JP2008262056A - 基板の貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】二枚の基板をシール剤によって貼り合わせるとき、シール剤を全長にわたってほぼ均一に押しつぶすことができる貼り合わせ装置を提供することにある。
【解決手段】内部の圧力が制御されるチャンバと、チャンバ内に設けられ上面に貼り合わされる一対の基板のうちの一方の基板が載置される下部保持テーブル15と、下部保持テーブルに対向して設けられ下面に他方の基板を保持する上部保持テーブルと、下部保持テーブルの上面と上部保持テーブルの下面の少なくとも一方の面に基板に塗布されたシール剤と対応する形状で設けられその部分によって基板を支持する突出支持部18と、下部保持テーブルと上部保持テーブルを相対的に水平方向に駆動して一対の基板を水平方向に位置合わせしてから接する方向に駆動して一対の基板の上記シール剤が塗布された部分を上記突出支持部によって加圧して貼り合せる第1、第2の駆動源を具備する。
【選択図】 図5
【解決手段】内部の圧力が制御されるチャンバと、チャンバ内に設けられ上面に貼り合わされる一対の基板のうちの一方の基板が載置される下部保持テーブル15と、下部保持テーブルに対向して設けられ下面に他方の基板を保持する上部保持テーブルと、下部保持テーブルの上面と上部保持テーブルの下面の少なくとも一方の面に基板に塗布されたシール剤と対応する形状で設けられその部分によって基板を支持する突出支持部18と、下部保持テーブルと上部保持テーブルを相対的に水平方向に駆動して一対の基板を水平方向に位置合わせしてから接する方向に駆動して一対の基板の上記シール剤が塗布された部分を上記突出支持部によって加圧して貼り合せる第1、第2の駆動源を具備する。
【選択図】 図5
Description
この発明は二枚の基板を、これらの基板間に流体を介在させてシール剤を介して貼り合わせる貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法に関する。
液晶パネルに代表されるフラットディスプレイパネルなどの製造工程では、二枚の基板を所定の間隔で対向させ、これら基板間に流体としての液晶を封入してシール剤によって貼り合せる、貼り合わせ作業が行なわれる。
上記貼り合わせ作業は、二枚の基板のどちらかに上記シール剤を枠状に塗布し、その基板或いは他方の基板の上記シール剤の枠内に対応する部分に所定量の上記液晶を複数の粒状にして滴下供給する。
つぎに、上記二枚の基板をチャンバ内に設けられた上部保持テーブルの上面と下部保持テーブルの下面とにそれぞれ保持して上下方向に所定の間隔で離間させて対向させる。ついで、チャンバ内を減圧し、これら基板を水平方向であるX、Y及びθ方向に位置決めしてから、接する方向に駆動してこれら基板を貼り合せるようにしている。
このような先行技術は特許文献1に示されている。
このような先行技術は特許文献1に示されている。
二枚の基板の貼り合わせ精度としては、これら基板をX、Y及びθ方向に対して高精度に位置決めすること、及び二枚の基板を上部保持テーブルの下面と下部保持テーブルの上面とによって平行に加圧することが要求される。二枚の基板を貼り合せる際、これら基板を平行に加圧することができないと、シール剤が均一に押し潰されなくなるということがある。つまり、二枚の基板を貼り合せるシール剤は、充分に押し潰されない部分や押し潰され過ぎる部分が生じることになる。
シール剤が部分的に充分に押し潰されない場合には基板間の密閉性が低下し、封入された液晶が漏れ出したり、基板間への空気の侵入を招くことになる。シール剤が押し潰され過ぎると、押し潰されたシール剤は復元しないため、貼り合わされた二枚の基板のギャップが不均一になる。それによって、二枚の基板間に必要とするギャップが確保されない部分が生じることで、二枚の基板間のギャップが不均一になるから、液晶表示パネルの表示性能が低下するということになる。
特開2000−66163号公報
二枚の基板を平行に加圧して貼り合せる場合、上部保持テーブルの下面と下部保持テーブルの上面が高い精度の平坦面に加工されているということが要求される。
しかしながら、最近では基板の大型化に伴って、上部保持テーブルと下部保持テーブルの基板を保持する面も大型化しているから、それらの面を高い平坦度で加工するということは非常に難しく、しかもその加工には多大な手間が掛かるということがあった。
しかしながら、最近では基板の大型化に伴って、上部保持テーブルと下部保持テーブルの基板を保持する面も大型化しているから、それらの面を高い平坦度で加工するということは非常に難しく、しかもその加工には多大な手間が掛かるということがあった。
この発明は、上部保持テーブルや下部保持テーブルの基板を保持する面を全体にわたって平坦度の高い面に加工しなくても、二枚の基板のシール剤が塗布された部分を高い平行度で加圧することができるようにした基板の貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法を提供することにある。
この発明は、二枚の基板のどちらかにシール剤が枠状に塗布され、二枚の基板のどちらかの上記シール剤の枠内に対応する部分に流体が滴下されていて、これら二枚の基板を上記シール剤を介して貼り合わす貼り合わせ装置であって、
内部の圧力が制御されるチャンバと、
上記チャンバ内に設けられ上面に一方の基板が載置される下部保持テーブルと、
この下部保持テーブルに対向して設けられ下面に他方の基板を保持する上部保持テーブルと、
上記下部保持テーブルの上面と上記上部保持テーブルの下面の少なくとも一方の面に上記基板に塗布されたシール剤と対応する形状で設けられその部分によって上記基板を支持する突出支持部と、
上記下部保持テーブルと上部保持テーブルを相対的に水平方向に駆動して上記一対の基板を水平方向に位置合わせしてから接する方向に駆動して一対の基板の上記シール剤が塗布された部分を上記突出支持部によって加圧して貼り合せる駆動手段と
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ装置にある。
内部の圧力が制御されるチャンバと、
上記チャンバ内に設けられ上面に一方の基板が載置される下部保持テーブルと、
この下部保持テーブルに対向して設けられ下面に他方の基板を保持する上部保持テーブルと、
上記下部保持テーブルの上面と上記上部保持テーブルの下面の少なくとも一方の面に上記基板に塗布されたシール剤と対応する形状で設けられその部分によって上記基板を支持する突出支持部と、
上記下部保持テーブルと上部保持テーブルを相対的に水平方向に駆動して上記一対の基板を水平方向に位置合わせしてから接する方向に駆動して一対の基板の上記シール剤が塗布された部分を上記突出支持部によって加圧して貼り合せる駆動手段と
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ装置にある。
上記突出支持部は、上記下部保持テーブルに上記シール剤と対応する枠状の形状で設けられ、上記突出支持部の内側には、上記基板の上記シール剤の内側の部分を弾性的に支持する弾性支持部が設けられていることが好ましい。
上記弾性支持部は、上記シール剤の枠内に入る大きさの板状部材と、この板状部材を弾性的に支持したばね部材とによって構成されていることが好ましい。
二枚の基板のどちらかには枠状のシール剤が複数個所に設けられ、上記下部保持テーブルの上面と上記上部保持テーブルの下面の少なくとも一方の面には上記シール剤と対応して複数の突出支持部が設けられていることが好ましい。
この発明は、二枚の基板のどちらかにシール剤が枠状に塗布され、二枚の基板のどちらかの上記シール剤の枠内に対応する部分に流体が滴下されていて、これら二枚の基板を内部の圧力が制御されるチャンバ内で上記シール剤を介して貼り合わす貼り合わせ方法であって、
上記チャンバ内に設けられた下部保持テーブルの上面に一方の基板を載置し、上記下部保持テーブルに対向して設けられた上部保持テーブルの下面に他方の基板を保持するときに、どちらか一方の基板を一方のテーブルの面に上記シール剤に対応する形状で設けられた突出支持部によって支持する工程と、
上記下部保持テーブルと上部保持テーブルを相対的に水平方向に駆動して上記一対の基板を水平方向に位置合わせする工程と、
水平方向に位置合わせされた二枚の基板を接する方向に駆動してこれら基板の上記シール剤が塗布された部分を上記突出支持部によって加圧して貼り合せる工程と
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ方法にある。
上記チャンバ内に設けられた下部保持テーブルの上面に一方の基板を載置し、上記下部保持テーブルに対向して設けられた上部保持テーブルの下面に他方の基板を保持するときに、どちらか一方の基板を一方のテーブルの面に上記シール剤に対応する形状で設けられた突出支持部によって支持する工程と、
上記下部保持テーブルと上部保持テーブルを相対的に水平方向に駆動して上記一対の基板を水平方向に位置合わせする工程と、
水平方向に位置合わせされた二枚の基板を接する方向に駆動してこれら基板の上記シール剤が塗布された部分を上記突出支持部によって加圧して貼り合せる工程と
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ方法にある。
下部保持テーブルの上面と、上部保持テーブルの下面の少なくともどちらか一方に、基板に塗布されたシール剤と対応する形状の突出支持部を設け、二枚の基板を貼り合せるときに突出支持部によって基板のシール剤が塗布された部分を加圧するようにした。
突出支持部は下部保持テーブルの上面或いは上部保持テーブルの下面の面積に対して充分に小さい面積であるから、高い平坦度で加工することが可能になり、それによって二枚の基板を貼り合わせるとき、基板のシール剤が塗布された部分を平行に加圧することが可能となる。
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図1はこの発明の液晶表示パネルの組立て装置1を示す概略図である。この組立て装置1は、シール剤の塗布装置2を有する。この塗布装置2には液晶表示パネルを構成する第1、第2の基板3,4のうちの一方である、第1の基板3が供給される。
上記塗布装置2は、第1の基板3が供給載置されるテーブル及びこのテーブルの上方に配置された塗布ノズル(ともに図示せず)を有し、この塗布ノズルが上記第1の基板3に対して相対的にX、Y及びZ方向に駆動される。
それによって、第1の基板3の内面には粘弾性材からなるシール剤5が矩形枠状に塗布される。この実施の形態では上記第1の基板3の内面には図3に示すように縦横2列の4面取りとなるよう、シール剤5が4つの矩形枠状に塗布されている。
シール剤5が塗布された第1の基板3は滴下装置7に供給される。この滴下装置7は第1の基板3が載置されるテーブル及びこのテーブルの上方に配置された滴下ノズル(ともに図示せず)を有し、この滴下ノズルが上記第1の基板3に対して相対的にX、Y及びZ方向に駆動される。それによって、この第1の基板3の内面のシール剤5によって囲まれた領域内に液状物質(流体)としての液滴状の液晶(図示せず)が所定の配置パターン、たとえば行列状に滴下供給される。
液晶が滴下された第1の基板3は貼り合わせ装置11に供給される。この貼り合わせ装置11には上記第1の基板3とともに上記第2の基板4が供給される。そして、上記第1の基板3と第2の基板4とが後述するごとく位置決めされて貼り合わされる。それによって、一対の基板3,4間に上記液晶が充填された液晶パネルが組立てられる。
上記貼り合わせ装置11は図2に示すようにチャンバ12を有する。このチャンバ12内は減圧ポンプ10によって所定の圧力、たとえば1Pa程度に減圧されるようになっている。チャンバ12の一側にはシャッタ13によって開閉される出し入れ口14が形成され、この出し入れ口14から上記第1の基板3と第2の基板4とが出し入れされるようになっている。
上記チャンバ12内には下部保持テーブル15が設けられている。この下部保持テーブル15は第1の駆動源16によってX、Y及びθ方向に駆動されるようになっている。下部保持テーブル15の保持面15a(上面)にはシール剤5が塗布されるとともに液晶が滴下された上記第1の基板3が、液晶が滴下された内面を上に向けて供給される。
上記保持面15aには、図4と図5に示すように第1の基板3に塗布されたシール剤5(同図に鎖線で示す)と対応する状態で帯状の突出支持部18が上記保持面15aから数mmの高さで突出して設けられている。つまり、突出支持部18は田の字状に形成されている。突出支持部18の幅寸法は上記シール剤5の幅寸法よりも十分に大きく設定されていて、その上面は平坦度が高い平面に加工されている。
上記保持面15aの上記突出支持部18によって形成された4つの矩形枠の内側の部分にはそれぞれ凹部19が形成されている。各凹部19には弾性支持部21が設けられている。この弾性支持部21は、上記突出支持部18内に入り込む大きさの剛性を備えた板状部材22と、この板状部材22を上記突出支持部18とほぼ同じ高さになるよう、弾性的に変位可能に支持した弾性支持部材としての複数のコイルばね23によって構成されている。なお、弾性支持部材はコイルばね23に代わり板ばねなどの他のばねであってもよい。
それによって、下部保持テーブル15の保持面15aに数mmの高さで突出して形成された突出支持部18によって支持された第1の基板3は、突出支持部18の各枠の内側に位置する部分が弾性支持部21の板状部材22によって弾性的に保持されるため、その部分が下方へ撓むのが阻止されるようになっている。
図2に示すように、上記下部保持テーブル15の上方には、第2の駆動源27によって下部保持テーブル15に対して接離するZ方向に駆動される上部保持テーブル28が配設されている。この上部保持テーブル28の下面の保持面28aには、上記第2の基板4が外面を静電気力によって保持される。
各保持テーブル15,28にはそれぞれ複数の電極15b、28bが設けられている。これら電極15b、28bに給電すると、各保持テーブル15,28の保持面15a,28aに基板3,4を保持する静電気力を発生させることができるようになっている。なお、各保持テーブル15,28の保持面15a,28aは基板3,4よりもわずかに大きな面積に形成されている。
下部保持テーブル15と上部保持テーブル28との保持面15a,28aに保持された第1の基板3と第2の基板4とは、四隅部がそれぞれ上記チャンバ12の下方に配設された4組の撮像手段31(2組のみ図示)によって撮像される。各撮像手段31は粗位置合わせ用の第1の撮像カメラ32と、この第1の撮像カメラ32よりも撮像倍率の高い精密位置合わせ用の第2の撮像カメラ33を有する。
各撮像手段31の第1、第2の撮像カメラ32,33は、X、Y及びZテーブルを有する位置決め装置34によってX、Y、及びZ方向に駆動されるようになっており、各位置決め装置34は上記チャンバ12の下方に配置された載置板35上に設置されている。
上記チャンバ12の底壁の少なくとも各位置決め装置34が対向する部位は透明窓36に形成されている。上記チャンバ12内に配置された下部保持テーブル15の上記透明窓36に対応する部位には、下部保持テーブル15の保持面15aに保持された第1の基板3の四隅部及びこの第1の基板3を介して上記上部保持テーブル28の保持面28aに保持された第2の基板4の四隅部を上記第1、第2の撮像カメラ32,33によって撮像可能とする空洞部37が形成されている。
上記第1の基板3と第2の基板4との上記シール剤5よりも外方の四隅部には、図示しないがそれぞれ粗位置合わせマークと精密位置合わせマークとが設けられている。各基板3,4の粗位置合わせマークを一致させることで、第1の基板3と第2の基板4とを粗位置合わせすることができ、各精密位置合わせマークを一致させることで、一対の基板3,4を精密に位置合わせすることができる。
なお、第1、第2の基板3,4を撮像するために、下部保持テーブル15に空洞部37を形成したが、空洞部37を形成せずに、下部保持テーブル15全体を透光性の材料で形成してもよい。
4組の第1の撮像カメラ32と第2の撮像カメラ33の撮像信号は図示しない画像処理部に入力されて座標信号に変換処理される。画像処理部で変換処理された座標信号は制御装置39に設けられた図示しない演算処理部に入力される。この演算処理部では4組の第1の撮像カメラ32或いは第2の撮像カメラ33が撮像した第1、第2の基板3,4の四隅部の各一対の粗位置合わせマーク或いは精密位置合わせマークの撮像信号から得た座標信号に基づいて、これら基板3,4のX、Y及びθ方向の相対的な位置ずれを算出する。
上記演算処理部によって一対の基板3,4の位置ずれが算出されると、その位置ずれが制御装置39に設けられた図示しない記憶部に記憶される一方、駆動部(同じく図示せず)にも出力される。それによって、駆動部は、下部保持テーブル15を駆動する第1の駆動源16に駆動信号を出力し、上記下部保持テーブル15をX方向、Y方向及びθ方向に駆動して第1の基板3と第2の基板4とを位置合わせする。
第1の基板3と第2の基板4との位置合わせは、第1の撮像カメラ32からの撮像信号に基く粗位置合わせと、第2の撮像カメラ33からの撮像信号に基く精密位置合わせが行なわれる。
なお、上記制御装置39の駆動部は、上記第2の駆動源27及び上記位置決め装置34に対しても駆動信号を出力するようになっている。上記第2の駆動源27は、上部保持テーブル28を下降方向に駆動してその保持面28aに保持された第2の基板4を、下部保持テーブル15の保持面15aの突出支持部18に保持された第1の基板3に、液晶を介して所定の荷重で加圧させる。
それによって、液晶が潰されて第1の基板3のシール剤5によって囲まれた領域に拡散するとともに、第1の基板3に塗布されたシール剤5が押し潰されて第2の基板4が第1の基板3に接続される。
上記チャンバ12には流量調整弁41を介してたとえば窒素などの加圧された気体を供給する気体供給源42が接続されている。流量調整弁41の開度を調整してチャンバ12内に供給する気体の流量を調整することで、減圧ポンプ10によって減圧されたチャンバ12内の圧力を所定の上昇曲線に基づいて上昇させることができる。上記流量調整弁41は上記制御装置39の駆動部によって開度調整されるようになっている。
つまり、チャンバ12内は、第1の基板3と第2の基板4を貼り合わせるときに減圧され、貼り合わされた基板3,4をチャンバ12内から取り出すときに基体供給源42から供給される気体によって大気圧に加圧されるようになっている。
このような構成の貼り合わせ装置においては、下部保持テーブル15の保持面15aに保持された第1の基板3をX、Y及びθ方向に駆動して上部保持テーブル28の保持面28aに保持された第2の基板4に対して水平方向に対して位置合わせしてから、上部保持テーブル28をZ方向に駆動して上記第2の基板4を第1の基板3にシール剤5によって貼り合わせる。
二枚の基板3,4を貼り合わせるとき、第1の基板3は下部保持テーブル15の保持面15aにシール剤5と対応する形状に設けられた突出支持部18によって支持されている。そのため、貼り合わされる第1、第2の基板3,4は上記突出支持部18の上面と、上部保持テーブル28の保持面28aとで挟持されて加圧されることになる。
上記下部保持テーブル15の突出支持部18は、第1の基板3に塗布されたシール剤5に対応する矩形枠状に形成されていて、その上端面の面積が下部保持テーブル15の保持面15aに比べて遥かに小さいから、下部保持テーブル15の保持面15a全体を平坦面に加工する場合に比べて比較的容易に高い平坦度で加工することが可能となる。
それによって、下部保持テーブル15の突出支持部18と上部保持テーブル28の保持面28aとで加圧されて貼り合わされる二枚の基板3,4は、これら基板3,4を貼り合わせるシール剤5が高い平坦度に加工された突出支持部18によって加圧されることになる。
その結果、第1の基板3に枠状に塗布されたシール剤5は平坦度の高い突出支持部18により、全長にわたってほぼ均等に押し潰されることになるから、下部保持テーブル15の保持面15aに突出支持部18が形成されていない場合に比べて二枚の基板3,4を高い平行度で貼り合わせることができる。
二枚の基板3,4を高い平行度で貼り合わせることができれば、シール剤5に押し潰され過ぎた部分が生じたり、逆に充分に押し潰されない部分が生じるなどのことなく、二枚の基板3,4をほぼ均等なギャップで貼り合わせることができる。それによって、二枚の基板3,4から液晶が漏れ出たり、二枚の基板3,4間に空気が侵入するのを防止することができるから、液晶表示パネルの表示性能を低下させるということもない。
上記下部保持テーブル15の突出支持部18によって形成された4つの枠の内側にはそれぞれ弾性支持部21が設けられている。この弾性支持部21の板状部材22は第1の基板3の上記シール剤5の内側に対応する部分を弾性的に支持する。つまり、第1の基板3の上記シール剤5の内側に対応する部分を下方へ撓ませることなく支持する。
下部保持テーブル15に突出支持部18を設けることで、第1の基板3が下方へ撓むと、その撓みによって第1の基板3のシール剤5よりも外方の四隅部に設けられた粗位置合わせマークと精密位置合わせマークのX,Y方向の位置がずれることになるから、第1の基板3と第2の基板4との位置合わせ精度が低下することになる。
しかしながら、第1の基板3の上記シール剤5の内側に対応する部分を、弾性支持部21の板状部材22によって自重に釣り合う力で弾性的に支持するようしているから、第1の基板3に撓みが生じてその位置合わせマークの位置がX,Y方向にずれるということがない。それによって、第1の基板3と第2の基板4を高精度に位置合わせして貼り合わせることができる。
つまり、弾性支持部21の板状部材22は第1の基板3を下方へ撓ませることなく弾性的に支持する。そのため、二枚の基板3,4を位置合わせするとき、第1の基板3が撓んで位置合わせ精度が低下するのを防止することができる。
上記一実施の形態では第1の基板にシール剤を4つの矩形枠状に塗布する4面取りを例に挙げて説明したが、2面取りや1面取り或いは6面取り以上の場合であっても、この発明は適用可能である。
突出支持部を下部保持テーブルの上面に設けるようにしたが、上部保持テーブルの下面に設けたり、上部保持テーブルの下面と下部保持テーブルの上面の両方に設けるようにしてもよい。
第1の基板にシール剤を塗布したり、液晶を滴下するようにしたが、液晶とシール剤の一方をどちらか一方の基板に、他方を他方の基板に設けるようにしてもよく、シール剤と液晶をどちらの基板に設けるかはなんら限定されるところでない。
突出支持部の矩形枠の内側の凹部に設けられる弾性支持部をコイルばねと板状部材としたが、上記凹部に気体圧によって膨張する扁平な袋体を設け、この袋体に対して圧縮気体を供給することで、基板の突出支持部の内側に対応する部分を弾性的に支持するようにしてもよい。
この場合、袋体に対して供給する気体の圧力を調整可能な圧力構成手段を、チャンバ12内の圧力を調整する減圧ポンプ10及び気体供給源42とは独立して設け、袋体内の圧力とチャンバ12内の圧力との圧力差が所定の圧力差で一定となるように、袋体内の圧力を調整するとよい。
3…第1の基板、4…第2の基板、5…シール剤、12…チャンバ、15…下部保持テーブル、16…第1の駆動手段、18…突出支持部、19…凹部、21…弾性支持部、22…板状部材、23…コイルばね、27…第2の駆動手段、28…上部保持テーブル。
Claims (5)
- 二枚の基板のどちらかにシール剤が枠状に塗布され、二枚の基板のどちらかの上記シール剤の枠内に対応する部分に流体が滴下されていて、これら二枚の基板を上記シール剤を介して貼り合わす貼り合わせ装置であって、
内部の圧力が制御されるチャンバと、
上記チャンバ内に設けられ上面に一方の基板が載置される下部保持テーブルと、
この下部保持テーブルに対向して設けられ下面に他方の基板を保持する上部保持テーブルと、
上記下部保持テーブルの上面と上記上部保持テーブルの下面の少なくとも一方の面に上記基板に塗布されたシール剤と対応する形状で設けられその部分によって上記基板を支持する突出支持部と、
上記下部保持テーブルと上部保持テーブルを相対的に水平方向に駆動して上記一対の基板を水平方向に位置合わせしてから接する方向に駆動して一対の基板の上記シール剤が塗布された部分を上記突出支持部によって加圧して貼り合せる駆動手段と
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ装置。 - 上記突出支持部は、上記下部保持テーブルに上記シール剤と対応する枠状の形状で設けられ、上記突出支持部の内側には、上記基板の上記シール剤の内側の部分を弾性的に支持する弾性支持部が設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板の貼り合わせ装置。
- 上記弾性支持部は、上記シール剤の枠内に入る大きさの板状部材と、この板状部材を弾性的に支持したばね部材とによって構成されていることを特徴とする請求項2記載の基板の貼り合わせ装置。
- 二枚の基板のどちらかには枠状のシール剤が複数個所に設けられ、上記下部保持テーブルの上面と上記上部保持テーブルの下面の少なくとも一方の面には上記シール剤と対応して複数の突出支持部が設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板の貼り合わせ装置。
- 二枚の基板のどちらかにシール剤が枠状に塗布され、二枚の基板のどちらかの上記シール剤の枠内に対応する部分に流体が滴下されていて、これら二枚の基板を内部の圧力が制御されるチャンバ内で上記シール剤を介して貼り合わす貼り合わせ方法であって、
上記チャンバ内に設けられた下部保持テーブルの上面に一方の基板を載置し、上記下部保持テーブルに対向して設けられた上部保持テーブルの下面に他方の基板を保持するときに、どちらか一方の基板を一方のテーブルの面に上記シール剤に対応する形状で設けられた突出支持部によって支持する工程と、
上記下部保持テーブルと上部保持テーブルを相対的に水平方向に駆動して上記一対の基板を水平方向に位置合わせする工程と、
水平方向に位置合わせされた二枚の基板を接する方向に駆動してこれら基板の上記シール剤が塗布された部分を上記突出支持部によって加圧して貼り合せる工程と
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ方法。
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2007
- 2007-04-12 JP JP2007105232A patent/JP2008262056A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108819432A (zh) * | 2018-03-23 | 2018-11-16 | 深圳市飞帆泰科技有限公司 | 一种超薄胶层加压贴合方法及装置 |
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