JP2008270798A - 基板をインプリントおよび/または型押しするための装置 - Google Patents
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Abstract
−作業空間(13)内で基板(7)を収容するための収容ユニット(5)と、
−基板(7)を、型押し用および/または印刷用パンチ(10)に対して調整するための調整装置(2,3,4)と
を有する装置を提供すること。
【解決手段】可能な限り汚染のないプロセスとなるように、また可能な限り好都合な装置を製作することができるように、収容ユニット(5)が、環境から作業空間(13)を分離させるように設計されている。
【選択図】図1
Description
−作業空間(13)内で基板(7)を収容するための収容ユニット(5)と、
−基板(7)を、型押し用および/または印刷用パンチ(10)に対して調整するための調整装置(2,3,4)と
を有する装置に関する。
2 X方向の再配置ユニット
3 Y方向の再配置ユニット
4 回転ユニット
5 収容ユニット
5a 収容床部
5u 周囲肩部
5s 正面
6 開口
7 基板
7o 表面
8 調整プレート
8k 接触面
8s パンチ開口
9 上部構造
9s パンチ軸開口
10 パンチ
10s パンチ軸
11 パンチパッキング
12 制御装置
13 作業空間
14 流体供給ライン
15 真空ライン
16 空間
17 制御ライン
18 制御ライン
19 制御ライン
20 流体軸受け
21 空間
Fv 流体
Fz 流体
A 排流量
Z 供給量
Claims (9)
- 基板(7)、特に半導体基板またはウェーハをインプリントおよび/または型押しするための装置であって、
作業空間(13)内で前記基板(7)を収容するための収容ユニット(5)と、
前記基板(7)を、型押し用および/または印刷用パンチ(10)に対して調整するための調整装置(2,3,4)と
を有し、
前記収容ユニット(5)が、環境から前記作業空間(13)を分離させるように設計されていることを特徴とする装置。 - 前記分離作業空間(13)内の前記基板(7)および前記パンチ(10)に、定められた雰囲気、特に真空、または好ましくは清浄な空気を伴う部分真空が施されることが可能な、請求項1に記載の装置。
- 前記分離作業空間(13)が、前記パンチ(10)を収容する上部構造(9)、調整プレート(8)、および前記収容ユニット(5)によって構成される、請求項1または2に記載の装置。
- 前記調整装置(2,3,4)が、少なくとも部分的に、好ましくは完全に、前記作業空間(13)の外側に配置される、請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
- 流体(Fz)、特に空気、好ましくは清浄な空気が、少なくとも1つの流体供給ライン(14)によって供給される流体軸受け(20)が、前記収容ユニット(5)、特にトラフ状の前記収容ユニット(5)と前記調整プレート(8)との間に設けられる、請求項3に記載の装置。
- 前記収容ユニット(5)が、特に1つの部片として、収容床部(5a)および周囲肩部(5u)から形成され、前記周囲肩部(5u)が、前記収容床部(5a)から突き出す正面(5s)を呈し、前記正面(5s)が、前記調整プレート(8)の平坦な接触面(8k)と対向して位置付けられる、請求項2から5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記接触面(8k)が、前記収容床部(5a)と平行に、また前記正面(5s)とも平行に向けられる、または向けられることが可能な、請求項6に記載の装置。
- 前記作業空間(13)に、定められた真空が真空装置によって真空ライン(15)を経由して施されることが可能であり、前記作業空間(13)内にある流体(Fv)と、前記流体供給ライン(14)から前記作業空間に入る流体(Fz)もまた、前記真空ライン(15)を経由して排出されることが可能な、請求項1から7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記作業空間(13)内に定められた真空が設定された後、前記真空ライン(15)を経由して排出される流体(Fv)および流体(Fz)の排流量(A)が、前記流体供給ライン(14)を経由して供給される供給量(Z)に実質的に一致する、請求項1から8のいずれか一項に記載の装置。
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