JP2008254082A - 球体の研磨装置 - Google Patents

球体の研磨装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2008254082A
JP2008254082A JP2007096243A JP2007096243A JP2008254082A JP 2008254082 A JP2008254082 A JP 2008254082A JP 2007096243 A JP2007096243 A JP 2007096243A JP 2007096243 A JP2007096243 A JP 2007096243A JP 2008254082 A JP2008254082 A JP 2008254082A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
surface plate
carrier
polishing
sphere
abrasive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007096243A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuki Shingu
克喜 新宮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2007096243A priority Critical patent/JP2008254082A/ja
Publication of JP2008254082A publication Critical patent/JP2008254082A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

【課題】ガラスなどを、割れや欠けなく、真球度や表面粗さ、外形精度の高い球体へ研磨するための研磨装置を提供する。
【解決手段】下定盤と、下方より、球体12を回動可能に保持するキャリア13と、上定盤と、この上定盤を加圧するウエイトとを有し、前記下定盤上に回動可能に支持された研磨治具と、前記キャリア13を介して球体12に研磨剤を供給する供給部とからなり、研磨剤を供給しながら、前記下定盤および上定盤とで球体12を挟持、加圧するとともに、これら下定盤、上定盤とを相対的に移動させて前記球体12を研磨する研磨装置であって、前記キャリア13は、その表面に有底の溝部20と、この溝部20の経路に設けた開口部13a内に嵌合した、球体12を回動可能に保持するサブキャリア19とからなり、このサブキャリア19に前記溝部20を介して研磨剤を供給した。
【選択図】図3

Description

本発明は、特にレンズなどの球体のガラスを研磨するための研磨装置に関する。
ころがり軸受けの転動体やレンズなどに用いられる球体を研磨する方法として、二枚の定盤で球体を挟持、加圧するとともに、研磨剤を適宜供給しながらこれら二枚の定盤を相対運動させるものがある。図5は、上述した方法により球体を研磨する研磨装置の一例である。固定盤1と回転盤2の表面に発泡ポリウレタンなどからなる研磨パッド3を貼付し、これら固定盤1と回転盤2とで球体4を左右から挟持する。球体4を挟持したこれら固定盤1と回転盤2との間隙に、上方の供給部5から研磨剤を供給するとともに、回転盤2を駆動手段6により回転させて、球体4を回転させる。この球体4の回転運動と、押圧手段7による固定盤1からの加圧力と、時間との積で球体4の研磨量を決定するものである。
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2000−354955号公報
上記の研磨装置では、球体4を左右から固定盤1および回転盤2とで挟持し、その間隙の上方から、研磨剤を供給する。したがって、供給された研磨剤は、一旦研磨パッド3全体に広がるが、そのまま研磨パッド3上に滞留することなく、下方より排出されることになる。そのため、球体4と研磨パッド3との間に研磨剤が供給されにくく、その結果、真球度や外形精度が低下するという課題があった。
そこで本発明は、球体の研磨精度を高めることを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、下定盤と、この下定盤上に設けた研磨治具と、この研磨治具に研磨剤を供給する供給部とを備え、前記研磨治具は、下定盤上に、下方から上方に向けて順に球体を回動可能に保持するキャリア、上定盤、この上定盤を加圧するウエイトとから構成し、前記供給部から前記キャリアを介して球体に研磨剤を供給しながら、前記下定盤および上定盤とで球体を挟持、加圧するとともに、これら下定盤、上定盤とを相対的に移動させて前記球体を研磨する研磨装置であって、前記キャリアは、その表面に有底の溝部と、この溝部の経路に設けた開口部内に嵌合した、球体を回動可能に保持するサブキャリアとからなり、このサブキャリアに前記溝部を介して研磨剤を供給するものである。
本発明に係る球体の研磨装置によれば、下定盤上に研磨治具と研磨剤を供給する供給部を配置する。研磨治具は、その下方から上方に向けて順に、球体を回動可能に保持して回転するキャリア、上定盤、この上定盤をその重量により加圧するウエイトとから構成されており、これら下定盤及び上定盤とで、球体を上下に挟持する。そして、供給部から研磨剤を供給するとともに、下定盤を回転させることで、球体を回動させて、その表面を研磨する。キャリアには、有底の溝部と、この溝部の経路に貫通した開口部を設け、さらにこの開口部内に、球体を回動可能に保持したサブキャリアを回転可能に嵌合している。研磨時に供給された研磨剤は、研磨治具を介して、あるいは研磨治具の外部より直接キャリアの溝部流れ込み、さらにその経路の途中に設けた開口部、すなわちサブキャリアで保持された球体へと供給される。下定盤および上定盤は水平に配置されるので、供給された研磨剤はサブキャリアを嵌合する開口部へ滞留して、保持された球体へ常に供給されるので真球度や外形精度の高い研磨を行うことができる効果を奏する。
以下に本発明の詳細を、図を用いて説明する。
図1は、本発明の球体の研磨装置の一例を説明する斜視図である。
本実施の形態の球体の研磨装置は、円盤状の下定盤8上に、その内部に球体の被研磨物を保持する研磨治具9と、この研磨治具9に研磨剤を供給する供給部10とを備えている。研磨治具9は、回動可能な保持ローラ11で、その外周部が少なくとも二点以上で支持されており、研磨剤を供給しながら下定盤8を回転させることにより、矢印方向に連れ回りするようになっている。
下定盤8は、ラッピングと呼ばれる粗加工を行うときは、鋳鉄製の定盤を選択し、ポリシングと呼ばれる主に表面粗さを低減して鏡面に仕上げる精密仕上げ加工を行うときは、その表面に発泡ウレタンやスエード、または錫や研磨剤などの粉末を分散させて成形した樹脂プレートなど貼付けて用いる。尚、本実施の形態では研磨中の割れや欠けの発生を防止するため、下定盤8の表面には溝部などを形成せず、平坦な面としている。
供給部10は、下定盤8の回転方向を考慮して、研磨治具9の上流側か、研磨治具9の直上に配置するようにする。この供給部10からは、ラッピングまたはポリシング、被研磨物の材料や研磨速度などの生産性を考慮して、アルミナや炭化珪素、酸化セリウムや分散性を高めたシリカ微粒子などの研磨剤を供給する。
この供給部10から供給される研磨剤は、研磨治具9の内部を貫通する貫通流路9aまたは、その外側面、特に下定盤8に当接する下方部分に設けた、内部へ研磨剤を導引するための窓部9bを介して研磨治具9内の被研磨物へ供給されるものである。
上記の球体の研磨装置で研磨する被研磨物は、主にレンズなどに用いられるガラスの球体である。本装置を用いてガラス素材を、ラッピングでその外形を球体に整えた後に、このラッピングで梨地状に加工された表面を、ポリシングで鏡面に仕上げるものである。
図2は、図1のA−AA断面図であり、特に研磨治具9の内部構造を説明する図である。
本実施の形態の研磨治具9は、下定盤8の上に水平に載置されており、その内部は、下方より上方に向けて順に、被研磨物である球体12を回動可能に保持するキャリア13と、上定盤14と、この上定盤14を一定の力で加圧するためのウエイト15とを有している。尚、上定盤14とウエイト15との間には、ゴムなどの弾性体からなるクッション材16を介在させており、上定盤14全体を均一に加圧するようにしている。球体12は、この上定盤14と下定盤8とで挟持され、ウエイト15の重量により一定の圧力で加圧される。
上記のキャリア13、上定盤14、ウエイト15は、円盤状あるいは円筒状であり、その外形は略等しく設計されている。キャリア13に球体12を供給した後、その上に上定盤14とウエイト15とを順に載置し、これらの外形より若干大きな内径を有するガイドリング17を被せてこれらの外側面の少なくとも一部を支持しているものである。下定盤8を回転させることで、保持リング11(図1)に支持されたガイドリング17は回転して、その内部のキャリア13や上定盤14、ウエイト15も連れ回りする。尚、上定盤14の表面、すなわち球体12と当接する面は、溝部などを形成せず、下定盤8と同様に平坦な面として球体12を挟持する。尚、18は研磨パッドであり、研磨加工の用途により、その材料を適宜選択するものである。ラッピングを行う場合は、下定盤8と一体の鋳鉄とし、ポリシングを行う場合は、発泡ウレタンやスエードなどの弾性体からなるパッドや、錫や研磨剤などを混入分散して成形した樹脂製のパッドなどである。
本発明の球体の研磨装置は、キャリア13に設けた第一の開口部13a内に、球体12を保持するサブキャリア19を嵌合したダブルキャリア方式である。こうすることにより、サブキャリア19をキャリア13の回転とともに連れ回りさせるとともに、このサブキャリア19自身も自転させることで、一つのキャリアを用いた場合と比較して、特定の方向に偏らずに球体12の回転運動量を増大させることができ、その真球度や外形精度を高めることが可能である。キャリア13内に嵌合されるサブキャリア19の厚みは、少なくともキャリア13の厚み以上としておき、その外側面を第一の開口部13aの内側面に当接させて支持する。第一の開口部13aの内径は、このサブキャリア19よりも大きいため、研磨治具9(図1)の回転に伴いサブキャリア19は自転し、第一の開口部13a内を偏芯しながらキャリア13とともに連れ回りする。
次に、本発明のポイントであるキャリア13について、図3を用いて詳細を説明する。
図3(a)は、本発明の球体の研磨装置に用いるキャリア13の一例を説明する上面図であり、同図(b)は、そのB−BB断面図である。
本実施の形態のキャリア13は、いわゆるダブルキャリア方式であり、キャリア13の周縁部に第一の開口部13aを複数設けて、これら第一の開口部13aに囲まれた略中心に第二の開口部13bを設けている。これらの開口部13a、13bは貫通孔であり、第二の開口部13bから第一の開口部13a、そしてキャリア13の外縁部へと続く有底の溝部20を放射状に設けている。また、第一の開口部13a内には、少なくともキャリア13の厚み以上のサブキャリア19を嵌合し、このサブキャリア19に球体12を回動可能に側面から保持するものである。第一の開口部13aの外形は、サブキャリア19の外形より大きくしてあり、研磨時には、この第一の開口部13a内をサブキャリア19が偏芯しながらその内側面に沿って公転する。さらにサブキャリア19は、研磨治具9の回転とともに自転するので、保持された球体は一定の方向に偏らず、360度全方向に回転して、真球度や外形精度の高い研磨を実現するものである。
ここで重要なのが、球体12への研磨剤の供給である。本実施の形態では、球体12がガラスであるため、下定盤8あるいは上定盤14の表面に研磨剤を供給するための溝などを設けることができない。そのため、キャリア13の中央部に第二の開口部13bを設け、この第二の開口部13bに貫通流路9aを介して研磨剤を供給する。そして、研磨時の回転による遠心力で、この研磨剤を、溝部20を介して第一の開口部13a、すなわち球体12へ供給するものである。また、溝部20は、第一の開口部13aからキャリア13の外縁部に達するように形成してあるので、ガイドリング17の外側面に窓部9b(図1)を設けておくことで、上流側より供給された下定盤8上の研磨剤を第一の開口部13aへ導引することができる。このように、研磨剤を内外より第一の開口部13a内へ導引することにより、球体12に常に研磨剤を供給して、真球度や表面粗さ、外形精度の高い研磨を可能にするものである。
図4(a)は、キャリア13の別の一例を説明するための上面図であり、同図(b)は、そのC−CC断面図である。
図3と異なる点は、キャリア13に下定盤8または上定盤14の少なくとも一方の形状を修正するための修正部材21を、第一の開口部13aとともに放射状に配置したところである。この修正部材21は、キャリア13の表面に埋め込んでも良いし、キャリア13を貫通して挿入してもよい。キャリア13を貫通して挿入する場合、修正部材21の厚みはキャリア13の厚み以上かつサブキャリア19の厚み以下とする。表面に埋め込む場合は、キャリア13の厚みと修正部材21の突出量との和が、サブキャリア19の厚み以下となるように設定する。こうすることで、修正部材21を常に下定盤8と当接させることで、球体12と下定盤8との当接部に生じる凹凸などの平坦性の劣化を、この修正部材21で削り取って修正しながら研磨を行うことができる。その結果、真球度や外形精度の高い研磨を行うことができるものである。尚、修正部材21の材料としては、下定盤8よりも硬度の高いものであれば良く、一例としては炭化珪素などがある。また、樹脂製の研磨パッドを用いる場合、このパッド内に研磨剤を混入しておくことで、形状の修正と同時に生じる切りくずを研磨剤としても利用することができる。
上述した研磨装置を用いることで、ガラスなどを、真球度や表面粗さ、外形精度の高い球体へ研磨することができる。
本発明に係る球体の研磨装置によれば、下定盤上に研磨治具と研磨剤を供給する供給部を配置する。研磨治具は、その下方から上方に向けて順に、球体を回動可能に保持して回転するキャリア、上定盤、この上定盤をその重量により加圧するウエイトとから構成されており、これら下定盤及び上定盤とで、球体を上下に挟持する。そして、供給部から研磨剤を供給するとともに、下定盤を回転させることで、球体を回動させて、その表面を研磨する。キャリアには、有底の溝部と、この溝部の経路に貫通した開口部を設け、さらにこの開口部内に、球体を回動可能に保持したサブキャリアを回転可能に嵌合している。研磨時に供給された研磨剤は、研磨治具を介して、あるいは研磨治具の外部より直接キャリアの溝部流れ込み、さらにその経路の途中に設けた開口部、すなわちサブキャリアで保持された球体へと供給される。下定盤および上定盤は水平に配置されるので、供給された研磨剤はサブキャリアを嵌合する開口部へ滞留して、保持された球体へ常に供給されるので真球度や外形精度の高い研磨を行うことができる効果を奏するので、特にレンズなどの球体のガラスを研磨するための研磨装置に有用である。
本発明の球体の研磨装置の一例を説明する斜視図 研磨治具の内部構造を説明する、図1のA−AA断面図 (a)本発明の球体の研磨装置に用いるキャリアの一例を説明する上面図、(b)図3(a)のB−BB断面図 (a)本発明の球体の研磨装置に用いるキャリアの別の一例を説明する上面図、(b)図4(a)のC−CC断面図 従来の球体の研磨装置を説明する要部断面図
符号の説明
8 下定盤
9 研磨治具
9a 貫通流路
10 供給部
12 球体
13 キャリア
14 上定盤
15 ウエイト
19 サブキャリア
20 溝部
21 修正部材

Claims (3)

  1. 下定盤と、この下定盤上に設けた研磨治具と、この研磨治具に研磨剤を供給する供給部とを備え、前記研磨治具は、下定盤上に、下方から上方に向けて順に球体を回動可能に保持するキャリア、上定盤、この上定盤を加圧するウエイトとから構成し、前記供給部から前記キャリアを介して球体に研磨剤を供給しながら、前記下定盤および上定盤とで球体を挟持、加圧するとともに、これら下定盤、上定盤とを相対的に移動させて前記球体を研磨する研磨装置であって、前記キャリアは、その表面に有底の溝部と、この溝部の経路に設けた開口部内に嵌合した、球体を回動可能に保持するサブキャリアとからなり、このサブキャリアに前記溝部を介して研磨剤を供給することを特徴とする球体の研磨装置。
  2. 上定盤およびウエイトに、キャリアの溝部へ通じる貫通流路を設けた請求項1に記載の球体の研磨装置。
  3. キャリアに修正部材を設けて回動させることで、上定盤または下定盤の形状を修正しながら研磨を行うことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の球体の研磨装置。
JP2007096243A 2007-04-02 2007-04-02 球体の研磨装置 Pending JP2008254082A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007096243A JP2008254082A (ja) 2007-04-02 2007-04-02 球体の研磨装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007096243A JP2008254082A (ja) 2007-04-02 2007-04-02 球体の研磨装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008254082A true JP2008254082A (ja) 2008-10-23

Family

ID=39978195

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007096243A Pending JP2008254082A (ja) 2007-04-02 2007-04-02 球体の研磨装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008254082A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011073076A (ja) * 2009-09-29 2011-04-14 Ntn Corp グリーンボールの研磨装置
US9032626B2 (en) 2009-09-29 2015-05-19 Ntn Corporation Green ball grinding method, ceramic sphere fabrication method, and grinding apparatus
JP2016221586A (ja) * 2015-05-27 2016-12-28 株式会社ジェイテクト 球体研磨装置及び球体研磨方法
KR101725439B1 (ko) * 2016-02-01 2017-04-11 엘가이드 주식회사 볼 렌즈 연마장치

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011073076A (ja) * 2009-09-29 2011-04-14 Ntn Corp グリーンボールの研磨装置
US9032626B2 (en) 2009-09-29 2015-05-19 Ntn Corporation Green ball grinding method, ceramic sphere fabrication method, and grinding apparatus
US9452503B2 (en) 2009-09-29 2016-09-27 Ntn Corporation Green ball grinding method, ceramic sphere fabrication method, and grinding apparatus
JP2016221586A (ja) * 2015-05-27 2016-12-28 株式会社ジェイテクト 球体研磨装置及び球体研磨方法
KR101725439B1 (ko) * 2016-02-01 2017-04-11 엘가이드 주식회사 볼 렌즈 연마장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5635957B2 (ja) 被研磨物の研磨方法、及び研磨パッド
JPH09270401A (ja) 半導体ウェーハの研磨方法
EP2762272B1 (en) Wafer polishing apparatus and method
WO2010038646A1 (ja) 球状体の研磨装置、球状体の研磨方法および球状部材の製造方法
US7722439B2 (en) Semiconductor device manufacturing apparatus and method
JP4524643B2 (ja) ウェーハ研磨方法
JP2008254082A (ja) 球体の研磨装置
JP5732354B2 (ja) 研磨パッド
JP4484466B2 (ja) 研磨方法およびその研磨方法に用いる粘弾性ポリッシャー
JP6608604B2 (ja) 面取り加工された基板及び液晶表示装置の製造方法
JP2003053657A (ja) 研磨面構成部材及び該研磨面構成部材を用いた研磨装置
CN108369908A (zh) 双面研磨方法及双面研磨装置
JP2008229846A (ja) ポリッシング装置及び方法並びにトップリング
US20230211449A1 (en) Device for polishing outer periphery of wafer
JP6963075B2 (ja) ウェハの表面処理装置
JP2006147731A (ja) 研磨クロス,ウェーハ研磨装置及びウェーハ製造方法
JP6843554B2 (ja) ウェハの表面処理装置
JP2006186239A (ja) 研磨パッドおよび半導体デバイスの製造方法
JPWO2015068500A1 (ja) 研磨工具、研磨方法および研磨装置
JP4143563B2 (ja) ワーク保持装置及び両面加工装置
JPH11333677A (ja) 基板の研磨装置
JP6888753B2 (ja) 研磨装置、及び、研磨パッドのドレッシング方法
JP2007319994A (ja) 研磨パッド
KR100886603B1 (ko) 웨이퍼 연마 장치 및 웨이퍼 연마 방법
TWI490084B (zh) A circular polishing pad and a method for manufacturing the same, and a method for manufacturing the semiconductor element