JP4897558B2 - プローブユニットおよび検査装置 - Google Patents
プローブユニットおよび検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4897558B2 JP4897558B2 JP2007117813A JP2007117813A JP4897558B2 JP 4897558 B2 JP4897558 B2 JP 4897558B2 JP 2007117813 A JP2007117813 A JP 2007117813A JP 2007117813 A JP2007117813 A JP 2007117813A JP 4897558 B2 JP4897558 B2 JP 4897558B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- pin
- unit
- probe unit
- probes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
2 移動機構
3 エアポンプ
4 測定部
5 制御部
10,10A プローブユニット
11 ベース部
12,12A〜12C ピンプローブ
22 プローブ本体
L1,L2,La,Lm,Ln1,Ln2 長さ
Pa 先端部
Pb 後端部
Pm 先端部側所定部位
Pn1,Pn2 後端部側所定部位
Claims (3)
- 複数のピン状のプローブと、プロービング対象体における仮想直線上に前記各プローブを所定間隔でプロービング可能に当該各プローブを保持する保持部とを備えて、当該保持部からの前記各プローブの先端部側の部位の突出量を調節可能に構成されたプローブユニットであって、
前記保持部は、隣り合う前記プローブの間の前記仮想直線と平行な向きの長さが当該プローブの先端部から当該保持部側に向かうほど徐々に短くなるように当該各プローブを保持するプローブユニット。 - 前記保持部は、前記各プローブの後端部が突出し、かつ、隣り合う当該プローブの間の前記仮想直線と平行な向きの長さが当該後端部側において当該後端部に向かうほど徐々に長くなるように当該各プローブを保持する請求項1記載のプローブユニット。
- 請求項1または2記載のプローブユニットと、前記プローブユニットを移動させる移動機構と、当該移動機構による前記プローブユニットの移動を制御する制御部とを備え、前記プローブユニットにおける前記各プローブを前記プロービング対象体にプロービングして当該プロービング対象体を電気的に検査可能に構成されている検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007117813A JP4897558B2 (ja) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | プローブユニットおよび検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007117813A JP4897558B2 (ja) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | プローブユニットおよび検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008275399A JP2008275399A (ja) | 2008-11-13 |
JP4897558B2 true JP4897558B2 (ja) | 2012-03-14 |
Family
ID=40053532
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007117813A Expired - Fee Related JP4897558B2 (ja) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | プローブユニットおよび検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4897558B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6647821B2 (ja) * | 2014-09-10 | 2020-02-14 | 矢崎総業株式会社 | 導通検査治具、導通検査装置及び導通検査方法 |
JP7114866B2 (ja) * | 2017-09-19 | 2022-08-09 | 日本電産リード株式会社 | 接触端子、検査治具、及び検査装置 |
TWI718610B (zh) * | 2018-08-09 | 2021-02-11 | 日商歐姆龍股份有限公司 | 探針單元 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6446757A (en) * | 1988-07-15 | 1989-02-21 | Yamatoya Shokai | Highly advanced machine for photomechanical process |
JP3460860B2 (ja) * | 1994-06-29 | 2003-10-27 | 日置電機株式会社 | X−y方式インサーキットテスタのz軸ユニットに備える多ピンプローブユニット |
-
2007
- 2007-04-27 JP JP2007117813A patent/JP4897558B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008275399A (ja) | 2008-11-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5821642B2 (ja) | 検査治具 | |
US7772862B2 (en) | Alignment method, tip position detecting device and probe apparatus | |
JP4679244B2 (ja) | 測定用コンタクト端子、測定装置、プローブカードセット、およびウエハプローバ装置 | |
JP6515003B2 (ja) | インターフェース装置、インターフェースユニット、プローブ装置及び接続方法 | |
JP4897558B2 (ja) | プローブユニットおよび検査装置 | |
KR102366546B1 (ko) | 전기적 접촉자 및 전기적 접속장치 | |
KR102122325B1 (ko) | Ic 핸들러 | |
JP2009036532A (ja) | 検査冶具および検査装置 | |
US20090039908A1 (en) | Microstructure inspecting apparatus and microstructure inspecting method | |
JP2010107265A (ja) | データ生成装置およびデータ生成方法 | |
CN111474598B (zh) | 电子部件装载状态检测装置 | |
CN106664826A (zh) | 检查装置及方法和包括其的部件贴装系统及方法 | |
WO2009102029A1 (ja) | コンタクトプローブおよびプローブユニット | |
KR101192209B1 (ko) | 기판검사용 검사치구 | |
JP2007218850A (ja) | プローブピン、プローブカード、検査装置および検査装置の制御方法 | |
JP2013015422A (ja) | 配線検査治具及び配線検査装置 | |
JP2009008516A (ja) | 基板検査治具及び基板検査方法 | |
US20070224869A1 (en) | Testing device | |
US20060076968A1 (en) | Probe, printed circuit board testing device and printed circuit board testing method | |
JP2007178311A (ja) | プローブ | |
JP2010159978A (ja) | 基板検査装置 | |
JP2002048815A (ja) | プローブヘッド | |
JP2008191081A (ja) | コンタクトプローブ | |
JP2002005959A (ja) | 同軸型コンタクトプローブ及び多点測定用コンタクトプローブ | |
JP3859095B2 (ja) | 多ピンプローブユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100412 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110817 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110930 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111220 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111222 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4897558 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150106 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |