JP2008270571A - 照明光学装置、引き回し光学系、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源から射出された光束を照明対象に導光する照明光学装置であって、前記光源と前記照明対象との間に配置された拡大結像光学系と、前記拡大結像光学系と前記照明対象との間に配置された縮小光学系とを有し、前記拡大結像光学系は、前記光源と前記照明対象との間に像面を形成するように構成されると共に、1倍よりも大きい倍率を有し、前記縮小光学系は、1倍未満の倍率を有することを特徴とする照明光学装置を提供する。
【選択図】図1
Description
(数1)
α2=α1/m1
(数2)
D2=m1・D1
1種類の引き回し光学系によって、幅広い装置レイアウトに対応するためには、照明効率や耐久性の問題から、装置レイアウトの変化(即ち、引き回し光学系の光路長の変化)ΔLに対して光束の径が1割程度しか変化しないことが要求される。光束の径が大きく変化すると、チャンバー30の開口32を小さく設定した場合に、引き回し光学系20の光路長(光源10からの光束をチャンバー30まで引き回す距離)が長くなるにつれて照明効率が低下してしまう。一方、照明効率が低下しないように、チャンバー30の開口32を大きく設定した場合には、光束の中心部のエネルギー密度が高くなってしまうため、かかる光束が入射する光学素子の耐久性が問題となってしまう。
(数3)
1.5÷0.002=0.75(m)
一方、ΔLの許容値を±5m(レンジ10m)にするためには、拡大結像光学系220は、以下の数式4及び数式5に示す条件を満足することが必要となる。従って、拡大結像光学系220の倍率m1は、2.5倍以上となる。
(数4)
(ΔL・tanα2)/D2≦0.1
(数5)
(ΔL・tan(α1/m1))/(m1・D1)≦0.1
引き回し光学系20において、光束の径の大きさが150mm以上になると、光束の径が大きすぎて現実的ではなく、例えば、ミラーの僅かな動きに対して敏感になってしまう。従って、引き回し光学系20の倍率m1は、10倍以下であることが好ましい。光源10から射出される光束の径は、必ずしも上述した通りの値ではない。但し、ΔLの許容値をできるだけ大きくし、且つ、光源10からチャンバー30まで現実的に光束を導光する(引き回す)ためには、拡大結像光学系220の倍率は、2.5倍以上10倍以下であることが好ましい。換言すれば、引き回し光学系20は、40mm以上150mm以下の大きさの径で光り束を導光する(引き回す)ことが好ましい。
20 引き回し光学系
220 拡大結像光学系
222及び224 レンズ
228 ビームエクスパンダー
228a シリンドリカル凹レンズ
228b シリンドリカル凸レンズ
240 縮小光学系
242及び244 レンズ
30 チャンバー
32 開口
40 照明光学系
42 照明光学系の入口
401 ビーム変換光学系
402 回折光学素子
403 集光光学系
404 プリズム
405 ズーム光学系
406 多光束発生部
407 コリメータレンズ
408 マスキングブレード
409及び410 結像光学系
50 レチクル
60 投影光学系
70 ウエハ
PS 所定面
IS 被照明面
Claims (9)
- 光源から射出された光束を照明対象に導光する照明光学装置であって、
前記光源と前記照明対象との間に配置された拡大結像光学系と、
前記拡大結像光学系と前記照明対象との間に配置された縮小光学系とを有し、
前記拡大結像光学系は、前記光源と前記照明対象との間に像面を形成するように構成されると共に、1倍よりも大きい倍率を有し、
前記縮小光学系は、1倍未満の倍率を有することを特徴とする照明光学装置。 - 光源から射出された光束を照明対象に導光する照明光学装置であって、
前記光源と前記照明対象との間の所定面と、前記光源とを光学的に共役に配置すると共に、前記光源から射出される光束を拡大して前記所定面に結像する拡大結像光学系と、
前記拡大結像光学系によって前記所定面に結像した光束を縮小して前記照明対象に導光する縮小光学系とを有することを特徴とする照明光学装置。 - 前記拡大結像光学系は、2.5倍以上の倍率を有することを特徴とする請求項1又は2記載の照明光学装置。
- 前記拡大結像光学系は、光束のテレセントリシティを調整するテレセン調整光学系を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の照明光学装置。
- 前記拡大結像光学系は、前記所定面における光束の断面形状を調整する断面調整光学系を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の照明光学装置。
- 前記断面調整光学系は、前記所定面における光束の縦横比を調整することを特徴とする請求項5記載の照明光学装置。
- 光源から射出される光束を照明対象に導光する引き回し光学系であって、
前記光源と前記照明対象との間に配置された拡大結像光学系を有し、
前記拡大結像光学系は、前記光源と前記照明対象との間に像面を形成するように構成されると共に、1倍よりも大きい倍率を有することを特徴とする引き回し光学系。 - 光源からの光束を用いてレチクルを照明する照明光学系と、
前記レチクルのパターンを基板に投影する投影光学系と、
前記光源からの光束を前記照明光学系に導光する引き回し光学系とを有し、
前記引き回し光学系は、
前記光源と前記照明光学系との間に配置された拡大結像光学系と、
前記拡大結像光学系と前記照明光学系との間に配置された縮小光学系とを有し、
前記拡大結像光学系は、前記光源と前記照明光学系との間に像面を形成するように構成されると共に、1倍よりも大きい倍率を有し、
前記縮小光学系は、1倍未満の倍率を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項8記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014511574A (ja) * | 2011-02-28 | 2014-05-15 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101961893B1 (ko) * | 2012-02-21 | 2019-03-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 노광기 및 노광기 제어 방법 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6380243A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-11 | Nikon Corp | 露光装置用照明光学装置 |
JPH096009A (ja) * | 1995-06-23 | 1997-01-10 | Nikon Corp | 露光装置 |
JPH0933852A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-07 | Nikon Corp | 照明装置および該装置を備えた投影露光装置 |
JPH10153866A (ja) * | 1996-11-22 | 1998-06-09 | Nikon Corp | 照明装置および該照明装置を備えた露光装置 |
JPH1187236A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-30 | Nikon Corp | 照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置 |
JP2005150541A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Nikon Corp | 照明光学装置、露光装置および露光方法 |
JP2005150542A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Nikon Corp | 照明光学装置、露光装置および露光方法 |
JP2005203760A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-28 | Nikon Corp | 照明光学装置、露光装置、および露光方法 |
JP2007085876A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Nikon Corp | 干渉計装置、露光装置、およびデバイスの製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50120358A (ja) * | 1974-03-04 | 1975-09-20 | ||
US4318594A (en) * | 1977-02-15 | 1982-03-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Beam shaping optical system |
JP2569711B2 (ja) * | 1988-04-07 | 1997-01-08 | 株式会社ニコン | 露光制御装置及び該装置による露光方法 |
US5986744A (en) * | 1995-02-17 | 1999-11-16 | Nikon Corporation | Projection optical system, illumination apparatus, and exposure apparatus |
US5724122A (en) * | 1995-05-24 | 1998-03-03 | Svg Lithography Systems, Inc. | Illumination system having spatially separate vertical and horizontal image planes for use in photolithography |
JPH10209028A (ja) * | 1997-01-16 | 1998-08-07 | Nikon Corp | 照明光学装置及び半導体素子の製造方法 |
US6727981B2 (en) * | 1999-07-19 | 2004-04-27 | Nikon Corporation | Illuminating optical apparatus and making method thereof, exposure apparatus and making method thereof, and device manufacturing method |
SG107560A1 (en) * | 2000-02-25 | 2004-12-29 | Nikon Corp | Exposure apparatus and exposure method capable of controlling illumination distribution |
US6842293B1 (en) * | 2002-04-13 | 2005-01-11 | Yusong Yin | Beam expander |
JP2004354909A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Orc Mfg Co Ltd | 投影露光装置および投影露光方法 |
US20060087634A1 (en) | 2004-10-25 | 2006-04-27 | Brown Jay M | Dynamic illumination uniformity and shape control for lithography |
-
2007
- 2007-04-20 JP JP2007112299A patent/JP2008270571A/ja active Pending
-
2008
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6380243A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-11 | Nikon Corp | 露光装置用照明光学装置 |
JPH096009A (ja) * | 1995-06-23 | 1997-01-10 | Nikon Corp | 露光装置 |
JPH0933852A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-07 | Nikon Corp | 照明装置および該装置を備えた投影露光装置 |
JPH10153866A (ja) * | 1996-11-22 | 1998-06-09 | Nikon Corp | 照明装置および該照明装置を備えた露光装置 |
JPH1187236A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-30 | Nikon Corp | 照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置 |
JP2005150541A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Nikon Corp | 照明光学装置、露光装置および露光方法 |
JP2005150542A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Nikon Corp | 照明光学装置、露光装置および露光方法 |
JP2005203760A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-28 | Nikon Corp | 照明光学装置、露光装置、および露光方法 |
JP2007085876A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Nikon Corp | 干渉計装置、露光装置、およびデバイスの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014511574A (ja) * | 2011-02-28 | 2014-05-15 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 |
US9280055B2 (en) | 2011-02-28 | 2016-03-08 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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TW200907603A (en) | 2009-02-16 |
KR101009076B1 (ko) | 2011-01-18 |
US20080259450A1 (en) | 2008-10-23 |
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