JP2008270431A - 発光ダイオードの製造方法、半導体装置の製造方法、電子装置の製造方法および窒化物系iii−v族化合物半導体基板の製造方法 - Google Patents
発光ダイオードの製造方法、半導体装置の製造方法、電子装置の製造方法および窒化物系iii−v族化合物半導体基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008270431A JP2008270431A JP2007109637A JP2007109637A JP2008270431A JP 2008270431 A JP2008270431 A JP 2008270431A JP 2007109637 A JP2007109637 A JP 2007109637A JP 2007109637 A JP2007109637 A JP 2007109637A JP 2008270431 A JP2008270431 A JP 2008270431A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compound semiconductor
- nitride
- layer
- semiconductor layer
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Led Device Packages (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】サファイア基板などの基板10上にウエットエッチング可能な層、例えばZnO層11を形成し、その上に例えばSiO2 膜により複数の凸部12を形成する。凸部12の間の凹部13に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て窒化物系III−V族化合物半導体層15を成長させた後、この窒化物系III−V族化合物半導体層15から横方向成長を行う。凸部12の断面形状は例えば三角形または台形とする。この窒化物系III−V族化合物半導体15上に、活性層を含む窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させて発光ダイオード構造を形成した後、ZnO層11をウエットエッチングして除去することにより基板10を剥離する。
【選択図】図13
Description
この問題を回避するために、従来より、選択横方向成長による転位密度低減化技術が広く用いられている。この技術では、まずサファイア基板などの上にGaN系半導体をエピタキシャル成長させた後、結晶成長装置より基板を取り出し、そのGaN系半導体層上にSiO2 膜などからなる成長マスクを形成してからこの基板を再び結晶成長装置に戻し、この成長マスクを用いてGaN系半導体を再度エピタキシャル成長させる。
この技術によれば、上層のGaN系半導体層の転位密度を低減することができるが、2回のエピタキシャル成長が必要であるため、コスト高となっていた。
一方、サファイア基板の両面に酸化亜鉛(ZnO)からなる中間層を形成し、サファイア基板の両面に形成された中間層の上にIII族窒化物半導体からなる二つの半導体層を形成し、酸化亜鉛のみをエッチングする溶液を用いたウエットエッチングにより二つの中間層だけを除去することで、二つの半導体層をサファイア基板から剥離して、III族窒化物半導体からなる2枚の半導体を得る製造方法が提案されている(特許文献7参照。)。また、サファイア基板上の一部の領域にZnOを、他の部分に窒化アルミニウム(AlN)からなる中間層を形成し、その中間層の上にIII族窒化物半導体の複数の層からなる半導体レーザ素子層を形成し、酸化亜鉛のみをエッチングする溶液を用いたウエットエッチングによりZnOの中間層のみを除去して、サファイア基板と半導体レーザ素子層の最下層との間に間隙を形成し、半導体レーザ素子層をこの間隙を利用してへき開し、そのへき開面をレーザの共振器の鏡面とすることにより、III族窒化物半導体レーザを製造する方法が提案されている(特許文献8参照。)。また、基板上にZnOのようなウエットエッチング可能な第1層を形成し、この第1層上に、低温成長により形成した下層と、結晶性の良い第1の窒化ガリウム系化合物半導体からなる第2層とを形成し、その第2層の上に、第2層の露出部が散在するように、点状、ストライプ状または格子状の島状態に、窒化ガリウム系化合物半導体がその上にエピタキシャル成長しない第3層を形成し、第3層で覆われていない第2層の露出部を核としてエピタキシャル成長させ、第3の上部では、横方向にエピタキシャル成長させることで第2の窒化ガリウム系化合物半導体からなる第4層を形成し、第1層をエッチングする溶液を用いたウエットエッチングにより基板から剥離させて窒化ガリウム系化合物半導体基板を形成する方法が提案されている(特許文献9参照。)。
この発明が解決しようとする他の課題は、素子構造を構成する半導体層の結晶性の大幅な向上により特性が極めて良好で、一度のエピタキシャル成長により低コストで製造することができ、基板の凹凸加工も容易であり、さらに基板の剥離を容易に行うことができ、基板を再利用することができる発光ダイオード、半導体レーザ、トランジスタなどを含む半導体装置の製造方法を提供することである。
この発明が解決しようとする他の課題は、素子構造を構成する層の結晶性の大幅な向上により特性が極めて良好で、一度のエピタキシャル成長により低コストで製造することができ、基板の凹凸加工も容易であり、さらに基板の剥離を容易に行うことができ、基板を再利用することができる半導体装置やその他の装置を含む電子装置の製造方法を提供することである。
この発明が解決しようとするさらに他の課題は、窒化物系III−V族化合物半導体を用いた発光ダイオードなどの製造に用いて好適な窒化物系III−V族化合物半導体基板の製造方法を提供することである。
上記課題および他の課題は、添付図面を参照した本明細書の記述により明らかとなるであろう。
基板上にウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記ウエットエッチング可能な層上に複数の凸部を形成する工程と、
上記凸部の間の凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる工程と、
上記第1の窒化物系III−V族化合物半導体層から第2の窒化物系III−V族化合物半導体層を横方向成長させる工程と、
上記第2の窒化物系III−V族化合物半導体層上に第1の導電型の第3の窒化物系III−V族化合物半導体層、活性層および第2の導電型の第4の窒化物系III−V族化合物半導体層を順次成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層を除去する工程と
を有することを特徴とする発光ダイオードの製造方法である。
典型的には、第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる際に、凹部の底面との界面から基板の一主面に対して垂直方向に転位が発生し、この転位が上記の三角形状の断面形状となる状態の第1の窒化物系III−V族化合物半導体層の斜面またはその近傍に到達したとき、上記の一主面に平行な方向に、三角形状部から遠ざかるように屈曲する。ここで、三角形状の断面形状あるいは三角形状部における三角形状とは、正確な三角形だけでなく、例えば頂部が丸まったものなど、近似的に三角形とみなすことができるものも含むことを意味する(以下同様)。また、好適には、第1の窒化物系III−V族化合物半導体層の成長初期に、凹部の底面に複数の微小核が生成し、これらの微小核が成長し合体して行く過程で基板の凹部の底面との界面から基板の一主面に対して垂直方向に発生する転位が、上記の一主面に平行な方向に繰り返し屈曲される。こうすることで、第1の窒化物系III−V族化合物半導体層の成長時に上部に抜ける転位を少なくすることができる。
上述の凸部2の屈折率の最適範囲は、基板1の主面と凸部2の側面とのなす角度θ、凸部2の幅Wt 、凸部2の高さd、凹部6の幅Wg 、凸部2の平面形状、凸部2の二次元配列パターン、発光波長λなどによらず有効である。
酸化セリウム(CeO2 ) 2.20 550
酸化ハフニウム(HfO2 ) 1.95 550
五酸化タンタル(Ta2 O5 ) 2.16 550
酸化イットリウム(Y2 O3 ) 1.87 550
酸化亜鉛(ZnO) 2.10 550
酸化ジルコニウム(ZrO2 ) 2.05 550
斜方晶硫黄 2.01
タンタル酸リチウム(LiTaO3 ) 2.21 530
ニオブ酸リチウム(LiNbO3 ) 2.32(常光線) 530
ニオブ酸リチウム(LiNbO3 ) 2.24(異常光線) 530
酸窒化アルミニウム(AlON) 1.79 530
一酸化シリコン(SiO) 2.01 530
窒化シリコン(Si3 N4 ) 2.04 530
酸化アルミニウム(Al2 O3 ) 1.77 530
酸化ベリリウム(BeO) 1.72 530
酸化マグネシウム(MgO) 1.74 530
二酸化シリコン(SiO2 ) 1.46 530
フッ化リチウム(LiF) 1.39 530
フッ化カルシウム(CaF2 ) 1.44 530
フッ化マグネシウム(MgF2 ) 1.38 530
フッ化ナトリウム(NaF) 1.33 530
フッ化アルミニウム(AlF3 ) 1.38 550
フッ化セリウム(CeF3 ) 1.63 550
フッ化ランタン(LaF3 ) 1.59 550
フッ化ネオジム(NdF3 ) 1.61 550
第3の窒化物系III−V族化合物半導体層には、これと電気的に接続された状態で第1の導電型側の電極を形成する。同様に、第4の窒化物系III−V族化合物半導体層にも、これと電気的に接続された状態で第2の導電型側の電極を形成する。
なお、例えば、基板上に窒化物系III−V族化合物半導体層などの層を成長させたものを基板として用いる場合、凸部の材料はこの凸部の直下の層と異なる材料のものが用いられる。
必要に応じて、ウエットエッチング可能な層をウエットエッチングにより除去して基板を剥離した後、凸部をエッチング除去してもよい。
第1〜第5の窒化物系III−V族化合物半導体層および活性層を構成する窒化物系III−V族化合物半導体層の成長方法としては、例えば、有機金属化学気相成長(MOCVD)、ハイドライド気相エピタキシャル成長あるいはハライド気相エピタキシャル成長(HVPE)、分子線エピタキシー(MBE)などの各種のエピタキシャル成長法を用いることができる。
基板上にウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記ウエットエッチング可能な層上に複数の凸部を形成する工程と、
上記凸部の間の凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の半導体層を成長させる工程と、
上記第1の半導体層から第2の半導体層を横方向成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層を除去する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法である。
第2の発明においては、その性質に反しない限り、第1の発明に関連して説明したことが成立する。
基板上にウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記ウエットエッチング可能な層上に複数の凸部を形成する工程と、
上記凸部の間の凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の層を成長させる工程と、
上記第1の層から第2の層を横方向成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層を除去する工程と
を有することを特徴とする電子装置の製造方法である。
電子装置として発光ダイオードあるいは半導体レーザを含むものを用いることにより、発光ダイオードバックライト、発光ダイオード照明装置、発光ダイオードディスプレイなど、さらには発光ダイオードあるいは半導体レーザを光源とするプロジェクタあるいはリアプロジェクションテレビ、グレーティングライトバルブなどの電子機器を構成することができる。
基板上にウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記ウエットエッチング可能な層上に複数の凸部を形成する工程と、
上記凸部の間の凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる工程と、
上記第1の窒化物系III−V族化合物半導体層から第2の窒化物系III−V族化合物半導体層を横方向成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層を除去する工程と
を有することを特徴とする窒化物系III−V族化合物半導体基板の製造方法である。
基板上にこの基板と異なる材料からなる複数の凸部および少なくともこの凸部の間の凹部の底部上のウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる工程と、
上記第1の窒化物系III−V族化合物半導体層から第2の窒化物系III−V族化合物半導体層を横方向成長させる工程と、
上記第2の窒化物系III−V族化合物半導体層上に第1の導電型の第3の窒化物系III−V族化合物半導体層、活性層および第2の導電型の第4の窒化物系III−V族化合物半導体層を順次成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層を除去する工程と
を有することを特徴とする発光ダイオードの製造方法である。
基板上にこの基板と異なる材料からなる複数の凸部および少なくともこの凸部の間の凹部の底部上のウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる工程と、
上記第1の窒化物系III−V族化合物半導体層から第2の窒化物系III−V族化合物半導体層を横方向成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層を除去する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法である。
基板上にこの基板と異なる材料からなる複数の凸部および少なくともこの凸部の間の凹部の底部上のウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の層を成長させる工程と、
上記第1の層から第2の層を横方向成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層を除去する工程と
を有することを特徴とする電子装置の製造方法である。
基板上にこの基板と異なる材料からなる複数の凸部および少なくともこの凸部の間の凹部の底部上のウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる工程と、
上記第1の窒化物系III−V族化合物半導体層から第2の窒化物系III−V族化合物半導体層を横方向成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層を除去する工程と
を有することを特徴とする窒化物系III−V族化合物半導体基板の製造方法である。
第5〜第8の発明において、基板上に形成するウエットエッチング可能な層は、複数の凸部およびこの凸部の間の凹部の全面に形成するようにしてもよい。また、ウエットエッチング可能な層を凸部の間の凹部の底部上にのみ形成する場合、基板上への複数の凸部およびウエットエッチング可能な層の形成順序は問わず、基板上に複数の凸部を形成した後にこの凸部の間の凹部の底部にウエットエッチング可能な層を形成してもよいし、その逆であってもよい。
第5〜第8の発明においては、上記以外のことは、その性質に反しない限り、第1〜第4の発明に関連して説明したことが成立する。
より一般的には、第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を第1の半導体層あるいは第2の層、第2の窒化物系III−V族化合物半導体層を第2の半導体層あるいは第2の層と読み替えて上記と同様なことが成立する。
より一般的には、第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を第1の半導体層あるいは第1の層、第2の窒化物系III−V族化合物半導体層を第2の半導体層あるいは第2の層と読み替えて上記と同様な効果を得ることができる。
図10A〜C、図11A〜Cおよび図12〜図15はこの発明の第1の実施形態による発光ダイオードの製造方法を工程順に示す。この発光ダイオードは、GaNなどの窒化物系III−V族化合物半導体を用いたものである。
次に、成長条件を横方向成長が支配的となる条件に設定して成長を続けると、図11Bに示すように、窒化物系III−V族化合物半導体層15は、矢印で示すように横方向成長して断面形状が六角形状となる状態で凸部12の上に広がって行く。図11B中、点線は成長途中の成長界面を示す(以下同様)。
さらに横方向成長を続けると、図11Cに示すように、窒化物系III−V族化合物半導体層15はその厚さを増しながら成長し、遂には隣接する凹部13から成長した窒化物系III−V族化合物半導体層15同士が凸部12上で接触し、会合する。
引き続いて、図11Cに示すように、窒化物系III−V族化合物半導体層15をその表面が基板11の主面と平行な平坦面となるまで横方向成長させる。こうして成長された窒化物系III−V族化合物半導体層15は、凹部13の上の部分の転位密度が極めて低くなる。
なお、場合によっては、図10Cに示す状態から、図11Aに示す状態を経ないで、図11Bに示す状態に直接移ることも可能である。
次に、p型窒化物系III−V族化合物半導体層18上にp側電極19を形成する。p側電極19の材料としては、例えば、高反射率を有するオーミック金属を用いるのが好ましい。
この後、p型窒化物系III−V族化合物半導体層18のp型不純物を活性化するために、例えばN2 とO2 との混合ガス(組成は例えばN2 が99%、O2 が1%)の雰囲気中において550〜750℃(例えば、650℃)あるいは580〜620℃(例えば、600℃)の温度で熱処理を行う。ここで、例えば、N2 にO2 を混合することで活性化が起きやすくなる。また、例えば、O、Nと同様に電気陰性度の高いF、Clなどの原料としてハロゲン化窒素(NF3 、NCl3 など)をN2 またはN2 とO2 との混合ガス雰囲気に混合するようにしてもよい。この熱処理の時間は例えば5分〜2時間あるいは40分〜2時間、一般的には10〜60分程度である。熱処理の温度を比較的低くするのは、熱処理時の活性層17などの劣化を防止するためである。なお、この熱処理は、p型窒化物系III−V族化合物半導体層18をエピタキシャル成長させた後、p側電極19を形成する前に行ってもよい。
一方、図13に示すように、別途、支持基板21の一方の主面上に基板貼り合わせ用の金属膜22を形成したものを用意し、この支持基板21の金属膜22側を基板10上の金属膜20と貼り合わせる。この金属膜22は例えばAuからなるが、これに限定されるものではない。支持基板21は導電性、非導電性のいずれであってもよく、支持基板21が非導電性の場合は金属膜20、22を介して発光ダイオードに電流を流すことが可能な構造を支持基板21に持たせればよい。
こうしてZnO層11がエッチング除去されることにより、窒化物系III−V族化合物半導体層15から基板10が剥離される。
次に、この支持基板21上に発光ダイオード構造を形成する窒化物系III−V族化合物半導体層が形成されたものをスクライビングしてバーを形成し、このバーをスクライビングすることでチップ化する。
以上により、目的とする発光ダイオードが製造される。この発光ダイオードは垂直電流注入型である。
2d≧Wg tanα
例えば、Wg =2.1μm、α=59°の場合にはd≧1.75μm、Wg =2μm、α=59°の場合にはd≧1.66μm、Wg =1.5μm、α=59°の場合にはd≧1.245μm、Wg =1.2μm、α=59°の場合にはd≧0.966μmとする。ただし、いずれの場合もd<5μmとするのが望ましい。
Ga(CH3 )3 (g)+3/2H2 (g)→Ga(g)+3CH4 (g)
NH3 (g)→(1−α)NH3 (g)+α/2N2 (g)+3α/2H2 (g)
Ga(g)+NH3 (g)=GaN(s)+3/2H2 (g)
なる反応式で表現されるように、NH3 とGaとが直接反応することで起きる。この際、H2 ガスが発生するが、このH2 ガスは結晶成長とは逆の作用、すなわちエッチング作用をする。図10BおよびCならびに図11Aに示す工程では、従来の平坦な基板上でのGaNの成長では行わない条件、すなわちエッチング作用を高め、成長しにくい条件(V/III比を高める)を用いることにより、凸部12での成長を抑制する。一方、凹部13の内部では、このエッチング作用が弱まるので、結晶成長が起きる。さらに、従来は、成長結晶表面の平坦性を向上させるため、横方向成長の度合いが高まる条件(より高温)で成長させるが、この第1の実施形態においては、貫通転位を基板10の主面に平行な方向に屈曲させることにより低減させたり、より早期に凹部13の内部を窒化物系III−V族化合物半導体層15で埋めたりする目的で、既に述べたように従来より低温(例えば、1050±50℃)で成長させる。
また、図20において、凹部13のZnO層11と接する窒化物系III−V族化合物半導体層15の高転位密度で結晶性が悪い領域の平均厚さは、凸部12と接する窒化物系III−V族化合物半導体層15の高転位密度で結晶性が悪い領域の平均厚さの1.5倍程度である。これは、凸部12上では窒化物系III−V族化合物半導体層15が横方向成長することを反映した結果である。
図21に、凸部12が図16に示す平面形状を有する場合の貫通転位24の分布を示す。また、図22に、凸部12が図17に示す平面形状を有する場合の貫通転位24の分布を示す。
成長を開始すると、図23Aに示すように、まず凹部13の底面に窒化物系III−V族化合物半導体からなる微小核14が複数生成する。これらの微小核14では、ZnO層11との界面から垂直方向に転位(点線で示す)が伝播し、この転位は微小核14の側面から抜ける。成長を続けると、図23BおよびCに示すように、微小核14の成長および合体の過程を経て窒化物系III−V族化合物半導体層15が成長する。これらの微小核14の成長および合体の過程で、基板10の主面に平行な方向に転位の屈曲が起きる結果、上部に抜ける転位が少なくなる。さらに成長を続けると、図23Dに示すように、窒化物系III−V族化合物半導体層15は、凹部13の底面を底辺とする二等辺三角形状の断面形状になる。この時点では、窒化物系III−V族化合物半導体層15から上部に抜ける転位は、大幅に減少している。次に、図23Eに示すように、窒化物系III−V族化合物半導体層15を横方向成長させる。この過程では、凹部13の底面を底辺とする二等辺三角形状の断面形状を有する窒化物系III−V族化合物半導体層15の側面に抜けた転位は、凸部12より低い位置にあるものは基板10の主面に平行に凸部12の側面まで延伸し続けて消失し、凸部12より高い位置にあるものは基板10の主面に平行に延伸して横方向成長した窒化物系III−V族化合物半導体層15の側面に抜ける。窒化物系III−V族化合物半導体層15の横方向成長をさらに続けると、図23Fに示すように、凸部12の上でその両側から成長した窒化物系III−V族化合物半導体層15同士が会合し、やがては窒化物系III−V族化合物半導体層15の表面が基板10の主面と平行な平坦面となる。窒化物系III−V族化合物半導体層15中の転位は、凸部12上で会合したときに上方(基板10の主面に垂直な方向)に屈曲し、貫通転位となる。
参考のために、基板10上にZnO層11を形成しない場合において、図17Aに示すように凹部13の底面に微小核14が生成された状態の断面TEM写真を図25A〜Cに示す。図25BおよびCは図25Aの楕円で囲んだ部分を拡大した断面TEM写真である。図25A〜Cより、成長初期に微小核14が生成されている様子がよく分かる。
図26A〜Cは、窒化物系III−V族化合物半導体層15の成長初期に微小核14が生成しない場合における図23D〜Fに対応する状態を示す。図26Aに示すように、成長初期に微小核14が生成しない場合には、窒化物系III−V族化合物半導体層15が凹部13の底面を底辺とする二等辺三角形状の断面形状を有するように成長した時点では凹部13の底面との界面から上方に延伸した転位のみ存在するが、この転位密度は一般に図23Dの場合に比べて多い。成長を続けると、図26Bに示すように、凹部13の底面を底辺とする二等辺三角形状の断面形状を有する窒化物系III−V族化合物半導体層15の側面に抜けた転位は、凸部12より低い位置にあるものは基板11の主面に平行に凸部12の側面まで延伸し続けて消失し、凸部12より高い位置にあるものは基板10の主面に平行に延伸して横方向成長した窒化物系III−V族化合物半導体層15の側面に抜ける。窒化物系III−V族化合物半導体層15の横方向成長をさらに続けると、図26Cに示すように、凸部12の上でその両側から成長した窒化物系III−V族化合物半導体層15同士が会合し、やがて窒化物系III−V族化合物半導体層15の表面が基板11の主面と平行な平坦面となる。窒化物系III−V族化合物半導体層15中の転位は、凸部12上で会合したときに上方に屈曲し、貫通転位24となる。この貫通転位24の密度は、十分に低いものの、成長初期に凹部13の底面に微小核14が生成する場合に比べると高くなる。これは、図27AおよびBに示すように、微小核14を生成しない場合には、基板11との界面から発生する転位は、凹部13の底面を底辺とする二等辺三角状部の斜面に到達したときに一回だけ水平方向に屈曲するためである。すなわち、この場合には、微小核14の生成、成長および合体の過程で転位が束ねられる効果が得られない。
加えて、この窒化物系III−V族化合物半導体系発光ダイオードの製造に必要なエピタキシャル成長は1回で済み、しかも成長マスクが不要であるだけでなく、凸部12はZnO層11上に凸部12の材料となる膜、例えばSiO2 膜、SiON膜、SiN膜、CrN膜、CrON膜などの膜を形成し、これをエッチング、粉末ブラスト法、サンドブラスト法などにより加工するだけで形成することができるので、凹凸加工が困難なサファイア基板などの基板10の加工が不要であるため、製造工程が簡単であり、低コストで垂直電流注入型の窒化物系III−V族化合物半導体系発光ダイオードを製造することができる。さらに、ZnO層11をウエットエッチングにより除去することにより基板10を容易に剥離することができるため、必要に応じて鏡面研磨を行って基板10を繰り返して再利用することができ、これによっても発光ダイオードの製造コストの低減を図ることができる。
この第2の実施形態においては、凹部13の底面を底辺とする二等辺三角形状の断面形状となるように窒化物系III−V族化合物半導体層15が成長した時点で、この窒化物系III−V族化合物半導体層15の高さが凸部12の高さ以下になるように凸部12の高さが選ばれている。一例として図28AおよびBに、窒化物系III−V族化合物半導体層15の高さが凸部12の高さと等しい場合を示す。このようにすることにより、ZnO層11との界面から発生し、凹部13の底面を底辺とする二等辺三角形状の断面形状を有する窒化物系III−V族化合物半導体層15の側面に抜けた転位は全て、基板10の主面に平行に凸部12の側面まで延伸し続けて消失するため、窒化物系III−V族化合物半導体層15の表面に抜ける貫通転位24は激減し、実質的に貫通転位密度をゼロとすることができる。
上記以外のことは第1の実施形態と同様である。
この第3の実施形態においては、第1の実施形態と同様にしてp側電極19まで形成した後、ZnO層11をウエットエッチングによりエッチング除去することにより基板10を除去し、n型の窒化物系III−V族化合物半導体層15の裏面を露出させる。そして、図29に示すように、この窒化物系III−V族化合物半導体層15の裏面にn側電極23を形成する。
ここで、p側電極19およびn側電極23を高反射電極あるいは透明電極とすることにより、光の取り出し方向を選択することができる。
上記以外のことは第1の実施形態と同様である。
この第3の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
この第4の実施形態においては、第1の実施形態と同様にして基板10を剥離した後、凸部12をエッチング除去する。次に、図30に示すように、この凸部12があった部分に活性層17からの光を大きく吸収しない誘電体25を埋め込んで表面を平坦化した後、この面に透明電極材料からなるn側電極23を形成する。誘電体25としては、好適には屈折率が1.0〜2.3のもの、例えばSiO2 、SiN、SiONなどが用いられる。
上記以外のことは第1の実施形態と同様である。
この第4の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
この第5の実施形態においては、図31Aに示すように、基板10上にZnO層11を形成した後、このZnO層11上に断面形状が台形状の凸部12を所定の平面形状で周期的に形成する。凸部12の間には逆台形状の断面形状を有する凹部13が形成される。
次に、第1の実施形態と同様にして窒化物系III−V族化合物半導体層15を成長させる。具体的には、凹部13の底面上の微小核14の生成、成長および合体の過程を経て図31Bに示すように、凹部13の底面を底辺とする二等辺三角形状の断面形状を有する窒化物系III−V族化合物半導体層15を成長させ、さらに横方向成長を経て図31Cに示すように、平坦な表面を有し、貫通転位密度が低い窒化物系III−V族化合物半導体層15を成長させる。
次に、第1の実施形態と同様に工程を進めて、図32に示すように、目的とする窒化物系III−V族化合物半導体系発光ダイオードを製造する。
上記以外のことは第1の実施形態と同様である。
図33に、窒化物系III−V族化合物半導体層15の結晶欠陥分布を模式的に示す。
この第5の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
この第6の実施形態においては、第6の実施形態と同様にしてp側電極19まで形成した後、ZnO層11をウエットエッチングによりエッチング除去することにより基板10を除去し、n型の窒化物系III−V族化合物半導体層15の裏面を露出させる。そして、図34に示すように、この窒化物系III−V族化合物半導体層15の裏面にn側電極23を形成する。
ここで、p側電極19およびn側電極23を高反射電極あるいは透明電極とすることにより、光の取り出し方向を選択することができる。
上記以外のことは第1および第5の実施形態と同様である。
この第6の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
この第7の実施形態においては、第1の実施形態と同様にして基板10を剥離した後、凸部12をエッチング除去する。次に、図35に示すように、この凸部12があった部分に活性層17からの光を大きく吸収しない誘電体25を埋め込んで表面を平坦化した後、この面に透明電極材料からなるn側電極23を形成する。誘電体25としては、好適には屈折率が1.0〜2.3のもの、例えばSiO2 、SiN、SiONなどが用いられる。
上記以外のことは第1および第5の実施形態と同様である。
この第7の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
この第8の実施形態においては、図36に示すように、基板10上に断面形状が台形状の凸部12を所定の平面形状で周期的に形成する。この凸部12の平面形状は、例えば図16に示すようにストライプ形状とする。凸部12の間隔の一例を挙げると約1.5μmである。凸部12の間には逆台形状の断面形状を有する凹部13が形成される。次に、凹部13の底部上にZnO層11をストライプ形状に形成する。このストライプ形状のZnO層11の幅の一例を挙げると約1.5μmである。このストライプ形状のZnO層11は、例えば、凸部12が形成された基板10の全面にZnO層11を形成した後、このZnO層11をエッチングによりパターニングすることにより形成することができる。あるいは、凸部12が形成された基板10上に凸部12を覆うレジストパターン(図示せず)を形成し、スパッタリング法などによりZnO層11を全面に形成した後、レジストパターンをその上に形成されたZnO層11とともに除去、すなわちリフトオフすることによって形成することもできる。ただし、ZnO層11は、図36において一点鎖線で示すように、凹部13の底部上だけでなく、凸部12の表面を含む全面に形成するようにしてもよい。
次に、ZnO層11をウエットエッチングによりエッチング除去することにより基板10を除去し、n型の窒化物系III−V族化合物半導体層15の裏面を露出させる。そして、図37に示すように、この窒化物系III−V族化合物半導体層15の裏面にn側電極23を形成する。
上記以外のことは第1および第5の実施形態と同様である。
この第8の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
この第9の実施形態においては、第8の実施形態と同様にしてp側電極19まで形成した後、ZnO層11をウエットエッチングによりエッチング除去することにより基板10を除去し、n型の窒化物系III−V族化合物半導体層15の裏面を露出させる。そして、図38に示すように、この窒化物系III−V族化合物半導体層15の裏面にn側電極23を形成する。
ここで、p側電極19およびn側電極23を高反射電極あるいは透明電極とすることにより、光の取り出し方向を選択することができる。
上記以外のことは第1、第5および第8の実施形態と同様である。
この第9の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
この第10の実施形態においては、第9の実施形態と同様にしてZnO層11をウエットエッチングによりエッチング除去することにより基板10を除去し、さらに凸部12を例えばウエットエッチングすることにより除去し、n型の窒化物系III−V族化合物半導体層15の裏面を露出させる。凸部12が例えばSiO2 からなる場合には、フッ酸系のエッチング液を用いてウエットエッチングすることにより凸部12を容易に除去することができる。そして、図39に示すように、この窒化物系III−V族化合物半導体層15の裏面にn側電極23を形成する。
上記以外のことは第1、第5、第8および第9の実施形態と同様である。
この第10の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
この第11の実施形態においては、第1〜第10の実施形態のいずれかによる方法により製造される青色発光の発光ダイオードおよび緑色発光の発光ダイオードに加え、別途用意する赤色発光の発光ダイオードを用いて発光ダイオードバックライトを製造する場合について説明する。
図40に示すように、この発光ダイオードバックライトにおいては、基板61上に、赤色発光の発光ダイオードチップ63、緑色発光の発光ダイオードチップ64および青色発光の発光ダイオードチップ65を一単位(セル)としたものを所定のパターンで必要な数配置する。この場合、緑色発光の発光ダイオードチップ64および青色発光の発光ダイオードチップ65としては、第1〜第10の実施形態のいずれかの方法により製造される発光ダイオードを用いる。赤色発光の発光ダイオードチップ63としては、AlGaInP系の発光ダイオードを用いる。
次に、図41に示すように、この一単位を覆うように透明樹脂68のポッティングを行う。この後、透明樹脂68のキュア処理を行う。このキュア処理により透明樹脂68は固化し、それに伴い少し縮小する。こうして、赤色発光の発光ダイオードチップ63、緑色発光の発光ダイオードチップ64および青色発光の発光ダイオードチップ65を一単位としたものが基板61上にアレイ状に配列された発光ダイオードバックライトが得られる。
この発光ダイオードバックライトは、例えば液晶パネルのバックライトに用いて好適なものである。
この第12の実施形態においては、第11の実施形態と同様にして、赤色発光の発光ダイオードチップ63、緑色発光の発光ダイオードチップ64および青色発光の発光ダイオードチップ65を基板61上に所定のパターンで必要な数配置した後、図42に示すように、赤色発光の発光ダイオードチップ63を覆うようにこの発光ダイオードチップ63に適した透明樹脂69のポッティングを行い、緑色発光の発光ダイオードチップ64を覆うようにこの発光ダイオードチップ64に適した透明樹脂70のポッティングを行い、青色発光の発光ダイオードチップ65を覆うようにこの発光ダイオードチップ65に適した透明樹脂71のポッティングを行う。この後、透明樹脂69〜71のキュア処理を行う。このキュア処理により透明樹脂69〜71は固化し、それに伴い少し縮小する。こうして、赤色発光の発光ダイオードチップ63、緑色発光の発光ダイオードチップ64および青色発光の発光ダイオードチップ65を一単位としたものが基板61上にアレイ状に配列された発光ダイオードバックライトが得られる。
この発光ダイオードバックライトは、例えば液晶パネルのバックライトに用いて好適なものである。
この第13の実施形態においては、第1〜第10の実施形態のいずれかによる方法により製造される青色発光の発光ダイオードおよび緑色発光の発光ダイオードに加え、別途用意する赤色発光の発光ダイオードを用いて光源セルユニットを製造する場合について説明する。
図43Aに示すように、この第13の実施形態においては、第11の実施形態と同様にして、赤色発光の発光ダイオードチップ63、緑色発光の発光ダイオードチップ64および青色発光の発光ダイオードチップ65をそれぞれ少なくとも一つ含み、これらが所定のパターンで配置されたセル75をプリント配線基板76上に所定のパターンで必要な数配置する。この例では、各セル75は、赤色発光の発光ダイオードチップ63、緑色発光の発光ダイオードチップ64および青色発光の発光ダイオードチップ65をそれぞれ一つ含み、これらが正三角形の頂点に配置されている。図43Bにセル75を拡大して示す。各セル75における赤色発光の発光ダイオードチップ63、緑色発光の発光ダイオードチップ64および青色発光の発光ダイオードチップ65の間隔aは例えば4mmであるが、これに限定されるものではない。セル75の間隔bは例えば30mmであるが、これに限定されるものではない。プリント配線基板76としては、例えば、FR4(Flame Retardant Type 4の略)基板やメタルコア基板やフレキシブル配線基板などを用いることができるが、放熱性を有するプリント配線基板であれば他のものを用いることもでき、これらに限定されるものではない。第11の実施形態と同様にして、各セル76を覆うように透明樹脂68のポッティングを行い、あるいは、第12の実施形態と同様にして、赤色発光の発光ダイオードチップ63を覆うように透明樹脂69のポッティングを行い、緑色発光の発光ダイオードチップ64を覆うように透明樹脂70のポッティングを行い、青色発光の発光ダイオードチップ65を覆うように透明樹脂71のポッティングを行う。こうして、赤色発光の発光ダイオードチップ63、緑色発光の発光ダイオードチップ64および青色発光の発光ダイオードチップ65からなるセル75がプリント配線基板76上に配置された光源セルユニットが得られる。
図46はセル75の他の構成例を示す。この例では、セル75は、赤色発光の発光ダイオードチップ63を一つ、緑色発光の発光ダイオードチップ64を二つ、青色発光の発光ダイオードチップ65を一つ含み、これらが例えば正方形の頂点に配置されている。二つの緑色発光の発光ダイオードチップ64はこの正方形の一つの対角線の両端の頂点に配置され、赤色発光の発光ダイオードチップ63および青色発光の発光ダイオードチップ65はこの正方形のもう一つの対角線の両端の頂点に配置されている。
この光源セルユニットを一つまたは複数配列することにより、例えば液晶パネルのバックライトに用いて好適な発光ダイオードバックライトを得ることができる。
この第14の実施形態においては、配線基板61およびプリント配線基板76の代わりに、図47に示すように、プリント配線基板76と同等の配線パターンを有する互いに電気的に絶縁された薄い導電性基板91a、91b、91c(例えば、リードフレーム)の所定部位に赤色発光の発光ダイオードチップ63、緑色発光の発光ダイオードチップ64および青色発光の発光ダイオードチップ65の一方の電極側をそれぞれダイレクトマウントし、他方の電極にそれぞれワイヤー67によりワイヤボンディングを行った後、例えば金型を用いた一体成型技術によりそれぞれ透明樹脂69〜71でモールドする。ここで、発光ダイオードチップ63、64、65は、例えば第1〜第10の実施形態のいずれかによる垂直電流注入型発光ダイオードである。また、発光ダイオードチップ63、64、65は、早期混色化(白色化、均一化)を目的として最適設計された所望の配置、配列でマウントするのが好ましい。発光ダイオードチップ63、64、65は透明樹脂68により一体でモールドしてもよい。導電性基板91a、91b、91cのうちの発光ダイオードチップ63、64、65をマウントする部分は斜面を有するカップ状に形成してもよく、こうすることでこの斜面による反射により光取り出し量を増加させることができる。また、導電性基板91a、91b、91c上の発光ダイオードチップ63、64、65側から最終的に光を取り出す場合、放熱性能を向上させる目的で、最終的に発光ダイオードチップ63、64、65側だけに透明樹脂69〜71または透明樹脂68がモールドされた形態にして、発光ダイオードチップ63、64、65と反対側の、外部に露出した部分の導電性基板91から直接放熱を行うようにするのが望ましい。導電性基板91a、91b、91cが例えばリードフレームである場合、このリードフレームによる放熱構造の形成方法としては、例えば、金型成型時に発光ダイオード側(片側)のみが樹脂モールドされる形成方法を用いてもよいし、発光ダイオードの両側を樹脂モールドした後に片側のモールド樹脂を残すように除去する方法を用いてもよい。なお、発光ダイオードチップ63、64、65はフリップチップ(ワイヤボンディングなし)、フェースアップ(ワイヤボンディングあり)などの様々な形態があり、光取り出し側も、発光ダイオードチップ63、64、65側、発光ダイオードチップ63、64、65と反対側などがあるため、これらの形態などによっては、上記のモールド側と放熱側とが逆になる場合もあることは言うまでもない。
この第16の実施形態によれば、例えば液晶パネルのバックライトに用いて好適な発光ダイオードバックライトあるいはこの発光ダイオードバックライトに用いて好適な光源セルユニットを得ることができる。
例えば、上述の第1〜第16の実施形態において挙げた数値、材料、構造、形状、基板、原料、プロセス、凸部12および凹部13の方位などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じて、これらと異なる数値、材料、構造、形状、基板、原料、プロセスなどを用いてもよい。
具体的には、例えば、上述の第1〜第10の実施形態において、p型層およびn型層の導電型を互いに逆にしてもよい。
また、必要に応じて、上述の第1〜第10の実施形態のうちの二以上を組み合わせてもよい。
Claims (16)
- 基板上にウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記ウエットエッチング可能な層上に複数の凸部を形成する工程と、
上記凸部の間の凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる工程と、
上記第1の窒化物系III−V族化合物半導体層から第2の窒化物系III−V族化合物半導体層を横方向成長させる工程と、
上記第2の窒化物系III−V族化合物半導体層上に第1の導電型の第3の窒化物系III−V族化合物半導体層、活性層および第2の導電型の第4の窒化物系III−V族化合物半導体層を順次成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層をウエットエッチングにより除去する工程と
を有することを特徴とする発光ダイオードの製造方法。 - 上記凸部は屈折率が1.0以上2.3以下の誘電体からなることを特徴とする請求項1記載の発光ダイオードの製造方法。
- 上記凹部の断面形状は逆台形であることを特徴とする請求項1記載の発光ダイオードの製造方法。
- 上記凹部の深さをd、上記凹部の底面の幅をWg 、上記三角形状の断面形状となる状態の上記第1の窒化物系III−V族化合物半導体層の斜面と上記基板の一主面とがなす角度をαとしたとき、2d≧Wg tanαが成立することを特徴とする請求項3記載の発光ダイオードの製造方法。
- 上記凸部は上記基板上の一方向にストライプ状に延在することを特徴とする請求項1記載の発光ダイオードの製造方法。
- 上記凸部が六角形の平面形状を有し、この凸部が蜂の巣状に二次元配列しており、この凸部を囲むように上記凹部が形成されていることを特徴とする請求項1記載の発光ダイオードの製造方法。
- 上記第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる際に、上記凹部の底面との界面から上記基板の一主面に対して垂直方向に発生する転位が、上記三角形状の断面形状となる状態の上記第1の窒化物系III−V族化合物半導体層の斜面またはその近傍に到達したとき、上記一主面に平行な方向に屈曲することを特徴とする請求項1記載の発光ダイオードの製造方法。
- 上記ウエットエッチング可能な層が酸化亜鉛化合物層であることを特徴とする請求項1記載の発光ダイオードの製造方法。
- 上記基板がサファイア基板、GaN基板またはサファイア基板上に窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させたものであることを特徴とする請求項1記載の発光ダイオードの製造方法。
- 基板上にウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記ウエットエッチング可能な層上に複数の凸部を形成する工程と、
上記凸部の間の凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の半導体層を成長させる工程と、
上記第1の半導体層から第2の半導体層を横方向成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層をウエットエッチングにより除去する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 基板上にウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記ウエットエッチング可能な層上に複数の凸部を形成する工程と、
上記凸部の間の凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の層を成長させる工程と、
上記第1の層から第2の層を横方向成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層を除去する工程と
を有することを特徴とする電子装置の製造方法。 - 基板上にウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記ウエットエッチング可能な層上に複数の凸部を形成する工程と、
上記凸部の間の凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる工程と、
上記第1の窒化物系III−V族化合物半導体層から第2の窒化物系III−V族化合物半導体層を横方向成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層をウエットエッチングにより除去する工程と
を有することを特徴とする窒化物系III−V族化合物半導体基板の製造方法。 - 基板上にこの基板と異なる材料からなる複数の凸部および少なくともこの凸部の間の凹部の底部上のウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる工程と、
上記第1の窒化物系III−V族化合物半導体層から第2の窒化物系III−V族化合物半導体層を横方向成長させる工程と、
上記第2の窒化物系III−V族化合物半導体層上に第1の導電型の第3の窒化物系III−V族化合物半導体層、活性層および第2の導電型の第4の窒化物系III−V族化合物半導体層を順次成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層をウエットエッチングにより除去する工程と
を有することを特徴とする発光ダイオードの製造方法。 - 基板上にこの基板と異なる材料からなる複数の凸部および少なくともこの凸部の間の凹部の底部上のウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の半導体層を成長させる工程と、
上記第1の半導体層から第2の半導体層を横方向成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層をウエットエッチングにより除去する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 基板上にこの基板と異なる材料からなる複数の凸部および少なくともこの凸部の間の凹部の底部上のウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の層を成長させる工程と、
上記第1の層から第2の層を横方向成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層をウエットエッチングにより除去する工程と
を有することを特徴とする電子装置の製造方法。 - 基板上にこの基板と異なる材料からなる複数の凸部および少なくともこの凸部の間の凹部の底部上のウエットエッチング可能な層を形成する工程と、
上記凹部に、その底面を底辺とする三角形状の断面形状となる状態を経て第1の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる工程と、
上記第1の窒化物系III−V族化合物半導体層から第2の窒化物系III−V族化合物半導体層を横方向成長させる工程と、
上記ウエットエッチング可能な層をウエットエッチングにより除去する工程と
を有することを特徴とする窒化物系III−V族化合物半導体基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007109637A JP2008270431A (ja) | 2007-04-18 | 2007-04-18 | 発光ダイオードの製造方法、半導体装置の製造方法、電子装置の製造方法および窒化物系iii−v族化合物半導体基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007109637A JP2008270431A (ja) | 2007-04-18 | 2007-04-18 | 発光ダイオードの製造方法、半導体装置の製造方法、電子装置の製造方法および窒化物系iii−v族化合物半導体基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008270431A true JP2008270431A (ja) | 2008-11-06 |
Family
ID=40049565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007109637A Pending JP2008270431A (ja) | 2007-04-18 | 2007-04-18 | 発光ダイオードの製造方法、半導体装置の製造方法、電子装置の製造方法および窒化物系iii−v族化合物半導体基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008270431A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010212461A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Oki Data Corp | 半導体複合装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2013051243A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Kyocera Corp | 光学素子および光学素子アレイ |
JP2013179236A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-09 | Oki Data Corp | 窒化物半導体素子及び窒化物半導体素子の製造方法 |
KR20140127567A (ko) * | 2013-04-25 | 2014-11-04 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자 및 이를 구비하는 조명 시스템 |
JP2016526787A (ja) * | 2013-06-19 | 2016-09-05 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 放射場パターンに基づくパターン形成表面特徴部を持つled |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07273367A (ja) * | 1994-04-01 | 1995-10-20 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 半導体基板の製造方法および発光素子の製造方法 |
JPH11238687A (ja) * | 1998-02-20 | 1999-08-31 | Ricoh Co Ltd | 半導体基板および半導体発光素子 |
JP2004297010A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-21 | Toyoda Gosei Co Ltd | 半導体結晶の製造方法及び半導体発光素子 |
JP2006347863A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-12-28 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 3−5族窒化物半導体積層基板、3−5族窒化物半導体自立基板の製造方法、及び半導体素子 |
JP2006352084A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-12-28 | Sony Corp | 発光ダイオードおよびその製造方法ならびに集積型発光ダイオードおよびその製造方法ならびに窒化物系iii−v族化合物半導体の成長方法ならびに光源セルユニットならびに発光ダイオードバックライトならびに発光ダイオードディスプレイならびに電子機器 |
EP1768192A2 (en) * | 2005-09-22 | 2007-03-28 | Sony Corporation | Light-emitting diode and method for manufacturing the same |
-
2007
- 2007-04-18 JP JP2007109637A patent/JP2008270431A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07273367A (ja) * | 1994-04-01 | 1995-10-20 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 半導体基板の製造方法および発光素子の製造方法 |
JPH11238687A (ja) * | 1998-02-20 | 1999-08-31 | Ricoh Co Ltd | 半導体基板および半導体発光素子 |
JP2004297010A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-21 | Toyoda Gosei Co Ltd | 半導体結晶の製造方法及び半導体発光素子 |
JP2006352084A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-12-28 | Sony Corp | 発光ダイオードおよびその製造方法ならびに集積型発光ダイオードおよびその製造方法ならびに窒化物系iii−v族化合物半導体の成長方法ならびに光源セルユニットならびに発光ダイオードバックライトならびに発光ダイオードディスプレイならびに電子機器 |
JP2006347863A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-12-28 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 3−5族窒化物半導体積層基板、3−5族窒化物半導体自立基板の製造方法、及び半導体素子 |
EP1768192A2 (en) * | 2005-09-22 | 2007-03-28 | Sony Corporation | Light-emitting diode and method for manufacturing the same |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010212461A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Oki Data Corp | 半導体複合装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2013051243A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Kyocera Corp | 光学素子および光学素子アレイ |
JP2013179236A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-09 | Oki Data Corp | 窒化物半導体素子及び窒化物半導体素子の製造方法 |
KR20140127567A (ko) * | 2013-04-25 | 2014-11-04 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자 및 이를 구비하는 조명 시스템 |
KR102042437B1 (ko) * | 2013-04-25 | 2019-11-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자 및 이를 구비하는 조명 시스템 |
JP2016526787A (ja) * | 2013-06-19 | 2016-09-05 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 放射場パターンに基づくパターン形成表面特徴部を持つled |
JP2019220704A (ja) * | 2013-06-19 | 2019-12-26 | ルミレッズ ホールディング ベーフェー | 放射場パターンに基づくパターン形成表面特徴部を持つled |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5082278B2 (ja) | 発光ダイオードの製造方法、集積型発光ダイオードの製造方法および窒化物系iii−v族化合物半導体の成長方法 | |
JP4462249B2 (ja) | 発光ダイオードの製造方法、集積型発光ダイオードの製造方法および窒化物系iii−v族化合物半導体の成長方法 | |
JP5152121B2 (ja) | 発光ダイオードの製造方法、集積型発光ダイオードの製造方法および窒化物系iii−v族化合物半導体の成長方法 | |
JP4910608B2 (ja) | 発光ダイオードの製造方法および電子装置の製造方法 | |
JP4462289B2 (ja) | 半導体層の成長方法および半導体発光素子の製造方法 | |
US7786493B2 (en) | Light emitting diode, method for manufacturing light emitting diode, integrated light emitting diode, method for manufacturing integrated light emitting diode, light emitting diode backlight, light emitting diode illumination device, light emitting diode display, electronic apparatus, electronic device, and method for manufacturing electronic device | |
JP2008153634A (ja) | 発光ダイオードの製造方法、発光ダイオード、光源セルユニット、発光ダイオードバックライト、発光ダイオード照明装置、発光ダイオードディスプレイおよび電子機器 | |
JP4915218B2 (ja) | 発光ダイオードの製造方法 | |
JP2006324331A (ja) | 発光ダイオードおよびその製造方法ならびに集積型発光ダイオードおよびその製造方法ならびに窒化物系iii−v族化合物半導体の成長方法ならびに窒化物系iii−v族化合物半導体成長用基板ならびに発光ダイオードバックライトならびに発光ダイオード照明装置ならびに発光ダイオードディスプレイならびに電子機器 | |
WO2004084318A1 (ja) | 半導体発光素子およびその製造方法、集積型半導体発光装置およびその製造方法、画像表示装置およびその製造方法ならびに照明装置およびその製造方法 | |
JP2006339534A (ja) | 発光ダイオード、発光ダイオードの製造方法、発光ダイオードバックライト、発光ダイオード照明装置、発光ダイオードディスプレイおよび電子機器 | |
JP4029565B2 (ja) | 窒化物半導体レーザアレイ | |
JP2008130606A (ja) | 半導体発光素子、半導体発光素子の製造方法、光源セルユニット、バックライト、照明装置、ディスプレイ、電子機器、半導体素子および半導体素子の製造方法 | |
JP4915234B2 (ja) | 発光ダイオードの製造方法および機能素子の製造方法 | |
JP2008270431A (ja) | 発光ダイオードの製造方法、半導体装置の製造方法、電子装置の製造方法および窒化物系iii−v族化合物半導体基板の製造方法 | |
JP2003055099A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体基板の製造方法及び窒化ガリウム系化合物半導体基板 | |
JP4735037B2 (ja) | 発光ダイオードおよびその製造方法ならびに集積型発光ダイオードおよびその製造方法ならびに発光ダイオードバックライトならびに発光ダイオード照明装置ならびに発光ダイオードディスプレイならびに電子機器 | |
JP5140979B2 (ja) | AlGaInP系発光ダイオード、光源セルユニット、ディスプレイおよび電子機器 | |
JP2003124576A (ja) | 窒化物半導体基板及びその成長方法 | |
JPH11163402A (ja) | GaN系半導体発光素子 | |
JPH11145515A (ja) | GaN系半導体発光素子およびその製造方法 | |
JP5051192B2 (ja) | 半導体層の成長方法、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子および電子機器 | |
JP2009212256A (ja) | 発光ダイオードの製造方法、半導体素子の製造方法および機能素子の製造方法 | |
JP2009043751A (ja) | 発光ダイオードの製造方法、半導体素子の製造方法および機能素子の製造方法 | |
JP2002141614A (ja) | 窒化物半導体素子及びそれを用いた発光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111207 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120313 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120510 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120724 |