JP2008263060A - ヒューズ素子構造および半導体装置 - Google Patents
ヒューズ素子構造および半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008263060A JP2008263060A JP2007104688A JP2007104688A JP2008263060A JP 2008263060 A JP2008263060 A JP 2008263060A JP 2007104688 A JP2007104688 A JP 2007104688A JP 2007104688 A JP2007104688 A JP 2007104688A JP 2008263060 A JP2008263060 A JP 2008263060A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- material layer
- resistance
- fuse element
- lead
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 143
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 24
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 22
- 239000012782 phase change material Substances 0.000 claims description 12
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 192
- 230000006870 function Effects 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 15
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 11
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 11
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 150000004770 chalcogenides Chemical class 0.000 description 9
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/525—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections
- H01L23/5256—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections comprising fuses, i.e. connections having their state changed from conductive to non-conductive
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Abstract
【課題】ヒューズ素子の配置に必要な平面積を減少させることができ、ヒューズ素子を高密度で配置することができるヒューズ素子構造および半導体装置を提供する。
【解決手段】第1方向に延在する第1抵抗値可変材料層11と、第1抵抗値可変材料層と平面視で重なり合う第2抵抗値可変材料層21と、第1抵抗値可変材料層11と第2抵抗値可変材料層21との間に配置された基準電源配線層3と、第1方向と交差する第2方向に延在する複数の第1引き出し配線13と、複数の第1引き出し配線13のそれぞれと第1抵抗値可変材料層11とを各々接続する複数の第1ビア12と、第2方向に延在する複数の第2引き出し配線23と、複数の第2引き出し配線23のそれぞれと第2抵抗値可変材料層21とを各々接続する複数の第2ビア22とを備えたヒューズ素子構造とする。
【選択図】図1
【解決手段】第1方向に延在する第1抵抗値可変材料層11と、第1抵抗値可変材料層と平面視で重なり合う第2抵抗値可変材料層21と、第1抵抗値可変材料層11と第2抵抗値可変材料層21との間に配置された基準電源配線層3と、第1方向と交差する第2方向に延在する複数の第1引き出し配線13と、複数の第1引き出し配線13のそれぞれと第1抵抗値可変材料層11とを各々接続する複数の第1ビア12と、第2方向に延在する複数の第2引き出し配線23と、複数の第2引き出し配線23のそれぞれと第2抵抗値可変材料層21とを各々接続する複数の第2ビア22とを備えたヒューズ素子構造とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、ヒューズ素子構造およびヒューズ素子構造を備える半導体装置に関し、特に、外部からの電気信号入力によって導通状態が変更されるヒューズ素子を高密度で配置できる半導体装置に関する。
従来から、半導体製品においては、ヒューズ素子を利用して、製造工程の異常で発生した不良を救済したり、多種多様な製品群に対応するために、同一プロセスの回路結線情報を変更して配線層レイアウトの変更を行ったりしている。中でも、半導体チップをパッケージに組んでしまった段階で、外部から電気信号を入力し、半導体チップ内部の救済情報や回路結線情報を書き換えたいという要求は高かった。このような要求に対応する手段としては、従来から様々な方法が提案されている。
例えば、特許文献1には、絶縁膜を破壊して抵抗値を可変にしたアンチヒューズを有する半導体装置が記載されている。しかし、このようなアンチヒューズでは、いったん低抵抗状態(導通状態)にしてしまうと、もとの高抵抗状態に戻すことは不可能であった。
そこで、配線の接続状態を容易に変更でき、かつ、元の状態に復帰可能なヒューズとして、相変化膜を用いた半導体装置が提案されている(例えば、特許文献2参照)。特許文献2では、相変化材料からなる相変化膜を配線として用い、相変化膜の近傍にヒータを設け、ヒータを用いて、相変化膜を高抵抗のアモルファス状態から低抵抗の結晶状態に遷移させる、あるいは結晶状態からアモルファス状態に遷移させることにより、抵抗を変化させている。しかし、特許文献2に記載の方法では、ヒータを用いて、相変化膜の抵抗を変化させているため、一つ一つのヒューズ素子(単位素子)の大きさが非常に大きいという問題がある。
また、特許文献2には、ヒータをなくし、電極から相変化膜に通電して相変化膜を発熱させることによって、相変化膜の結晶状態を変化させる構成として、ヒューズの構造を簡略化することが記載されている。しかし、ヒータをなくしてヒューズの構造を簡略化した場合であっても、単位素子の大きさを十分に小さくすることはできず、さらに単位素子を小さくすることが要求されていた。
また、特許文献2には、ヒータをなくし、電極から相変化膜に通電して相変化膜を発熱させることによって、相変化膜の結晶状態を変化させる構成として、ヒューズの構造を簡略化することが記載されている。しかし、ヒータをなくしてヒューズの構造を簡略化した場合であっても、単位素子の大きさを十分に小さくすることはできず、さらに単位素子を小さくすることが要求されていた。
また、単位素子が大きいという問題を解決する技術として、上部電極と、相変化材料であるカルコゲナイド膜と、カルコゲナイド膜と共通プレート(下部電極プレート)とを接続する第2のプラグ(下部電極プラグ)とを有する相変化メモリ装置が提案されている(例えば、特許文献3参照)。特許文献3には、第2のプラグにおける電流供給時の発熱により、カルコゲナイド膜を低抵抗の結晶状態と高抵抗のアモルファス状態の間で遷移させてビット情報を書き換え可能な相変化メモリ素子が記載されている。特許文献3に記載の相変化メモリ素子では、相変化メモリ素子(単位素子)の平面積を、下部電極プラグの平面積とすることができ、小さい領域に非常に多くのビット情報を持たせることが可能である。
また、光照射、電圧印加あるいは加熱によって電気抵抗が変化する素子間結線材料として、Ge、Te、Sb及びInよりなる群から選択した元素のうち少なくとも2種以上の元素を含むものが提案されている(例えば、特許文献4参照)。
特開平06−310604号公報
特開2005−317713号公報
特開2006−222215号公報
特開平06−232271号公報
しかしながら、上述した特許文献3に記載の技術では、カルコゲナイド膜の抵抗値を変化させるために、カルコゲナイド膜とは別に、上部電極と下部電極プレートの少なくとも2層の配線層をカルコゲナイド膜の上下に配置する必要があり、これらの配線層を配置するための領域が必要であった。その結果、ヒューズ素子の配置に必要な平面積を小さくすることが困難であった。このため、上述した特許文献3に記載の技術を用いた場合であっても、より一層、ヒューズ素子の配置に必要な平面積を減少させ、ヒューズ素子をより一層高密度で配置することが要求されていた。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、ヒューズ素子の配置に必要な平面積を減少させることができ、ヒューズ素子を高密度で配置することができるヒューズ素子構造を提供することを目的とする。
また、本発明は、ヒューズ素子を高密度で配置することができるヒューズ素子構造を備える半導体装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、ヒューズ素子を高密度で配置することができるヒューズ素子構造を備える半導体装置を提供することを目的とする。
本発明者は、上記問題を解決するために鋭意検討し、本発明を完成した。即ち、本発明は以下に関する。
本発明のヒューズ素子構造は、第1方向に延在する第1抵抗値可変材料層と、少なくとも一部が前記第1抵抗値可変材料層と平面視で重なり合う第2抵抗値可変材料層と、前記第1抵抗値可変材料層と前記第2抵抗値可変材料層との間に挟まれて配置された基準電源配線層と、前記第1抵抗値可変材料層の前記基準電源配線層と反対側の面上に第1絶縁層を介して設けられ、前記第1方向と交差する第2方向に延在する複数の第1引き出し配線と、前記第1絶縁層を貫通して設けられ、前記複数の第1引き出し配線のそれぞれと前記第1抵抗値可変材料層との間に配置された複数の第1ビアと、前記第2抵抗値可変材料層の前記基準電源配線層と反対側の面上に第2絶縁層を介して設けられ、前記第2方向に延在する複数の第2引き出し配線と、前記第2絶縁層を貫通して設けられ、前記複数の第2引き出し配線のそれぞれと前記第2抵抗値可変材料層との間に配置された複数の第2ビアとを備えることを特徴とする。
本発明のヒューズ素子構造は、第1方向に延在する第1抵抗値可変材料層と、少なくとも一部が前記第1抵抗値可変材料層と平面視で重なり合う第2抵抗値可変材料層と、前記第1抵抗値可変材料層と前記第2抵抗値可変材料層との間に挟まれて配置された基準電源配線層と、前記第1抵抗値可変材料層の前記基準電源配線層と反対側の面上に第1絶縁層を介して設けられ、前記第1方向と交差する第2方向に延在する複数の第1引き出し配線と、前記第1絶縁層を貫通して設けられ、前記複数の第1引き出し配線のそれぞれと前記第1抵抗値可変材料層との間に配置された複数の第1ビアと、前記第2抵抗値可変材料層の前記基準電源配線層と反対側の面上に第2絶縁層を介して設けられ、前記第2方向に延在する複数の第2引き出し配線と、前記第2絶縁層を貫通して設けられ、前記複数の第2引き出し配線のそれぞれと前記第2抵抗値可変材料層との間に配置された複数の第2ビアとを備えることを特徴とする。
また、本発明のヒューズ素子構造においては、前記第1抵抗値可変材料層および前記第2抵抗値可変材料層が、相変化により抵抗値が変化する相変化材料からなるものとすることができる。
また、本発明のヒューズ素子構造においては、前記第1抵抗値可変材料層および前記第2抵抗値可変材料層が、ペロブスカイト型金属酸化物からなるものとすることができる。
また、本発明のヒューズ素子構造においては、前記第1抵抗値可変材料層および前記第2抵抗値可変材料層が、ペロブスカイト型金属酸化物からなるものとすることができる。
また、本発明のヒューズ素子構造においては、前記第1引き出し配線の前記第1ビアと接続された側の端部が、相反する方向に延在する他の第1引き出し配線の前記第1ビアと接続された側の端部と対向配置されており、前記第2引き出し配線の前記第2ビアと接続された側の端部が、相反する方向に延在する他の第2引き出し配線の前記第2ビアと接続された側の端部と対向配置されているものとすることができる。
また、本発明のヒューズ素子構造は、基準電源基板と、前記基準電源基板上に設けられ、第1方向に延在する抵抗値可変材料層と、前記抵抗値可変材料層上に絶縁層を介して設けられ、前記第1方向と交差する第2方向に延在する複数の引き出し配線と、前記絶縁層を貫通して設けられ、前記引き出し配線のそれぞれと前記抵抗値可変材料層との間に配置された複数のビアとを備えることを特徴とする。
また、本発明のヒューズ素子構造においては、前記抵抗値可変材料層が、相変化により抵抗値が変化する相変化材料なるものとすることができる。
また、本発明のヒューズ素子構造においては、前記抵抗値可変材料層が、ペロブスカイト型金属酸化物からなるものとすることができる。
また、本発明のヒューズ素子構造においては、前記抵抗値可変材料層が、ペロブスカイト型金属酸化物からなるものとすることができる。
また、本発明のヒューズ素子構造は、前記引き出し配線の前記ビアと接続された側の端部が、相反する方向に延在する他の引き出し配線の前記ビアと接続された側の端部と対向配置されているものとすることができる。
また、本発明の半導体装置は、上記のいずれかに記載のヒューズ素子構造を備えることを特徴とする。
また、本発明のヒューズ素子構造によれば、基準電源配線層が2つの機能を兼ねるので、ヒューズ素子の配置に必要な平面積を減少させることができ、ヒューズ素子を高密度で配置することができる。
また、本発明の半導体装置によれば、基準電源配線層が2つの機能を兼ねるヒューズ素子構造を備えるものとなるので、ヒューズ素子が高密度で配置された半導体装置となる。
また、本発明の半導体装置によれば、基準電源配線層が2つの機能を兼ねるヒューズ素子構造を備えるものとなるので、ヒューズ素子が高密度で配置された半導体装置となる。
「第1実施形態」
本発明の第1実施形態である半導体装置について、図1〜図3を用いて説明する。
図1は、本発明の半導体装置に備えられたヒューズ素子構造を説明するための図であって、図1(a)は平面図であり、図1(b)は図1(a)のA−A’線に沿う断面図である。図1において、符号3は基準電源配線層を示している。基準電源配線層3は、アルミニウムなどからなるものであり、第1抵抗値可変材料層11と第2抵抗値可変材料層21との間に挟まれて配置されている。また、基準電源配線層3は、第1抵抗値可変材料層11および第2抵抗値可変材料層21と面接触された共通の配線となっており、基準となる電源電圧が印加されている。また、図1(a)および図1(b)に示すように、第1抵抗値可変材料層11と第2抵抗値可変材料層21とは、平面視で重なり合っており、第1抵抗値可変材料層11および第2抵抗値可変材料層21は、図1(a)に示す横方向に延在している。
本発明の第1実施形態である半導体装置について、図1〜図3を用いて説明する。
図1は、本発明の半導体装置に備えられたヒューズ素子構造を説明するための図であって、図1(a)は平面図であり、図1(b)は図1(a)のA−A’線に沿う断面図である。図1において、符号3は基準電源配線層を示している。基準電源配線層3は、アルミニウムなどからなるものであり、第1抵抗値可変材料層11と第2抵抗値可変材料層21との間に挟まれて配置されている。また、基準電源配線層3は、第1抵抗値可変材料層11および第2抵抗値可変材料層21と面接触された共通の配線となっており、基準となる電源電圧が印加されている。また、図1(a)および図1(b)に示すように、第1抵抗値可変材料層11と第2抵抗値可変材料層21とは、平面視で重なり合っており、第1抵抗値可変材料層11および第2抵抗値可変材料層21は、図1(a)に示す横方向に延在している。
第1抵抗値可変材料層11および第2抵抗値可変材料層21は、相変化により抵抗値が変化する相変化材料によって形成されている。相変化材料としては、カルコゲナイドなどが挙げられ、カルコゲナイドとしては、ゲルマニウム(Ge)、アンチモン(Sb)、テルル(Te)、セレン(Se)のうちのいずれか2つ以上の元素を含むものなどが挙げられる。代表的なカルコゲナイドとしては、Ge2Sb2Te5などが挙げられる。
図1(b)に示すように、第1抵抗値可変材料層11の基準電源配線層3と反対側の面上には、シリコン酸化膜などからなる第1絶縁層16が形成されている。また、第1絶縁層16上には、アルミニウムなどからなり、外部と導電接続された複数の第1引き出し配線13が形成されている。第1引き出し配線13は、図1(a)に示す縦方向に延在しており、図1(a)に示すように、複数の第1引き出し配線13の第1抵抗値可変材料層11と平面視で重なり合う部分が、第1抵抗値可変材料層11の幅の中心線に対して対称に配置されている。また、第1引き出し配線13の第1ビア12と接続された側の端部13aが、相反する方向に延在する他の第1引き出し配線13の第1ビア12と接続された側の端部13aと対向配置されている。
図1(b)に示すように、複数の第1引き出し配線13のそれぞれと第1抵抗値可変材料層11との間には、複数の第1ビア12(導通部)が配置されており、複数の第1引き出し配線13のそれぞれは、複数の第1ビア12と個別に電気的に接続されている。第1ビア12は、タングステンなどの導電材料からなり、図1(b)に示すように、第1絶縁層16を貫通して設けられている。
そして、図1に示すヒューズ素子構造においては、第1ビア12は、第1抵抗値可変材料層11と接触している部分を加熱して、第1抵抗値可変材料層11の抵抗値を変化させるためのヒーターとして機能する。
そして、図1に示すヒューズ素子構造においては、第1ビア12は、第1抵抗値可変材料層11と接触している部分を加熱して、第1抵抗値可変材料層11の抵抗値を変化させるためのヒーターとして機能する。
また、図1(b)に示すように、第2抵抗値可変材料層21の基準電源配線層3と反対側の面上(図1(b)においては、第2抵抗値可変材料層21の下側)には、シリコン酸化膜などからなる第2絶縁層26を介して、アルミニウムなどからなり、外部と導電接続された複数の第2引き出し配線23が形成されている。第2引き出し配線23は、第1引き出し配線13と同様に、図1(a)に示す縦方向に延在しており、図1(a)に示すように、複数の第2引き出し配線23の第2抵抗値可変材料層21と平面視で重なり合う部分が、第2抵抗値可変材料層21の幅の中心線に対して対称に配置されている。また、第2引き出し配線23の第2ビア22と接続された側の端部23aが、相反する方向に延在する他の第2引き出し配線23の第2ビア22と接続された側の端部23aと対向配置されている。
また、図1(b)に示すように、複数の第2引き出し配線23のそれぞれと第2抵抗値可変材料層21との間には、複数の第2ビア22が配置されており、複数の第2引き出し配線23のそれぞれは、複数の第2ビア22と個別に電気的に接続されている。第2ビア22は、タングステンなどの導電材料からなり、図1(b)に示すように、第2絶縁層26を貫通して設けられている。
また、図1に示すヒューズ素子構造においては、第2ビア22は、第2抵抗値可変材料層21と接触している部分を加熱して、第2抵抗値可変材料層21の抵抗値を変化させるためのヒーターとして機能する。
また、図1に示すヒューズ素子構造においては、第2ビア22は、第2抵抗値可変材料層21と接触している部分を加熱して、第2抵抗値可変材料層21の抵抗値を変化させるためのヒーターとして機能する。
また、図1において、符号15は、ビア14を介して基準電源配線層3と電気的に接続された電源配線であり、符号25は、ビア24を介して基準電源配線層3と電気的に接続された電源配線である。
図1に示すヒューズ素子構造においては、第1抵抗値可変材料層11が複数の第1ビア12と同数のヒューズ素子として機能し、第2抵抗値可変材料層21が複数の第2ビア22と同数のヒューズ素子として機能するようになっている。
次に、図1に示すヒューズ素子構造を製造する方法について、図2および図3を参照して説明する。図2および図3は、図1に示すヒューズ素子構造の製造方法を説明するための断面図である。なお、本実施形態のヒューズ素子構造の製造方法は、図1に示すヒューズ素子構造を備えた半導体装置の製造過程におけるFUSE素子の形成工程である。
図1に示すヒューズ素子構造を製造するには、まず、通常の半導体装置を製造する際に形成されるMOS(metal oxide semiconductor)や、その他必要な配線層上にCVD法などによりシリコン酸化膜などからなる層間絶縁層を形成し、その上に、第2引き出し配線23および電源配線25となるアルミニウム膜を形成し、フォトリソグラフィ、及びドライエッチングにより必要な大きさにパターニングして第2引き出し配線23および電源配線25を形成する。
次いで、第2引き出し配線23および電源配線25の上に、CVD法などによりシリコン酸化膜を成膜し、CMP法により平坦化することにより、第2絶縁層26を形成する(図2(a))。
図1に示すヒューズ素子構造を製造するには、まず、通常の半導体装置を製造する際に形成されるMOS(metal oxide semiconductor)や、その他必要な配線層上にCVD法などによりシリコン酸化膜などからなる層間絶縁層を形成し、その上に、第2引き出し配線23および電源配線25となるアルミニウム膜を形成し、フォトリソグラフィ、及びドライエッチングにより必要な大きさにパターニングして第2引き出し配線23および電源配線25を形成する。
次いで、第2引き出し配線23および電源配線25の上に、CVD法などによりシリコン酸化膜を成膜し、CMP法により平坦化することにより、第2絶縁層26を形成する(図2(a))。
次に、第2絶縁層26の第2引き出し配線23および電源配線25の上に、フォトリソグラフィ及びドライエッチングによりコンタクトホールを形成する。その後、CVD法などによりコンタクトホール内にタングステンを埋め込み、CMP法などにより第2絶縁層26上のタングステンを除去することにより、第2ビア22およびビア24を形成する(図2(b))。
続いて、第2絶縁層26、第2ビア22、ビア24上に、相変化材料を成膜し、フォトリソグラフィ及びドライエッチングにより、必要な大きさにパターニングすることにより、全ての第2ビア22と導電接続された第2抵抗値可変材料層21を形成する(図2(c))。
続いて、第2絶縁層26、第2ビア22、ビア24上に、相変化材料を成膜し、フォトリソグラフィ及びドライエッチングにより、必要な大きさにパターニングすることにより、全ての第2ビア22と導電接続された第2抵抗値可変材料層21を形成する(図2(c))。
次に、第2絶縁層26、ビア24、第2抵抗値可変材料層21上に、アルミニウム膜を成膜し、フォトリソグラフィ及びドライエッチングにより必要な大きさにパターニングすることにより、ビア24と導電接続された基準電源配線層3を形成する(図2(d))。
続いて、第2絶縁層26、基準電源配線層3上に、相変化材料を成膜し、フォトリソグラフィ及びドライエッチングにより、必要な大きさにパターニングすることにより、第2抵抗値可変材料層21と平面視で重なり合う第1抵抗値可変材料層11を形成する(図3(a))。
次に、第2絶縁層26、第1抵抗値可変材料層11上に、CVD法などによりシリコン酸化膜を成膜し、CMP法により平坦化することにより、第1絶縁層16を形成する(図3(b))。
次に、第2絶縁層26、第1抵抗値可変材料層11上に、CVD法などによりシリコン酸化膜を成膜し、CMP法により平坦化することにより、第1絶縁層16を形成する(図3(b))。
次に、第1絶縁層16の第1引き出し配線13および電源配線15の形成されるべき領域上に、フォトリソグラフィ及びドライエッチングによりコンタクトホールを形成する。その後、CVD法などによりコンタクトホール内にタングステンを埋め込み、CMP法などにより第1絶縁層16上のタングステンを除去することにより、第1抵抗値可変材料層11に導電接続された第1ビア12と、基準電源配線層3に導電接続されたビア14とを形成する。
続いて、第1ビア12、ビア14、第1絶縁層16上に、第1引き出し配線13および電源配線15となるアルミニウム膜を形成し、フォトリソグラフィ、及びドライエッチングにより必要な大きさにパターニングして第1引き出し配線13および電源配線15を形成することによって、図1に示すヒューズ素子構造が得られる。
続いて、第1ビア12、ビア14、第1絶縁層16上に、第1引き出し配線13および電源配線15となるアルミニウム膜を形成し、フォトリソグラフィ、及びドライエッチングにより必要な大きさにパターニングして第1引き出し配線13および電源配線15を形成することによって、図1に示すヒューズ素子構造が得られる。
次に、図1に示すヒューズ素子構造の動作について説明する。
図1に示すヒューズ素子構造において、第1抵抗値可変材料層11の抵抗値を変化させる際には、基準電源配線層3と第1引き出し配線13との間で、第1ビア12および第1抵抗値可変材料層11を介して電流を流す。また、第2抵抗値可変材料層21の抵抗値を変化させる際には、基準電源配線層3と第2引き出し配線23との間で、第2ビア22および第2抵抗値可変材料層21を介して電流を流す。
図1に示すヒューズ素子構造において、第1抵抗値可変材料層11の抵抗値を変化させる際には、基準電源配線層3と第1引き出し配線13との間で、第1ビア12および第1抵抗値可変材料層11を介して電流を流す。また、第2抵抗値可変材料層21の抵抗値を変化させる際には、基準電源配線層3と第2引き出し配線23との間で、第2ビア22および第2抵抗値可変材料層21を介して電流を流す。
このとき、各第1引き出し配線13(各第2引き出し配線23)からの電流パルスの与え方の違いにより、ヒーターとして機能する各第1ビア12(各第2ビア22)の発熱量を調整して、第1抵抗値可変材料層11(第2抵抗値可変材料層21)の各第1ビア12(各第2ビア22)と接触している部分を所定の温度に加熱する。このように各第1ビア12(各第2ビア22)と接触している部分の第1抵抗値可変材料層11(第2抵抗値可変材料層21)の温度を個別に調整することにより、各第1ビア12(各第2ビア22)と接触している部分の第1抵抗値可変材料層11(第2抵抗値可変材料層21)の結晶状態を変化させて、各第1ビア12(各第2ビア22)と接触している部分の第1抵抗値可変材料層11(第2抵抗値可変材料層21)の抵抗値を変化させる。
例えば、第1引き出し配線13(第2引き出し配線23)から低めの電流値で長めにパルスを与えると、第1ビア12(第2ビア22)と接触している部分の第1抵抗値可変材料層11(第2抵抗値可変材料層21)を構成する相変化材料が結晶化して抵抗値が下がる。また、第1引き出し配線13(第2引き出し配線23)から高めの電流値で短いパルスを与えると、第1ビア12(第2ビア22)と接触している部分の第1抵抗値可変材料層11(第2抵抗値可変材料層21)を構成する相変化材料がアモルファス化して抵抗値が高くなる。
このように図1に示すヒューズ素子構造では、基準電源配線層3と各第1引き出し配線13との間や基準電源配線層3と各第2引き出し配線23との間の抵抗値を変化させることができるので、第1引き出し配線13および/または第2引き出し配線23を介して外部から電気信号を入力して、半導体装置内の救済情報や回路結線情報を書き換えることができる。
本実施形態の半導体装置は、第1抵抗値可変材料層11と第2抵抗値可変材料層21との間に挟まれて配置された基準電源配線層3を備えたヒューズ素子構造を備えているので、第1抵抗値可変材料層11の抵抗値を変化させる際にも第2抵抗値可変材料層21の抵抗値を変化させる際にも基準電源配線層3を用いることができ、基準電源配線層3が2つの機能を兼ねるものとなり、基準電源配線層3の上下面をヒューズ素子の構成要素として使用することができる。
例えば、基準電源配線層3を、第1抵抗値可変材料層11のみの抵抗値を変化させるものとした場合、第2抵抗値可変材料層21の抵抗値を変化させるために、基準電源配線層3の他に追加の配線層を設ける必要がある。この場合、追加の配線層を基準電源配線層3と平面視で重ならないように設けると、ヒューズ素子の配置密度が低下してしまう。
また、追加の配線層と基準電源配線層3とを平面視で重なるように設けた場合には、本ヒューズ素子を構成するのに、2倍の階層が必要となり、チップ内で他の回路配線領域を避けながらヒューズ素子を配置する際の自由度が低下してしまう。さらに、追加の配線層と電源とを接続するためにビアや配線層を用いた接続構造を設ける必要もあり、面積の増大につながり、やはりヒューズ素子の配置密度が低下してしまう。
また、追加の配線層と基準電源配線層3とを平面視で重なるように設けた場合には、本ヒューズ素子を構成するのに、2倍の階層が必要となり、チップ内で他の回路配線領域を避けながらヒューズ素子を配置する際の自由度が低下してしまう。さらに、追加の配線層と電源とを接続するためにビアや配線層を用いた接続構造を設ける必要もあり、面積の増大につながり、やはりヒューズ素子の配置密度が低下してしまう。
これに対し、本実施形態の半導体装置では、基準電源配線層3が2つの機能を兼ねるので、基準電源配線層3を第1抵抗値可変材料層11のみの抵抗値を変化させるものとした場合のように、第2抵抗値可変材料層21の抵抗値を変化させるために、基準電源配線層3の他に追加の配線層を設ける必要は無く、追加の配線層の設置を省略できる。また、追加の配線層と電源とを接続するためにビアや配線層を用いた接続構造を設ける必要もなく、容易に製造できる。
また、本実施形態の半導体装置では、追加の配線層と基準電源配線層3とを設けた場合と比較して、ヒューズ素子として機能する部分を形成する際に、追加の配線層と電源との接続部分や他の回路配線領域を避けるなどのヒューズ素子の配置上の制約が少ないものとなり、半導体装置上におけるヒューズ素子の配置可能な領域が広く、ヒューズ素子を高密度で配置することができるものとなる。
また、本実施形態の半導体装置では、追加の配線層と基準電源配線層3とを設けた場合と比較して、ヒューズ素子として機能する部分を形成する際に、追加の配線層と電源との接続部分や他の回路配線領域を避けるなどのヒューズ素子の配置上の制約が少ないものとなり、半導体装置上におけるヒューズ素子の配置可能な領域が広く、ヒューズ素子を高密度で配置することができるものとなる。
また、本実施形態の半導体装置によれば、第1抵抗値可変材料層11が複数の第1ビア12と同数のヒューズ素子として機能し、第2抵抗値可変材料層21が複数の第2ビア22と同数のヒューズ素子として機能するものとなる。したがって、基準電源配線層3の第1抵抗値可変材料層11側と第2抵抗値可変材料層21側のいずれか一方にのみヒューズ素子を配置した場合と比較して、ヒューズ素子の配置密度を同一面積で2倍に向上させることができる。
また、本実施形態の半導体装置においては、第1引き出し配線13の端部13aが、第1抵抗値可変材料層11と平面視で重なり合う位置で、相反する方向に延在する他の第1引き出し配線13の端部13aと対向配置されており、第2引き出し配線23の端部23aが、第2抵抗値可変材料層21と平面視で重なり合う位置で、相反する方向に延在する他の第2引き出し配線23の端部23aと対向配置されているので、より一層、ヒューズ素子の配置密度を高密度とすることができる。
なお、本実施形態は、上述した例に限定されるものではない。例えば、第1抵抗値可変材料層11および第2抵抗値可変材料層21を形成する材料は、電流印加による加熱の差によって抵抗値の可変する材料からなるものであればよく、相変化材料に限定されるものではない。例えば、第1抵抗値可変材料層11および第2抵抗値可変材料層21を形成する材料としては、電圧または電流が印加されることにより抵抗値が変動するものであって、外部からの電圧または電流の印加をやめた後も、その抵抗値が保たれる材料であるペロブスカイト型金属酸化物などを用いてもよい。
また、第1引き出し配線13、第2引き出し配線23、第1ビア12、第2ビア22、電源配線15、25、ビア14、24などに用いられる材料も上述した材料に限定されるものではなく、銅などの導電性を有する金属膜などを使用できる。また、本発明の半導体装置上に形成される回路の製造工程などにおいて、ヒューズ素子を構成する部分の形成後に高温の熱処理を必要とする場合には、第1引き出し配線13、第2引き出し配線23などの配線をタングステン等の高融点金属膜で形成することが好ましい。
「第2実施形態」
次に、本発明の第2実施形態である半導体装置について、図4を用いて説明する。
図4は、本発明の半導体装置に備えられたヒューズ素子構造の他の一例を説明するための図であって、図4(a)は平面図であり、図4(b)は図4(a)のB−B’線に沿う断面図である。図4において、符号3aはSiからなる基準電源基板を示し、符号3bは基準電源基板3a上のアクティブ領域を示している。基準電源基板3aのアクティブ領域3b上には、シリコン酸化膜などからなる第1層間絶縁膜46aを開口することにより形成された基板接続用ホール46cが設けられている。基板接続用ホール46cの底面および内面には、抵抗値可変材料層41が配置されている。また、図4(a)および図4(b)に示すように、抵抗値可変材料層41は、図4(a)に示す横方向に延在している。
次に、本発明の第2実施形態である半導体装置について、図4を用いて説明する。
図4は、本発明の半導体装置に備えられたヒューズ素子構造の他の一例を説明するための図であって、図4(a)は平面図であり、図4(b)は図4(a)のB−B’線に沿う断面図である。図4において、符号3aはSiからなる基準電源基板を示し、符号3bは基準電源基板3a上のアクティブ領域を示している。基準電源基板3aのアクティブ領域3b上には、シリコン酸化膜などからなる第1層間絶縁膜46aを開口することにより形成された基板接続用ホール46cが設けられている。基板接続用ホール46cの底面および内面には、抵抗値可変材料層41が配置されている。また、図4(a)および図4(b)に示すように、抵抗値可変材料層41は、図4(a)に示す横方向に延在している。
抵抗値可変材料層41は、第1実施形態において説明した第1抵抗値可変材料層11および第2抵抗値可変材料層21と同様の材料によって形成されている。
図4(b)に示すように、抵抗値可変材料層41の基準電源基板3aと反対側の面上には、シリコン酸化膜などからなる第2層間絶縁膜46bが形成されている。また、第2層間絶縁膜46b上には、アルミニウムなどからなり、外部と導電接続された複数の引き出し配線43が形成されている。引き出し配線43は、図4(a)に示す縦方向に延在しており、図4(a)に示すように、複数の引き出し配線43の抵抗値可変材料層41と平面視で重なり合う部分が、抵抗値可変材料層41の幅の中心線に対して対称に配置されている。また、引き出し配線43のビア42と接続された側の端部43aが、相反する方向に延在する他の引き出し配線43のビア42と接続された側の端部43aと対向配置されている。
図4(b)に示すように、複数の引き出し配線43のそれぞれと抵抗値可変材料層41との間には、複数のビア42が配置されており、複数の引き出し配線43のそれぞれは、複数のビア42と個別に電気的に接続されている。ビア42は、タングステンなどの導電材料からなり、図4(b)に示すように、第2層間絶縁膜46bを貫通して設けられている。
そして、図4に示すヒューズ素子構造においては、ビア42は、抵抗値可変材料層41と接触している部分を加熱して、抵抗値可変材料層41の抵抗値を変化させるためのヒーターとして機能する。
そして、図4に示すヒューズ素子構造においては、ビア42は、抵抗値可変材料層41と接触している部分を加熱して、抵抗値可変材料層41の抵抗値を変化させるためのヒーターとして機能する。
また、図4に示すように、基準電源基板3aには、電源配線45およびビア44を介して基準となる電源電圧が印加されている。
そして、図4に示すヒューズ素子構造においては、抵抗値可変材料層41が複数のビア42と同数のヒューズ素子として機能するようになっている。
そして、図4に示すヒューズ素子構造においては、抵抗値可変材料層41が複数のビア42と同数のヒューズ素子として機能するようになっている。
次に、図4に示すヒューズ素子構造を製造する方法について説明する。
図4に示すヒューズ素子構造を製造するには、まず、通常の半導体装置を製造する際と同様にSi基板に素子分離構造を形成する際に、基準電源基板3aの領域を用意し、アクティブ領域3bを形成する。その後、基準電源基板3a上に、CVD法などによりシリコン酸化膜を成膜し、CMP法により平坦化することにより、第1層間絶縁膜46aを形成する。
図4に示すヒューズ素子構造を製造するには、まず、通常の半導体装置を製造する際と同様にSi基板に素子分離構造を形成する際に、基準電源基板3aの領域を用意し、アクティブ領域3bを形成する。その後、基準電源基板3a上に、CVD法などによりシリコン酸化膜を成膜し、CMP法により平坦化することにより、第1層間絶縁膜46aを形成する。
次に、フォトリソグラフィ及びドライエッチングにより第1層間絶縁膜46aを開口し、アクティブ領域3bの一部を露出する基板接続用ホール46cを形成する。
続いて、第1層間絶縁膜46a上および基板接続用ホール46c上に、相変化材料を成膜し、フォトリソグラフィ及びドライエッチングにより、必要な大きさにパターニングすることにより、基準電源基板3と導電接続された抵抗値可変材料層41を形成する。
その後、抵抗値可変材料層41上および第1層間絶縁膜46a上に、CVD法などによりシリコン酸化膜を成膜し、CMP法により平坦化することにより、第2層間絶縁膜46bを形成する。
続いて、第1層間絶縁膜46a上および基板接続用ホール46c上に、相変化材料を成膜し、フォトリソグラフィ及びドライエッチングにより、必要な大きさにパターニングすることにより、基準電源基板3と導電接続された抵抗値可変材料層41を形成する。
その後、抵抗値可変材料層41上および第1層間絶縁膜46a上に、CVD法などによりシリコン酸化膜を成膜し、CMP法により平坦化することにより、第2層間絶縁膜46bを形成する。
次に、第2層間絶縁膜46bの抵抗値可変材料層41上と、抵抗値可変材料層41の形成されていないアクティブ領域3b上に、フォトリソグラフィ及びドライエッチングによりコンタクトホールを形成する。その後、CVD法などによりコンタクトホール内にタングステンを埋め込み、CMP法などにより第2層間絶縁膜46b上のタングステンを除去することにより、ビア42、44を形成する。
続いて、第2層間絶縁膜46b、ビア42、44上に、アルミニウム膜を成膜し、フォトリソグラフィ及びドライエッチングにより必要な大きさにパターニングすることにより、ビア42と導電接続された引き出し配線43と、ビア44と導電接続された電源配線45を形成することによって、図4に示すヒューズ素子構造が得られる。
続いて、第2層間絶縁膜46b、ビア42、44上に、アルミニウム膜を成膜し、フォトリソグラフィ及びドライエッチングにより必要な大きさにパターニングすることにより、ビア42と導電接続された引き出し配線43と、ビア44と導電接続された電源配線45を形成することによって、図4に示すヒューズ素子構造が得られる。
次に、図4に示すヒューズ素子構造の動作について説明する。
図4に示すヒューズ素子構造において、抵抗値可変材料層41の抵抗値を変化させる際には、基準電源基板3aと引き出し配線43との間で、ビア42および抵抗値可変材料層41を介して電流を流す。
このとき、各引き出し配線43からの電流パルスの与え方の違いにより、ヒーターとして機能する各ビア42の発熱量を調整して、抵抗値可変材料層41の各ビア42と接触している部分を所定の温度に加熱する。このように各ビア42と接触している部分の抵抗値可変材料層41の温度を個別に調整することにより、各ビア42と接触している部分の抵抗値可変材料層41の結晶状態を変化させて、各ビア42と接触している部分の抵抗値可変材料層41の抵抗値を変化させる。
図4に示すヒューズ素子構造において、抵抗値可変材料層41の抵抗値を変化させる際には、基準電源基板3aと引き出し配線43との間で、ビア42および抵抗値可変材料層41を介して電流を流す。
このとき、各引き出し配線43からの電流パルスの与え方の違いにより、ヒーターとして機能する各ビア42の発熱量を調整して、抵抗値可変材料層41の各ビア42と接触している部分を所定の温度に加熱する。このように各ビア42と接触している部分の抵抗値可変材料層41の温度を個別に調整することにより、各ビア42と接触している部分の抵抗値可変材料層41の結晶状態を変化させて、各ビア42と接触している部分の抵抗値可変材料層41の抵抗値を変化させる。
このように図4に示すヒューズ素子構造では、基準電源基板3aと各引き出し配線43との間の抵抗値を変化させることができるので、引き出し配線43を介して外部から電気信号を入力して、半導体装置内の救済情報や回路結線情報を書き換えることができる。
本実施形態の半導体装置は、基準電源基板3aと、基準電源基板3a上に設けられた抵抗値可変材料層41と、引き出し配線43と、ビア42とを備えたヒューズ素子構造を備え、基準電源基板3aが基板としての機能と、抵抗値可変材料層41の抵抗値を変化させるヒューズ素子の構成要素としての機能の2つの機能を兼ねるものとなるので、抵抗値可変材料層41と基準電源基板3aとの間に追加の配線層を設ける必要がなく、追加の配線層の設置を省略できる。また、追加の配線層と電源とを接続するためにビアや配線層を用いた接続構造を設ける必要もなく、容易に製造できる。
また、本実施形態の半導体装置では、追加の配線層を設けた場合と比較して、ヒューズ素子として機能する部分を形成する際に、追加の配線層と電源との接続部分や他の回路配線領域を避けるなどのヒューズ素子の配置上の制約が少ないものとなり、半導体装置上におけるヒューズ素子の配置可能な領域が広く、ヒューズ素子を高密度で配置することができるものとなる。
また、本実施形態の半導体装置では、追加の配線層を設けた場合と比較して、ヒューズ素子として機能する部分を形成する際に、追加の配線層と電源との接続部分や他の回路配線領域を避けるなどのヒューズ素子の配置上の制約が少ないものとなり、半導体装置上におけるヒューズ素子の配置可能な領域が広く、ヒューズ素子を高密度で配置することができるものとなる。
また、本実施形態の半導体装置においては、引き出し配線43の端部43aが、抵抗値可変材料層41と平面視で重なり合う位置で、相反する方向に延在する他の第1引き出し配線43の端部43aと対向配置されているので、より一層、ヒューズ素子の配置密度を高密度とすることができる。
本発明の活用例として、救済回路やパッケージに組み立て後に回路情報の変更が必要となる全ての半導体製品が挙げられる。
3…基準電源配線層、3a…基準電源基板、3b…アクティブ領域、11…第1抵抗値可変材料層、12…第1ビア、13…第1引き出し配線、14、24…ビア、15、25…電源配線、16…第1絶縁層、21…第2抵抗値可変材料層、22…第2ビア、23…第2引き出し配線、26…第2絶縁層、41…抵抗値可変材料層、42…ビア、43…引き出し配線、44…ビア、45…電源配線、46a…第1層間絶縁膜、46b…第2層間絶縁膜、46c…基板接続用ホール。
Claims (9)
- 第1方向に延在する第1抵抗値可変材料層と、
少なくとも一部が前記第1抵抗値可変材料層と平面視で重なり合う第2抵抗値可変材料層と、
前記第1抵抗値可変材料層と前記第2抵抗値可変材料層との間に挟まれて配置された基準電源配線層と、
前記第1抵抗値可変材料層の前記基準電源配線層と反対側の面上に第1絶縁層を介して設けられ、前記第1方向と交差する第2方向に延在する複数の第1引き出し配線と、
前記第1絶縁層を貫通して設けられ、前記複数の第1引き出し配線のそれぞれと前記第1抵抗値可変材料層との間に配置された複数の第1ビアと、
前記第2抵抗値可変材料層の前記基準電源配線層と反対側の面上に第2絶縁層を介して設けられ、前記第2方向に延在する複数の第2引き出し配線と、
前記第2絶縁層を貫通して設けられ、前記複数の第2引き出し配線のそれぞれと前記第2抵抗値可変材料層との間に配置された複数の第2ビアとを備えたヒューズ素子構造。 - 前記第1抵抗値可変材料層および前記第2抵抗値可変材料層が、相変化により抵抗値が変化する相変化材料からなることを特徴とする請求項1に記載のヒューズ素子構造。
- 前記第1抵抗値可変材料層および前記第2抵抗値可変材料層が、ペロブスカイト型金属酸化物からなることを特徴とする請求項1に記載のヒューズ素子構造。
- 前記第1引き出し配線の前記第1ビアと接続された側の端部が、相反する方向に延在する他の第1引き出し配線の前記第1ビアと接続された側の端部と対向配置されており、
前記第2引き出し配線の前記第2ビアと接続された側の端部が、相反する方向に延在する他の第2引き出し配線の前記第2ビアと接続された側の端部と対向配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載のヒューズ素子構造。 - 基準電源基板と、
前記基準電源基板上に設けられ、第1方向に延在する抵抗値可変材料層と、
前記抵抗値可変材料層上に絶縁層を介して設けられ、前記第1方向と交差する第2方向に延在する複数の引き出し配線と、
前記絶縁層を貫通して設けられ、前記引き出し配線のそれぞれと前記抵抗値可変材料層との間に配置された複数のビアとを備えたヒューズ素子構造。 - 前記抵抗値可変材料層が、相変化により抵抗値が変化する相変化材料からなることを特徴とする請求項5に記載のヒューズ素子構造。
- 前記抵抗値可変材料層が、ペロブスカイト型金属酸化物からなることを特徴とする請求項5に記載のヒューズ素子構造。
- 前記引き出し配線の前記ビアと接続された側の端部が、相反する方向に延在する他の引き出し配線の前記ビアと接続された側の端部と対向配置されていることを特徴とする請求項5〜請求項7のいずれかに記載のヒューズ素子構造。
- 請求項5〜請求項7のいずれかに記載のヒューズ素子構造を備えることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007104688A JP2008263060A (ja) | 2007-04-12 | 2007-04-12 | ヒューズ素子構造および半導体装置 |
US12/081,012 US20080251886A1 (en) | 2007-04-12 | 2008-04-09 | Fuse structure, and semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007104688A JP2008263060A (ja) | 2007-04-12 | 2007-04-12 | ヒューズ素子構造および半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008263060A true JP2008263060A (ja) | 2008-10-30 |
Family
ID=39852944
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007104688A Abandoned JP2008263060A (ja) | 2007-04-12 | 2007-04-12 | ヒューズ素子構造および半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080251886A1 (ja) |
JP (1) | JP2008263060A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8830722B2 (en) | 2011-08-25 | 2014-09-09 | Micron Technology, Inc. | Methods, apparatuses, and circuits for programming a memory device |
US11011481B2 (en) | 2016-12-29 | 2021-05-18 | Intel Corporation | Configurable resistor |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7606059B2 (en) * | 2003-03-18 | 2009-10-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Three-dimensional programmable resistance memory device with a read/write circuit stacked under a memory cell array |
JP2007184419A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Sharp Corp | 不揮発性メモリ装置 |
-
2007
- 2007-04-12 JP JP2007104688A patent/JP2008263060A/ja not_active Abandoned
-
2008
- 2008-04-09 US US12/081,012 patent/US20080251886A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080251886A1 (en) | 2008-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100808997B1 (ko) | 퓨즈 소자 및 그 절단 방법 | |
CN100505236C (zh) | 电可再编程熔丝器件、其制造方法及集成电路器件 | |
CN100481435C (zh) | 可再编程熔丝结构及方法 | |
JP3256603B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US7964862B2 (en) | Phase change memory devices and methods for manufacturing the same | |
CN100568569C (zh) | 半导体结构及其制造方法 | |
US9343404B2 (en) | Anti-fuse of semiconductor device, semiconductor module and system each including the semiconductor device, and method for forming the anti-fuse | |
CN101034696B (zh) | 端部处于不同高度的电编程熔丝结构及其制造方法 | |
KR20030027859A (ko) | 메모리 셀 및 메모리 셀 형성 방법 | |
JP5430879B2 (ja) | 電気ヒューズ、半導体装置、および電気ヒューズの切断方法 | |
US7919767B2 (en) | Semiconductor memory device and fabrication method thereof | |
JP2010502012A (ja) | プログラマブルな抵抗メモリ装置、およびそれを用いた系、ならびにそれを形成する方法 | |
JP2008263060A (ja) | ヒューズ素子構造および半導体装置 | |
JP2008263061A (ja) | ヒューズ素子構造、半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
TWI622841B (zh) | 電晶體陣列選徑技術 | |
US7569909B2 (en) | Phase change memory devices and methods for manufacturing the same | |
KR100205340B1 (ko) | 안티퓨즈의 구조 및 제조 방법 | |
JP2005317713A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR100246191B1 (ko) | 반도체 장치의 다층의 안티퓨즈 제조방법 | |
JP2011171391A (ja) | アンチヒューズ構造およびアンチヒューズ構造の製造方法 | |
JP2006135035A (ja) | 半導体記憶装置及びその製造方法。 | |
KR100668870B1 (ko) | 상변환 기억 소자 및 그의 제조방법 | |
JP3625366B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH11150187A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
KR20100055824A (ko) | 안티 퓨즈를 구비하는 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100312 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20110311 |