JP2006201306A - ステージ装置及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 可動部材に余計な負荷が掛からずに、位置検出を可能としたステージ装置及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置を提供する。
【解決手段】 固定支持基板１０に対して、特定のＸ方向及びＹ方向に直線移動可能なＸＹ移動部材３０、３１、３６を備え、固定支持基板に、Ｘ用光源５１とその受光位置をＸ方向について認識可能なＸ用受光部材５２とをＸ方向に並べて固定し、ＸＹ移動部材に、Ｘ用光源から出た光を反射してＸ用受光部材に導くＸ用反射部材５３を固定したことを特徴とするステージ装置。
【選択図】 図１１

Description

本発明は、互いに直交する２方向に直線移動可能なステージ装置、及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置に関する。

特定のＸ方向とＹ方向（Ｘ方向に直交する方向）に直線移動可能なステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置の従来技術としては、例えば特許文献１に記載されたものがある。
この特許文献１では、固定板に対してＸ方向とＹ方向とに直線的に移動可能な可動板に撮像素子を固定し、可動板にＸ方向駆動用コイルとＹ方向駆動用コイルを設け、固定板側には金属製ヨークと磁石からなるＸ用磁力発生装置とＹ用磁力発生装置を固定してある。そして、Ｘ用磁力発生装置とＹ用磁力発生装置で発生した磁力を、Ｘ方向駆動用コイルとＹ方向駆動用コイルにそれぞれ及ぼした状態で、Ｘ方向駆動用コイルとＹ方向駆動用コイルに電流を流すことにより、可動板をＸ方向とＹ方向に駆動している。

さらに、この手振れ補正装置には可動板（撮像素子）の固定板に対する相対位置を検出するための位置検出手段が設けられている。具体的には、上記固定板に２次元ＰＳＤを設け、可動板にＬＥＤ（光源）を設けて、ＬＥＤから射出された光を２次元ＰＳＤで受光することにより、固定板に対する可動板（撮像素子）の相対位置を検出している。そして、この検出結果に基づいてＸ方向駆動用コイルとＹ方向駆動用コイルに、大きさと向きを調整しながら電流を流して、可動板（撮像素子）をＸ方向とＹ方向に移動させることにより像ぶれを補正している。
特開２００１−１１７１２９号公報

特許文献１のように、可動板にＬＥＤを設ける場合、ＬＥＤから延びる電気線（リード線）を、固定板に設けた制御回路等に接続する必要がある。このため、２次元ＰＳＤに接続された電気線が可動板移動時の負荷となってしまい、可動板を駆動するために大きな駆動力が必要になってしまう。
また、可動板に２次元ＰＳＤを設ける場合は（この場合は固定板にＬＥＤを設ける）、２次元ＰＳＤから延びる電気線を固定板に設けた制御回路等に接続する必要があるため、上記と同様の問題が発生する。

本発明の目的は、可動部材に余計な負荷を掛けずに位置検出を可能としたステージ装置及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置を提供することにある。

本発明のステージ装置は、固定支持基板と、該固定支持基板に、互いに直交し、かつ、該固定支持基板と平行な特定のＸ方向及びＹ方向に直線移動可能として支持されたＸＹ移動部材と、上記ＸＹ移動部材の上記固定支持基板に対するＸ方向の相対位置を検出するＸ方向位置検出手段と、を備え、該Ｘ方向位置検出手段が、Ｘ用光源と、その受光位置をＸ方向について認識可能なＸ用受光部材と、該Ｘ用受光部材の受光位置に基づいて上記ＸＹ移動部材の上記固定支持基板に対するＸ方向の相対位置を演算する演算手段と、を備えるステージ装置において、上記固定支持基板に、上記Ｘ用光源及び上記Ｘ用受光部材をＸ方向に並べて固定し、上記ＸＹ移動部材に、該Ｘ用光源から出た光を反射して上記Ｘ用受光部材に導くＸ用反射部材を固定したことを特徴としている。

上記Ｘ用反射部材を、上記Ｘ用光源から出た光を反射する第１の反射面と、該第１の反射面と上記Ｘ方向に並び、かつ、該第１の反射面で反射された光を反射して上記Ｘ用受光部材に導く第２の反射面と、を備えるものとするのが実際的である。

さらに、上記Ｘ用光源を、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向に光を射出するものとし、上記第１の反射面と上記第２の反射面を、Ｙ方向と平行で、かつ、その上記ＸＹ移動部材側の端部の仮想延長部が、Ｚ方向と平行なＺ方向軸に４５°の角度で交わる第１の反射平面と第２の反射平面とするのが実際的である。

さらに、上記ＸＹ移動部材の上記固定支持基板に対するＹ方向の相対位置を検出するＹ方向位置検出手段を備え、該Ｙ方向位置検出手段が、共に上記固定支持基板に固定され互いにＹ方向に並ぶ、Ｙ用光源及び、その受光位置をＹ方向について認識可能なＹ用受光部材と、該Ｙ用受光部材の受光位置に基づいて上記ＸＹ移動部材の上記固定支持基板に対するＹ方向の相対位置を演算する演算手段と、上記ＸＹ移動部材に固定された、該Ｙ用光源から出た光を反射して上記Ｙ用受光部材に導くＹ用反射部材と、を備えるものとするのが好ましい。

上記Ｙ用反射部材を、上記Ｙ用光源から出た光を反射する第１の反射面と、該第１の反射面と上記Ｙ方向に並び、かつ、該第１の反射面で反射された光を反射して上記Ｙ用受光部材に導く第２の反射面と、を備えるものとするのが実際的である。

上記Ｙ用光源を、上記Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向に光を射出するものとし、上記Ｙ用反射部材の上記第１の反射面と上記第２の反射面を、Ｘ方向と平行で、かつ、その上記ＸＹ移動部材側の端部の仮想延長部が、上記Ｚ方向と平行なＺ方向軸に４５°の角度で交わる第１の反射平面と第２の反射平面とするのが実際的である。

上記Ｘ用受光部材と上記Ｙ用受光部材を１次元ＰＳＤとするのが実際的である。

別の態様によれば、本発明のステージ装置は、該固定支持基板に、互いに直交し、かつ、該固定支持基板と平行な特定のＸ方向及びＹ方向に直線移動可能として支持されたＸＹ移動部材と、上記ＸＹ移動部材の上記固定支持基板に対するＸ方向及びＹ方向の相対位置を検出するＸＹ方向位置検出手段と、を有し、上記ＸＹ方向位置検出手段が、ＸＹ用光源と、その受光位置をＸ方向及びＹ方向について認識可能なＸＹ用受光部材と、該ＸＹ用受光部材の受光位置に基づいて上記ＸＹ移動部材の上記固定支持基板に対するＸ方向及びＹ方向の相対位置を演算する演算手段と、を備えるステージ装置において、上記固定支持基板に、上記ＸＹ用光源及び上記ＸＹ用受光部材を固定し、上記ＸＹ移動部材に、該ＸＹ用光源から出た光を反射して上記Ｘ用受光部材に導くＸＹ用反射部材を固定したことを特徴としている。

上記ＸＹ用反射部材を、上記ＸＹ用光源から出た光を反射する第１の反射面と、該第１の反射面で反射された光を反射して上記ＸＹ用受光部材に導く第２の反射面と、を備えるものとするのが実際的である。

上記ＸＹ用光源を、上記Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向に光を射出するものとし、上記第１の反射面と上記第２の反射面を、上記Ｚ方向と平行なＺ方向軸を中心とし、上記固定支持基板側に向かうにつれて拡開する中心角が９０°の仮想円錐面の一部をなし、かつ、上記Ｚ方向軸を挟んで対向する第１の反射曲面と第２の反射曲面とするのが実際的である

上記ＸＹ用受光部材として２次元ＰＳＤを用いることが可能である。

いずれの態様でも、上記Ｘ用光源と上記Ｙ用光源と上記ＸＹ用光源のいずれかをＬＥＤまたはＬＤとすれば、消費電力を最小限に抑えることができ、光源の耐久性が向上する。

上記ＸＹ移動部材を上記固定支持基板に対して、Ｘ方向とＹ方向にそれぞれ相対移動させるＸ方向駆動装置と、を備えるのが実際的である。

Ｘ方向駆動装置及びＹ方向駆動装置を備えるステージ装置はカメラの手振れ補正装置として利用できる。具体的には、上記ステージ装置を内蔵するカメラと、上記ＸＹ移動部材と一緒に移動する、前面に結像面を有する撮像素子と、上記カメラの光軸のＸ方向及びＹ方向の角度振れ量を検出する角度振れ量検出手段と、該角度振れ量検出手段が検出した角度振れ量と、上記Ｘ方向位置検出手段、上記Ｙ方向位置検出手段、またはＸＹ方向位置検出手段の検出量との差が小さくなるように上記Ｘ方向駆動装置とＹ方向駆動装置を駆動する制御手段と、を備えることにより手振れ補正装置が得られる。

また、カメラの手振れ補正装置は、上記ステージ装置を内蔵するカメラと、上記ＸＹ移動部材と一緒に移動する、手振れを補正するための補正レンズと、上記カメラの光軸のＸ方向及びＹ方向の角度振れ量を検出する角度振れ量検出手段と、該角度振れ量検出手段が検出した角度振れ量と、上記Ｘ方向位置検出手段、上記Ｙ方向位置検出手段、またはＸＹ方向位置検出手段の検出量との差が小さくなるように上記Ｘ方向駆動装置とＹ方向駆動装置を駆動する制御手段と、を備えることにより得られる。

本発明によると、可動部材に余計な負荷を掛けずに位置検出を可能としたステージ装置及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置が得られる。

以下、図１〜図２０に基づいて、本発明の第１の実施形態について説明する。
図１に示すように、デジタルカメラ（カメラ）１内には、複数のレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３からなる光学系が配設されており、レンズＬ３の後方にはＣＣＤ（撮像素子）３が配設されている。上記カメラ光学系の光軸Ｏに対して直交するＣＣＤ３の撮像面（結像面）３ａの位置は、該カメラ光学系の結像位置と一致しており、デジタルカメラ１に内蔵された手振れ補正装置５に固定されている。

手振れ補正装置５は、図２〜図１７に示すように、以下のような構造となっている。
図２、図６、及び図９に示すように、後方から視たときに方形をなし、その中央部に方形の収容孔１０ａが穿設された固定支持基板１０は、図示を省略した固定手段によりデジタルカメラ１のボディ内に、光軸Ｏに対して直交し、かつ、光軸Ｏが収容孔１０ａの中心に位置するように固定されている。固定支持基板１０の後面の左側部には、合成樹脂等の弾性材料からなる２個の同形状のＹ方向案内部１１が、図２やその他の図面に矢線Ｙで示したＹ方向（上下方向）に並べて突設されており、両Ｙ方向案内部１１を、Ｙ方向案内溝１２がＹ方向に直線的に貫通している。図７に示すように、Ｙ方向案内溝１２は、断面視円形の案内部１２ａと、案内部１２ａと外部とを連通する開口部１２ｂとからなる。上下のＹ方向案内部１１に設けられた案内部１２ａは互いに同心をなしており、開口部１２ｂの外側の開口幅（Ｌ１）は案内部１２ａとの連通部の開口幅（Ｌ２）より大きい。
固定支持基板１０の後面の右側部には、２個の自由端支持部１３がＹ方向に並べて突設されている。両自由端支持部１３には、自由端支持部１３を、図２やその他の図面に矢印Ｘで示したＸ方向（左右方向）に貫通し、かつ、Ｙ方向に長いＹ方向長孔１４がそれぞれ穿設されている。

さらに、固定支持基板１０の後面の下端部には、Ｘ方向位置検出手段５０の構成要素である円柱形状のＬＥＤ（Ｘ用光源）５１と、角柱形状の１次元ＰＳＤ（Ｘ用受光部材）５２が、Ｘ方向に並べて設けられている。ＬＥＤ５１からは電源からの電力を導くためのリード線（図示略）が延びており、さらに、ＬＥＤ５１の直後にはコリメートレンズＣＬＸがＬＥＤ５１と同軸的に移動不能として配設されている。ＬＥＤ５１の発光面５１ａは円形であり、１次元ＰＳＤ５２の受光面５２ａは方形であり、周知のように１次元ＰＳＤ５２は、その受光面５２ａのＸ方向の受光位置を認識するものである。
また、固定支持基板１０の後面の左側部には、Ｙ方向位置検出手段６０の構成要素である円柱形状のＬＥＤ（Ｙ用光源）６１と、角柱形状の１次元ＰＳＤ（Ｙ用受光部材）６２が、Ｙ方向に並べて設けられている。ＬＥＤ６１からは電源からの電力を導くためのリード線（図示略）が延びており、さらに、ＬＥＤ６１の直後にはコリメートレンズＣＬＹがＬＥＤ６１と同軸的に移動不能として配設されている。ＬＥＤ６１の発光面６１ａは円形であり、１次元ＰＳＤ６２の受光面６２ａは方形であり、１次元ＰＳＤ６２は、その受光面６２ａのＹ方向の受光位置を認識するものである。

図２、図６、及び図９に示すように、後方から視たときに逆コ字形をなすＹ方向移動部材２０は、断面形状が円形をなす金属棒を曲折して成形したものである。このＹ方向移動部材２０は、Ｙ方向に延在するＹ方向棒状部２１と、Ｙ方向棒状部２１の上下両端から図２、図６、及び図９の右側に向かって延出するＸ方向棒状部２２、２３とを具備している。Ｘ方向棒状部２２、２３の断面径は、Ｙ方向長孔１４の前後方向寸法と略同一である。

ＣＣＤ３は、後方から視たときに方形をなすベース板（ＸＹ移動部材）３０の前面に固定されており、図１２に示すように、ベース板３０の前面には中空のカバー部材（ＸＹ移動部材）３１が、ＣＣＤ３を囲むように固着されている。このカバー部材３１の前面には正面視方形の採光孔３１ａが穿設されており（図１２参照）、正面から視たときに、この採光孔３１ａを通してＣＣＤ３の撮像面３ａが完全に露出するようにしている。さらに、カバー部材３１の内部空間には透光性材料からなるローパスフィルタ３２が、カバー部材３１の前部の内周面に当接する状態で配設されており、ＣＣＤ３の前面の撮像面３ａの周囲とローパスフィルタ３２の間には、撮像面３ａの周縁部に接触する正面視方形環状の押さえ部材３３が設けられている。

カバー部材３１の上端部には、左右一対のＸ方向案内部３４が突設されており、下端部には支持部３５が突設されている。両Ｘ方向案内部３４には、Ｘ方向案内部３４をＸ方向に貫通する、断面形状がＸ方向棒状部２２と略同一のＸ方向案内孔３４ａが設けられている。一方、支持部３５には、支持部３５をＸ方向に貫通する支持用溝３５ａが設けられている。この支持用溝３５ａは、図８に示すように、その下端が開口しており、そのＹ方向長はＸ方向棒状部２３の断面径より長く、その前後方向幅はＸ方向棒状部２３と略同一である。

図１１及び図１２に示すように、ベース板３０の後面には電気基板（ＸＹ移動部材）３６が固着されている。電気基板３６には４つの突出舌片３６ａ、３６ｂ、３６ｃ、３６ｄが形成されており、突出舌片３６ａ、３６ｂの後面にはそれぞれ、電気基板３６と平行な平面状のＸ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹが、プリントにより形成されている。
図１３に示すように、Ｘ方向駆動用コイルＣＸは、各辺が直線状をなす渦巻き状をなしており、右辺ＣＸ１と、左辺ＣＸ２と、上辺ＣＸ３と、下辺ＣＸ４とからなっている。
図１４に示すように、Ｙ方向駆動用コイルＣＹも各辺が直線状をなす渦巻き状をなしており、右辺ＣＹ１と、左辺ＣＹ２と、上辺ＣＹ３と、下辺ＣＸ４とからなっている。Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹは、便宜上電気線を数回巻いたものとして図示しているが、実際は数十回巻かれている。
図１１に示すように、後方から視たときに、Ｘ方向駆動用コイルＣＸの中心を通るＸ方向の直線であるＸ方向直線ＬＸは、電気基板３６、ベース板３０、カバー部材３１、ローパスフィルタ３２、押さえ部材３３、ＣＣＤ３及び、後述するＬＥＤ５１、反射部材５３、ＬＥＤ６１、及び反射部材６３からなるＸ方向移動体の重心Ｇと重合する。一方、Ｙ方向駆動用コイルＣＹの中心を通るＹ方向の直線であるＹ方向直線ＬＹは、図１１の非作動状態において、このＸ方向移動体にＹ方向移動部材２０を加えたＹ方向移動体の重心（重心Ｇから僅かにずれている）と重合する。

突出舌片３６ｃの前面には、Ｘ方向位置検出手段５０の構成要素である反射部材（Ｘ用反射部材）５３が設けられている。図１５から図１７に示すように、この反射部材５３はＬＥＤ５１の発光面５１ａから射出されてコリメートレンズＣＬＸによって平行光とされた光を反射して１次元ＰＳＤ５２の受光面５２ａに導くものである。
反射部材５３の前面には、正面視においてＸ方向に長い長方形をなす凹部５３ａが形成されており、この凹部５３ａの左右の端部には第１の反射平面（第１の反射面）５３ｂと第２の反射平面（第２の反射面）５３ｃが形成されている。図１６及び図１７に示すように、Ｙ方向（上下方向）に見たときに、第１の反射平面５３ｂ及び第２の反射平面５３ｃの突出舌片３６ｃ側の端部を延長した仮想延長部５３ｂ１と仮想延長部５３ｃ１は、共にＺ方向軸（図１６及び図１７の矢印Ｚ参照。前後方向を向く軸）に対して４５°の角度で交わる。

突出舌片３６ｄの前面には、Ｙ方向位置検出手段６０の構成要素である反射部材（Ｙ用反射部材）６３が設けられている。この反射部材６３は反射部材５３と同形状のＹ方向を向く部材であり、ＬＥＤ６１の発光面６１ａから射出されてコリメートレンズＣＬＹによって平行光とされた光を反射して１次元ＰＳＤ６２の受光面６２ａに導くものである。
反射部材６３の前面には、正面視においてＹ方向に長い長方形をなす凹部６３ａが形成されており、この凹部６３ａの上下の端部には第１の反射平面（第１の反射面）６３ｂと第２の反射平面（第２の反射面）６３ｃが形成されている。図１８及び図１９に示すように、Ｘ方向（左右方向）に見たときに、第１の反射平面６３ｂ及び第２の反射平面６３ｃの突出舌片３６ｄ側の端部を延長した仮想延長部６３ｂ１、６３ｃ１は共に、Ｚ方向軸に対して４５°の角度で交わる。

固定支持基板１０の後面の２カ所には金属等の磁性体からなる断面視コ字形のヨークＹＸ、ＹＹが固着されており、各ヨークＹＸ、ＹＹの内面には磁石ＭＸ、ＭＹが設けられている。ヨークＹＸの磁石ＭＸは、Ｎ極とＳ極がＸ方向に並んでおり、ヨークＹＹの磁石ＭＹは、Ｎ極とＳ極がＹ方向に並んでいる。
図１１及び図１２に示すように、ヨークＹＹの先端部は磁石ＭＹと対向しており、両者の間に磁気回路が形成されている。
同様に、図１１に示すように、ヨークＹＸの先端部は磁石ＭＸと磁気回路を形成している。
また、磁石ＭＸとヨークＹＸによりＸ方向用磁力発生装置が、磁石ＭＹとヨークＹＹによりＹ方向用磁力発生装置がそれぞれ構成されている。さらに、Ｘ方向用磁力発生装置とＸ方向駆動用コイルＣＸによりＸ方向駆動装置が、Ｙ方向用磁力発生装置とＹ方向駆動用コイルＣＹによりＹ方向駆動装置が、それぞれ構成されている。

上記固定支持基板１０とＹ方向移動部材２０とベース板３０（及び電気基板３６）は、以下の手順によって組み立てられる。
カバー部材３１を収容孔１０ａ内に位置させ、かつ、各突出舌片３６ａ、３６ｂを両ヨークＹＸ、ＹＹの内部にそれぞれ位置させた状態で、図２、図６、図９及び図１１の左側からＹ方向移動部材２０をカバー部材３１に接近させ、Ｘ方向棒状部２２を両Ｘ方向案内部３４のＸ方向案内孔３４ａに貫通させるとともに、Ｘ方向棒状部２３を支持用溝３５ａに貫通させると、電気基板３６及びベース板３０がＹ方向移動部材２０に対してＸ方向に相対移動自在となる。

そして、図６に示すように、このようにベース板３０、カバー部材３１、両Ｘ方向案内部３４、支持部３５、及び電気基板３６と一体となったＹ方向移動部材２０を、図６の左側から右側に直線的に移動させ、その両Ｘ方向棒状部２２、２３の自由端を、両自由端支持部１３のＹ方向長孔１４に嵌合させ、かつ、Ｙ方向棒状部２１を開口部１２ｂに嵌合させる。Ｙ方向棒状部２１が開口部１２ｂに嵌合すると、Ｙ方向棒状部２１の断面径は、開口部１２ｂの外側の開口幅（Ｌ１）より狭いが、内側の開口幅（Ｌ２）より広いので、開口部１２ｂは拡開する方向に弾性変形する。Ｙ方向棒状部２１をさらに図６の右側に移動させると、Ｙ方向棒状部２１が案内部１２ａに抜け止めされた状態で嵌合し、開口部１２ｂは元の形状に弾性復帰して、図１１及び図１２に示すように組み立て完了状態となる。

このように、Ｙ方向移動部材２０を図２、図６、及び図９の左側から右側に直線的に移動させるだけで、Ｙ方向移動部材２０をＹ方向長孔１４とＹ方向案内溝１２へ簡単に取り付けることができる。また、Ｙ方向移動部材２０を、開口部１２ｂを弾性変形させるだけの力で、図２、図６、及び図９の右側から左側に直線移動させることにより、Ｙ方向移動部材２０をＹ方向案内溝１２とＹ方向長孔１４から簡単に取り外すことができる。

上述したように、Ｘ方向棒状部２２、２３の断面径とＹ方向長孔１４の前後方向寸法が同じなので、Ｙ方向移動部材２０のＹ方向棒状部２１回りの回転は規制されており、この結果、Ｙ方向移動部材２０の中心軸は常に、Ｘ方向及びＹ方向と平行なＸＹ仮想平面Ｐ（図４参照）上に位置する。さらに、図４に示すように、Ｙ方向案内部１１、自由端支持部１３、カバー部材３１の各部材もＸＹ仮想平面Ｐ上に位置している。

図２０に示すように、デジタルカメラ１内には、デジタルカメラ１の手振れに伴う光学系Ｌ１〜Ｌ３の撮影光軸Ｏの角度振れを検出するためのセンサが設けられている。具体的には、デジタルカメラ１の光軸ＯのＸ方向の角度振れを検出するＸ方向角速度センサ（角度振れ量検出手段）７０と、光軸ＯのＹ方向の角度振れを検出するＹ方向角速度センサ（角度振れ量検出手段）７１である。
このＸ方向角速度センサ７０は積分回路（角度振れ量検出手段）７２に電気的に接続されており、積分回路７２は誤差増幅器（制御手段）７３に電気的に接続されている。さらに、上記Ｘ方向位置検出手段５０の１次元ＰＳＤ５２は演算手段（ＣＰＵ）（Ｘ方向位置検出手段）７６に電気線によって電気的に接続されており、この演算手段７６は誤差増幅器７３に電気的に接続されている。そして、誤差増幅器７３はＸ方向駆動用コイルＣＸに電気的に接続されている。
一方、Ｙ方向角速度センサ７１は積分回路（角度振れ量検出手段）７４に電気線によって電気的に接続されており、積分回路７４は誤差増幅器（制御手段）７５に電気的に接続されている。さらに、上記Ｙ方向位置検出手段６０の１次元ＰＳＤ６２は演算手段（ＣＰＵ）（Ｙ方向位置検出手段）７６に電気的に接続されており、演算手段７６は誤差増幅器７５に電気的に接続されている。そして、誤差増幅器７５はＹ方向駆動用コイルＣＹに電気的に接続されている。

以上のような構成の手振れ補正装置５の構成部材の内、ＣＣＤ３、Ｘ方向角速度センサ７０、Ｙ方向角速度センサ７１、積分回路７２、誤差増幅器７３、積分回路７４、及び誤差増幅器７５を除いた構成部材はステージ装置の構成要素である。

次に、手振れ補正装置５の動作について説明する。
最初に、Ｘ方向位置検出手段５０、Ｙ方向位置検出手段６０、Ｘ方向角速度センサ７０、Ｙ方向角速度センサ７１、積分回路７２、積分回路７４、誤差増幅器７３、誤差増幅器７５、及び演算手段７６等の動作と切り離して、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹに電流が流れたときの手振れ補正装置５の動作について説明する。

カバー部材３１（電気基板３６）は、Ｘ方向駆動用コイルＣＸの右辺ＣＸ１が磁石ＭＸのＮ極と、左辺ＣＸ２がＳ極と前後方向に重合関係を維持する範囲内でＸ方向に移動可能である。
図１１及び図１３に示す非作動状態で、例えばＸ方向駆動用コイルＣＸに図１３に矢線で示す方向の電流が流れると、右辺ＣＸ１と左辺ＣＸ２にはＸ方向右向きの直線的な力ＦＸが生じる。この力ＦＸにより、Ｘ方向案内部３４と支持部３５がＸ方向棒状部２２、２３に沿って右側に移動するので、電気基板３６及びＣＣＤ３が固定支持基板１０に対して右側に相対移動する。なお、この際、上辺ＣＸ３と下辺ＣＸ４にも力が生じるが、これらの力は互いに打ち消し合うので、電気基板３６には力を及ぼさない。

Ｘ方向駆動用コイルＣＸに図１３の矢線と逆向きの電流を流すと、右辺ＣＸ１と左辺ＣＸ２にはＸ方向左向きの直線的な力が生じ、電気基板３６及びＣＣＤ３はＸ方向棒状部２２、２３に沿って固定支持基板１０に対して左側に相対移動する。
このようにＸ方向駆動用コイルＣＸへ流す電流の向きを調整することにより、右辺ＣＸ１がＮ極と重合し左辺ＣＸ２がＳ極と重合し、かつ、カバー部材３１が収容孔１０ａに当接しない範囲内で、電気基板３６がＸ方向棒状部２２、２３に沿ってＸ方向（左右方向）に移動する。
さらに、Ｘ方向駆動用コイルＣＸへの給電を停止すると、その瞬間にＸ方向の動力が失われ、電気基板３６及びＣＣＤ３は停止する。
また、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに流れる電流の大きさと生じる力は比例するので、Ｘ方向駆動用コイルＣＸへ給電する電流を大きくすれば、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに掛かる力は大きくなり、電流を小さくすればＸ方向駆動用コイルＣＸに掛かる力は小さくなる。

一方、カバー部材３１（電気基板３６）は、Ｙ方向駆動用コイルＣＹの上辺ＣＹ３が磁石ＭＹのＮ極と、下辺ＣＹ４がＳ極と前後方向に重合関係を維持する範囲内でＹ方向に移動可能である。
図１１及び図１４に示す非作動状態で、例えば、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに図１４に矢線で示す方向の電流が流れると、上辺ＣＹ３と下辺ＣＹ４にはＹ方向上向きの直線的な力ＦＹが生じる。この力ＦＹにより、Ｙ方向移動部材２０がＹ方向案内溝１２とＹ方向長孔１４に沿って固定支持基板１０に対して上向きに相対移動するので、電気基板３６及びＣＣＤ３は上向きに相対移動する。なお、この際、右辺ＣＹ１と左辺ＣＹ２にも力が生じるが、これらの力は互いに打ち消し合うので、電気基板３６及びＣＣＤ３には力を及ぼさない。

Ｙ方向駆動用コイルＣＹに図１４の矢線と逆向きの電流を流すと、上辺ＣＹ３と下辺ＣＹ４にはＹ方向下向きの直線的な力が生じ、電気基板３６及びＣＣＤ３（Ｙ方向移動部材２０）はＹ方向案内溝１２とＹ方向長孔１４に沿って固定支持基板１０に対して下方に相対移動する。
このようにＹ方向駆動用コイルＣＹへ流す電流の向きを調整することにより、上辺ＣＹ３がＮ極と重合し下辺ＣＹ４がＳ極と重合し、かつ、カバー部材３１が収容孔１０ａに当接しない範囲内で、電気基板３６がＹ方向案内溝１２とＹ方向長孔１４に沿ってＹ方向（上下方向）に移動する。
さらに、Ｙ方向駆動用コイルＣＹへの給電を停止すると、その瞬間にＹ方向の動力が失われ、電気基板３６及びＣＣＤ３は停止する。
また、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに流れる電流の大きさと生じる力は比例するので、Ｙ方向駆動用コイルＣＹへ給電する電流を大きくすれば、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに掛かる力は大きくなり、電流を小さくすればＹ方向駆動用コイルＣＹに掛かる力は小さくなる。

次に、Ｘ方向位置検出手段５０とＹ方向位置検出手段６０の働きについて説明する。
電気基板３６が原位置（図１１に示す非作動状態のときの位置）にあるとき、反射部材５３のＬＥＤ５１及び１次元ＰＳＤ５２に対するＸ方向の相対位置は、図１６に示す関係となる。この状態でＬＥＤ５１がＺ方向軸と平行な方向に光を射出すると、コリメートレンズＣＬＸにより平行光に整形される。この平行光は第１の反射平面５３ｂで反射され、固定支持基板１０と平行な光として第２の反射平面５３ｃに向かい第２の反射平面５３ｃで反射される。第２の反射平面５３ｃで反射された光は、Ｚ方向軸と平行な光として１次元ＰＳＤ５２の受光面５２ａに向かい、受光面５２ａの位置Ａ（図１６参照）で受光される。
一方、電気基板３６が固定支持基板１０に対して上記原位置からＸ方向に所定距離だけ移動すると、反射部材５３のＬＥＤ５１及び１次元ＰＳＤ５２に対するＸ方向の相対位置が図１７に示す関係となる。この状態でＬＥＤ５１がＺ方向軸と平行な方向に光を射出すると、この光は第１の反射平面５３ｂと第２の反射平面５３ｃで反射され、Ｚ方向軸と平行な光として１次元ＰＳＤ５２の受光面５２ａに向かい、受光面５２ａの位置Ｂ（図１７参照）で受光される。
このように、電気基板３６（ＣＣＤ３）の固定支持基板１０に対するＸ方向の相対位置が変化すると、受光面５２ａの受光位置がＸ方向に変化し、この受光位置の変化に基づいて演算手段７６が、固定支持基板１０に対する電気基板３６（ＣＣＤ３）のＸ方向の相対位置変化量を演算する。
なお、電気基板３６（ＣＣＤ３）が固定支持基板１０に対してＸ方向に相対移動しても、図１８、図１９に示した、反射部材６３の第１の反射平面６３ｂにおけるＹ方向の入射位置は変わらない。

一方、電気基板３６が原位置（非作動状態のときの位置）にあるとき、反射部材６３のＬＥＤ６１及び１次元ＰＳＤ６２に対するＹ方向の相対位置は、図１８に示す関係となる。この状態でＬＥＤ６１がＺ方向軸と平行な方向に光を射出すると、この光は第１の反射平面６３ｂで反射され、固定支持基板１０と平行な光として第２の反射平面６３ｃに向かい第２の反射平面６３ｃで反射される。第２の反射平面６３ｃで反射された光は、Ｚ方向軸と平行な光として１次元ＰＳＤ６２の受光面６２ａに向かい、受光面６２ａの位置Ｃ（図１８参照）で受光される。
一方、電気基板３６が固定支持基板１０に対して上記原位置からＹ方向に所定距離だけ移動すると、反射部材６３のＬＥＤ６１及び１次元ＰＳＤ６２に対するＹ方向の相対位置が図１９に示す関係となる。この状態でＬＥＤ６１がＺ方向軸と平行な方向に光を射出すると、この光は第１の反射平面６３ｂと第２の反射平面６３ｃで反射され、Ｚ方向軸と平行な光として１次元ＰＳＤ６２の受光面６２ａに向かい、受光面６２ａの位置Ｄ（図１９参照）で受光される。
このように、電気基板３６（ＣＣＤ３）の固定支持基板１０に対するＹ方向の相対位置が変化すると、受光面６２ａの受光位置がＹ方向に変化し、この受光位置の変化に基づいて演算手段７６が、固定支持基板１０に対する電気基板３６（ＣＣＤ３）のＹ方向の相対位置変化量を演算する。

このように、電気基板３６（ＣＣＤ３）がＸ方向とＹ方向に直線的に移動し、かつ、Ｘ方向位置検出手段５０とＹ方向位置検出手段６０が上記のように機能する補正装置５を具備するデジタルカメラ１は、以下の要領で手振れ補正を行う。
即ち、デジタルカメラ１によって撮影を行うと、各レンズＬ１〜Ｌ３を透過した光が、収容孔１０ａとローパスフィルタ３２を通ってＣＣＤ３の撮像面３ａに結像する。この際、デジタルカメラ１の手振れ補正スイッチ（不図示）をＯＮにして撮影を行なうと、デジタルカメラ１に手振れ（像振れ）が生じなければ、Ｘ方向角速度センサ７０とＹ方向角速度センサ７１が角速度を検出しないので、手振れ補正装置５は図２から図５、及び図１１に示す非作動状態を維持する。

一方、デジタルカメラ１に手振れが生じると、デジタルカメラ１のＸ方向の角速度をＸ方向角速度センサ７０が検出し、Ｙ方向の角速度をＹ方向角速度センサ７１が検出する。そして、Ｘ方向角速度センサ７０とＹ方向角速度センサ７１が検出したデジタルカメラ１のＸ方向とＹ方向の角速度を積分回路７２と積分回路７４がそれぞれ積分し、光軸ＯのＸ方向とＹ方向の角度振れ量に変換する。そして、積分回路７２の出力（角度振れ量）と１次元ＰＳＤ５２の出力に基づく上記演算手段の演算結果（相対位置変化量）が誤差増幅器７３で比較され、両者の差に応じた電圧が誤差増幅器７３によってＸ方向駆動用コイルＣＸに印加され、電気基板３６及びＣＣＤ３をこの差が小さくなるようにＸ方向に駆動する。同様に、積分回路７４の出力（角度振れ量）と１次元ＰＳＤ６２の出力に基づく上記演算手段の演算結果が誤差増幅器７５で比較され、両者の差に応じた電圧が誤差増幅器７５によってＹ方向駆動用コイルＣＹに印加され、電気基板３６及びＣＣＤ３をこの差が小さくなるようにＹ方向に駆動する。
このように、手振れによる光軸Ｏの角度振れ量に追従してＣＣＤ３がＸＹ方向に移動することにより、手振れによるＣＣＤ３上の像振れが補正される。

以上説明したように本実施形態によれば、電気基板３６に電気線（リード線）が接続されていない反射部材５３と反射部材６３を固定し、従来は電気基板３６に固定されていた１次元ＰＳＤ５２や１次元ＰＳＤ６２やＬＥＤ５１やＬＥＤ６１を固定支持基板１０に固定しているので、これら１次元ＰＳＤ５２や１次元ＰＳＤ６２やＬＥＤ５１やＬＥＤ６１から延びる電気線（リード線）が電気基板３６駆動時の負荷とはならず、従来の手振れ補正装置に比べて小さい動力（電力）で電気基板３６を駆動できる。

さらに、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹが、電気基板３６と平行な平面状なので、Ｘ方向駆動用コイルＣＸ及びＹ方向駆動用コイルＣＹの巻き数を多くして大きな動力を得ようとすると、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹはＸ方向とＹ方向に延びる。しかし、Ｘ方向駆動用コイルＣとＹ方向駆動用コイルＣＹの巻き数を多くしても、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹが光軸Ｏ方向には大きくならず、ヨークＹＸ、ＹＹも光軸Ｏ方向に大型化しないので、デジタルカメラ１が光軸Ｏ方向に大型化することはない。

また、Ｘ方向直線ＬＸが、電気基板３６、ベース板３０、カバー部材３１、ローパスフィルタ３２、押さえ部材３３、及びＣＣＤ３等からなるＸ方向移動体の重心Ｇと前後方向に重合するので、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに生じた力は電気基板３６に効率よく伝達される。一方、Ｙ方向直線ＬＹは、非作動状態においてＸ方向移動体にＹ方向移動部材２０を加えたＹ方向移動体の重心と前後方向に重合し、電気基板３６のＸ方向への移動によりこの重心がＸ方向に僅かに移動した後も前後方向にほぼ重合するので、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに生じた力は電気基板３６に効率よく伝達される。

次に、本発明の第２の実施形態を、図２１から図２５に基づいて説明する。なお、第１の実施形態と同じ部材には同じ符合を付すに止めて、その詳細な説明は省略する。
本実施形態の特徴は、手振れ補正装置５にＹ方向位置検出手段６０を設けず、かつ、第１の実施形態のＸ方向位置検出手段５０の代わりに図２１から図２４に示すＸＹ方向位置検出手段８０を設けた点にある。即ち、ＸＹ方向位置検出手段８０は、第１の実施形態と同様の態様で固定支持基板１０に設けられたＬＥＤ（ＸＹ用光源）５１と、１次元ＰＳＤ５２と同じ位置に固定された２次元ＰＳＤ（ＸＹ用受光部材）８１と、ＬＥＤ５１の直後に位置するコリメートレンズＣＬＸＹと、電気基板３６の突出舌片３６ｃの前面に固定された反射部材（ＸＹ用反射部材）８２とを備えている。

周知のように２次元ＰＳＤ８１は、その受光面８１ａの２方向（Ｘ方向とＹ方向）の受光位置を認識するものである。
本実施形態の反射部材８２の前面には、正面視においてＸ方向に長い長方形をなす凹部８２ａが形成されており、この凹部８２ａの左右の端部には第１の反射曲面（第１の反射面）８２ｂと第２の反射曲面（第２の反射面）８２ｃが形成されている。図２２から図２４に示すように、第１の反射曲面８２ｂと第２の反射曲面８２ｃは、上記Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向軸を中心とし、その中心角が９０°であり、かつ、固定支持基板１０側に向かうにつれて拡開する仮想円錐面ＩＣＳの一部をなしている。
そして、図２５に示すように、２次元ＰＳＤ８１には演算手段（ＣＰＵ）（ＸＹ方向位置検出手段）７６が電気的に接続されており、この演算手段７６は誤差増幅器７３、７５に電気的に接続されている。さらに、第１の実施形態と同様に、誤差増幅器７３と誤差増幅器７５には、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹがそれぞれ電気的に接続されている。さらに、誤差増幅器７３と誤差増幅器７５には、積分回路７２と積分回路７４を介して、Ｘ方向角度センサ７０とＹ方向角度センサ７１がそれぞれ電気的に接続されている。

このような構成のＸＹ方向位置検出手段８０を備える手振れ補正装置５では、電気基板３６が原位置（非作動状態のときの位置）にあるとき、反射部材８２のＬＥＤ５１及び２次元ＰＳＤ８１に対する相対位置は図２２及び図２４に実線で示す関係となる。この状態でＬＥＤ５１がＺ方向軸と平行な方向に光を射出すると、この光はコリメートレンズＣＬＸＹによって平行光とされた後に第１の反射曲面８２ｂで反射され、固定支持基板１０と平行な光として第２の反射曲面８２ｃに向かい第２の反射曲面８２ｃで反射される。第２の反射曲面８２ｂで反射された光は、Ｚ方向軸と平行な光として２次元ＰＳＤ８１の受光面８１ａに向かい、受光面８１ａの位置Ｅ（図２２及び図２４参照）で受光される。
一方、電気基板３６が固定支持基板１０に対して原位置からＸ方向及びＹ方向に所定距離だけ移動すると、ＬＥＤ５１の反射部材８２に対する相対位置は図２４に仮想線で示す関係となる（２次元ＰＳＤ８１は省略している）。この状態でＬＥＤ５１がＺ方向軸と平行な方向に光を射出すると、この光は第１の反射曲面８２ｂと第２の第２の反射曲面８２ｃで反射され、Ｚ方向軸と平行な光として２次元ＰＳＤ８１の受光面８１ａに向かい、受光面８１ａの位置Ｆ（図２４参照）で受光される。

このように、電気基板３６（ＣＣＤ３）の固定支持基板１０に対する相対位置がＸ方向及びＹ方向に変化すると、受光面８１ａの受光位置がＸ方向及びＹ方向に変化し、この受光位置の変化に基づいて演算手段７６が、固定支持基板１０に対する電気基板３６（ＣＣＤ３）のＸ方向及びＹ方向の相対位置変化量を演算する。
なお、電気基板３６（ＣＣＤ３）が固定支持基板１０に対してＸ方向にのみ相対移動した場合には、受光面８１ａの受光位置がＸ方向にのみ変化し、演算手段７６は固定支持基板１０に対する電気基板３６（ＣＣＤ３）のＸ方向の相対位置変化量を演算する。また、電気基板３６（ＣＣＤ３）が固定支持基板１０に対してＹ方向にのみ相対移動した場合には、受光面８１ａの受光位置がＹ方向にのみ変化し、演算手段７６は固定支持基板１０に対する電気基板３６（ＣＣＤ３）のＹ方向の相対位置変化量を演算する。

従って、上記手振れ補正スイッチをＯＮにしてデジタルカメラ１で撮影を行ない、デジタルカメラ１に手振れが生じると、Ｘ方向角速度センサ７０とＹ方向角速度センサ７１が検出したデジタルカメラ１のＸ方向とＹ方向の角速度を積分回路７２と積分回路７４が積分し、光軸ＯのＸ方向とＹ方向の角度振れ量に変換する。そして、積分回路７２の出力（角度振れ量）と２次元ＰＳＤ８１の出力に基づく上記演算手段７６の演算結果（相対位置変化量）とが誤差増幅器７３で比較され、両者の差に応じた電圧が誤差増幅器７３によってＸ方向駆動用コイルＣＸに印加され、電気基板３６及びＣＣＤ３をこの差が小さくなるようにＸ方向に駆動する。同様に、積分回路７４の出力（角度振れ量）と２次元ＰＳＤ８１の出力に基づく上記演算手段７６の演算結果（相対位置変化量）とが誤差増幅器７５で比較され、両者の差に応じた電圧が誤差増幅器７５によってＹ方向駆動用コイルＣＹに印加され、電気基板３６及びＣＣＤ３をこの差が小さくなるようにＹ方向に駆動する。
このように、手振れによる光軸の角度振れ量に追従してＣＣＤ３がＸＹ方向に駆動され、手振れによるＣＣＤ３上の像振れが補正される。

このような本実施形態も、電気基板３６に電気線（配線）が接続されていない反射部材８２を固定し、従来は電気基板３６に固定されていた２次元ＰＳＤ８１やＬＥＤ５１を固定支持基板１０に固定しているので、２次元ＰＳＤ８１やＬＥＤ５１から延びる電気線（電気配線）が電気基板３６駆動時の負荷とはならず、従来の手振れ補正装置に比べて小さい動力（電力）で電気基板３６を駆動できる。
さらに、２次元ＰＳＤ８１と、反射部材８２を用いることにより、一つのＸＹ方向位置検出手段８０でＸ方向とＹ方向の位置を検出できるので、第１の実施形態に比べて部品点数を少なくできる。

以上、第１及び第２の実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、様々な変形を施して実施可能である。
例えば、上記実施形態では、電気基板３６にＣＣＤ３を固定して、ＣＣＤ３をＸ方向及びＹ方向に移動させることにより手振れ補正を行っているが、例えば、ＣＣＤ３を固定支持基板１０の後方に配設し、電気基板３６に円形の取付孔（図示略）を穿設して、この取付孔に補正レンズ（図示略）を嵌合固定し、この補正レンズをレンズＬ１とレンズＬ２の間またはレンズＬ２とレンズＬ３の間に配置させてもよい。このような構造として補正レンズをＸ方向とＹ方向に直進移動させても、手振れ補正を行うことが可能である。さらに、このような補正レンズを用いた手振れ補正装置は、ＣＣＤ３を省略することにより、銀塩カメラにも適用可能となる。

また、本実施形態では固定支持基板１０側に両ヨークＹＸ、ＹＹ（及び磁石ＭＸ、ＭＹ）を設け、電気基板３６側に両コイルＣＸ、ＣＹを設けたが、固定支持基板１０側に両コイルＣＸ、ＣＹを設けて、電気基板３６側に両ヨークＹＸ、ＹＹ（及び磁石ＭＸ、ＭＹ）を設けてもよい。
さらに、Ｘ方向駆動装置及びＹ方向駆動装置として、ヨークＹＸ、ＹＹ、磁石ＭＸ、ＭＹ、Ｘ方向駆動用コイルＣＸ、及びＹ方向駆動用コイルＣＹ以外の構成のものを採用してもよい。

いずれの実施形態でも光源５１、６１としてＬＥＤを用いたが、ＬＥＤ以外の光源、例えばＬＤ（レーザーダイオード、図示略）を用いてもよい。なお、ＬＤを用いる場合は各コリメートレンズＣＬＸ、ＣＬＹ、ＣＬＸＹは不要である。
また、第２の実施形態では反射部材８２をＸ方向に向け、ＬＥＤ５１と２次元ＰＳＤ８１をＸ方向に並べたが、反射部材８２をＸ方向以外に向けて、ＬＥＤ５１と２次元ＰＳＤ８１をこの反射部材８２の向きと同じ方向に並べてもよい。

なお、Ｙ方向移動部材２０を構成するＹ方向棒状部２１、及びＸ方向棒状部２２、２３は、それぞれ完全な直線状部材でなくてもよい。例えばＹ方向棒状部２１は、Ｙ方向への移動中に案内部１２ａに嵌合する部分のみがＹ方向を向く直線状であればよく、Ｙ方向への移動中に案内部１２ａに嵌合しない部分は、例えば正面視曲線状であってもよい。
また、Ｙ方向移動部材２０の剛性が高く殆ど弾性変形しないのであれば、Ｙ方向案内部１１や自由端支持部１３を一つとしてもよく、このようにしても電気基板３６はＸ方向及びＹ方向に円滑に直線移動する。

以上は、本発明のステージ装置を手振れ補正装置５に利用した実施形態であるが、本発明のステージ装置の用途は手振れ補正装置５に限定されず、電気基板のような移動部材を、該移動部材と平行なＸ方向とＹ方向に移動させる様々な装置に利用可能である。

本発明の第１の実施形態である手振れ補正装置を内蔵したデジタルカメラの縦断側面図である。 手振れ補正装置の非作動状態を電気基板とヨークを省略して示す背面図である。 図２のIII矢線方向から見た手振れ補正装置のステージを省略した側面図である。 図２のIV矢線方向から見た手振れ補正装置の底面図である。 図２のＶ矢線方向から見た手振れ補正装置のステージを省略した側面図である。 手振れ補正装置の組み立て状態を、ＣＣＤと電気基板とヨークを省略して示す背面図である。 ステージ支持部材をＹ方向案内部の案内部に嵌合する状態を示す、図６のVII−VII線に沿う断面図である。 図２のVIII−VIII線に沿う断面図である。 手振れ補正装置の作動状態をＣＣＤと電気基板とヨークを省略して示す背面図である。 図９のＸ矢線方向から見た手振れ補正装置のステージを省略した側面図である。 手振れ補正装置の非作動状態をヨークを破断して示す背面図である。 図１１のＸII−ＸII線に沿う断面図である。 Ｘ方向駆動装置を模式的に示す拡大図である。 Ｙ方向駆動装置を模式的に示す拡大図である。 Ｘ方向位置検出手段の斜視図である。 図１１のXVI−XVI矢線に沿って切断したＸ方向位置検出手段の断面図である。 電気基板（撮像素子）がＸ方向に移動したときの図１６と同様の断面図である。 図１１のXVIII−XVIII矢線に沿って切断したＹ方向位置検出手段の断面図である。 電気基板（撮像素子）がＹ方向に移動したときの図１８と同様の断面図である。 制御回路ブロック図である。 本発明の第２の実施形態のＸＹ方向位置検出手段を模式的に示す斜視図である。 図２１のXXII−XXII矢線に沿って切断したＸＹ方向位置検出手段の断面図である。 反射部材の凹部の斜視図である。 反射部材の凹部とＬＥＤと２次元ＰＳＤの位置関係を示す図である。 制御回路ブロック図である。

符号の説明

１ デジタルカメラ（カメラ）
３ ＣＣＤ（撮像素子）
３ａ 撮像面（結像面）
５ 手振れ補正装置
１０ 固定支持基板
１０ａ 収容孔
１１ Ｙ方向案内部
１２ Ｙ方向案内溝
１２ａ 案内部
１２ｂ 開口部
１３ 自由端支持部
１４ Ｙ方向長孔
２０ Ｙ方向移動部材
２１ Ｙ方向棒状部
２２ ２３ Ｘ方向棒状部
３０ ベース板（ＸＹ移動部材）
３１ カバー部材（ＸＹ移動部材）
３１ａ 採光孔
３２ ローパルフィルター
３３ 押さえ部材
３４ Ｘ方向案内部
３４ａ Ｘ方向案内孔
３５ 支持部
３５ａ 支持用溝
３６ 電気基板（ＸＹ移動部材）
３６ａ ３６ｂ ３６ｃ ３６ｄ 突出舌片
５０ Ｘ方向位置検出手段
５１ ＬＥＤ（Ｘ用光源）（ＸＹ用光源）
５２ １次元ＰＳＤ（Ｘ用受光部材）
５２ａ 受光面
５３ 反射部材（Ｘ用反射部材）
５３ｂ 第１の反射平面（第１の反射面）
５３ｂ１ 仮想延長部
５３ｃ 第２の反射平面（第２の反射面）
５３ｃ１ 仮想延長部
６０ Ｙ方向位置検出手段
６１ ＬＥＤ（Ｙ用光源）
６２ １次元ＰＳＤ（Ｙ用受光部材）
６３ 反射部材（Ｙ用反射部材）
６３ｂ 第１の反射平面（第１の反射面）
６３ｃ 第２の反射平面（第２の反射面）
７０ Ｘ方向角速度センサ（角度振れ量検出手段）
７１ Ｙ方向角速度センサ（角度振れ量検出手段）
７２ 積分回路（角度振れ量検出手段）
７３ 誤差増幅器（制御手段）
７４ 積分回路（角度振れ量検出手段）
７５ 誤差増幅器（制御手段）
７６ 演算手段（ＣＰＵ）（Ｘ方向位置検出手段）（Ｙ方向位置検出手段）（ＸＹ方向位置検出手段）
８０ ＸＹ方向位置検出手段
８１ ２次元ＰＳＤ（ＸＹ用受光部材）
８１ａ 受光面
８２ 反射部材（ＸＹ用反射部材）
８２ｂ 第１の反射曲面（第１の反射面）
８２ｃ 第２の反射曲面（第２の反射面）
ＣＸ Ｘ方向駆動用コイル（Ｘ方向駆動装置）
ＣＹ Ｙ方向駆動用コイル（Ｙ方向駆動装置）
Ｇ Ｘ方向移動体の重心
ＩＣＳ 仮想円錐面
ＬＸ Ｘ方向直線
ＬＹ Ｙ方向直線
ＭＸ 磁石（Ｘ方向駆動装置）
ＭＹ 磁石（Ｙ方向駆動装置）
Ｏ 光軸
Ｐ ＸＹ仮想平面
Ｘ Ｘ方向
Ｙ Ｙ方向
ＹＸ ヨーク（Ｘ方向駆動装置）
ＹＹ ヨーク（Ｙ方向駆動装置）

Claims (15)

1. 固定支持基板と、
   該固定支持基板に、互いに直交し、かつ、該固定支持基板と平行な特定のＸ方向及びＹ方向に直線移動可能として支持されたＸＹ移動部材と、
   上記ＸＹ移動部材の上記固定支持基板に対するＸ方向の相対位置を検出するＸ方向位置検出手段と、を備え、
   該Ｘ方向位置検出手段が、Ｘ用光源と、その受光位置をＸ方向について認識可能なＸ用受光部材と、該Ｘ用受光部材の受光位置に基づいて上記ＸＹ移動部材の上記固定支持基板に対するＸ方向の相対位置を演算する演算手段と、を備えるステージ装置において、
   上記固定支持基板に、上記Ｘ用光源及び上記Ｘ用受光部材をＸ方向に並べて固定し、
   上記ＸＹ移動部材に、該Ｘ用光源から出た光を反射して上記Ｘ用受光部材に導くＸ用反射部材を固定したことを特徴とするステージ装置。
2. 請求項１記載のステージ装置において、
   上記Ｘ用反射部材が、上記Ｘ用光源から出た光を反射する第１の反射面と、該第１の反射面と上記Ｘ方向に並び、かつ、該第１の反射面で反射された光を反射して上記Ｘ用受光部材に導く第２の反射面と、を備えるステージ装置。
3. 請求項２記載のステージ装置において、
   上記Ｘ用光源が、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向に光を射出するものであり、
   上記第１の反射面と上記第２の反射面が、Ｙ方向と平行で、かつ、その上記ＸＹ移動部材側の端部の仮想延長部が、Ｚ方向と平行なＺ方向軸に４５°の角度で交わる第１の反射平面と第２の反射平面であるステージ装置。
4. 請求項１から３のいずれか１項記載のステージ装置において、
   上記ＸＹ移動部材の上記固定支持基板に対するＹ方向の相対位置を検出するＹ方向位置検出手段を備え、
   該Ｙ方向位置検出手段が、
   共に上記固定支持基板に固定され互いにＹ方向に並ぶ、Ｙ用光源及び、その受光位置をＹ方向について認識可能なＹ用受光部材と、
   該Ｙ用受光部材の受光位置に基づいて上記ＸＹ移動部材の上記固定支持基板に対するＹ方向の相対位置を演算する演算手段と、
   上記ＸＹ移動部材に固定された、該Ｙ用光源から出た光を反射して上記Ｙ用受光部材に導くＹ用反射部材と、を備えるステージ装置。
5. 請求項４記載のステージ装置において、
   上記Ｙ用反射部材が、上記Ｙ用光源から出た光を反射する第１の反射面と、該第１の反射面と上記Ｙ方向に並び、かつ、該第１の反射面で反射された光を反射して上記Ｙ用受光部材に導く第２の反射面と、を備えるステージ装置。
6. 請求項５記載のステージ装置において、
   上記Ｙ用光源が、上記Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向に光を射出するものであり、
   上記Ｙ用反射部材の上記第１の反射面と上記第２の反射面が、Ｘ方向と平行で、かつ、その上記ＸＹ移動部材側の端部の仮想延長部が、上記Ｚ方向と平行なＺ方向軸に４５°の角度で交わる第１の反射平面と第２の反射平面であるステージ装置。
7. 請求項１から６のいずれか１項記載のステージ装置において、
   上記Ｘ用受光部材または上記Ｙ用受光部材が１次元ＰＳＤであるステージ装置。
8. 固定支持基板と、
   該固定支持基板に、互いに直交し、かつ、該固定支持基板と平行な特定のＸ方向及びＹ方向に直線移動可能として支持されたＸＹ移動部材と、
   上記ＸＹ移動部材の上記固定支持基板に対するＸ方向及びＹ方向の相対位置を検出するＸＹ方向位置検出手段と、を有し、
   上記ＸＹ方向位置検出手段が、ＸＹ用光源と、その受光位置をＸ方向及びＹ方向について認識可能なＸＹ用受光部材と、該ＸＹ用受光部材の受光位置に基づいて上記ＸＹ移動部材の上記固定支持基板に対するＸ方向及びＹ方向の相対位置を演算する演算手段と、を備えるステージ装置において、
   上記固定支持基板に、上記ＸＹ用光源及び上記ＸＹ用受光部材を固定し、
   上記ＸＹ移動部材に、該ＸＹ用光源から出た光を反射して上記Ｘ用受光部材に導くＸＹ用反射部材を固定したことを特徴とするステージ装置。
9. 請求項８記載のステージ装置において、
   上記ＸＹ用反射部材が、上記ＸＹ用光源から出た光を反射する第１の反射面と、該第１の反射面で反射された光を反射して上記ＸＹ用受光部材に導く第２の反射面と、を備えるステージ装置。
10. 請求項９記載のステージ装置において、
    上記ＸＹ用光源が、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向に光を射出するものであり、
    上記第１の反射面と上記第２の反射面が、Ｚ方向と平行なＺ方向軸を中心とし、上記固定支持基板側に向かうにつれて拡開する中心角が９０°の仮想円錐面の一部をなし、かつ、上記Ｚ方向軸を挟んで対向する第１の反射曲面と第２の反射曲面であるステージ装置。
11. 請求項８から１０のいずれか１項記載のステージ装置において、
    上記ＸＹ用受光部材が２次元ＰＳＤであるステージ装置。
12. 請求項１から１１のいずれか１項記載のステージ装置において、
    上記Ｘ用光源と上記Ｙ用光源と上記ＸＹ用光源のいずれかがＬＥＤまたはＬＤであるステージ装置。
13. 請求項１から１２のいずれか１項記載のステージ装置において、
    上記ＸＹ移動部材を上記固定支持基板に対して、Ｘ方向とＹ方向にそれぞれ相対移動させるＸ方向駆動装置及びＹ方向駆動装置と、を備えるステージ装置。
14. 請求項１３記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
    上記ステージ装置を内蔵するカメラと、
    上記ＸＹ移動部材と一緒に移動する、前面に結像面を有する撮像素子と、
    上記カメラの光軸のＸ方向及びＹ方向の角度振れ量を検出する角度振れ量検出手段と、
    該角度振れ量検出手段が検出した角度振れ量と、上記Ｘ方向位置検出手段、上記Ｙ方向位置検出手段、またはＸＹ方向位置検出手段の検出量との差が小さくなるように上記Ｘ方向駆動装置とＹ方向駆動装置を駆動する制御手段と、
    を備えるステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置。
15. 請求項１３記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
    上記ステージ装置を内蔵するカメラと、
    上記ＸＹ移動部材と一緒に移動する、手振れを補正するための補正レンズと、
    上記カメラの光軸のＸ方向及びＹ方向の角度振れ量を検出する角度振れ量検出手段と、
    該角度振れ量検出手段が検出した角度振れ量と、上記Ｘ方向位置検出手段、上記Ｙ方向位置検出手段、またはＸＹ方向位置検出手段の検出量との差が小さくなるように上記Ｘ方向駆動装置とＹ方向駆動装置を駆動する制御手段と、
    を備えるステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置。
    
    

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