JP2014511574A - マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図2
Description
本明細書では「光」という用語をあらゆる電磁放射線、特に、可視光、UV光、DUV光、及びVUV光を表す上に使用する。
図」という名称のE.Delanoの論文、応用光学、1963年、第2巻第12号、1251〜1256ページに説明されている。
図1は、本発明による投影露光装置10の大幅に簡略化した斜視図である。装置10は、投影光ビーム(図示せず)を生成する照明系12を含む。照明系12は、図1に細線として略示す複数の小さい特徴部19によって形成されたパターン18を含むマスク16上に視野14を照明する。この実施形態において、照明視野14は、リングセグメントの形状を有する。しかし、他の形状、例えば、矩形の照明視野14も考えられている。
図2は、図1に示す照明系12を通る子午断面図である。明瞭化の目的で、図2の図は大幅に簡略化したものであり、正確な縮尺のものではない。これは、特に、異なる光学ユニットを1つ又は非常に少数の光学要素だけによって表すことを意味する。実際に、これらのユニットは、有意に多くのレンズ及び他の光学要素を含むことができる。
以下では、図3を参照して回折光学要素48の光学特性をより詳細に説明する。
光学結像系34は、光源30の光射出窓32を回折光学要素48の前の短い距離の位置に配置された像平面38上に結像する。像平面38に対して僅かにデフォーカスされた回折光学要素48の配列は、回折光学要素48上により均一な放射照度分布をもたらす。
以下では、光学結像系34の様々な代替の実施形態を図4から図11を参照して説明する。
30 光源
34 光学結像系
48 回折光学要素
84 瞳平面
PL 投影光
Claims (13)
- マイクロリソグラフィ投影露光装置(10)の照明系であって、
a)投影光(PL)を生成するように構成された光源(30)と、
b)瞳平面(84)と、
c)前記瞳平面(84)内の投影光(PL)の放射照度分布が、該投影光(PL)によって回折光学要素(48)上に照明される視野(96a、96b、96c)の位置に依存するように、前記光源(30)と該瞳平面(84)の間に配置された回折光学要素(48)と、
d)前記光源(30)と前記回折光学要素(48)の間に配置された光学結像系(34、134、234、334)と、
を含むことを特徴とする照明系。 - 前記光学結像系(34、134、234、334)は、物体平面(36)と該物体平面(36)が結像される像平面(38)とを有し、
前記光源(30)の光射出窓(32)が、前記物体平面(363)に配置され、
前記回折光学要素(48)は、前記像平面(38)に配置される、
ことを特徴とする請求項1に記載の照明系。 - 前記光学結像系(34、334)は、その物体側及びその像側でテレセントリックであることを特徴とする請求項1に記載の照明系。
- 前記光学結像系(34、334)は、屈折パワー又は反射パワーを有する少なくとも3つの光学要素(L1、L2、L3)を備えることを特徴とする請求項3に記載の照明系。
- 前記光学結像系(34、334)は、2つの正のレンズ(L1、L3)と該2つの正のレンズの間に配置された負のレンズ(L2)とを備えることを特徴とする請求項4に記載の照明系。
- 前記光源(30)と前記光学結像系(334)の間に配置された多重ビーム折り返し系(100)を備えることを特徴とする請求項3から請求項5のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記多重ビーム折り返し系(100)は、複数のプリズム(102、104、106)又は平面ミラーを備えることを特徴とする請求項6に記載の照明系。
- 少なくとも1つのプリズム(106)又はミラーが、案内レール(108)上にそれを該案内レールに沿った異なる位置に固定することができるように装着されることを特徴とする請求項7に記載の照明系。
- 前記光学結像系(34、134、234、334)は、|β|>1である横倍率βを有することを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記光学結像系(34、134、234、334)は、|β|>3である横倍率βを有することを特徴とする請求項9に記載の照明系。
- 前記光学結像系(334)と前記回折光学要素(48)の間に配置され、かつ該光学結像系(334)から射出する平行光ビームの直径を縮小するように構成されたビーム縮小ユニット(110)を備えることを特徴とする請求項10に記載の照明系。
- 前記光学結像系の全ての光学要素が、前記光源と照明系のビーム送出部との間に配置されることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記回折光学要素(48)を照明系(12)の光学軸(OA)と平行ではない変位方向(X)に沿って変位させるように構成された変位機構(56)を備えることを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の照明系。
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