JP2008502154A - 紫外線透過性アルカンと、これを真空用途および深紫外線用途に利用する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示すハリックサイエンティフィックコーポレーション(Harrick Scientific Corp.)(ハリックサイエンティフィックコーポレーション(Harrick Scientific Corporation) 88 ブロードウェイオッシニング(Broadway Ossining)、ニューヨーク)製の取り外し式液体セルモデルDLC−M13を用いて、透過率ベースの吸光度測定を実施した。セルには8mmの開口があり、そこに(2)直径13mm×厚さ2mmのCaF2ウィンドウ、バイトン(Viton)(登録商標)Oリングシール材、(2)テフロン(Teflon)(登録商標)スペーサ厚6umから4000umまで揃った、試料を装着するためのルアーロック(Luer−Lok)(登録商標)接続具が含まれていた。J.A.ウォーラムカンパニーインコーポレイテッド(Woollam Co.,Inc.)、ネブラスカ州リンカーン(Lincoln)製の可変角分光偏光解析装置である、近IRから145nmまでの測定用のVUV−ベース(Vase)(登録商標)モデルVU−302または近IRから187nmまでの測定用のDUV−ベース(Vase)(登録商標)モデルV−に、DLC−M13を装着した。図1に示すように、試験対象となる液体標本を、ウィンドウ間にテフロン(Teflon)(登録商標)リングを挿入することで平行CaF2ウィンドウ間に形成したセルに保持した。厚さ6、25、100、500、920、2200、3000、4000、6000、10000マイクロメートルのテフロン(Teflon)(登録商標)リングを利用して、同じ試料の異なるアリコートで複数の光路長が得られるようにした。セルの充電(charging)時には、8mm径のウィンドウ開口に気泡が発生しないように注意した。
使用する前と、試料を通した後にその都度、ハリック(Harrick)セルをクリーニング溶媒としてのバートレル(Vertrel)(登録商標)XF(ミラーステップヘンソンケミカルカンパニー(Miller−Stephenson Chemical Co.)、コネティカット州ダンバリー(Danbury))でフラッシュした。メスのルアーロック(Luer−Lock)接続具の付いた清潔な1ml容のガラス製注射器(ベクトンディキンソン(Becton Dickinson)、ニュージャージー州フランクリンレークス(Franklin Lakes))に、バートレル(Vertrel)XFを充填した後、ハリック(Harrick)セルのオスのルアーロック(Luer−Lock)接続具に取り付け、この時点でバートレル(Vertrel)XFをセルを介してフラッシュした。次に、「ハウス窒素(house nitrogen)」(液体窒素を沸騰させることで生成したものであり、酸素5ppm、水3ppm未満である)を利用してセルを風乾した。このセルを図1に示すような逆順で分解した。CaF2ウィンドウと選択した厚さのテフロン(Teflon)(登録商標)スペーサとを、バートレル(Vertrel)(登録商標)XFの入った20ml容のバイアルに置き、バイアルにキャップをした後、30〜60秒間超音波浴に入れた。クリーニングバイアルからCaF2ウィンドウとスペーサとを取り出し、バートレル(Vertrel)(登録商標)XFで湿らせたQ−ティップ(Q−tip)で最終的な擦過を行った後、パッファバルブ(puffer bulb)を用いて空気乾燥させた。次に、図1に示すように構成要素を図示の順に垂直に積んでセルを組み立て、圧縮用のナットをセルに手で締めたが、ここでのクリーニングと組み立ては、実験室のフード(lab hood)内にて空気中で行った。
このようにして用意したセルに、清潔な1mlのBDガラス製注射器を使って試料液体およそ0.5mlをその入れ物から移した後、注射器をセルに取り付け、セルの開口に気泡が残ることがないように、頂部のルアーロック(Luer−Lok)(登録商標)接続具の上に液体メニスカスが目視確認されるまでセルを充填した。続いて、ハリック(Harrick)セルの頂部のルアーロック(Luer−Lok)(登録商標)接続具にテフロン(Teflon)(登録商標)プラグでキャップをし、注射器を取り付けたままセルをひっくり返した。注射器をねじって外し、このようにして露出したセル接続具に他のテフロン(Teflon)(登録商標)プラグでキャップをした。
上記のセクションで説明したようにして清浄・組み立てしたセルを、シリーズ100のプレキシグラス(Plexiglass)グローブボックス(テラユニバーサル(Terra Unversal)、カリフォルニア州アナハイム(Anaheim))のN2をパージしたアンティチャンバか、窒素パージしたネクサス(Nexus)モデル100043ドライボックス(ヴァキュームアトモスフィアズカンパニー(Vacuum Atmospheres Co.)、カリフォルニア州ホーソーン(Hawthorne))に取り付けた、あらかじめ窒素フラッシュしておいたミニチャンバのいずれかに置いた。ドライボックスの酸素計の目盛が10ppmO2になるまで−−およそ30分、アンティチャンバをハウス窒素で連続してパージした。ミニチャンバを脱気した後、窒素を3回充填し、続いて機器をドライボックスに移した。
テフロン(Teflon)(登録商標)プラグ(別、挿入せず)付きの清潔な組み立て済みのセルと、清潔な1ml容のBD注射器と、試料ボトルの中に入ったまま吸着剤の上で乾燥させておいた選択した試料とを、上述した方法で上述したドライボックスに置いた。
以下の実施例の目的で、上述した相対透過率法を用いて、さまざまなセル厚について材料の吸光度を求めた。測定誤差を複数の標本で同じに揃えるために、少なくとも0.1%の吸光度が得られるよう試験体の厚さを調節した。
VUV−vase機器およびDUV−vase機器(たとえば、バーネット(Burnett)ら、「Absolute refractive indices and thermal coefficients of CaF2, SrF2, BaF2, and LiF near 157 nm」、Appl. Opt. 41、2508〜2513(2002)や、フレンチ(French)ら、「Immersion Fluid Refractive Indices Using Prism Minimum Deviation Techniques」、Optical Microlithography XVII、SPIE 5377〜173 (2004)を参照のこと)で用いるように実装した、図2および図3に示す最小偏角プリズム法を用いて、材料の屈折率とその温度係数を求めた。
テフロン(Teflon)(登録商標)プラグ(別、挿入せず)付きの清潔な組み立て済みのセルと、清潔な1ml容のBD注射器と、選択した試料材料とを、上述したようにシリーズ(Series)100プレキシグラス(Plexiglass)グローブボックスまたはネクサス(Nexus)モデル100043ドライボックスのいずれかに置いた。
テフロン(Teflon)(登録商標)プラグ(別、挿入せず)付きの清潔な組み立て済みのセルと、清潔な1ml容のBD注射器と、試料ボトルの中に入ったままシリカゲルまたは3Aモレキュラーシーブ上で乾燥させておいた選択した試料とを、上述した方法で上述したドライボックスに置いた。
コンピュータ制御されてステッパモータ駆動式のΘ−2Θ入射角ステージを取り付けたベース(VASE)(登録商標)に等辺液体プリズムを装着した。図3に示すように試料ステージにプリズムを装着した。測定中は試料回転ステージと検出器アーム回転ステージとを別々に制御した。単色光分光器を用いて、標的波長λをVUVから近赤外線(NIR)の間で選択した。特定の波長と入射角で、想定される透過角度を含む角度の範囲を検出器アームで掃き、透過角度を正確に判断できるようにした。このプロセスを、入射角の範囲(想定最小偏角の角度を含む)について繰り返した。最小偏角の角度を求めたら、指数nmat(Θ)を式3から求めたが、ここでα=プリズム頂角、δ(λ)=測定した最小偏角の角度、nガス(λ)=N2周囲のインデックスであり、ここでn窒素=1.0003である。
グローブバッグ、グローブボックス、ドライボックス中にて以下において後述する作業を実施した。グローブバッグは、フォールディングによって作製した粗いシール材が底に貼ってある、取り扱うために設けられたグローブ形の付属物のあるポリオレフィン製の袋であった。グローブボックスは、−PMMAボックスのシートを一緒にのり付けして製造したホームメイドの箱であった、通常のドライボックスグローブのあるボックスを取り付けた。ドライボックスは、高品質のシール材とポートとを持つ市販のボックスであった。窒素100ppmという高い酸素濃度にヘンリーの法則を適用しても、依然として10億分の1の溶存酸素だけが得られた。本願発明者らは、ここで用いた具体的なエンクロージャが結果の差を生んだという実験による証拠を何ら見ていないため、結果として、本願明細書ではいくつかの用語をある程度同義に用いている。
上述した最小偏角法を利用して、導電率17.5メガオームの脱イオン水の屈折率を測定した。32℃での屈折率は193nmで1.433、248nmで1.377であった。22℃での屈折率は193nmで1.436、248nmで1.378であった。
A.上述した相対透過率法によれば受領時のままのシクロヘキサンの吸光度(フルカ(Fluka)カタログ番号28935、GCでの純度 99.5%、沸点80〜81℃)。193nmで4.78cm−1であることが分かった。
A.上述した相対透過率法による、受領時のままのシクロペンタン(フルカ(Fluka)(カタログ番号29682、GCでの純度 99.0%、沸点50℃)は193nmで0.42cm−1であることが分かった。
193nmでの接触フォトリソグラフィを実施するために用いた装置を図5に示す。この装置は、193nmのラムダ−フィジック(フロリダ州Ft.ローダーデール(Lauderdale))オプテックス(Optex)ArFエキシマレーザ光源と、モデルD200のサイエンテック(Scientech)(5649 アラパホーアベニュー(Arapahoe Avenue)、ボールダー(Boulder)、コロラド(Colorado) 80303)レーザ電力計と、浸漬流体リザーバとからなり、いずれも、微量酸素分析器とモイスチャプローブ(VAC Industries)とを取り付けた窒素フラッシュしたネクサス(Nexus)ドライボックス(VACインダストリーズ(Industries)、カリフォルニア州ホーソーン(Hawthorne))に装着されている24インチ(61cm)×18インチ(46cm)の光学テーブル(ニューポートコーポレイテッド(Newport Corp.)、カリフォルニア州アービン(Irvine))に装着された。
片面を研磨した、およそ2nm厚の自然酸化物層のある単結晶シリコンウェハ(ウェハネットインコーポレイテッド(Wafernet, Inc.)、カリフォルニア州サンノゼ(San Jose)、直径100mm×厚さ0.5mmを、以下の手順を用いて193nmでのフォトリソグラフィ用に作製した。YES−3ベーパープライムオーブン(Vapor−Prime Oven)(イールドエンジニアリングカンパニー(Yield Engineering Company)、カリフォルニア州サンノゼ(San Jose))で、フォトレジスト用の接着プロモーターとして用いられるヘキサメチルジシリザン(HMDS)(アーチケムインド(Arch Chem. Ind)、コネティカット州ノーウォーク(Norwalk))の層をシリコンウェハにコーティングした。
蒸気にて説明したようにして調製したフォトレジスト層は270nm厚であった。このフォトレジスト層に、上述したようなトップコートをコーティングした。トップコート溶液については、4.1重量%テフロン(Teflon)(商標)AF 1601をフルオリナート(FLUORINERT)(商標)FC−75と組み合わせて調製した。このようにして調製したトップコート層は70nm厚であった。光学的吸光度が4.78/cmである実施例1Bのシクロヘキサンを、受領したままの状態で浸漬液として用いた。E1が4mJ/cm2であることが分かった。この線量で、図12に示すように銅TEMグリッドパターンがシリコンウェハにはっきりと転写された。
ここでは光学的吸光度が0.14/cmであることを特徴とする実施例1Cの精製シクロヘキサンを浸漬流体にしたこと以外は、実施例3Aの手順と同じようにした。フォトレジスト層は260nm厚であった。トップコート層は70nm厚であった。E1は1mJ/cm2であることが分かった。この線量で、図13に示すように銅TEMグリッドパターンがシリコンウェハにはっきりと転写された。吸光度が97%まで落ち、E1は75%まで落ちた。
光学的吸光度が2.78/cmであることを特徴とする受領時のままのデカヒドロナフタレン、(デカリン)が浸漬流体であり、トップコートについては、ポリ(ヘキサフルオロプロピレンとテトラフルオロエチレン)とをそれぞれ重量比60:40で組み合わせたものを、フルオリナート(FLUORINERT)(商標)FC−75溶媒に入れた約5重量%溶液から上記のようにして調製したこと以外は、実施例3Aの手順と同じようにした。フォトレジスト層は260nm厚であった。トップコート層は100nm厚であった。E1は1.6mJ/cm2であることが分かった。この線量で、図14に示すように銅TEMグリッドパターンがシリコンウェハにはっきりと転写された。
光学的吸光度が0.45cm−1であることを特徴とする、実施例5Bの手順で処理したデカヒドロナフタレン、(デカリン)が浸漬流体であること以外は、実施例3Cの手順と同じようにした。フォトレジスト層は260nm厚であった。トップコート層は100nm厚であった。E1は0.8mJ/cm2であることが分かり、この線量で、図15に示すように銅TEMグリッドパターンがシリコンウェハにはっきりと転写された。吸光度が84%まで落ち、E1は50%まで落ちた。
ここでは、浸漬流体を使用せず、トップコートも使用しなかったこと以外は、実施例3Aと同じ手順に従った。フォトレジスト層は246nm厚であった。E1は1.2mJ/cm2であることが分かり、フォトレジストに明瞭な像を形成するのに必要とされた。ウェハに転写された銅TEMグリッドパターンを図16に示す。
A.受領時のままのシクロオクタン(フルカ(Fluka)カタログ番号29598、GCでの純度≧99.5%、沸点150〜152℃)の吸光度を193nmでの上述した相対透過率法で測定したところ、1.84cm−1であることが分かった。
A.cis異性体とtrans異性体との混合物である、受領時のままのデカリン(フルカ(Fluka)カタログ番号30490、GCでの純度≧98%)の吸光度を、複数の経路長を用いて、相対透過率法で窒素下で測定した。受領時のままのデカリンは、193nmでの吸光度が2.78cm−1であることが分かった。
A.受領時のままのcis−デカリン(フルカ(Fluka)カタログ番号30500、GCでの純度≧98%)の吸光度を、窒素下にて相対透過率法で求めた。193nmでの補正吸光度は>300cm−1であった。
A.ヴァリアンケーリー(Varian Cary)5UV/vis/NIRデュアルビーム分光計を用いて、実施例6の手順に従って、受領時のままのtrans−デカリン(フルカ(Fluka)カタログ番号30510、GCでの純度≧98%)の吸光度を求めた。193nmでの補正吸光度は8.23cm−1であった。
A.受領時のままの1,1’−ビシクロヘキシル(フルカ(Fluka)カタログ番号14356、GCでの純度 99.0%)の吸光度を、本願明細書に記載の193nmでの相対透過率法で測定したところ、31.40cm−1であることが分かった。
A.400ml容のオートクレーブに、エンドおよびエキソ5−ビニル−2−ノルボルネン(アルドリッチ(Aldrich)14,867−9、95%)と、メタノール(バーディックアンドジャクソン(Burdick & Jackson)、HPLCグレード)150mlと、パラジウム活性炭(1g、アルファ(Alfa)製品粉末、Pd10%を含有)との混合物100gを室温で仕込んだ。オートクレーブを閉じて密封した後、50psigの水素圧力下で室温にて1時間振盪した。さらに時間をかけて室温にて水素圧を徐々に200psigまで高めた後、100℃で400psigに2時間、150℃で620psigに1時間維持した。室温まで冷ました後、反応混合物を濾過して触媒を除去した。濾液を二層に分けた。底層を単離し、水の50mlのアリコート2つで洗浄し、顆粒状の無水Na2SO4(EM Science)で乾燥させた。Na2SO4の除去後、液体生成物79gが得られ、これを本願明細書では生成物Aとした。二層の反応濾液の最上層を水500mlと混合することで、再度二層の液体を形成した。このようにして生成した最上層を単離し、水の20mlのアリコート2つで洗浄し、Na2SO4で乾燥させた。Na2SO4の除去後、液体生成物19gが得られ、これを本願明細書では生成物Bとした。生成物Aと生成物Bのいずれも、99%を超える2−エチルノルボルナンからなることが明らかになった。合計収率は96%であった。生成物Aと生成物Bのどちらにも、微量のオレフィン汚染が認められた。両方の試料を臭素(0.12g、アルドリッチ(Aldrich)、リアジェントプラス(reagentplus)グレード))で室温にて一晩処理した。NaHSO3(aq.)と水で洗浄して余分な臭素を取り除いた。Na2SO4で乾燥させた後、試料同士を合わせ、減圧状態で蒸留した。留出物の中心画分(沸点106℃/185mmHg)は193nmでの吸光度が61.4cm−1であった。この画分を清潔なボトル(テフロン(Teflon)を引いたクロージャのあるVWR、VWR(登録商標)トレースクリーン(TraceClean)(商標)ボトル)に移し、窒素でパージした。このボトルに、ドライボックスにて実施例1で得られたような活性シリカゲル(液体容量の約1/3)を加えた。ボトルを閉じ、約30秒間振盪した後、室温にて数日間放置した。この液体をアクロディスク(Acrodisc)(登録商標)CRの25mmシリンジフィルターに200nmのPTFE膜(Pall Life Science)を付けたもので濾過した。濾過した液体の吸光度は193nmで1.83cm−1であった。このような処理の2回目を行った後、193nmでの流体の吸光度は0.98cm−1であった。
A.上述した相対透過率法によって、受領時のままのn−オクチルシクロヘキサン(TCI−EPカタログ番号00138、98+%)の吸光度を試験したところ、193nmで2.24cm−1であることが分かった。
A.受領時のままのデカン(アルドリッチ(Aldrich)カタログ番号45,711−6、無水、99+%、シュア(Sure)/シール材(商標)ボトルに窒素下で封入)の吸光度を、上述したVUV ベース(Vase)吸光度測定法に従って窒素下で求めたところ、193nmで3.43cm−1であることが分かった。
A.受領時のままのドデカン(フルカ(Fluka)カタログ番号44010、GCでの純度>99.8%)の吸光度を上述した相対透過率法で測定したところ、193nmで0.70cm−1であることが分かった。
A.受領時のままのヘキサデカン(フルカ(Fluka)カタログ番号52209、GCでの純度≧99.8%)の試料5mlの吸光度を上述した相対透過率法で測定したところ、193nmで6.15cm−1であることが分かった。
A.受領時のままのテトラデカン(フルカ(Fluka)カタログ番号87139、GCでの純度>99.5%)の吸光度を上述した相対透過率法で求めたところ、193nmで2.06cm−1であることが分かった。
A.受領時のままの2−メチルペンタン(アルドリッチ(Aldrich)カタログ番号M6,580−7、純度99+%、沸点62℃)の吸光度を相対透過率法で測定したところ、193nmで43.33cm−1であることが分かった。
A.受領時のままの3−メチルペンタン(アルドリッチ(Aldrich)カタログ番号M6,600−5、99+%)の吸光度を相対透過率法で測定したところ、193nmで43.33cm−1であることが分かった。
A.実施例1で得られたような乾燥シリカゲル約2mlを、グローブバッグにて窒素の雰囲気下で、2,3−ジメチルブタン(アルドリッチ(Aldrich)カタログ番号D15,160−2、98+%)5mlと合わせた。グローブバッグにて窒素下で、0.45μのガラス製マイクロファイバシリンジフィルター(ワットマン(Whatman)(登録商標)オートバイアル(Autovial)(登録商標)番号AV125UGMF)を用いて、シリカを濾別した。ヴァリアンケーリー(Varian Cary)5UV/vis/NIRデュアルビーム分光計を利用して、2,3−ジメチルブタンの吸光度を測定した。193nmでの補正吸光度は1.85cm−1であった。
A.受領時のままの2,2−ジメチルブタン(フルカ(Fluka)カタログ番号39740、GCでの純度>99%)の吸光度を相対透過率法で測定したところ、193nmで2.15cm−1であることが分かった。
A.受領時のままのシクロオクタン(アルドリッチ(Aldrich)カタログ番号C10、940−1、純度>99+%)の吸光度を相対透過率法で測定したところ、193nmで>100cm−1であることが分かった。
A.受領時のままのデカン(フルカ(Fluka)カタログ番号30540、GCでの純度 99.8%)の吸光度を相対透過率法で測定したところ、193nmで6.01であることが分かった。
A.フルカ(Fluka)からシクロヘプタン(カタログ番号28810、GCでの純度>97%)、沸点116〜118℃を購入した。ヴァリアンケーリー(Varian Cary)5UV/vis/NIRデュアルビーム分光計を利用して、シクロヘプタン(cyclohpetane)の吸光度を測定した。石英ウィンドウがある空の100umのキュベットを両方の光線に挿入したところ、185から350nmで0基線が生成された。試料光線キュベットをケーリー(Cary)5分光計から取り出し、窒素充填グローブバッグにてシクロヘプタン(cyclohpetane)を仕込んだ。キュベットをケーリー(Cary)5分光計に戻し、185から350nmの吸光度を測定した。193nmで測定した吸光度に、350nmでの0基線からの偏差すなわちデカンに吸収が認められない部分を加えて最終的な補正とした。193nmでの補正吸光度は>390cm−1であった。
プレート(Plate)ら、Zhurnal Obshchei Khimii、30、3945〜53、1960により説明されているように、文献に記載の手順で、オクタヒドロインデンを調製した。オクタヒドロインデン(20g)と濃硫酸(15g)とを室温で2日間攪拌した。反応混合物の最上層を単離し、NaHCO3(aq.)、水、NaCl(sat.)で洗浄し、Na2SO4で乾燥させた後、蒸留したところ、液体(14.2g、沸点35℃/2mmHg)が得られた。この液体を、ドライボックスにてVWRトレースクリーン(TraceClean)(商標)ボトルに容量で約1/3ほどシリカゲルを入れたものに加えた。[シリカゲル(アルドリッチ(Aldrich)カタログ番号24,982−3、タイプ3、8メッシュ)を500℃で2時間、真空下にて乾燥させた。]ボトルを閉じ、約30秒間振盪した後、室温にて数日間放置した。液体をアクロディスク(Acrodisc)(登録商標)CRの25mmシリンジフィルターに200nmのPTFE膜(ポールライフサイエンス(Pall Life Science))を付けたもので濾過した。濾過後の液体の吸光度を上述した相対透過率法で測定したところ、193nmで0.89cm−1であることが分かった。
ディキシーケミカルカンパニーインコーポレイテッド(Dixie Chemical Company、Inc.)、テキサス州ヒューストン(Houston)から、exo−テトラヒドロジシクロペンタジエンの54ガロン容のドラムを購入した。小さな試料を窒素下でVWRトレースクリーン(TraceClean)(商標)ボトルに移した。その透明度を、ヴァリアンケーリー(Varian Cary)5UV/vis/NIRデュアルビーム分光計を利用して測定したところ、193nmで16cm−1であることが分かった。
推定解像度2ppmのオーシャンオプティクスフォキシプローブ(Ocean Optics FOXY Probe)を液体シクロヘキサン試料の表面よりも下に浸漬させて、溶存酸素濃度を測定した。相対透過率法で193nmでの光学的吸光度を測定し、VUV−ベース(Vase) 分光計で2つの異なるへリック(Herrick)セル厚で測定した吸光度(1.45mmおよび6.0mm)を平均した。
Claims (44)
- 酸素濃度が2ppm未満であり、波長193nmでの吸光度が1cm−1またはそれ未満である液体アルカンより本質的になる組成物。
- 液体アルカンが、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、n−デカン、デカヒドロナフタレンラセミ酸塩、cis−デカヒドロナフタレン、trans−デカヒドロナフタレン、exo−テトラヒドロジシクロペンタジエン、1,1’−ビシクロヘキシル、2−エチルノルボルナン、n−ドデカン、n−テトラデカン,n−ヘキサデカン、2−メチル−ペンタン、3−メチルペンタン、2,2−ジメチルブタン、2,3−ジメチルブタン、オクタヒドロインデンおよびこれらの混合物から選択される請求項1に記載の組成物。
- 液体アルカンが1.6〜1.7の屈折率を有する請求項1に記載の組成物。
- 液体アルカンが、デカヒドロナフタレンラセミ酸塩、cis−デカヒドロナフタレンおよびtrans−デカヒドロナフタレン、exo−テトラヒドロジシクロペンタジエンおよび1,1’−ビシクロヘキシルから選択される、請求項3に記載の組成物。
- 吸光度が0.01から1cm−1の範囲にある請求項1に記載の組成物。
- 吸光度が0.01から0.5cm−1の範囲にある請求項5に記載の組成物。
- 約170nmから約260nmの波長を有するUV光線を放出する光源を提供し、ターゲット表面を提供し、ターゲット表面の少なくとも一部を、光源から経路に沿って誘導されるUV光線で照光し、経路の少なくとも一部に液体アルカンを配置することを含んでなり、液体アルカンが、非環式アルカン、環状アルカン、分岐アルカン、非分岐アルカンおよびこれらの混合物のうちの1つもしくはそれ以上のアルカンより本質的になる、方法。
- アルカンが、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン、デカン、デカヒドロナフタレンラセミ酸塩、cis−デカヒドロナフタレン、trans−デカヒドロナフタレン、exo−テトラヒドロジシクロペンタジエン、1,1’−ビシクロヘキシル、2−エチルノルボルナン、n−オクチル−シクロヘキサン、ドデカン、テトラデカン、ヘキサデカン、2−メチル−ペンタン、3−メチルペンタン、2,2−ジメチルブタン、2,3−ジメチルブタン、オクタヒドロインデンおよびこれらの混合物よりなる群から選択される請求項7に記載の方法。
- アルカンが、2,3−ジメチルブタンラセミ酸塩である請求項8に記載の方法。
- 193nmでの液体の吸光度が1cm−1未満である請求項7に記載の方法。
- 吸光度が0.01〜1cm−1の範囲である請求項10に記載の方法。
- 吸光度が0.01〜0.5cm−1の範囲である請求項10に記載の方法。
- 液体アルカンの屈折率が波長範囲内で1.6〜1.7の範囲である請求項7に記載の方法。
- 光源が193nmの光を放出するレーザである請求項7に記載の方法。
- 光源が248nmの光を放出するレーザである請求項7に記載の方法。
- ターゲット表面がフォトレジストポリマーを含んでなる請求項7に記載の方法。
- ターゲット表面が、トップコートポリマーをさらに含んでなる請求項16に記載の方法。
- 表面を液体アルカンに浸漬させる請求項7に記載の方法。
- 光源が193nmの光を放出するレーザであり、表面がフォトレジストポリマーを含んでなり、表面が液体に浸漬され、表面を照光している光が表面の像様露光を発生させるものである請求項7または請求項13に記載の方法。
- 光源が248nmの光を放出するレーザであり、表面がフォトレジストポリマーを含んでなり、表面が液体に浸漬され、表面を照光している光が表面の像様露光を発生させるものである請求項7または請求項13に記載の方法。
- アルカン液体から汚染物を抽出することをさらに含んでなる請求項7に記載の方法。
- 抽出することが、液体を吸着剤と接触させることを含んでなる請求項21に記載の方法。
- 吸着剤が、シリカゲル、炭素、モレキュラーシーブ、アルミナおよびこれらの混合物よりなる群から選択される請求項22に記載の方法。
- 抽出後の液体を酸素を最小限におさえた雰囲気中にて取り扱い、維持することをさらに含んでなる請求項21に記載の方法。
- 液体を吸着剤と接触させる前に、グリースのない蒸留装置で分留することをさらに含んでなる請求項22に記載の方法。
- 1つもしくはそれ以上の吸着剤床と酸素を最小限におさえた雰囲気とを含んでなる閉ループ液体再利用精製系にて再利用させることで、光への曝露後に液体を再生することをさらに含んでなる請求項7に記載の方法。
- 波長範囲170nmから260nmの光を放出する光源と、表面であって、光源の起動時に当該表面の少なくとも一部が、放出光による光源から放出される光で照光されるように配置された表面と、表面を照光している放出光の少なくとも一部が液体アルカンを介して伝達されるように光源と表面との間に配置された液体アルカンと、を含んでなる装置。
- 液体アルカンの193nmでの吸光度が1cm−1未満である請求項27に記載の装置。
- 吸光度が0.01から1cm−1の範囲にある請求項27に記載の装置。
- 吸光度が0.01から0.5cm−1の範囲にある請求項29に記載の装置。
- 液体の屈折率が波長範囲170nmから260nmで1.6〜1.7の範囲にある請求項27に記載の装置。
- 光源が、193nmの光を放出するレーザである請求項27に記載の装置。
- 光源が248nmの光を放出するレーザである請求項27に記載の装置。
- 表面がフォトレジストポリマーを含んでなる請求項27に記載の装置。
- 表面がトップコートポリマーをさらに含んでなる請求項34に記載の装置。
- ターゲット表面が液体アルカンに浸漬される請求項27に記載の装置。
- 光源が193nmの光を放出するレーザであり、表面がフォトレジストポリマーを含んでなり、表面が液体に浸漬され、装置が表面の像様露光を達成するための手段を有する請求項27または請求項31に記載の装置。
- 光源が248nmの光を放出するレーザであり、表面がフォトレジストポリマーを含んでなり、表面が液体に浸漬され、装置が表面の像様露光を達成するための手段を有する請求項27または請求項31に記載の装置。
- トップコートが、フッ素化溶媒に可溶な非晶質フッ素化ポリマーより本質的になる請求項35に記載の装置。
- 非晶質フッ素化ポリマーが、ヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン、パーフルオロジメチルジオキソール、パーフルオロメチルビニルエーテル、パーフルオロブテニルビニルエーテルおよびパーフルオロプロピルビニルエーテルから選択される2つまたはそれ以上のモノマーから調製されるコポリマーを含んでなるか、ポリマーが、パーフルオロブテニルビニルエーテルのホモポリマーである請求項39に記載の装置。
- コポリマーが、テトラフルオロエチレン由来のモノマー単位と、パーフルオロジメチルジオキソール由来のモノマー単位30から90モル%とを含んでなる請求項40に記載の装置。
- 酸素を最小限におさえた雰囲気をさらに含んでなる請求項27に記載の装置。
- 1つもしくはそれ以上の吸着剤床と不活性ガス雰囲気とを含んでなる閉ループ液体再利用精製系をさらに含んでなる請求項27に記載の装置。
- アルカンが、非環式アルカン、環状アルカン、分岐アルカン、非分岐アルカンおよびこれらの混合物から選択される1つもしくはそれ以上のアルカンより本質的になる請求項27に記載の装置。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US57598204P | 2004-06-01 | 2004-06-01 | |
US61474704P | 2004-09-29 | 2004-09-29 | |
US64721805P | 2005-01-26 | 2005-01-26 | |
PCT/US2005/019404 WO2005119371A1 (en) | 2004-06-01 | 2005-06-01 | Ultraviolet-transparent alkanes and processes using same in vacuum and deep ultraviolet applications |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008502154A true JP2008502154A (ja) | 2008-01-24 |
JP2008502154A5 JP2008502154A5 (ja) | 2008-07-17 |
Family
ID=34978699
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007515575A Withdrawn JP2008502154A (ja) | 2004-06-01 | 2005-06-01 | 紫外線透過性アルカンと、これを真空用途および深紫外線用途に利用する方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7589242B2 (ja) |
EP (1) | EP1751624A1 (ja) |
JP (1) | JP2008502154A (ja) |
KR (1) | KR20070029731A (ja) |
IL (1) | IL178794A0 (ja) |
TW (1) | TW200617611A (ja) |
WO (1) | WO2005119371A1 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005252239A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-09-15 | Air Products & Chemicals Inc | 液浸リソグラフィ流体 |
JP2007067011A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Jsr Corp | 液浸露光用液体および液浸露光方法 |
JP2007067009A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Jsr Corp | 液浸露光用液体および液浸露光方法 |
JP2007081099A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Jsr Corp | 液浸露光用液体および液浸露光方法 |
JP2007227811A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 液浸露光プロセス用液体および該液体を用いたレジストパターン形成方法 |
JPWO2006115268A1 (ja) * | 2005-04-26 | 2008-12-18 | 三井化学株式会社 | 液浸式露光用液体、液浸式露光用液体の精製方法および液浸式露光方法 |
US7879531B2 (en) | 2004-01-23 | 2011-02-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Immersion lithography fluids |
JP4934043B2 (ja) * | 2005-08-29 | 2012-05-16 | 三井化学株式会社 | 液浸式ArFレーザー露光用液体および液浸式ArFレーザー露光方法 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI297809B (ja) * | 2001-10-24 | 2008-06-11 | Toyo Boseki | |
TWI245163B (en) | 2003-08-29 | 2005-12-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2006004964A (ja) | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Nec Electronics Corp | 露光装置および露光方法 |
JP2008517473A (ja) * | 2004-10-22 | 2008-05-22 | カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー | マイクロリソグラフィ用の投影露光装置 |
EP1843387A4 (en) * | 2005-01-25 | 2010-01-13 | Jsr Corp | IMMERSION EXPOSURE SYSTEM, RECYCLING METHOD, AND LIQUID DELIVERY METHOD FOR IMMERSION EXPOSURE |
US7493743B2 (en) | 2005-03-02 | 2009-02-24 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Packages for alkanes having ultra-high transparency at 193 nm |
US7358035B2 (en) * | 2005-06-23 | 2008-04-15 | International Business Machines Corporation | Topcoat compositions and methods of use thereof |
US20090305161A1 (en) * | 2005-11-21 | 2009-12-10 | Jsr Corporation | Liquid immersion lithography |
KR20080070681A (ko) * | 2005-11-23 | 2008-07-30 | 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 | 알칸 침액의 재순환 장치 및 이것의 사용 방법 |
US7538858B2 (en) * | 2006-01-11 | 2009-05-26 | Micron Technology, Inc. | Photolithographic systems and methods for producing sub-diffraction-limited features |
EP1983370A4 (en) * | 2006-02-01 | 2010-08-18 | Mitsui Chemicals Inc | FILM FOR HIGH DIGITAL OPENING EXPOSURE DEVICE |
US7714980B2 (en) | 2006-02-15 | 2010-05-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus, exposure method, and exposure system |
US20070196773A1 (en) * | 2006-02-22 | 2007-08-23 | Weigel Scott J | Top coat for lithography processes |
JP2007266375A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Topcon Corp | 液浸光学系と、液浸光学系に用いられる液浸液と、その製造方法 |
US8211614B2 (en) * | 2006-08-04 | 2012-07-03 | Dongwoo Fine-Chem. Co., Ltd. | Photoresist composition and patterning method thereof |
US8435719B2 (en) * | 2006-08-08 | 2013-05-07 | International Business Machines Corporation | Tunable contact angle process for immersionlithography topcoats and photoresists |
US7671247B2 (en) * | 2006-09-13 | 2010-03-02 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Methods for purifying alkane liquids |
JP4912180B2 (ja) * | 2006-09-15 | 2012-04-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 露光・現像処理方法 |
US8003309B2 (en) * | 2008-01-16 | 2011-08-23 | International Business Machines Corporation | Photoresist compositions and methods of use in high index immersion lithography |
JP2009272613A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-11-19 | Canon Inc | 露光装置、露光方法およびデバイス製造方法 |
WO2014201414A1 (en) * | 2013-06-14 | 2014-12-18 | The Trustees Of Dartmouth College | Methods for fabricating magnetic devices and associated systems and devices |
US10101265B1 (en) | 2014-11-07 | 2018-10-16 | Board Of Regents For The University Of Nebraska | Birefringence imaging chromatography based on highly ordered 3D nanostructures |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4390273A (en) * | 1981-02-17 | 1983-06-28 | Censor Patent-Und Versuchsanstalt | Projection mask as well as a method and apparatus for the embedding thereof and projection printing system |
US4988446A (en) * | 1988-05-14 | 1991-01-29 | Exxon Research And Engineering Company | Method for spectroscopic analysis of hydrocarbons |
US5076909A (en) * | 1988-05-14 | 1991-12-31 | Exxon Research And Engineering Company | Method for refining or upgrading hydrocarbons with analysis |
US5900354A (en) * | 1997-07-03 | 1999-05-04 | Batchelder; John Samuel | Method for optical inspection and lithography |
JPH11269317A (ja) * | 1998-01-23 | 1999-10-05 | Nikon Corp | 液浸油 |
JP2002053839A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-02-19 | Nikon Corp | 高屈折率液体 |
JP2003186191A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-03 | Sony Corp | レジスト材料及び露光方法 |
JP2003186189A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-03 | Sony Corp | レジスト材料及び露光方法 |
EP1431710A3 (en) * | 2002-12-19 | 2004-09-15 | ASML Holding N.V. | Liquid flow proximity sensor for use in immersion lithography |
US6867844B2 (en) * | 2003-06-19 | 2005-03-15 | Asml Holding N.V. | Immersion photolithography system and method using microchannel nozzles |
US6809794B1 (en) * | 2003-06-27 | 2004-10-26 | Asml Holding N.V. | Immersion photolithography system and method using inverted wafer-projection optics interface |
WO2005013009A1 (en) * | 2003-08-01 | 2005-02-10 | E.I. Dupont De Nemours And Company | Use of perfluoro-n-alkanes in vacuum ultraviolet applications |
WO2005050324A2 (en) * | 2003-11-05 | 2005-06-02 | Dsm Ip Assets B.V. | A method and apparatus for producing microchips |
US7125652B2 (en) * | 2003-12-03 | 2006-10-24 | Advanced Micro Devices, Inc. | Immersion lithographic process using a conforming immersion medium |
KR101200654B1 (ko) * | 2003-12-15 | 2012-11-12 | 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하 | 고 개구율 및 평평한 단부면을 가진 투사 대물렌즈 |
US20050161644A1 (en) * | 2004-01-23 | 2005-07-28 | Peng Zhang | Immersion lithography fluids |
TWI259319B (en) * | 2004-01-23 | 2006-08-01 | Air Prod & Chem | Immersion lithography fluids |
US7402377B2 (en) * | 2004-02-20 | 2008-07-22 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Use of perfluoro-n-alkanes in vacuum ultraviolet applications |
TW200613246A (en) * | 2004-03-08 | 2006-05-01 | Du Pont | Highly purified liquid perfluoro-n-alkanes and method for preparing |
US7906268B2 (en) * | 2004-03-18 | 2011-03-15 | Fujifilm Corporation | Positive resist composition for immersion exposure and pattern-forming method using the same |
US7317507B2 (en) * | 2005-05-03 | 2008-01-08 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7435528B2 (en) * | 2005-06-09 | 2008-10-14 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Processes and devices using polycyclic fluoroalkanes in vacuum and deep ultraviolet applications |
-
2005
- 2005-06-01 WO PCT/US2005/019404 patent/WO2005119371A1/en not_active Application Discontinuation
- 2005-06-01 TW TW094118054A patent/TW200617611A/zh unknown
- 2005-06-01 JP JP2007515575A patent/JP2008502154A/ja not_active Withdrawn
- 2005-06-01 KR KR1020067025260A patent/KR20070029731A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-06-01 EP EP05756299A patent/EP1751624A1/en not_active Withdrawn
- 2005-09-14 US US11/141,285 patent/US7589242B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-10-22 IL IL178794A patent/IL178794A0/en unknown
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005252239A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-09-15 | Air Products & Chemicals Inc | 液浸リソグラフィ流体 |
US7879531B2 (en) | 2004-01-23 | 2011-02-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Immersion lithography fluids |
US8007986B2 (en) | 2004-01-23 | 2011-08-30 | Air Products And Chemicals, Inc. | Immersion lithography fluids |
JPWO2006115268A1 (ja) * | 2005-04-26 | 2008-12-18 | 三井化学株式会社 | 液浸式露光用液体、液浸式露光用液体の精製方法および液浸式露光方法 |
JP4616884B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2011-01-19 | 三井化学株式会社 | 液浸式露光用液体、液浸式露光用液体の精製方法および液浸式露光方法 |
JP2007067011A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Jsr Corp | 液浸露光用液体および液浸露光方法 |
JP2007067009A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Jsr Corp | 液浸露光用液体および液浸露光方法 |
JP4687334B2 (ja) * | 2005-08-29 | 2011-05-25 | Jsr株式会社 | 液浸露光用液体および液浸露光方法 |
JP4934043B2 (ja) * | 2005-08-29 | 2012-05-16 | 三井化学株式会社 | 液浸式ArFレーザー露光用液体および液浸式ArFレーザー露光方法 |
JP2007081099A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Jsr Corp | 液浸露光用液体および液浸露光方法 |
JP2007227811A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 液浸露光プロセス用液体および該液体を用いたレジストパターン形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050286031A1 (en) | 2005-12-29 |
EP1751624A1 (en) | 2007-02-14 |
TW200617611A (en) | 2006-06-01 |
WO2005119371A1 (en) | 2005-12-15 |
KR20070029731A (ko) | 2007-03-14 |
US7589242B2 (en) | 2009-09-15 |
IL178794A0 (en) | 2007-03-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080303 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080530 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20081106 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20081106 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20081111 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090324 |