JP2008281871A - 光学系駆動装置及び車両用光スキャン装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】コイルのインダクタンスを下げ、コイルの温度上昇を防止することのできる光学系駆動装置及び車両用光スキャン装置を提供することである。
【解決手段】光学系駆動装置25は、レンズ34、35、36と、該レンズ34、35、36を備えたホルダと、該ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に移動可能に支持する支持手段と、上記ホルダをレンズ34、35、36の光軸に垂直方向に駆動する2軸アクチュエータ備えている。この2軸アクチュエータは、アジマスコイル80と、該アジマスコイル80を挟んで対向する磁石92a、92bと、これら磁石92a、92bの表面でアジマスコイル80側に配された銅板91a、91bと、を有して構成される。
【選択図】 図5
【解決手段】光学系駆動装置25は、レンズ34、35、36と、該レンズ34、35、36を備えたホルダと、該ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に移動可能に支持する支持手段と、上記ホルダをレンズ34、35、36の光軸に垂直方向に駆動する2軸アクチュエータ備えている。この2軸アクチュエータは、アジマスコイル80と、該アジマスコイル80を挟んで対向する磁石92a、92bと、これら磁石92a、92bの表面でアジマスコイル80側に配された銅板91a、91bと、を有して構成される。
【選択図】 図5
Description
本発明は、光学素子を動かす光学系駆動装置に関し、より詳細には、車載用測距装置等に設けられる光学素子を移動することによりレーザ光をスキャンする車両用光スキャン装置に最適なものである。
近年、走行中の車両の前方を走査して障害物の存在をドライバに警告する光線スキャン方式の車載レーダ装置が実用化されている。
そして、下記特許文献1には、レーザ光を走査するアクチュエータに於いて、走査用レンズを備えたレンズホルダを複数枚の板ばねで支持し、コイルとマグネットによって駆動する装置が開示されている。このような装置は、コイルとマグネットによって駆動することにより、細かい制御が可能となる。
また、下記特許文献1に記載の装置では、左右駆動用コイルは、そのコイルの中にU字状ヨークが配された磁気回路を有し、上下駆動用コイルは、マグネットとヨークに挟まれ、該コイルの中にヨークが配されない磁気回路を有した構成となっている。
また、近年、このような装置では小型化、高速化、精度の高い制御が要求されている。小型化を考えたとき、上述した左右駆動用の磁気回路の構成は、コイルの中をヨークが通っているため、薄型化しにくく、形状の制限より小型化も難しい。一方、上下駆動用の磁気回路の構成は、コイルの中にヨークを通さなくて良いため、薄型化しやすく、形状の自由度も高く、小型化も容易である。
特開2003−177348号公報
ところで、従来は、バネで支持し、そのバネの共振を利用して走査用レンズを振るような制御が主流であったが、精密なセンサを備え、走査用レンズを一定の速度で移動させるような精度の高い制御が要求されてきている。また、走査回数を増加させる要求もあり、結果として、走査の高速化も必要となる。
コイルとマグネットによる駆動系は、精度が高く、高速な制御に向いている。しかしながら、それを実現しようとすると、コイルを流す電流値を大きくすると共に、その値を素早く変化させる必要がある。このとき、コイルのインダクタンスが高いと電流の変化の妨げとなり、流れる電流に時間遅れが生じ、精密な制御の妨げとなる。また、電流が大きいとコイルの発熱が大きくなり、コイル線の抵抗値が上がったり、熱がコイルやホルダを変形させたり、悪影響を及ぼすという課題を有している。特に、小型化を図ると熱がこもりやすく、発熱による温度上昇が大きくなってしまう。
したがって本発明は上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、コイルのインダクタンスを下げ、コイルの温度上昇を防止することのできる光学系駆動装置及び車両用光スキャン装置を提供することである。
すなわち請求項1に記載の発明は、光学素子と、該光学素子を備えたホルダと、該ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に移動可能に支持する支持手段と、上記ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に駆動する駆動手段と、を少なくとも備えた光学系駆動装置に於いて、上記駆動手段は、コイルと、該コイルの第1の辺に対向してN極を有する第1の磁石と、上記コイルの第1の辺の対辺である第2の辺に対向してS極を有する第2の磁石より成り、上記第1の磁石、第2の磁石のコイルに対向する表面に、上記第1の磁石と第2の磁石に共通の銅板を配したことを特徴とする。
請求項1に記載の発明によれば、インダクタンスを下げ、コイルの温度上昇を防ぐことができる。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明に於いて、第1の磁石と第2の磁石は、同一の磁石の表面にN極、S極が並ぶように着磁された磁石であることを特徴とする。
請求項2に記載の発明によれば、低価格化を図ることができる。
請求項3に記載の発明は、請求項1若しくは2に記載の発明に於いて、上記銅板は、上記第1及び第2の磁石の表面より広いことを特徴とする。
請求項3に記載の発明によれば、より温度上昇を防ぐことができる。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明に於いて、上記銅板は、上記第1または第2の磁石の表面より上記コイルが存在しない側に曲げられて延出されて形成されることを特徴とする。
請求項4に記載の発明によれば、より温度上昇を防ぐことができる。
請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4の何れか1項に記載の発明に於いて、上記銅板の厚さは、略0.1mm乃至0.4mmであることを特徴とする。
請求項5に記載の発明によれば、より効果を享受することができる。
請求項6に記載の発明は、請求項1乃至5の何れか1項に記載の発明に於いて、上記銅板の少なくとも一部に連続した凹凸が設けられていることを特徴とする。
請求項6に記載の発明によれば、より効果を享受することができる。
請求項7に記載の発明は、請求項1乃至6の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは、光軸に垂直な2方向に移動可能であることを特徴とする。
請求項7に記載の発明によれば、より温度上昇を防ぐことができる。
請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の発明に於いて、上記銅板は、上記2方向のうち移動量の大きい方向の駆動手段となる磁石に配されることを特徴とする。
請求項8に記載の発明によれば、低価格化を図ることができる。
請求項9に記載の発明は、請求項1乃至8の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは金属バネにより支持されていることを特徴とする。
請求項9に記載の発明によれば、低価格化を図ることができる。
請求項10に記載の発明は、請求項1乃至9の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは、3個以上のボールにより支持されていることを特徴とする。
請求項10に記載の発明によれば、小型化を図ることができる。
請求項11に記載の発明は、請求項1乃至9の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは、軸受と軸とにより支持されていることを特徴とする。
請求項11に記載の発明によれば、変位量を大きくすることができる。
請求項12に記載の発明は、請求項1乃至11の何れか1項に記載の発明に於いて、光学系駆動装置の光学素子によりレーザ光を走査することを特徴とする。
請求項12に記載の発明によれば、よりよく効果を享受することができる。
請求項13に記載の発明は、請求項12に記載の発明に於いて、上記ホルダは、地面に対して水平方向に移動可能であり、水平方向への駆動手段となる磁石に銅板を配したことを特徴とする。
請求項13に記載の発明によれば、よりよく効果を享受することができる。
請求項14に記載の発明は、光学素子と、該光学素子を備えたホルダと、該ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に移動可能に支持する支持手段と、上記ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に駆動する駆動手段と、を少なくとも備えた光学系駆動装置に於いて、上記駆動手段は、コイルと、該コイルの第1の辺に対向してN極を有する第1の磁石と、上記コイルの第1の辺の対辺である第2の辺に対向してS極を有する第2の磁石と、上記コイルの第1の辺を挟んで対向しS極を有する第3の磁石と、上記コイルの第2の辺を挟んで対向しN極を有する第4の磁石と、より成り、上記第1の磁石、第2の磁石のコイルに対向する表面に上記第1の磁石と第2の磁石に共通の第1の銅板を、上記第3の磁石、第4の磁石のコイルに対向する表面に上記第3の磁石と第4の磁石に共通の第2の銅板を、それぞれ配したことを特徴とする。
請求項14に記載の発明によれば、インダクタンスを下げ、コイルの温度上昇を防ぐことができる。
請求項15に記載の発明は、請求項14に記載の発明に於いて、第1の磁石と第2の磁石、第3の磁石と第4の磁石は、それぞれ同一の磁石の表面にN極、S極が並ぶように着磁された磁石であることを特徴とする。
請求項15に記載の発明によれば、低価格化を図ることができる。
請求項16に記載の発明は、請求項14若しくは15に記載の発明に於いて、上記第1の銅板は上記第1及び第2の磁石、第3及び第4の磁石の表面より広く、上記第2の銅板は上記第3及び第4の磁石の表面より広いことを特徴とする。
請求項16に記載の発明によれば、より温度上昇を防ぐことができる。
請求項17に記載の発明は、請求項16に記載の発明に於いて、上記第1の銅板は、上記第1または第2の磁石の表面より上記コイルが存在しない側に曲げられて延出されて形成され、上記第2の銅板は、上記第3または第4の磁石の表面より上記コイルが存在しない側に曲げられて延出されて形成されることを特徴とする。
請求項17に記載の発明によれば、より温度上昇を防ぐことができる。
請求項18に記載の発明は、請求項14乃至17の何れか1項に記載の発明に於いて、上記第1、第2の銅板の厚さは、略0.1mm乃至0.4mmであることを特徴とする。
請求項18に記載の発明によれば、より効果を享受することができる。
請求項19に記載の発明は、請求項14乃至18の何れか1項に記載の発明に於いて、上記第1、第2の銅板の少なくとも一部に連続した凹凸が設けられていることを特徴とする。
請求項19に記載の発明によれば、より効果を享受することができる。
請求項20に記載の発明は、請求項14至19の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは、光軸に垂直な2方向に移動可能であることを特徴とする。
請求項19に記載の発明によれば、より温度上昇を防ぐことができる。
請求項21に記載の発明は、請求項20に記載の発明に於いて、上記第1、第2の銅板は、上記2方向のうち移動量の大きい方向の駆動手段となる磁石に配されることを特徴とする。
請求項21に記載の発明によれば、低価格化を図ることができる。
請求項22に記載の発明は、請求項14乃至21の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは金属バネにより支持されていることを特徴とする。
請求項22に記載の発明によれば、低価格化を図ることができる。
請求項23に記載の発明は、請求項14至22の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは、3個以上のボールにより支持されていることを特徴とする。
請求項23に記載の発明によれば、小型化を図ることができる。
請求項24に記載の発明は、請求項14乃至22の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは、軸受と軸とにより支持されていることを特徴とする。
請求項24に記載の発明によれば、変位量を大きくすることができる。
請求項25に記載の発明は、請求項14乃至24の何れか1項に記載の発明に於いて、光学系駆動装置の光学素子によりレーザ光を走査することを特徴とする。
請求項25に記載の発明によれば、よりよく効果を享受することができる。
請求項26に記載の発明は、請求項25に記載の発明に於いて、上記ホルダは、地面に対して水平方向に移動可能であり、水平方向への駆動手段となる磁石に銅板を配したことを特徴とする。
請求項26に記載の発明によれば、よりよく効果を享受することができる。
請求項27に記載の発明は、光学素子と、光学素子を備えたホルダと、該ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に移動可能に支持する支持手段と、該ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に駆動する駆動手段と、を少なくとも備えた光学系駆動装置に於いて、上記駆動手段は、第1の辺と、この第1の辺に対向する第2の辺と、上記第1の辺と第2の辺を接続するもので、それぞれ対向する第3の辺及び第4の辺とで構成されるコイルと、上記コイルの上記第1の辺に対向してN極を有する第1の磁石と、上記コイルの上記第2の辺に対向してS極を有する第2の磁石と、上記第1の磁石の上記コイルと対向する面と上記第2の磁石の上記コイルと対向する面に連続的に設けられた第1の銅板と、を有することを特徴とする。
請求項27に記載の発明によれば、インダクタンスを下げ、コイルの温度上昇を防ぐことができる。
請求項28に記載の発明は、請求項27に記載の発明に於いて、上記第1の磁石と上記第2の磁石及は、同一の磁石の表面にN極、S極が並ぶように着磁された磁石であることを特徴とする。
請求項28に記載の発明によれば、低価格化を図ることができる。
請求項29に記載の発明は、請求項27若しくは28に記載の発明に於いて、上記第1の銅板は、上記コイルに対向する磁石の表面より広いことを特徴とする。
請求項29に記載の発明によれば、より温度上昇を防ぐことができる。
請求項30に記載の発明は、請求項29に記載の発明に於いて、上記第1の銅板は、上記第1及び第2の磁石の表面よりコイルの存在しない側に曲げられて、延出されて形成されることを特徴とする。
請求項30に記載の発明によれば、より温度上昇を防ぐことができる。
請求項31に記載の発明は、請求項27乃至30の何れか1項に記載の発明に於いて、上記第1の銅板の厚さは略0.1mm乃至0.4mmであることを特徴とする。
請求項31に記載の発明によれば、より効果を享受することができる。
請求項32に記載の発明は、請求項27乃至31の何れか1項に記載の発明に於いて、上記第1の銅板は、少なくとも一部に連続した凹凸が設けられていることを特徴とする。
請求項32に記載の発明によれば、より効果を享受することができる。
請求項33に記載の発明は、請求項27乃至32の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは光軸に垂直な2方向に移動可能であることを特徴とする。
請求項33に記載の発明によれば、より温度上昇を防ぐことができる。
請求項34に記載の発明は、請求項33に記載の発明に於いて、上記第1の銅板は、上記2方向のうち移動量の大きい方向の駆動手段となる磁石に配されることを特徴とする。
請求項34に記載の発明によれば、低価格化を図ることができる。
請求項35に記載の発明は、請求項27乃至34の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは金属バネにより支持されていることを特徴とする。
請求項35に記載の発明によれば、低価格化を図ることができる。
請求項36に記載の発明は、請求項27乃至35の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは3個以上のボールにより支持されていることを特徴とする。
請求項36に記載の発明によれば、小型化を図ることができる。
請求項37に記載の発明は、請求項27乃至35の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは、軸受と軸とより支持されていることを特徴とする。
請求項37に記載の発明によれば、変位量を大きくすることができる。
請求項38に記載の発明は、請求項27乃至37の何れか1項に記載の発明に於いて、光学系駆動装置の光学素子によりレーザ光を走査することを特徴とする。
請求項38に記載の発明によれば、よりよく効果を享受することができる。
請求項39に記載の発明は、請求項38に記載の発明に於いて、上記ホルダは地面に対し水平方向に移動可能であり、水平方向への駆動手段となる磁石に銅板を配したことを特徴とする。
請求項39に記載の発明によれば、よりよく効果を享受することができる。
請求項40に記載の発明は、請求項27に記載の発明に於いて、上記駆動手段は、更に、上記コイルの上記第1の辺を挟んで上記第1の磁石と対向してS極を有する第3の磁石と、上記コイルの上記第2の辺を挟んで上記第2の磁石と対向してN極を有する第4の磁石と、上記第3の磁石の上記コイルと対向する面と上記第4の磁石の上記コイルと対向する面に連続的に設けられた第2の銅板と、を有することを特徴とする。
請求項40に記載の発明によれば、より効果を享受することができる。
請求項41に記載の発明は、請求項40に記載の発明に於いて、上記第1の磁石と上記第2の磁石、上記第3の磁石と上記第4の磁石は、それぞれ同一の磁石の表面にN極、S極が並ぶように着磁された磁石であることを特徴とする。
請求項41に記載の発明によれば、低価格化を図ることができる。
請求項42に記載の発明は、請求項40若しくは41に記載の発明に於いて、上記第1、第2の銅板は、それぞれ上記コイルに対向する磁石の表面より広いことを特徴とする。
請求項42に記載の発明によれば、より温度上昇を防ぐことができる。
請求項43に記載の発明は、請求項42に記載の発明に於いて、上記第1の銅板は、上記第1及び第2の磁石の表面よりコイルの存在しない側に曲げられて、延出されて形成され、上記第2の銅板は、上記第3及び第4の磁石の表面よりコイルの存在しない側に曲げられて、延出されて形成されることを特徴とする。
請求項43に記載の発明によれば、より温度上昇を防ぐことができる。
請求項44に記載の発明は、請求項40乃至43の何れか1項に記載の発明に於いて、上記第1、第2の銅板の厚さは、略0.1mm乃至0.4mmであることを特徴とする。
請求項44に記載の発明によれば、より効果を享受することができる。
請求項45に記載の発明は、請求項40乃至44の何れか1項に記載の発明に於いて、上記第1、第2の銅板は、少なくとも一部に連続した凹凸が設けられていることを特徴とする。
請求項45に記載の発明によれば、より効果を享受することができる。
請求項46に記載の発明は、請求項40乃至45の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは光軸に垂直な2方向に移動可能であることを特徴とする。
請求項46に記載の発明によれば、より温度上昇を防ぐことができる。
請求項47に記載の発明は、請求項46に記載の発明に於いて、上記第1、第2の銅板は、上記2方向のうち、移動量の大きい方向の駆動手段となる磁石に配されることを特徴とする。
請求項47に記載の発明によれば、低価格化を図ることができる。
請求項48に記載の発明は、請求項40乃至47の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは、金属バネにより支持されていることを特徴とする。
請求項48に記載の発明によれば、低価格化を図ることができる。
請求項49に記載の発明は、請求項40乃至48の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは、3個以上のボールにより支持されていることを特徴とする。
請求項49に記載の発明によれば、小型化を図ることができる。
請求項50に記載の発明は、請求項40乃至48の何れか1項に記載の発明に於いて、上記ホルダは、軸受と軸とより支持されていることを特徴とする。
請求項50に記載の発明によれば、変位量を大きくすることができる。
請求項51に記載の発明は、請求項40乃至50の何れか1項に記載の発明に於いて、光学系駆動装置の光学素子によりレーザ光を走査することを特徴とする。
請求項51に記載の発明によれば、よりよく効果を享受することができる。
請求項52に記載の発明は、請求項51に記載の発明に於いて、上記ホルダは、地面に対し水平方向に移動可能であり、水平方向への駆動手段となる磁石に銅板を配したことを特徴とする。
請求項52に記載の発明によれば、よりよく効果を享受することができる。
本発明によれば、コイルのインダクタンスを下げ、コイルの温度上昇を防止することのできる光学系駆動装置及び車両用光スキャン装置を提供することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
(第1の実施形態)
図1乃至図12は本発明の第1の実施形態を示すもので、図1は本発明の光学系駆動装置の斜視図、図2は図1と反対側から見た本発明の光学系駆動装置の斜視図、図3はレーザダイオードのレーザ光の光軸上Y−Z平面で切った光学系駆動装置の断面斜視図、図4は位置検出用発光ダイオードの光の光軸上Y−Z平面で切った光学系駆動装置の断面斜視図、図5はレーザダイオードのレーザ光の光軸上Z−X平面で切った光学系駆動装置の断面斜視図、図6は光学系駆動装置全体の一部分解斜視図、図7はヨークに固定されたレンズ部分の分解斜視図、図8は光スキャン装置を構成する2軸アクチュエータのヨークを外した斜視図、図9は図8で外したヨークを除いた2軸アクチュエータの分解斜視図、図10は図9の2軸アクチュエータより、更にレンズホルダ部組を外した分解斜視図、図11はレンズホルダ部組の分解斜視図、図12は本光学系駆動装置を車両用光スキャン装置に用いた場合の使用例の説明図である。
図1乃至図12は本発明の第1の実施形態を示すもので、図1は本発明の光学系駆動装置の斜視図、図2は図1と反対側から見た本発明の光学系駆動装置の斜視図、図3はレーザダイオードのレーザ光の光軸上Y−Z平面で切った光学系駆動装置の断面斜視図、図4は位置検出用発光ダイオードの光の光軸上Y−Z平面で切った光学系駆動装置の断面斜視図、図5はレーザダイオードのレーザ光の光軸上Z−X平面で切った光学系駆動装置の断面斜視図、図6は光学系駆動装置全体の一部分解斜視図、図7はヨークに固定されたレンズ部分の分解斜視図、図8は光スキャン装置を構成する2軸アクチュエータのヨークを外した斜視図、図9は図8で外したヨークを除いた2軸アクチュエータの分解斜視図、図10は図9の2軸アクチュエータより、更にレンズホルダ部組を外した分解斜視図、図11はレンズホルダ部組の分解斜視図、図12は本光学系駆動装置を車両用光スキャン装置に用いた場合の使用例の説明図である。
図1に示されるように、本実施形態の光学系駆動装置25は、その本体となるベース30に、バネ受け31と、ヨーク32及び33とから成る2軸アクチュエータ125と、レンズ36を有したホルダ37等が搭載されて構成されている。
先ず、図5及び図11を参照して、レンズホルダ部組60の構成について説明する。
ガラス入りのポリフェニレンサルファイド樹脂で製作されたレンズホルダ61の中央部には、開口62が形成されており、この開口62に設けられた段状部に、レンズ34が接着固定されている。
図11に於いて、上記レンズホルダ61の開口62の上下(Y軸)方向及び左側の端部には、複数の凸部63a〜63cが形成されている。このうち、凸部63a、63bは、銅クラッドアルミ線で巻線された空芯コイルのエレベーションコイル81a、81bの内側の開口部が嵌挿されて接着固定されている。同様に、上記凸部63cには、銅クラッドアルミ線で巻線された空芯コイルのアジマスコイル80の内側の開口部が嵌挿されて、接着固定されている。
更に、上記凸部63a及び63bの左右両側には、それぞれ後述するワイヤバネ108a〜108e、108f〜108j、108k〜108o、108p〜108tを通すための開口64a、64b、64c、64dが、それぞれ設けられている。また、開口62の周囲には、基板70を介してホルダ85を装着するための、円形断面を有する複数の柱部65a〜65dが設けられている。そして、図11に於いて、レンズホルダ61の右側、すなわち凸部63a〜63cが設けられていない側には、図5に示されるように溝140が設けられており、そこに真鍮製のバランサ67が接着固定されている。これは、X軸方向の一方側に配されたアジマスコイル80により、X軸方向の重心がずれるので、このバランサ67によりバランスを取っている。したがって、レンズホルダ部組60の重心は、X軸方向に於いてエレベーションコイル81a、81bの中心位置となるようにされている。
上記レンズホルダ61には、基板70も接着固定されている。レンズホルダ61に設けられている複数の柱部65a〜65dに、上記基板70に形成された穴72a〜72dが挿入されることにより、位置決めされている。但し、柱部65a〜65dと穴72a〜72dの全て大きさ、間隔を一致させるのは公差があり困難である。そこで、穴72cは柱部65cより僅かに大きな直径を有し、穴72bは穴72c、72bを結ぶ方向に平行な直線部を有する長穴とし、直線部の距離は柱部65bより僅かに大きくされ、この2箇所でX軸、Y軸方向に、基板70がレンズホルダ61に対して位置決めされている。基板70の中央部には、レンズ34を避けるために、開口71が設けられている。
上記基板70には、また、後述するワイヤバネ108a〜108e、108f〜108j、108k〜108o、108p〜108tを通すための複数の穴73a〜73e、73f〜73j、73k〜73o、73p〜73tが、それぞれ設けられている。更に、基板70には、発光ダイオード(LED)76a、76b及びサーミスタ77が半田付けによって固定されている。発光ダイオード76a、76bは、基板70に形成された開口74a、74bに発光部分が露出する状態で、基板70のレンズホルダ61側に固定されている。これら発光ダイオード76a、76bから照射された光は、図11に於いてホルダ85側に射出される。
また、サーミスタ77は、基板70のレンズホルダ61側に固定されている。図9に示されるように、レンズホルダ61の対応する部分に開口110が設けられており、サーミスタ77はレンズホルダ61周辺の温度を検出するようになっている。尚、図示されていないが、アジマスコイル80、エレベーションコイル81a、81の端末は、基板70に半田付けされている。
図11に於いて、基板70のレンズホルダ61と反対側には、カーボン繊維入りの液晶ポリマで製作されているホルダ85が接着固定されている。これらのレンズホルダ61及びホルダ85、基板70等から成る部組をレンズホルダ部組60と称する。ホルダ85の中央部には開口86が形成されており、更にこの開口86の周囲には複数の穴87a〜87dが設けられている。これらの穴87a〜87dは、レンズホルダ61に形成された柱部65a〜65dに通されている。穴87a〜87dと柱部65a〜65dの関係は、基板70の穴72a〜72dとの関係と同様で、この部分で、ホルダ85はレンズホルダ61に位置決めされている。レンズ34及び基板70は、レンズホルダ61に接着固定されるだけでなく、レンズホルダ61とホルダ85に挟まれる形態となり、より強固に固定される。
また、レンズホルダ61、ホルダ85、基板70とZ軸方向に距離をおいてX−Y平面に広がる面状の構造物が重なることで、レンズホルダ部組60の剛性を軽量ながら高めることができる。
ホルダ85には、基板70の発光ダイオード76a、76bに対応する位置に、スリット87a、87bが設けられており、それぞれの光を通すようになっている。スリット87a、87bの長手方向は、スリット87aはY軸方向に、スリット87bはX軸方向となっている。
ホルダ85の外縁部には、X軸方向にアジマス用凸部88a〜88dと、Y軸方向にエレベーション用凸部89a〜89dが形成されている。これらは、後述するヨークと共同して、レンズホルダ部組60の移動量ストッパを形成している。
次に、図2乃至図5及び図10を参照して、バネ受け部組41について説明する。
図4に示されるように、ガラス入りのポリフェニレンサルファイド樹脂で製作されたバネ受け31の穴部150aに、レンズ155、156が、そして穴部150bにレンズ157が、それぞれ接着固定されている。
図5、図10に示されるように、磁石92a、93a、93bが接着固定されたヨーク32も、バネ受け31に固定されている。ヨーク32は、図2に示されるネジ170a〜170dにより、間にバネ受け31を挟みこむ状態でネジ止めされている。ネジ170a〜170dは、ヨーク32のネジ穴95a〜95dにねじ込まれる形態となっている。ヨーク32は、ヨーク32に設けられた切り欠き99と穴100と、バネ受け31の凸部142a、142bによって位置決めされている。
また、図5に於いて、上記磁石92a、92bのZ軸方向の表面で、レンズホルダ61側には、例えば、厚さ0.3mmの銅板91a、91bが、それぞれ設定固着されている。これらの銅板91a、91bは、真鍮等の銅合金ではなく、銅そのもので構成される。
ヨーク32を固定するときに、ヨーク32とバネ受け31に挟まれる形態で、ポリフェニレンサルファイド樹脂で製作されたフード101a、101bも固定されている。
バネ受け31には、図2に示されるように、基板171、175も、ネジ181a、181bによってネジ止めされている。ネジ181a、181bは、ヨーク32のネジ穴96a、96bにねじ込まれる形態となっている。雌ネジ部をバネ受け31に設けても良いが、バネ受け31は樹脂製のため、雌ネジ部の耐久性等、長期にわたる信頼性が金属に比べ劣ってしまう。金属性の雌ネジ部材をインサート成型等によって埋め込むという方法もあるが、バネ受けが高価になってしまう。
そこで、本実施形態のように、磁気回路を形成するために金属でなくてはならないヨークを利用することにより、安価に信頼性の高い構造とすることができる。基板171、175は、各々に設けられた穴172a、172b及び176a、176bと、バネ受け31の凸部173a、173b及び177a、177bで位置決めされている。
以上、バネ受け31及びヨーク32、基板171、175等から成る部組をバネ受け部組41と称される。
図10、図11に示されるように、基板70には、複数の穴73a〜73tが設けられている。これらの穴73a〜73tには、20本のベリリウム銅製(金属製)のワイヤバネ108a〜108tが挿入され、端部が半田付けされている(但し、半田は図示されていない)。半田付け作業は、レンズホルダ61に形成された穴64a〜64dより行われる。これにより、レンズホルダ部組60が完成してから、ワイヤバネ108a〜108tの半田付けを行うことができる。
ワイヤバネ108a〜108tは、基板70を介して、アジマスコイル80、エレベーションコイル81a、81b、発光ダイオード76a、76b、サーミスタ77と接続されている。エレベーションコイル81a、81bは基板70で直列接続されており、発光ダイオード76a、76bのカソードは2つまとめて共通に配線されるので、基板70から外部への配線は9本となる。
ワイヤバネ108a〜108tは20本存在するので、各配線に対しワイヤバネを2本ずつ対応させ、2本のワイヤバネを並列接続する形式としてワイヤバネの抵抗値を低くしている。また、2本×9=18本で2本余るが、電流値が大きいアジマスコイル80はワイヤバネ3本で配線し、更に、抵抗値が低くなるようにしている。ワイヤバネ108a〜108tのレンズホルダ部組60に半田付けした反対側は、ヨーク32の穴94a〜94dを通し、バネ受け31の穴105a〜105dに挿入されている。
ここで、バネ受け31の穴105a〜105dの内部を、穴105dで代表して、図4を参照して説明する。
穴105dは、基板175側に斜面152aが設けられて、細い形状となる。図示されていないが、更に基板175側でワイヤバネ108p〜108tより僅かに大きい径を有する細い5つの穴となっている。穴152b、105dの部分は、5本のワイヤバネ108p〜108tが挿入されているが、穴152b、105dは5本で1つとなっている。穴152bには、紫外線硬化形のシリコンゲルが充填されている。この充填は、バネ受け31が切り欠かれ、ヨーク32との間に形成された隙間152cから行われる。
尚、穴105c、105dの充填は、これらの隙間から行われるが、穴105a、105b側にはバネ受け31の切り欠き部がないので、穴105bでは、バネ受け31に設けられた穴152dから充填が行われる。穴105aについても、同様に穴が設けられている。
充填作業は、Z+側を上にして行われ、シリコンゲルは斜面152aで、穴152bに誘導される。そして、穴152bがいっぱいになって、斜面152aにはみ出てきたところで作業は終わりとなる。このとき、正確には、図示されていない穴152bの基板54側の細い5つの穴にもシリコンゲルが流れていくが、シリコンゲルは硬化前でも粘度が高く、狭い隙間には流れにくい。
そこで、手早く作業を行い、紫外線により硬化させることで、穴152bの基板54側の細い5つの穴へのシリコンゲルの流れ込みを防ぐことができる。このシリコンゲルにより、ワイヤバネ108a〜108jの振動のダンピングが取られている。ワイヤバネ108p〜108tは、図2に示されるように、Z−方向にバネ受け31より突出し、基板171、175の穴180p〜180tに挿入され、半田付けされている。基板171、175は、図2には示されない制御基板45に接続されている。
アジマスコイル80、エレベーションコイル81a、81b、発光ダイオード76a、76b、サーミスタ77は、ワイヤバネ108p〜108tを介して、制御基板45に接続されていることになる。レンズホルダ部組60は、ワイヤバネ108p〜108tによりX方向及びY方向に移動可能に支持されていることになる。ここで、レンズホルダ部組60を単純にX方向及びY方向に移動可能に支持するだけであれば、ワイヤバネは4本で十分である。本実施形態で20本となっているのは、上述したように、アジマスコイル80、エレベーションコイル81a、81b、発光ダイオード76a、76b、サーミスタ77の配線をするためである。更に、ワイヤバネ2本並列として、抵抗値を下げるために本数が多くなっている。
次に、図8に示されるように、磁石92b、93c、93dが接着された鉄製のヨーク33が、図7に示されるように、Z+方向からレンズホルダ部組60を覆うような形態で、バネ受け部組41に固定される。ヨーク33は、磁石92b、93c、93dの吸引力により、ヨーク32に吸い付くように付き、ヨーク33の面113a〜113dが、ヨーク32の凸部103a〜103dに当てつく形態となる。磁石92bのZ−側表面には、図8に示されるように、厚さ0.3mmの銅板91bが接着固定されている。銅板91bは銅板91aと同様に、銅合金ではなく、銅そのものとなっている。
また、図示されていないが、バネ受け31のベース30側の面には、X軸方向に離れた凸部が2つ設けられており、その間にヨーク33のベース30側の折り曲げ部114aが入る形態で位置決めされる。ヨーク33は、磁石92b、93c、93dの吸引力だけでもヨーク32に吸着されるが、振動等で外れることがないように、図8に示されるように、ネジ120a、120bによって、バネ受け31にネジ止めされている。ネジ120a、120bは、バネ受け31に設けられた穴に挿入され、ヨーク33に形成されたネジ穴117a、117bに締め付けられている。
ヨーク33には、また、折り曲げ部115a〜115dが設けられている。レンズホルダ部組60のX軸方向の動きをアジマス方向の動きと称する。アジマス方向に大きく移動したとき、ホルダ85に設けられたアジマス用凸部88a〜88dが、折り曲げ部115a〜115dと衝突する。それ以上はレンズホルダ部組60が移動できず、これらが、アジマス方向のストッパとなっている。
一方、レンズホルダ部組60のY軸方向の動きをエレベーション方向の動きと称する。エレベーション方向に大きく移動したとき、ホルダ85に設けられたエレベーション用凸部89a〜89dが折り曲げ部114a、114bと衝突する。それ以上はレンズホルダ部組60が移動できず、これらがエレベーション方向のストッパとなっている。
ヨーク33のアジマス方向のストッパ部分は、ストッパとしての役割のみを持つ折り曲げ部115a〜115であったが、エレベーション方向では、ヨーク32の折り曲げ部114a、114bは、ストッパとバネ受け部組41に固定するための構造部を兼ねている。
尚、ストッパまでの移動量は、アジマス方向の方がエレベーション方向より大きくなっている。これは、後述するように、レンズ34を動かすことで走査する光の主たる移動方向がアジマス方向であるためである。
以上のように構成されたレンズホルダ部組60を移動可能にバネ受け部組41に支持し、移動させるための駆動手段として、磁石92a、92b、93a〜93d等を備えた部組を、2軸アクチュエータ125と称する。
図4、図6に示されるように、バネ受け部組41には、基板56が、ネジ57a、57bによってネジ止めされている。ネジ57a、57bは、ヨーク32のネジ穴98a、98b(ネジ穴98aは陰になっているため図示されない)にねじ込まれている。基板56には、光の重心位置により出力電流が変化するポジションセンサ153a、153bが半田付けされている。図示されていないが、基板56は電線を介して制御基板45に接続されており、ポジションセンサ153a、153bは制御基板45に接続されている。
図4で明らかなように、発光ダイオード76aからの光は、スリット87aを通り、レンズ156、155を経て、ポジションセンサ153aに入射する。ポジションセンサ153aは、1方向の位置を検出する1次元のセンサであり、X軸方向の動きを検出するため、内部の長方形状の検出素子は長手方向がX軸方向となるように取り付けられている。
スリット87aからの光は、レンズホルダ部組60がアジマス方向に移動するとX軸方向に移動するが、レンズ156、155は、このX軸方向の移動量が小さくなるように縮小する役割を有している。Y軸方向については、レンズ作用は有していない。レンズホルダ部組60のアジマス方向の移動量は大きく、スリット87aからの光を直接ポジションセンサ153aに入射させると、検出範囲の長いポジションセンサが必要となる。ポジションセンサの価格は検出範囲の長さが長いほど高く、一般に長さに比例でなく、それ以上の割合で価格が上昇する。
レンズ156、155によって、移動量を小さくすることで、安価な検出範囲の短いポジションセンサを使用することが可能となる。
上述したように、検出範囲が長くなると価格は大きく上昇するので、レンズ156、155や固定部分を作成する費用が追加となっても、移動量を縮小する光学系を使ったほうが、低価格となる。発光ダイオード76bからの光は、スリット87bを通り、レンズ158、157を経てポジションセンサ153bに入射する。ポジションセンサ153bは、Y軸方向の動きを検出するため、内部の長方形状の検出素子は長手方向がY軸方向となるように取り付けられている。スリット87bからの光は、レンズホルダ部組60がエレベーション方向に移動するとY軸方向に移動し、ポジションセンサ153bで位置が検出される。
一方、レンズホルダ部組60がアジマス方向に移動すると、スリット87bからの光は、ポジションセンサ153bでX方向に移動する。ポジションセンサ153b内の検出素子は、X軸方向の長さは短い長方形状で、X軸方向に大きく動くと光が検出素子から外れ、位置が検出できなくなってしまう。
これを防ぐには、スリット87bのX方向の長さを長くすれば良いが、発光ダイオード76bからの光はある角度で広がるので、スリット87bのX軸方向の長さを長くすると、発光ダイオード76bとスリット87bの距離を大きくしなくてはならず、レンズホルダ部組60が大型化してしまう。
そこで、レンズ158はスリット87bのX軸方向の位置にかかわらず、X軸方向にポジションセンサ153bの中心付近に集光する役割を有している。これによって、レンズホルダ部組60がアジマス方向に大きく移動しても、ポジションセンサ153bに光が当たるようになっている。Y軸方向については、レンズ作用は有していない。
ところで、このままではスリット87bを通した発光ダイオード76bが広がってしまい、ポジションセンサ153b部分では広がった光が移動するだけで、精度の良い位置検出ができなくなってしまう。そのため、レンズ157でY軸方向に広がった光を集光し、ポジションセンサ153bに適切なサイズのスリット87bの像が投影されるようにされている。レンズ157はY軸方向にのみレンズ作用を持ち、X軸方向についてはレンズ作用を有していない。
尚、レンズ156、158とスリット87a、87bの間にフード101a、101bが取り付けられているが、これらは、発光ダイオード76a、76bの光を、なるべく外に漏らさないようにするためと、逆にレーザダイオード55からの光等、発光ダイオード76a、76b以外の光をポジションセンサ153a、153bに入射させないためである。そのため、光路はバネ受け31に設けられた穴150a、150b、151を通し、外部の遮断も行っている。
また、スリット87a、87bの光が干渉しないように、途中、穴150aと150b、フード101aと101bと2つの光路も別空間としている。レンズホルダ部組60に搭載されるレンズ34を移動させることにより、レーザダイオード55からの光の照射位置を移動させるが、照射位置がレーザダイオード55の光軸に対して傾きが0度の位置になる等の所望の位置となったときに、ポジションセンサ153a、153bの出力が0位置を示す出力となるように、基板56はX−Y平面内での位置調整がなされ、固定されている。このため、基板56に於いてネジ57a、57bが通る部分は、調整代分を見て大きめとなっている。
図1、図3、図5及び図7に示されるように、ヨーク33には、レンズ35が接着されたガラス入りのポリフェニレンサルファイド樹脂で製作されたホルダ135が、ネジ136a、136bによって固定されている。ネジ136a、136bは、ホルダ135に形成された穴を通され、ヨーク33のネジ穴131a、131dにねじ込まれている。ホルダ135には、図5に示されるように、凸部141a、141bが設けられており、ヨーク33の穴132a、132bに嵌挿する形態で位置決めされている。
ヨーク33には、更に、レンズ34が接着されたガラス入りのポリフェニレンサルファイド樹脂で製作されたホルダ37が、ネジ138a、138bによって固定されている。ネジ138a、138bは、ホルダ37及びホルダ135に設けられた穴を通され、ヨーク33のネジ穴131b、131cにねじ込まれている。ホルダ37は、ホルダ135を挟んで、ヨーク33に固定する形態となっている。更に、ホルダ37には、図示されないが凸部が設けられており、ヨーク33の穴133a、133bに嵌挿される形態で位置決めされている。
図2、図3及び図6に示されるように、バネ受け部組41には、レーザ部組50がネジ53a、53bで固定されている。ネジ53a、53bは、ガラス入りのポリフェニレンサルファイド樹脂で製作されたホルダ52に形成された穴を通され、ヨーク33のネジ穴97a、97bにねじ込まれている。
次に、レーザ部組50について詳細に説明する。
レーザダイオード55は、アルミ製のホルダ51に軽圧入されて固定されている。ホルダ51には基板54も固定されており、レーザダイオード55が接続されている。尚、基板54は、ここでは模式化して外形が示されているだけであるが、実際は基板とその上に装着される部品から成っている。ホルダ51は、更にホルダ52に挿入されている。ホルダ51のネジ穴160には、ホルダ52の穴を介してネジ161がねじ込まれ、ホルダ51は、いわゆる引きビスでホルダ52に固定されている。
このホルダ52に形成された穴はZ軸方向に長穴形状となっていて、ホルダ51はホルダ52に対しZ軸方向にスライドし、レーザダイオード55はZ軸方向に位置調整可能となっている。また、レーザ部組50をバネ受け部組41に固定する際には、ホルダ52の穴が大きめとなっており、X−Y平面内で位置調整可能となっている。すなわち、レーザダイオード55は、XYZ軸に位置調整可能となっている。
レーザダイオード55のZ軸方向の位置を変えると、本装置より照射される光のスポットの大きさが変化する。そこで、ホルダ51をZ軸方向に移動させ、スポットの大きさが所定の大きさとなるように調整される。レーザダイオード55のX−Y平面内での位置調整は、レーザダイオード55とレンズ35、36の光軸が一致するようにして行われる。このとき、レンズ34は、調整機によって基準位置に機械的に移動される。レーザダイオード55の位置調整を行うのは、レーザダイオード55のパッケージの外形と内部の発光点の製造上のばらつきを吸収するためである。
図3及び図5に示されるように、レーザダイオード55から発射されたレーザ光は、レンズ34、35、36を通り、外部へ照射される。尚、レーザダイオード55の波長は870nmと赤外線であり、実際にはその光を目視することはできない。図6に於いてヨーク33の下側方向には、アルミダイカスト製のベース30が固定されている。ヨーク33とベース30は、該ベース30に形成された凸部30a、30bが、図8に示されるヨーク33の切り欠き122と穴123に嵌挿される形態で位置決めされる。
また、ヨーク33は、Z軸方向に、ベース30に設けられた3点の台座42a〜42cで接するようにされ、ベース30の精度を、これらの台座42a〜42c部分のみ出せばよいようにされている。更に、ヨーク33は、そのネジ穴118a〜118cにベース30の穴を介して、ネジ43a〜43cをねじ込むことによって、ベース30に固定されている。
ベース30の内部には、制御基板45がネジ46a〜46dによって固定されている。このとき、制御基板45の発熱の大きい電気素子は、熱伝導性の良いゲル状シートを介してベース30に接するようにされ、ベース30に放熱するようにされている。尚、ベース30には、本装置を取り付けるための穴44a〜44dが設けられている。
次に、以上のように構成された第1の実施形態の光学系駆動装置の動作について説明する。
図12は、本発明の第1の実施形態の光学系駆動装置を用いた車両用測距装置を簡略に示した図である。
同図に於いて、レーザダイオード55より出射されたレーザ光は、ワイヤバネ(ここでは代表的に108として記す)108に支持されたレンズホルダ61のレンズ34を、図示矢印200のように左右方向に移動されることにより、図示矢印201のように左右方向に振られる。更に、光はレンズ35、36によって振れ幅が図示矢印202のように拡大されて、照射される。照射された光203が障害物(対象物)205に当たって反射した光206は、受光レンズ207を介してフォトデイテクタ208に至り、図示されない電気回路により障害物205までの距離が計算される。尚、実際には、レンズ34は左右方向だけでなく、上下方向にも振られ、光も上下方向にも振られる。
本装置を車両に搭載する際には、X軸方向が地面に対して水平方向、Y軸方向が地面に対して垂直方向になるように搭載する。このとき、主たる光の走査は地面に対して水平なX軸方向となる。すなわち、X軸方向に光を走査するのを基本とし、1回X軸方向に光を走査して障害物の検出を行った後にY軸方向の位置を変え、そこで再びX軸方向に光を走査して障害物の検出を行う。Y軸方向の動作は、X軸方向の走査位置をずらすためであり、Y方向に光を走査して障害物を検出するような動作は行わない。X軸方向には広い範囲を検出する必要があるため、レンズ34もX軸方向に大きく移動することができるようになっている。
ここで、レンズ34を上下左右方向に移動させる仕組みについて、更に詳細に説明する。
図5に示されるように、アジマスコイル80は、ヨーク32に固定された磁石92aとヨーク33に固定された磁石92bに挟まれている。磁石92a、92bの極性は、図5に示される通りである。尚、磁極の境は分かりやすいように破線で示している。実際の磁石で境の部分は、幅0.2〜0.4mmの磁極の無いニュートラル領域となる。
アジマスコイル80の辺143a、143bには、図示矢印144a、144bの向きの磁界が及ぶ。図示矢印144aのように磁石92aから出た磁束は、磁石92bに入り、ヨーク33内を図示矢印145bのように進む。そして、再び磁石92bに入り、図示矢印144bのように磁石92bから出て、磁石92aに至る。更に、ヨーク32内を図示矢印145aのように進んで、磁石92aの元の部分に戻る。
アジマスコイル80の辺143a、143bに流れる電流の向きは逆であり、及ぶ磁界の向き144a、144bも逆であるので、発生する力の向きは同じである。力の向きは、電流の向きと磁界の向きに垂直なX軸方向となる。アジマスコイル80の残りの辺には、Y軸方向の力が発生するが、図示矢印144aと矢印144bの磁界から受ける力の向きが逆向きとなりキャンセルするので、Y軸方向に動くことはない。
以上のように、アジマスコイル80に電流を流すことで、レンズホルダ部組60及びそれに取り付けられたレンズ34をアジマス方向(X方向)に移動させることができる。
ここで、磁石92a、92bの表面に銅板91a、91bが固定されているが、銅板は磁力へは影響を与えないので、問題はない。
図3に示されるように、エレベーションコイル81aは、ヨーク32に固定された磁石93aとヨーク33に固定された磁石93cに挟まれている。同じく、エレベーションコイル81bは、ヨーク32に固定された磁石93bとヨーク33に固定された磁石93dに挟まれている。エレベーションコイル81a、81bで動作の仕組みは同じなので、ここでは、代表的にエレベーションコイル81a側で説明する。
磁石93a、93cの極性は、図3に示される通りである。磁極の境は、分かりやすいように破線で示している。実際の磁石で境の部分は、幅0.2〜0.4mmの磁極の無いニュートラル領域となる。エレベーションコイル81aの辺164a、164bには、図示矢印165a、165bの向きの磁界が及ぶ。図示矢印165aのように磁石93aから出た磁束は、磁石93cに入り、ヨーク33内を図示矢印166bのように進む。そして、再び磁石93cに入り、図示矢印165bのように磁石93cから出て、磁石93aに至る。更に、ヨーク32内を図示矢印166aのように進んで、磁石93aの元の部分に戻る。
エレベーションコイル81aの辺164a、164bに流れる電流の向きは逆であり、及ぶ磁界の向き165a、165bも逆であるので、発生するカの向きは同じである。力の向きは、電流の向きと磁界の向きに垂直なY軸方向となる。エレベーションコイル81aの残りの辺には、X軸方向の力が発生するが、図示矢印165aと矢印165bの磁界から受ける力の向きが逆向きとなりキャンセルするので、X軸方向に動くことはない。
エレベーションコイル81bについても、同様にY軸方向の力が発生する。また、エレベーションコイル81a、81bで発生するY軸方向の力が同じ向きになるように直列接続される。これにより、エレベーションコイル81a、81bに電流を流すことで、レンズホルダ部組60及びそれに取り付けられたレンズ34を、エレベーション方向(Y軸方向)に移動させることができる。
レンズホルダ部組60の位置は、既に述べたように、レンズホルダ部組60のスリット87a、87bを通った光を、ポジションセンサ153a、153bで受光して検出される。そして、その検出された位置情報を基にして、レンズホルダ部組60の移動が行われる。
ところで、上述したように、本実施形態の光学系駆動装置を車両用光スキャン装置に用いた車載用測距装置では、X軸方向に光を走査するため、レンズホルダ部組はX軸方向に素早く、且つ、正確に移動できることが求められている。X軸方向に素早く移動させるためには、アジマスコイルに流す電流が同じとき、よりアジマスコイルが発生する力が大きいことが望ましい。これには、アジマスコイルの巻数を多くしたり、磁石92a、92bの発生する磁力を大きくしたりすれば良い。ところが、これに伴い、アジマスコイルのインダクタンスが大きくなり、電流増減時に抵抗となるため、素早く電流を流すことができず、正確な移動の妨げになるという問題がある。
本第1の実施形態によれば、磁石92a、92bの表面に固定した銅板91a、91bが、いわゆる、ショートリングの役割を果たすので、アジマスコイルのインダクタンスを下げ、影響を低減することができる。
X軸方向に素早く移動させるためには、アジマスコイルに流す電流も大きくする必要も出てくる。アジマスコイルの発熱が大きいと、温度と抵抗値の関係から、アジマスコイルの抵抗値が大きくなったり、熱によってレンズホルダ部組の部品が劣化したり、やはり悪影響がでてしまう。
本実施形態によれば、磁石の表面に、磁石より熱伝導性の良い銅板を固定することで、アジマスコイル80の熱が銅板91a、91bに放射され、放射された熱が素早く他の部分に伝わることで、ここから熱を逃がし、アジマスコイル80の温度上昇を低減することができる。
尚、本実施形態では、銅板の厚さを0.3mmとして説明したが、これ以外の厚さとしても問題ない。但し、薄くしすぎると上述した効果が十分に得られず、厚すぎると磁石とコイルの距離が大きくなり、コイルに流す電流が同じときコイルに発生する力が小さくなる。したがって、銅板の厚さを0.1〜0.4mmとするのが、効果と得られる力のバランスが良く望ましい。
また、本第1の実施形態では、レンズホルダはX軸方向とY軸方向の2方向に移動可能となっているが、一方向のみに移動可能なものに適用しても良いことは言うまでもない。2方向に移動可能な装置の方が制約が多く、設計が厳しくなりやすく、本実施形態の効果は享受しやすいものとなる。
本実施形態では、X軸方向に駆動する磁石にのみ銅板を配している。これは、本実施形態の装置では、X軸方向に光を走査し、X軸方向に素早く移動する必要があるからである。一方、Y軸方向には光を走査しなくて良いため、Y軸方向はそれほど高い性能を要求されない。そこで、高い性能が要求されるX軸方向にのみ銅板を配することにより、両方向に銅板を配するよりも低価格化を図ることができる。もちろん、両方向に銅板を配しても問題はない。
また、X軸方向は移動量も大きいため、コイルが大型化し、コイルのインダクタンスが大きくなったり、発熱が大きくなったりしやすい。移動量の大きい側に銅板を設けることで、より効果を得ることができる。
本実施形態では、光学系駆動装置を車両用光スキャン装置に適用している。車両用光スキャン装置は、その用途から、本実施形態で述べたようにレンズ34をX軸方向に移動させるような長い距離光学素子を動かすという動作となり、発熱やインダクタンスが問題となりやすい。そのため、本実施形態の効果をよりよく享受することができる。このとき、地面に対し、水平方向へ移動させる駆動系に適用すると、より効果的である。もちろん、レンズや回折格子を光軸の垂直方向に移動させる光ディスクの補正光学系やレンズは、光センサを光軸の垂直方向に動かすカメラのブレ補正系に適用しても良い。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
図13は本発明の第2の実施形態を示すもので、レーザダイオードのレーザ光の光軸上Z−X平面で切った光学系駆動装置の断面図であり、図5に相当する部分を上から見た図である。
尚、以下に述べる第2の実施形態に於いて、光学系駆動装置の基本的な構成及び動作については、上述した第1の実施形態と同じであるので、説明の重複を避けるため、同一の部分には同一の参照番号を付して、その図示及び説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
本第2の実施形態では、磁石92a、92bの表面に接着されている銅板の形状が、上述した第1の実施形態と異なっている。第1の実施形態では、磁石92a、92bと同じ大きさの平面の銅板となっていたが、本第2の実施形態の銅板は、磁石92a、92bより大きく形成されている。
磁石92aに接着固定されている銅板220は、アジマスコイル80と反対側(Z軸方向でバネ受け31側)方向に折り曲げられた折り曲げ部220aを有している。また、磁石92bに接着固定されている銅板221は、アジマスコイル80と反対側(Z軸方向でレンズ36側)に折り曲げられた折り曲げ部221aを有し、更にこの折り曲げ部221aから略直角に連続的に折り曲げられた折り曲げ部221b、221c、221dを有した構成となっている。
本第2の実施形態によれば、折り曲げ部220a、折り曲げ部221a、221b、221c、221dの分、上述した第1の実施形態よりも銅板220、221の面積が大きくなっている。この部分から、アジマスコイル80より銅板220、221に放射された熱を空気中に逃がすことができ、よりアジマスコイル80の温度上昇を防ぐことができる。
尚、本第2の実施形態では、銅板に折り曲げ部を設けたが、単に銅板の面積を拡大して、磁石の表面より大きくしても、同様の効果が得られる。しかし、折り曲げ部を設けた方が場所をとらずに銅板の面積を拡大しやすく、銅板からの放熱効果を大きくでき、効果も大きくなる。特に、折り曲げ部221b、221c、221dのように折り曲げ部を増やすと、場所をとらずに面積を拡大することができる。
また、銅板に連続した凹凸を付しても良い。例えば、折り曲げ部に深さ0.5mm程度の凹凸を形成すれば、放熱効果を高め、コイルの温度上昇をより防ぐことができる。深さ0.5mm程度の凹凸であれば、場所をとることもない。更に、凹凸模様は、丸模様でも、溝が連続したような模様でも良い。折り曲げ部だけでなく、磁石の表面を含めて凹凸を付しても良い。この場合、予めエンボスにした銅板を曲げればよく、加工を容易にすることができる。但し、この場合は、磁石とコイルの距離を大きくしないように凹凸の深さを0.2mm程度と浅くする必要がある。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形実施が可能であるのは勿論である。
磁石とコイルの配置は、第1、第2の実施形態では、アジマスコイル、エレベーションコイルは磁石に挟まれる構成となっているが、片側のみに磁石を配し、反対側はヨークのみの構成としても良い。この場合は、磁石側にのみ銅板を配しても、それに加えてヨークのみの側にも銅板を配しても良い。更に、ヨーク側にも銅板を配した方が効果は大きくなる。
尚、磁石に挟まれる構成の方が、コイルのインダクタンスを大きくなるので、インダクタンス低下の恩恵はその方が多く得られる。アジマスコイルとそれに対向する磁石は1組となっているが、エレベーション側のように2組にしても良い。その場合は、両方の組で磁石に銅板を配するようにする。
それぞれの組で、磁石は表面にN極とS極が現れる、いわゆる異極着磁された磁石となっていたが、1個の磁石とせず、通常の着磁(片側N極、反対側S極)がなされた磁石を2個横に並べ、N極とS極が並ぶような配置を実現しても良い。その場合、2個の磁石の表面を覆うように1枚の銅板を配置する。異極着磁した磁石を用いた方が様々な、組立は容易となり、この点で低価格化を図ることができる。
また、レンズホルダ部組はワイヤバネで支持していたが、ワイヤバネでなく軸と軸受で支持するような構成であっても良い。また、3個以上のボールをレンズホルダ部組に押圧し、ボールで支持するような構成であっても良い。ワイヤバネのような金属バネは安価であり、これを用いた場合は装置の低価格化を図ることができる。ワイヤバネの場合、変位量を大きくすると、バネの塑性変形を防ぐためにバネ長を長くする必要が生じ、移動方向以外にバネを延在させるスペースが多く必要となる。軸と軸受で支持する構成では、そのようなことがなく、変位量を大きくすることが容易となる。ボールによる支持では、ワイヤバネや軸を配置する必要がなく、小型、薄型化を図ることができる。
更に、光学系についても、上述した実施形態の構成に限ったことではなく、様々な光学系に適用することができる。また、レンズから出射したレーザ光は、出射したレンズと異なる別のレンズで受光されるとしたが、再び同じレンズで受光し、受光した光を、例えば、光路分割素子で分離して検出するような光学系の光スキャン装置と受光装置を兼ねた装置等にも適用可能である。
更に、上述した実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件の適当な組合せにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成も発明として抽出され得る。
25…光学系駆動装置、30…ベース、31…バネ受け、32、33…ヨーク、34、35、36、155、156、157…レンズ、37、51、52、85、135…ホルダ、41…バネ受け部組、50…レーザ部組、54、56、70…基板、55…レーザダイオード、60…レンズホルダ部組、61…レンズホルダ、76a、76b…発光ダイオード(LED)、77…サーミスタ、80…アジマスコイル、81a、81b…エレベーションコイル、91a、91b、220、221…銅板、92a、92b…磁石、108、108a〜108t…ワイヤバネ、125…2軸アクチュエータ、153a、153b…ポジションセンサ、220a、221a、221b、221c、221d…折り曲げ部。
Claims (52)
- 光学素子と、該光学素子を備えたホルダと、該ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に移動可能に支持する支持手段と、上記ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に駆動する駆動手段と、を少なくとも備えた光学系駆動装置に於いて、
上記駆動手段は、コイルと、該コイルの第1の辺に対向してN極を有する第1の磁石と、上記コイルの第1の辺の対辺である第2の辺に対向してS極を有する第2の磁石より成り、上記第1の磁石、第2の磁石のコイルに対向する表面に、上記第1の磁石と第2の磁石に共通の銅板を配したことを特徴とする光学系駆動装置。 - 第1の磁石と第2の磁石は、同一の磁石の表面にN極、S極が並ぶように着磁された磁石であることを特徴とする請求項1に記載の光学系駆動装置。
- 上記銅板は、上記第1及び第2の磁石の表面より広いことを特徴とする請求項1若しくは2に記載の光学系駆動装置。
- 上記銅板は、上記第1または第2の磁石の表面より上記コイルが存在しない側に曲げられて延出されて形成されることを特徴とする請求項3に記載の光学系駆動装置。
- 上記銅板の厚さは、略0.1mm乃至0.4mmであることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記銅板の少なくとも一部に連続した凹凸が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは、光軸に垂直な2方向に移動可能であることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記銅板は、上記2方向のうち移動量の大きい方向の駆動手段となる磁石に配されることを特徴とする請求項7に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは金属バネにより支持されていることを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは、3個以上のボールにより支持されていることを特徴とする請求項1乃至9の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは、軸受と軸とにより支持されていることを特徴とする請求項1乃至9の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 請求項1乃至11の何れか1項に記載の光学系駆動装置の光学素子によりレーザ光を走査することを特徴とする車両用光スキャン装置。
- 上記ホルダは、地面に対して水平方向に移動可能であり、水平方向への駆動手段となる磁石に銅板を配したことを特徴とする請求項12に記載の車両用光スキャン装置。
- 光学素子と、該光学素子を備えたホルダと、該ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に移動可能に支持する支持手段と、上記ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に駆動する駆動手段と、を少なくとも備えた光学系駆動装置に於いて、
上記駆動手段は、コイルと、該コイルの第1の辺に対向してN極を有する第1の磁石と、上記コイルの第1の辺の対辺である第2の辺に対向してS極を有する第2の磁石と、上記コイルの第1の辺を挟んで対向しS極を有する第3の磁石と、上記コイルの第2の辺を挟んで対向しN極を有する第4の磁石と、より成り、上記第1の磁石、第2の磁石のコイルに対向する表面に上記第1の磁石と第2の磁石に共通の第1の銅板を、上記第3の磁石、第4の磁石のコイルに対向する表面に上記第3の磁石と第4の磁石に共通の第2の銅板を、それぞれ配したことを特徴とする光学系駆動装置。 - 第1の磁石と第2の磁石、第3の磁石と第4の磁石は、それぞれ同一の磁石の表面にN極、S極が並ぶように着磁された磁石であることを特徴とする請求項14に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1の銅板は上記第1及び第2の磁石、第3及び第4の磁石の表面より広く、上記第2の銅板は上記第3及び第4の磁石の表面より広いことを特徴とする請求項14若しくは15に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1の銅板は、上記第1または第2の磁石の表面より上記コイルが存在しない側に曲げられて延出されて形成され、上記第2の銅板は、上記第3または第4の磁石の表面より上記コイルが存在しない側に曲げられて延出されて形成されることを特徴とする請求項16に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1、第2の銅板の厚さは、略0.1mm乃至0.4mmであることを特徴とする請求項14乃至17の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1、第2の銅板の少なくとも一部に連続した凹凸が設けられていることを特徴とする請求項14乃至18の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは、光軸に垂直な2方向に移動可能であることを特徴とする請求項14至19の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1、第2の銅板は、上記2方向のうち移動量の大きい方向の駆動手段となる磁石に配されることを特徴とする請求項20に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは金属バネにより支持されていることを特徴とする請求項14乃至21の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは、3個以上のボールにより支持されていることを特徴とする請求項14至22の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは、軸受と軸とにより支持されていることを特徴とする請求項14乃至22の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 請求項14乃至24の何れか1項に記載の光学系駆動装置の光学素子によりレーザ光を走査することを特徴とする車両用光スキャン装置。
- 上記ホルダは、地面に対して水平方向に移動可能であり、水平方向への駆動手段となる磁石に銅板を配したことを特徴とする請求項25に記載の車両用光スキャン装置。
- 光学素子と、光学素子を備えたホルダと、該ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に移動可能に支持する支持手段と、該ホルダを上記光学素子の光軸に垂直方向に駆動する駆動手段と、を少なくとも備えた光学系駆動装置に於いて、
上記駆動手段は、
第1の辺と、この第1の辺に対向する第2の辺と、上記第1の辺と第2の辺を接続するもので、それぞれ対向する第3の辺及び第4の辺とで構成されるコイルと、
上記コイルの上記第1の辺に対向してN極を有する第1の磁石と、
上記コイルの上記第2の辺に対向してS極を有する第2の磁石と、
上記第1の磁石の上記コイルと対向する面と上記第2の磁石の上記コイルと対向する面に連続的に設けられた第1の銅板と、
を有することを特徴とする光学系駆動装置。 - 上記第1の磁石と上記第2の磁石及は、同一の磁石の表面にN極、S極が並ぶように着磁された磁石であることを特徴とする請求項27に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1の銅板は、上記コイルに対向する磁石の表面より広いことを特徴とする請求項27若しくは28に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1の銅板は、上記第1及び第2の磁石の表面よりコイルの存在しない側に曲げられて、延出されて形成されることを特徴とする請求項29に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1の銅板の厚さは略0.1mm乃至0.4mmであることを特徴とする請求項27乃至30の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1の銅板は、少なくとも一部に連続した凹凸が設けられていることを特徴とする請求項27乃至31の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは光軸に垂直な2方向に移動可能であることを特徴とする請求項27乃至32の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1の銅板は、上記2方向のうち移動量の大きい方向の駆動手段となる磁石に配されることを特徴とする請求項33に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは金属バネにより支持されていることを特徴とする請求項27乃至34の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは3個以上のボールにより支持されていることを特徴とする請求項27乃至35の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは、軸受と軸とより支持されていることを特徴とする請求項27乃至35の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 請求項27乃至37の何れか1項に記載の光学系駆動装置の光学素子によりレーザ光を走査することを特徴とする車両用光スキャン装置。
- 上記ホルダは地面に対し水平方向に移動可能であり、水平方向への駆動手段となる磁石に銅板を配したことを特徴とする請求項38に記載の車両用光スキャン装置。
- 上記駆動手段は、更に、
上記コイルの上記第1の辺を挟んで上記第1の磁石と対向してS極を有する第3の磁石と、
上記コイルの上記第2の辺を挟んで上記第2の磁石と対向してN極を有する第4の磁石と、
上記第3の磁石の上記コイルと対向する面と上記第4の磁石の上記コイルと対向する面に連続的に設けられた第2の銅板と、
を有することを特徴とする請求項27に記載の光学系駆動装置。 - 上記第1の磁石と上記第2の磁石、上記第3の磁石と上記第4の磁石は、それぞれ同一の磁石の表面にN極、S極が並ぶように着磁された磁石であることを特徴とする請求項40に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1、第2の銅板は、それぞれ上記コイルに対向する磁石の表面より広いことを特徴とする請求項40若しくは41に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1の銅板は、上記第1及び第2の磁石の表面よりコイルの存在しない側に曲げられて、延出されて形成され、上記第2の銅板は、上記第3及び第4の磁石の表面よりコイルの存在しない側に曲げられて、延出されて形成されることを特徴とする請求項42に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1、第2の銅板の厚さは、略0.1mm乃至0.4mmであることを特徴とする請求項40乃至43の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1、第2の銅板は、少なくとも一部に連続した凹凸が設けられていることを特徴とする請求項40乃至44の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは光軸に垂直な2方向に移動可能であることを特徴とする請求項40乃至45の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記第1、第2の銅板は、上記2方向のうち、移動量の大きい方向の駆動手段となる磁石に配されることを特徴とする請求項46に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは、金属バネにより支持されていることを特徴とする請求項40乃至47の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは、3個以上のボールにより支持されていることを特徴とする請求項40乃至48の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 上記ホルダは、軸受と軸とより支持されていることを特徴とする請求項40乃至48の何れか1項に記載の光学系駆動装置。
- 請求項40乃至50の何れか1項に記載の光学系駆動装置の光学素子によりレーザ光を走査することを特徴とする車両用光スキャン装置。
- 上記ホルダは、地面に対し水平方向に移動可能であり、水平方向への駆動手段となる磁石に銅板を配したことを特徴とする請求項51に記載の車両用光スキャン装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007127276A JP2008281871A (ja) | 2007-05-11 | 2007-05-11 | 光学系駆動装置及び車両用光スキャン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007127276A JP2008281871A (ja) | 2007-05-11 | 2007-05-11 | 光学系駆動装置及び車両用光スキャン装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008281871A true JP2008281871A (ja) | 2008-11-20 |
Family
ID=40142717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007127276A Pending JP2008281871A (ja) | 2007-05-11 | 2007-05-11 | 光学系駆動装置及び車両用光スキャン装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008281871A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190008701A (ko) * | 2017-07-17 | 2019-01-25 | 엘지이노텍 주식회사 | 렌즈 구동 장치, 광출력 모듈 및 라이다 |
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