JP2008275384A - 傾斜角センサ装置、及び傾斜角センサ装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】信頼性を向上することが可能な傾斜角センサ装置、及び傾斜角センサ装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】傾斜角センサ装置1は、上面に共通電極22を有する下部電極層2と、下面に対向電極32,33を有する上部電極層3とにより、スリット41を有するスペーサ4が挟み込まれた三層構造をなしている。そして、下部電極層2と上部電極層3とにより閉塞されたスリット41をキャビティ5として、そこにはその容積の一部を占めるように静電容量媒体6が注入され、これにより共通電極22及び対向電極32,33が静電容量媒体6に浸漬されている。そして、スペーサ4(エポキシ樹脂)の上面と上部電極層3の接合面部34(銅)の下面とは、接着剤が用いられることなく直接接合されている。
【選択図】図1
【解決手段】傾斜角センサ装置1は、上面に共通電極22を有する下部電極層2と、下面に対向電極32,33を有する上部電極層3とにより、スリット41を有するスペーサ4が挟み込まれた三層構造をなしている。そして、下部電極層2と上部電極層3とにより閉塞されたスリット41をキャビティ5として、そこにはその容積の一部を占めるように静電容量媒体6が注入され、これにより共通電極22及び対向電極32,33が静電容量媒体6に浸漬されている。そして、スペーサ4(エポキシ樹脂)の上面と上部電極層3の接合面部34(銅)の下面とは、接着剤が用いられることなく直接接合されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、傾斜角度を検出する傾斜角センサ装置、及び傾斜角センサ装置の製造方法に関する。
特許文献1には、いわゆるMEMS技術を用いることによって、それまでの傾斜角センサ装置と比較して体積が数十分の一〜数百分の一以下という超小型化が実現された静電容量式の傾斜角センサ装置が開示されている。
こうした傾斜角センサ装置の基本構造について説明すると、図1に示すように、傾斜角センサ装置1は、下部電極層2と上部電極層3とによりスペーサ4が挟み込まれた三層構造をなしている。
下部電極層2は、シリコンよりなる下側基板21、その下側基板21の上面全体に配置された共通電極22を備えている。尚、共通電極22は銅よりなる。
上部電極層3は、ガラスエポキシ樹脂よりなる上側基板31、その上側基板31の下面中央部に離間配置されるとともに、それぞれ半割状をなす一対の対向電極32,33、それら対向電極32,33を取り囲むように配置された接合面部34を備えている。尚、対向電極32,33及び接合面部34はいずれも銅よりなる。
上部電極層3は、ガラスエポキシ樹脂よりなる上側基板31、その上側基板31の下面中央部に離間配置されるとともに、それぞれ半割状をなす一対の対向電極32,33、それら対向電極32,33を取り囲むように配置された接合面部34を備えている。尚、対向電極32,33及び接合面部34はいずれも銅よりなる。
エポキシ樹脂よりなるスペーサ4の中央部には、スリット41が形成されている。
そして、スリット41の下側開口部が下部電極層2の上面により閉塞されるとともに、スリット41の上側開口部が上部電極層3の下面により閉塞され、これにより傾斜角センサ装置1にはキャビティ5が形成されている。そして、このキャビティ5には、絶縁体よりなる液状の基剤に高い誘電率を有する微粒子が混入された静電容量媒体6が、キャビティ5の容積の約半分を占めるように注入されている。尚、静電容量媒体6が外部に漏れ出ないように、上部電極層3には、エポキシ樹脂よりなる封止剤が施されている。
そして、スリット41の下側開口部が下部電極層2の上面により閉塞されるとともに、スリット41の上側開口部が上部電極層3の下面により閉塞され、これにより傾斜角センサ装置1にはキャビティ5が形成されている。そして、このキャビティ5には、絶縁体よりなる液状の基剤に高い誘電率を有する微粒子が混入された静電容量媒体6が、キャビティ5の容積の約半分を占めるように注入されている。尚、静電容量媒体6が外部に漏れ出ないように、上部電極層3には、エポキシ樹脂よりなる封止剤が施されている。
そして、このようにして共通電極22及び対向電極32,33が静電容量媒体6に浸漬されると、共通電極22と対向電極32との間に静電容量媒体6が挟まれてなる第1のコンデンサが構成されるとともに、共通電極22と対向電極33との間に静電容量媒体6が挟まれてなる第2のコンデンサが構成される。
次いで、こうした傾斜角センサ装置1の作用について説明すると、図2に示すように、傾斜角センサ装置1が水平状態に置かれているとき、第1のコンデンサの静電容量と第2のコンデンサの静電容量とが同一となる。一方、図3に示すように、傾斜角センサ装置1が傾斜状態に置かれているとき、第1のコンデンサの静電容量と第2のコンデンサの静電容量との間に差が生じる。そして、傾斜角センサ装置1は、このような静電容量の差を指標として傾斜角度を検出できるようになっている。
特開2005−156532号公報
こうした傾斜角センサ装置1を製造する場合、接着剤を用いてスペーサ4の上面に上部電極層3を接合することが考えられる。ここで注意すべきは、接着剤の量が多過ぎると、それが接合面から漏れ出てキャビティ5の一部を埋めてしまう虞があるとともに、そうしたことを回避しようとする余り、逆に接着剤の量を減らし過ぎると、今度はスペーサ4と上部電極層3との間に隙間ができてしまい、そこから静電容量媒体6が漏れ出す虞が出てくる。
いずれにしろ、各コンデンサの静電容量に影響が及ぶことから、接着剤の使用量の管理も含めて、信頼性の観点から改良の余地があった。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、その目的は、信頼性を向上することが可能な傾斜角センサ装置、及び傾斜角センサ装置の製造方法を提供することにある。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、その目的は、信頼性を向上することが可能な傾斜角センサ装置、及び傾斜角センサ装置の製造方法を提供することにある。
上記の目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、上面に第1の電極を有する下部電極層と、下面に第2の電極を有する上部電極層とにより、スリットを有するスペーサが挟み込まれた三層構造をなし、前記下部電極層と前記上部電極層とにより閉塞された前記スリットをキャビティとして、そこにはその容積の一部を占めるように静電容量媒体が注入され、これにより前記第1の電極及び前記第2の電極が前記静電容量媒体に浸漬されて、前記第1の電極と前記第2の電極との間に静電容量媒体が挟まれてなるコンデンサが構成され、当該傾斜角センサ装置が水平状態に置かれているときと当該傾斜角センサ装置が傾斜状態に置かれているときとで前記コンデンサの静電容量に変化が生じ、前記コンデンサの静電容量を指標として傾斜角度を検出する傾斜角センサ装置において、前記スペーサと前記上部電極層とが直接接合されていることをその要旨としている。
同構成によると、接着剤が用いられることなくスペーサと上部電極層とが直接接合されていることから、接着剤の多少がコンデンサの静電容量に影響を及ぼしてしまうといった心配をしなくてもよい。従って、信頼性を向上することができる。
請求項2に記載の発明は、上面に第1の電極を有する下部電極層と、下面に第2の電極を有する上部電極層とにより、スリットを有するスペーサが挟み込まれた三層構造をなし、前記下部電極層と前記上部電極層とにより閉塞された前記スリットをキャビティとして、そこにはその容積の一部を占めるように静電容量媒体が注入され、これにより前記第1の電極及び前記第2の電極が前記静電容量媒体に浸漬されて、前記第1の電極と前記第2の電極との間に静電容量媒体が挟まれてなるコンデンサが構成され、当該傾斜角センサ装置が水平状態に置かれているときと当該傾斜角センサ装置が傾斜状態に置かれているときとで前記コンデンサの静電容量に変化が生じ、前記コンデンサの静電容量を指標として傾斜角度を検出する傾斜角センサ装置の製造方法において、前記下部電極層の上面に前記スペーサを形成するスペーサ形成工程と、前記スペーサの上面に前記上部電極層を接合する接合工程と、前記キャビティ内に前記静電容量媒体を注入する媒体注入工程とを備え、前記接合工程では、前記スペーサと前記上部電極層とが直接接合されることをその要旨としている。
同構成によると、接着剤が用いられることなくスペーサと上部電極層とが直接接合されることから、接着剤の多少がコンデンサの静電容量に影響を及ぼしてしまうといった心配をしなくてもよい。従って、信頼性を向上することができる。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の傾斜角センサ装置の製造方法において、前記接合工程では、親水化処理が施された前記スペーサの上面と、酸化膜が除去された前記上部電極層の下面とを密着させて加圧しながら前記スペーサの軟化点温度よりも低い温度で加熱することをその要旨としている。
同構成によると、加熱時の温度はスペーサの軟化点温度よりも低いので、スペーサが熱により変形することが防止される。従って、キャビティが設計通りの形状となり、よって信頼性を向上することができる。
本発明は、以上のように構成されているため、次のような効果を奏する。
本発明によれば、信頼性を向上することができる。
本発明によれば、信頼性を向上することができる。
以下、本発明を具体化した一実施形態について説明する。尚、本実施形態の傾斜角センサ装置は、その基本構造が図1に示される傾斜角センサ装置1のそれと同様であるとともに、その作用が図2及び図3に示される傾斜角センサ装置1のそれと同様であるため、ここではこれらの説明を割愛する。
早速、本実施形態の傾斜角センサ装置1の製造方法について説明する。
図4(a)に示されるスペーサ形成工程では、紫外線リソグラフィにより下部電極層2の上面にスペーサ4が形成される。即ち、共通電極22の上面を溶融状態のエポキシ樹脂で覆うとともに、後にスリット41となる部分にマスクをかけ、その上方から紫外線を照射する。すると、スリットの形成に用いているエポキシ樹脂は紫外線硬化樹脂であることから、マスクがかけられていない部分のみに紫外線が当たることとなり、よってその部分のみが硬化するとともに、それ以外の部分はエポキシ樹脂が取り除かれて、そこにスリット41が形成されることとなる。尚、図4(a)では、スリット41の細かな形状が省略されている。
図4(a)に示されるスペーサ形成工程では、紫外線リソグラフィにより下部電極層2の上面にスペーサ4が形成される。即ち、共通電極22の上面を溶融状態のエポキシ樹脂で覆うとともに、後にスリット41となる部分にマスクをかけ、その上方から紫外線を照射する。すると、スリットの形成に用いているエポキシ樹脂は紫外線硬化樹脂であることから、マスクがかけられていない部分のみに紫外線が当たることとなり、よってその部分のみが硬化するとともに、それ以外の部分はエポキシ樹脂が取り除かれて、そこにスリット41が形成されることとなる。尚、図4(a)では、スリット41の細かな形状が省略されている。
次いで、図4(b)に示される接合工程では、スペーサ4の上面に上部電極層3が接合される。尚、この接合工程こそが本実施形態の特徴点であり、これの詳細については後述する。そして、この接合工程によりスペーサ4の上面に上部電極層3が接合されると、内部にキャビティ5が形成されることになる。
次いで、図4(c)に示される媒体注入工程では、キャビティ5内に静電容量媒体6が注入される。
次いで、図4(d)に示される封止工程では、上部電極層3において静電容量媒体6の注入口及び空気の抜き穴が封止剤7で塞がれる。
次いで、図4(d)に示される封止工程では、上部電極層3において静電容量媒体6の注入口及び空気の抜き穴が封止剤7で塞がれる。
その結果、図1に示される傾斜角センサ装置1が得られる。
次に、図4(b)に示される接合工程の詳細について説明する。
接合工程では、図5(a)に示すように、まず真空プラズマ中に水蒸気を混入し、それをイオン化させてスペーサ4の上面に照射する。すると、スペーサ4(エポキシ樹脂)の上面に水酸基が形成されてそこが親水化される。
次に、図4(b)に示される接合工程の詳細について説明する。
接合工程では、図5(a)に示すように、まず真空プラズマ中に水蒸気を混入し、それをイオン化させてスペーサ4の上面に照射する。すると、スペーサ4(エポキシ樹脂)の上面に水酸基が形成されてそこが親水化される。
一方、酸化膜除去剤を用いて上部電極層3の下面(特に接合面部34)の酸化膜を除去する。すると、接合面部34の形成材料として用いられている銅は非常に酸化力が強いことから、空気中の水蒸気と結合し易く、よって接合面部34の下面(後にスペーサ4に対する接合面となる)に水酸基が形成されるものと考えられる。
次いで、図5(b)に示すように、一方で親水化処理が施されたスペーサ4の上面と、他方で酸化膜が除去された上部電極層3の下面(接合面部34)とを密着させる。そして、さらに加圧することで密着度合が高まると、スペーサ4の上面の水酸基と上部電極層3の下面(接合面部34)の水酸基との間において水素結合が行われる。そして、この状態で今度はスペーサ4(エポキシ樹脂)の軟化点温度よりも低い摂氏100度、高くても摂氏150度未満の温度による低温加熱を行う。すると、上部電極層3の下面(接合面部34)、つまり銅に向かって水素拡散が起こり、これにより各水酸基の酸素原子は水素原子を失うとともに、これに代わって相手の酸素原子と結合されるものと考えられる。つまり、加圧しながら加熱することで、酸素の共有結合が促進されるものと考えられる。
その結果、接着剤を用いることなくスペーサ4と上部電極層3とが、水素結合による結合力よりも強い結合力を誇る酸素の共有結合により直接接合されて接合工程が完了する。
以上、詳述したように本実施形態によれば、次のような作用、効果を得ることができる。
以上、詳述したように本実施形態によれば、次のような作用、効果を得ることができる。
(1)傾斜角センサ装置1は、接着剤が用いられることなくスペーサ4と上部電極層3とが直接接合されていることから、接着剤の多少が各コンデンサの静電容量に影響を及ぼしてしまうといった心配をしなくてもよい。従って、信頼性を向上することができる。
(2)スペーサ4と上部電極層3とを直接接合するに際して、加熱時の温度はスペーサ4(エポキシ樹脂)の軟化点温度よりも低いので、スペーサ4が熱により変形することが防止される。従って、キャビティ5が設計通りの形状となり、よって信頼性を向上することができる。
(3)接着剤を用いることなく2つの材料(本実施形態ではエポキシ樹脂と銅)を接合することができる。
(4)接着剤がキャビティ5の一部を埋めてしまったり、スペーサ4と上部電極層3との隙間から静電容量媒体6が漏れ出したりすることがないので、傾斜角度に対する傾斜角センサ装置1の出力特性において、その直線性が改善される。つまり、キャビティ5の容積と静電容量媒体6の注入量とによって決まる直線(理論値)に近付けることができる。要するに、傾斜角センサ装置1毎のバラツキを抑制できる。
(4)接着剤がキャビティ5の一部を埋めてしまったり、スペーサ4と上部電極層3との隙間から静電容量媒体6が漏れ出したりすることがないので、傾斜角度に対する傾斜角センサ装置1の出力特性において、その直線性が改善される。つまり、キャビティ5の容積と静電容量媒体6の注入量とによって決まる直線(理論値)に近付けることができる。要するに、傾斜角センサ装置1毎のバラツキを抑制できる。
尚、本出願人による実験では、接着剤を用いた場合には、理論値に対して16%程度ばらついていたものが、今回の直接接合によると、理論値に対して3%程度のバラツキまで改善されたことが確認された。
(5)水素結合による直接接合から一歩踏み込んで、加熱を施すことにより酸素の共有結合による直接接合が生じるものと推測され、これは結合力が増すことに他ならず、よって静電容量媒体6を完全に封止できる。
(6)傾斜角センサ装置1は、電極の直径が約4mm、電極間の距離が約40μmと極めて小さなものであり、キャビティ5の容積や静電容量媒体6の量が少しでも設計値から異なると、各コンデンサの静電容量に大きな変化をもたらす。従って、可能な限りこうした変化がもたらされないようにするための策として、今回のような直接接合技術を用いることには大きな意義がある。
尚、前記実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・エポキシ樹脂に代えてポリイミド樹脂によりスペーサ4を構成し、それと上部電極層3の接合面部34(銅)とが直接接合された傾斜角センサ装置1に具体化してもよい。尚、本出願人は、こうした2つの材料を接着剤無しで直接接合できることを確認した。
・エポキシ樹脂に代えてポリイミド樹脂によりスペーサ4を構成し、それと上部電極層3の接合面部34(銅)とが直接接合された傾斜角センサ装置1に具体化してもよい。尚、本出願人は、こうした2つの材料を接着剤無しで直接接合できることを確認した。
・今回の技術を用いて直接接合できる2つの材料は、異種材料(例えば、エポキシ樹脂と銅)に限定されず、同種の材料(例えば、エポキシ樹脂同士或いは銅のような金属同士)であってもよいと考えられる。
・2つの材料を直接接合する場合、それらのうち軟化点温度が低い方の材料が熱により変形しないように、加熱時の温度を該低い方の材料の軟化点温度よりも低い温度に設定すればよい。つまり、材料に応じて加熱時の温度を設定すればよい。別の言い方をすると、スペーサ4の構造を維持できる温度による加熱を行えばよい。
・銅のように酸化力が強い材料は、酸化膜を除去することで空気中の水蒸気と結合し易いので、表面にいわば自然に水酸基が形成されるものと考えられる。従って、こうした材料が今回の直接接合に適していると考えられる。
・エポキシ樹脂のように酸化力が弱い材料については、プラズマ処理を施すことで、表面にいわば強制的に水酸基を形成してやれば、今回の直接接合に適した材料とすることができる。
1…傾斜角センサ装置、2…下部電極層、3…上部電極層、4…スペーサ、5…キャビティ、6…静電容量媒体、22…共通電極(第1の電極)、32,33…対向電極(第2の電極)、41…スリット。
Claims (3)
- 上面に第1の電極を有する下部電極層と、下面に第2の電極を有する上部電極層とにより、スリットを有するスペーサが挟み込まれた三層構造をなし、前記下部電極層と前記上部電極層とにより閉塞された前記スリットをキャビティとして、そこにはその容積の一部を占めるように静電容量媒体が注入され、これにより前記第1の電極及び前記第2の電極が前記静電容量媒体に浸漬されて、前記第1の電極と前記第2の電極との間に静電容量媒体が挟まれてなるコンデンサが構成され、当該傾斜角センサ装置が水平状態に置かれているときと当該傾斜角センサ装置が傾斜状態に置かれているときとで前記コンデンサの静電容量に変化が生じ、前記コンデンサの静電容量を指標として傾斜角度を検出する傾斜角センサ装置において、
前記スペーサと前記上部電極層とが直接接合されていることを特徴とする傾斜角センサ装置。 - 上面に第1の電極を有する下部電極層と、下面に第2の電極を有する上部電極層とにより、スリットを有するスペーサが挟み込まれた三層構造をなし、前記下部電極層と前記上部電極層とにより閉塞された前記スリットをキャビティとして、そこにはその容積の一部を占めるように静電容量媒体が注入され、これにより前記第1の電極及び前記第2の電極が前記静電容量媒体に浸漬されて、前記第1の電極と前記第2の電極との間に静電容量媒体が挟まれてなるコンデンサが構成され、当該傾斜角センサ装置が水平状態に置かれているときと当該傾斜角センサ装置が傾斜状態に置かれているときとで前記コンデンサの静電容量に変化が生じ、前記コンデンサの静電容量を指標として傾斜角度を検出する傾斜角センサ装置の製造方法において、
前記下部電極層の上面に前記スペーサを形成するスペーサ形成工程と、
前記スペーサの上面に前記上部電極層を接合する接合工程と、
前記キャビティ内に前記静電容量媒体を注入する媒体注入工程とを備え、
前記接合工程では、前記スペーサと前記上部電極層とが直接接合されることを特徴とする傾斜角センサ装置の製造方法。 - 請求項2に記載の傾斜角センサ装置の製造方法において、
前記接合工程では、親水化処理が施された前記スペーサの上面と、酸化膜が除去された前記上部電極層の下面とを密着させて加圧しながら前記スペーサの軟化点温度よりも低い温度で加熱することを特徴とする傾斜角センサ装置の製造方法。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100421 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130820 |