かつ所望の濃度が20ppm以下でである請求項34に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の光化学活性種が酸素を含んでなり、かつ所望の濃度が90ppm以下でである請求項34に記載の方法。
- 前記1種もしくはそれ以上の光化学活性種が水分および酸素を含んでなり、かつ所望の濃度がそれぞれ20ppm以下および90ppm以下である請求項34に記載の方法。
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