JP4383854B2 - マイクロメカニカルキャップ構造及び相応する製造方法 - Google Patents
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Description
発明の利点
請求項1に記載された本発明によるマイクロメカニカルキャップ構造、及び請求項7による相応する製造方法は、公知の解決手段に対して、以下の利点を有する。すなわち、キャップをコスト安に製造し、ボンディングプロセスを確実に実行することのできる方法及び装置が得られるという利点を有する。このために、ボンド枠外の金属−半導体−コンタクトが支持領域に配置され、持続的かつ安定した電気的接続が保証されるように、クッション性を有するよう設計される。
本発明の関連対象の有利な発展形態及び改善は従属請求項において示されている。
図面
本発明の実施例を図面に示し、以下の記述においてより詳細に説明する。
図2a,bは、本発明による製造方法の実施形態に従った本発明によるキャップ構造の侍史形態の製造手順を示している。
実施例の説明
図1a〜eには、本発明による製造方法の1つの実施形態によるキャップウェーハの製造手順が示されている。
Claims (7)
- マイクロメカニカルな機能構造(OMMS)を有する第1のウェーハ(SW)と、
上記のマイクロメカニカルな機能構造(OMMS)の上にキャップを形成する第2のウェーハ(1)とを備えたマイクロメカニカルキャップ構造において、
前記第1及び第2のウェーハ(SW,1)は、内部領域に、金属からなる支持領域と一方のウェーハの半導体材料からなる支持領域とから形成されたコンタクトを備えた支持構造(S,S’)を有しており、
前記第1及び第2のウェーハ(SW,1)は、縁部領域に、接続構造(BB,BB’)を有しており、
前記第2のウェーハ(1)の縁部領域は、前記第2のウェーハ(1)の表側の縁部領域(BB)を前記第1のウェーハ(SW)の表側の縁部領域(BB’)まで引き下ろすことにより、キャッピングされた状態では、前記第2のウェーハ(1)の内部領域に対してアーチ形を為す、ことを特徴とするマイクロメカニカルキャップ構造。 - 前記支持構造(S,S’)は、前記第2のウェーハ(1)上に中央支持領域(S)を有し、前記第1のウェーハ(SW)上には相応する対向中央支持領域(S’)を有している、請求項1記載のマイクロメカニカルキャップ構造。
- 前記接続構造(BB,BB’)は、第1のウェーハ(SW)の周縁領域(BB’)と、該周縁領域(BB’)にアノード接続された第2のウェーハ(1)の周縁領域(BB)を有する、請求項1又は2記載のマイクロメカニカルキャップ構造。
- 前記第2のウェーハ(1)は前記支持構造(S)の周りを囲むリング状の空洞(K1)を有する、請求項2又は3記載のマイクロメカニカルキャップ構造。
- 前記第2のウェーハ(1)は金属製のインレー構造(15’)を有しており、
前記インレー構造(15’)は、前記支持構造(S)と前記空洞(K1)を少なくとも部分的に覆い、前記縁部領域(BB)は残しておく、請求項4記載のマイクロメカニカルキャップ構造。 - 前記空洞(K1)は前記第2のウェーハ(1)の母材に設けられており、
前記空洞(K1)、前記縁部領域(BB)及び前記支持構造(S)にはガラス層が設けられている、請求項4又は5記載のマイクロメカニカルキャップ構造。 - 請求項1から6のいずれか1項記載のマイクロメカニカルキャップ構造を製造するための方法において、
前記支持構造(S,S’)が接触面を形成し、前記接続構造(BB,BB’)が整列するように、前記第1及び第2のウェーハ(1,SW)を積み重ね、
前記第1及び第2のウェーハ(1,SW)の間にアノード接着応力を印加することにより、前記第2のウェーハ(1)の表側の縁部領域(BB)を前記第1のウェーハ(SW)の表側の縁部領域(BB’)まで引き下ろし、これにより堅固な接続構造(BB,BB’)を形成する、ことを特徴とするマイクロメカニカルキャップ構造を製造するための方法。
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