JP2008275399A - プローブユニットおよび検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のピンプローブ12と、プロービング対象体における仮想直線(一例として、二点鎖線Z1,Z2)上に各ピンプローブ12を所定間隔でプロービング可能に各ピンプローブ12を保持するベース部11(保持部)とを備え、ベース部11は、隣り合うピンプローブ12の間の仮想直線と平行な向きの長さ(長さLa,Lm等)がピンプローブ12の先端部Paからベース部11側に向かうほど徐々に短くなるように(長さLaよりも長さLmの方が短くなるように)各ピンプローブ12を保持する。
【選択図】図2
Description
2 移動機構
3 エアポンプ
4 測定部
5 制御部
10,10A プローブユニット
11 ベース部
12,12A〜12C ピンプローブ
22 プローブ本体
L1,L2,La,Lm,Ln1,Ln2 長さ
Pa 先端部
Pb 後端部
Pm 先端部側所定部位
Pn1,Pn2 後端部側所定部位
Claims (3)
- 複数のピン状のプローブと、プロービング対象体における仮想直線上に前記各プローブを所定間隔でプロービング可能に当該各プローブを保持する保持部とを備え、
前記保持部は、隣り合う前記プローブの間の前記仮想直線と平行な向きの長さが当該プローブの先端部から当該保持部側に向かうほど徐々に短くなるように当該各プローブを保持するプローブユニット。 - 前記保持部は、前記各プローブの後端部が突出し、かつ、隣り合う当該プローブの間の前記仮想直線と平行な向きの長さが当該後端部側において当該後端部に向かうほど徐々に長くなるように当該各プローブを保持する請求項1記載のプローブユニット。
- 請求項1または2記載のプローブユニットと、前記プローブユニットを移動させる移動機構と、当該移動機構による前記プローブユニットの移動を制御する制御部とを備え、前記プローブユニットにおける前記各プローブを前記プロービング対象体にプロービングして当該プロービング対象体を電気的に検査可能に構成されている検査装置。
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JP2016057296A (ja) * | 2014-09-10 | 2016-04-21 | 矢崎総業株式会社 | 導通検査治具、導通検査装置及び導通検査方法 |
JP2019052996A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 日本電産リード株式会社 | 接触端子、検査治具、及び検査装置 |
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JPH0815319A (ja) * | 1994-06-29 | 1996-01-19 | Hioki Ee Corp | X−y方式インサーキットテスタのz軸ユニットに備える多ピンプローブユニット |
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