JP2011073076A - グリーンボールの研磨装置 - Google Patents

Abstract

【課題】研磨効率の低下を抑制し、効率よくグリーンボールの研磨を実施することが可能なグリーンボールの研磨装置を提供する。
【解決手段】
研磨装置１は、第１の面１１を有する第１定盤１０と、第１の面１１に対向し、第２の面２１を有するとともに、第２の面２１に交差する方向に突出する保持部２２を有する第２定盤２０とを備えている。第１の面１１は、グリーンボール９１を研磨する研磨面となっている。また、グリーンボールの研磨装置１は、研磨により生じた研磨粉を上記研磨面から除去する吸引部材４０をさらに備えている。グリーンボール９１は第１の面１１と第２の面２１との間において挟持される。そして、第１定盤１０および第２定盤２０は、それぞれ軸αおよび軸β周りに回転することによってグリーンボール９１を公転および自転させる。
【選択図】図１

Description

本発明はグリーンボールの研磨装置に関し、より特定的には、効率よくグリーンボールの研磨を実施することが可能なグリーンボールの研磨装置に関するものである。

一般に、転がり軸受の転動体などに使用されるセラミックス製のボール（セラミックス球）は、原料粉末を成形してセラミックスの未焼結のボール、すなわちグリーンボールを作製し、これを焼結した後、研磨処理を行なうことにより真球に近い形状を有するセラミックス球に仕上げることにより製造される。しかし、セラミックス球は硬度が非常に高いため、加工に長時間を要するという問題がある。

一方、焼結前のグリーンボールは、硬度が低くて加工が容易であるので、焼結後の研磨に比べて格段に高い能率で加工できる。このような背景のもと、グリーンボールの加工に関して、種々の提案がなされている（たとえば、特許文献１〜３参照）。特許文献１には、対向する２枚の定盤間に熱可塑性有機高分子化合物を主体とする組成物を結合材として加えたグリーンボールを挟み、研磨盤に砥粒と水とを滴下し、湿式研磨を行なう方法が開示されている。しかし、この方法では、結合剤の組成が制約されるという問題がある。また、この方法では、加工後の脱脂および焼結条件が複雑になるため、量産性にも問題を生じる。また、特許文献２には、縦型の２枚の砥石間にグリーンボールを挟み込み、研磨する方法が開示されている。しかし、この方法では、一基の装置において複数個のグリーンボールを同時に加工することができないため、量産性に乏しいという問題がある。

一方、特許文献３には、互いに平面で対向する一対の加工定盤間に複数個のグリーンボールを挟み込み、両加工定盤の対向平面に沿う複数系統の相対移動で、グリーンボールに公転と、各種方向に自転とを行なわせながら、グリーンボールを真球に近い形状に研磨する研磨装置が開示されている。複数系統の相対移動とは、たとえば両加工定盤の互いに偏心した回転や、回転と直進との組み合わせ等である。この研磨装置においては、下加工定盤における研磨加工用の粗面を、研磨粉の通過可能な格子目の粗面構成部材で形成し、かつこの粗面構成部材の下側の加工定盤部分に、上面に開口する多数の孔を設けることができる。この研磨装置を用いた研磨方法は、結合材の組成に制約がなく、かつ同時に複数個の加工が可能である。

特開平１−１３０９０８号公報 特開平２−３０３７６７号公報 特開平７−３１４３０８号公報

しかしながら、特許文献３に記載のグリーンボールの研磨装置においては、粗面構成部材の格子目や加工定盤に設けられた孔が、グリーンボールの研磨により生じた研磨粉により目詰まりし、研磨効率が低下するおそれがある。

そこで、本発明の目的は、研磨効率の低下を抑制し、効率よくグリーンボールの研磨を実施することが可能なグリーンボールの研磨装置を提供することである。

本発明に従ったグリーンボールの研磨装置は、グリーンボールに接触することによりグリーンボールを保持する第１の面を有する第１部材と、第１の面に対向し、グリーンボールに接触することによりグリーンボールを保持する第２の面を有するとともに、第２の面に交差する方向に突出することによりグリーンボールの第２の面に沿った方向における移動を制限する保持部を有する第２部材とを備えている。第１の面および第２の面の少なくともいずれか一方は、グリーンボールに接触することによりグリーンボールを研磨する研磨面となっている。また、グリーンボールの研磨装置は、グリーンボールの研磨により生じた研磨粉を上記研磨面から除去する研磨粉除去機構をさらに備えている。グリーンボールは第１の面と第２の面との間において挟持される。そして、第１部材と第２部材とは複数系統の相対運動によってグリーンボールを公転および自転させる。

本発明のグリーンボールの研磨装置においては、第１部材と第２部材とが複数系統の相対運動によってグリーンボールを公転および自転させる。そのため、グリーンボールは自転軸を変化させつつ自転する。また、第１の面および第２の面の少なくともいずれか一方は研磨面となっている。そのため、当該自転によってグリーンボールは突出部が優先的に加工されるとともに、その表面全域にわたって研磨される。その結果、グリーンボールは上記研磨装置による研磨により、効率よく真球に近づく。さらに、本発明のグリーンボールの研磨装置は、研磨粉を上記研磨面から除去する研磨粉除去機構を備えているため、研磨面の目詰まりが抑制されて研磨効率の低下が抑えられるため、上記効率のよい研磨加工を長期間にわたって維持することができる。このように、本発明のグリーンボールの研磨装置によれば、研磨効率の低下を抑制し、効率よくグリーンボールの研磨を実施することが可能なグリーンボールの研磨装置を提供することができる。なお、第１部材および第２部材の複数系統の相対運動とは、たとえば第１部材および第２部材の互いに異なった軸周りの回転や、一方の部材の回転と他方の部材の直進との組み合わせ等である。

上記グリーンボールの研磨装置においては、上記研磨粉除去機構は、研磨粉を吸引することにより除去する吸引部材を含んでいてもよい。これにより、研磨面からの研磨粉の除去を効率よく実施することができる。

上記グリーンボールの研磨装置においては、上記研磨粉除去機構は、研磨面に洗浄液を供給することにより研磨面を洗浄する洗浄部材と、洗浄された研磨面を乾燥させる乾燥部材とを含んでいてもよい。

これにより、洗浄液を用いてより確実に研磨面の研磨粉を除去するとともに、研磨粉を除去した後の研磨面を乾燥させることにより、残留した洗浄液がグリーンボールの研磨に悪影響を与えることを抑制することができる。

上記グリーンボールの研磨装置においては、上記研磨粉除去機構は、研磨面に気体を吹き付けることにより研磨粉を除去する気体噴射部材を含んでいてもよい。これにより、研磨面から研磨粉をより確実に除去することができる。

上記グリーンボールの研磨装置においては、研磨面を含む第１部材および第２部材の少なくとも一方の領域は、研磨粉が通過可能な格子目の格子状の形状を有する格子部材から構成されていてもよい。これにより、発生した研磨粉が格子部材の格子目を通過できるため、一般的な砥石等を用いた場合に比べて、研磨面の目詰まりが抑制される。

上記グリーンボールの研磨装置においては、研磨面を含む第１部材および第２部材の少なくとも一方には、上記格子部材の直下に、格子部材に向けて開口する複数の孔が形成されていてもよい。これにより、格子部材の格子目を通過した研磨粉が当該孔に入るため、研磨面の目詰まりが一層抑制される。

上記グリーンボールの研磨装置においては、上記複数の孔は、研磨面を含む第１部材および第２部材の少なくとも一方を研磨面に交差する方向に貫通するように形成されていてもよい。

これにより、格子部材の格子目を通過して上記孔に入った研磨粉を、当該孔を通過させて反対側から除去することができる。これにより、研磨面の目詰まりを一層抑制することができる。

上記グリーンボールの研磨装置においては、研磨面を含む第１部材および第２部材の少なくとも一方を上記複数の孔が貫通する方向において挟むように、吸引部材と気体噴射部材とが配置されている。

これにより、研磨面を含む第１部材および第２部材の少なくとも一方の部材に形成された上記複数の孔に一方の開口側から気体噴射部材により気体を吹き付けるとともに、他方の開口側から吸引部材によって研磨粉を吸引し、研磨粉を除去することができる。その結果、一層確実に研磨面の目詰まりを抑制することができる。

以上の説明から明らかなように、本発明のグリーンボールの研磨装置によれば、研磨効率の低下を抑制し、効率よくグリーンボールの研磨を実施することが可能なグリーンボールの研磨装置を提供することができる。

研磨装置の構造を示す概略断面図である。 格子部材の構造を示す概略平面図である。 研磨装置の構造の他の一例を示す概略断面図である。 研磨装置の構造のさらに他の一例を示す概略断面図である。 図４の研磨装置の他の断面を示す概略断面図である。 研磨装置の構造のさらに他の一例を示す概略断面図である。 格子部材の目開きの大きさと加工回数との関係を示す図である。

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。

（実施の形態１）
まず、本発明の一実施の形態である実施の形態１におけるグリーンボールの研磨装置について説明する。図１を参照して、実施の形態１におけるグリーンボールの研磨装置である研磨装置１は、グリーンボール９１に接触することによりグリーンボール９１を保持する第１の面１１を有する第１部材としての第１定盤１０と、第１の面１１に対向し、グリーンボール９１に接触することによりグリーンボール９１を保持する第２の面２１を有するとともに、第２の面２１に交差する方向に突出することによりグリーンボール９１の第２の面２１に沿った方向における移動を制限する保持部２２を有する第２定盤２０とを備えている。研磨装置１が稼動可能に設置された状態において、第１定盤１０は鉛直方向において下側の定盤であり、第２定盤２０は上側の定盤である。

第１定盤１０には、第２定盤２０に対向する側とは反対側に突出する第１軸１２が接続されている。そして、第１軸１２の外周面には軸受３１が嵌め込まれている。そして、この軸受３１は、第１保持部材３２により保持されている。以上の構成により、第１定盤１０は、第１軸１２の中心軸に一致する軸αを回転軸として周方向に回転可能となっている。また、第１定盤１０の第１の面１１を含む領域には、グリーンボール９１を研磨するための研磨層１０Ａが形成されている。研磨層１０Ａは、たとえば砥石であってもよいが、本実施の形態においては図２に示すように、研磨粉が通過可能な格子目１３の格子状の形状を有する金網などの格子部材からなっている。

一方、第２定盤２０には、第１定盤１０に対向する側とは反対側に突出する第２軸２４が接続されている。この第２軸２４の外周側には軸受３１が嵌め込まれている。そして、この軸受３１は、第２保持部材３３により保持されている。以上の構成により、第２定盤２０は、第２軸２４の中心軸に一致し、軸αとは異なる軸βを回転軸として周方向に回転可能となっている。軸βは、軸αに対して平行である。また、第２定盤２０の第２の面２１を含む領域には、グリーンボール９１を保持するための保持層２０Ａが形成されている。保持層２０Ａは、たとえばゴム、樹脂などからなる弾性部材である。さらに、第２定盤２０には、その外周を取り囲むように、第１定盤に対向する側に突出する保持部２２が形成されている。そして、研磨装置１は、第２の面２１と第１の面１１との間に、グリーンボール９１を挟持しつつ、グリーンボール９１を研磨することができる。

さらに、本実施の形態における研磨装置１は、グリーンボール９１の研磨により生じた研磨粉を研磨面である第１の面１１から除去する研磨粉除去機構としての吸引部材４０を備えている。吸引部材４０は、第１定盤１０の第１の面１１上に、第２定盤２０と干渉しないように配置されている。また、吸引部材４０において第１の面１１に対向する領域には、研磨粉を吸引するための複数の吸引孔４１が形成されている。そして、吸引部材４０の内部が外部に対して減圧状態とされることにより、矢印ａに沿って研磨粉を吸引部材４０の内部に吸引し、研磨面である第１の面１１から除去することができる。

次に、研磨装置１を用いたグリーンボール９１の研磨方法について説明する。図１を参照して、まず、原料粉末が球状に成形されて作製された複数のグリーンボール９１が、研磨装置１の第１定盤１０と第２定盤２０との間に供給される。このとき、図１を参照して、第１定盤１０は軸αを回転軸として回転するとともに、第２定盤２０は軸βを回転軸として回転する。つまり、第１定盤１０および第２定盤２０においては、複数系統の相対運動が達成される。これにより、グリーンボール９１は自転するとともに、第２定盤２０の保持部２２の内壁２３に沿って公転する。

つまり、本実施の形態における研磨装置１においては、第１の面１１がグリーンボール９１に接触することによりグリーンボールを研磨する研磨面となっている。また、グリーンボール９１は第１の面１１と第２の面２１との間において挟持される。さらに、第１定盤１０と第２定盤２０とは複数系統の相対運動（ここでは、異なった軸周りの回転運動）によってグリーンボール９１を公転および自転させる。そのため、グリーンボール９１は自転軸を変化させつつ自転する。また、第１の面１１が研磨面となっているため、当該自転によってグリーンボール９１は突出部が優先的に加工されるとともに、その表面全域にわたって研磨される。その結果、グリーンボール９１は、研磨装置１による研磨によって効率よく真球に近づく。

さらに、本実施の形態における研磨装置１は、研磨粉除去機構を構成する吸引部材４０を備えているため、研磨面である第１の面１１の目詰まりが抑制されて研磨効率の低下が抑えられるため、上記効率のよい研磨加工を長期間にわたって維持することができる。このように、本実施の形態における研磨装置１は、研磨効率の低下を抑制し、効率よくグリーンボールの研磨を実施することが可能なグリーンボールの研磨装置となっている。

なお、上記実施の形態１においては、本発明の第１部材および第２部材の複数系統の相対運動として、第１部材としての第１定盤１０と第２部材としての第２定盤２０とが、異なった軸周りに回転する場合について説明したが、複数系統の相対運動はこれに限られない。具体的には、たとえば第１部材としての第１定盤１０に代えて、第２の面２１に対向するように直線運動する面を有するエンドレスのベルトを採用してもよい。この場合、第２の面２１に対向するベルトの面を、研磨面とすることができる。

（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態である実施の形態２について説明する。図３および図１を参照して、実施の形態２におけるグリーンボールの研磨装置としての研磨装置１は、基本的には実施の形態１における研磨装置１と同様の構造を有し、同様に動作するとともに、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態２における研磨装置１は、第１定盤１０の構造において実施の形態１の場合とは異なっている。

すなわち、図３を参照して、実施の形態２における研磨装置１においては、研磨面である第１の面１１を有する第１定盤１０の格子部材からなる研磨層１０Ａの直下に、当該研磨層１０Ａに向けて開口する複数の孔１４が形成されている。

このような構造を有することにより、研磨層１０Ａの格子目を通過した研磨粉が当該孔１４に入る。そのため、本実施の形態における研磨装置１においては、研磨面の目詰まりが一層抑制されている。

（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態である実施の形態３について説明する。図４、図５および図１を参照して、実施の形態３におけるグリーンボールの研磨装置としての研磨装置１は、基本的には実施の形態１における研磨装置１と同様の構造を有し、同様に動作するとともに、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態３における研磨装置１は、研磨粉除去機構の構造において、実施の形態１の場合とは異なっている。

すなわち、図４および図５を参照して、実施の形態３における研磨装置１は、実施の形態１における吸引部材４０に代えて、研磨粉除去機構を構成する洗浄部材５０と乾燥部材５２とを備えている。洗浄部材５０は、研磨面である第１の面１１に洗浄液を供給することにより、第１の面１１を洗浄する機能を有する。より具体的には、図４を参照して、洗浄部材５０は、第１の面１１上に、第２定盤２０と干渉しないように配置されている。また、洗浄部材５０において第１の面１１に対向する領域には、洗浄液を吐出するための複数の吐出孔５１が形成されている。そして、洗浄部材５０の吐出孔５１から洗浄液が矢印ｂで示すように研磨面である第１の面１１に向けて吐出されることにより、第１の面１１から研磨粉が除去される。洗浄液としては、たとえば水を採用することができ、必要に応じて防錆剤、界面活性剤などを添加することができる。

一方、乾燥部材５２は、洗浄された研磨面である第１の面１１を乾燥させる機能を有する。より具体的には、図５を参照して、乾燥部材５２は、第１の面１１上に、第２定盤２０と干渉しないように配置されている。このとき、乾燥部材５２は、洗浄部材５０から見て第１定盤１０の回転方向において後方側に配置される。また、乾燥部材５２において第１の面１１に対向する領域には、気体を噴射するための噴射孔５３が形成されている。そして、乾燥部材５２の噴射孔５３から乾燥した空気などの気体が研磨面である第１の面１１に向けて吹き付けられることにより、第１の面１１を乾燥させることができる。

本実施の形態における研磨装置１によれば、洗浄部材５０から吐出される洗浄液を用いてより確実に研磨面の研磨粉を除去するとともに、研磨粉を除去した後の研磨面を乾燥部材５２により乾燥させることによって、残留した洗浄液がグリーンボール９１の研磨に悪影響を与えることを抑制することができる。

（実施の形態４）
次に、本発明の実施の形態である実施の形態４について説明する。図６および図３を参照して、実施の形態４におけるグリーンボールの研磨装置としての研磨装置１は、基本的には実施の形態２における研磨装置１と同様の構造を有し、同様に動作するとともに、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態４における研磨装置１は、第１定盤１０の構造および研磨粉除去機構の構成において、実施の形態２の場合とは異なっている。

すなわち、図６を参照して、実施の形態４における研磨装置１の第１定盤１０に形成された複数の孔１４は、研磨面である第１の面１１を有する第１定盤１０を第１の面１１に交差する方向（厚み方向）に貫通するように形成されている。そして、当該第１定盤１０を孔１４が貫通する方向において挟むように、研磨粉除去機構を構成する吸引部材４０および気体噴射部材６０が配置されている。

気体噴射部材６０は、研磨面である第１の面１１に気体を吹き付けることにより研磨粉を除去する機能を有している。より具体的には、気体噴射部材６０は、第１の面１１上に、第２定盤２０と干渉しないように配置されている。また、気体噴射部材６０において第１の面１１に対向する領域には、空気などの気体を噴出するための複数の気体噴出孔６１が形成されている。

一方、第１定盤１０において気体噴射部材６０に対向する第１の面とは反対側の面に対向する位置、すなわち研磨層１０Ａに面する側とは反対側の孔１４の開口に対向する位置には、当該開口に対向するように吸引孔４１が形成された実施の形態１と同様の構造を有する吸引部材４０が配置されている。

そして、気体噴射部材６０の気体噴出孔６１から、矢印ｄに示すように気体が第１の面１１に向けて吹き付けられることにより、第１の面１１から研磨粉が除去される。このとき、研磨粉の一部は研磨面である第１の面１１から直接飛散する。一方、研磨粉の他の一部は研磨層１０Ａの格子目を通って孔１４内に進入する。そして、孔１４内に進入した研磨粉は、第１の面１１に面する側とは反対側の孔１４の開口から矢印ａに示すように吸引部材４０により吸引されて、除去される。このように、本実施の形態における研磨装置１においては、一層確実に研磨面の目詰まりを抑制することが可能となっている。

なお、上記実施の形態においては、第１定盤１０に形成される孔１４、研磨粉除去機構を構成する吸引部材４０、洗浄部材５０、乾燥部材５２および気体噴射部材６０について、その一例を説明したが、これらは研磨面の目詰まりを有効に抑制する目的で、適宜組み合わせることができる。

定盤の構造および研磨粉除去機構の構成が目詰まりの進行に及ぼす影響を調査する実験を行なった。サンプルとしては、窒化珪素の原料粉末を成形することにより得られたグリーンボールを採用し、当該グリーンボールを１０個同時に上記実施の形態において説明した研磨装置１と同様の構造を有する研磨装置に供給して研磨加工を実施した。そして、加工効率が加工開始時点の状態から９０％低下するまでの加工回数を調査した。

研磨装置は、実施の形態１における研磨装置１において研磨粉除去機構としての吸引部材４０を省略するとともに、研磨層１０Ａとしてダイヤモンド♯２３０砥石を採用したもの（比較例）、比較例の研磨装置に実施の形態１と同様の吸引部材４０を追加したもの（実施例Ａ）、実施例Ａの研磨装置において研磨層１０Ａを格子部材（金網）に変更するとともに第１定盤１０に実施の形態４と同様の貫通孔を形成したもの（実施例Ｂ）、実施例Ｂの研磨装置において吸引部材４０に代えて実施の形態３と同様の洗浄部材５０および乾燥部材５２を採用したもの（実施例Ｃ）、および実施例Ｃの研磨装置において洗浄部材５０および乾燥部材５２に代えて実施の形態４と同様の気体噴射部材６０および吸引部材４０を配置したもの（実施例Ｄ）を採用した。

第２定盤２０の回転数は２５０ｒｐｍ、第１定盤１０の回転数は２０ｒｐｍとした。研磨層１０Ａとして格子部材を採用する場合、その目開きは１５０μｍとした。実験結果を以下の表１に示す。

表１を参照して、比較例の研磨装置に対して研磨粉除去機構である吸引部材を追加した実施例Ａの研磨装置によれば、加工効率が加工開始時点の状態から９０％低下するまでの加工回数が比較例の研磨装置の５倍にまで向上した。また、実施例Ａの研磨層１０Ａを格子部材に変更するとともに第１定盤１０に貫通孔を形成した実施例Ｂによれば、上記加工回数がさらに１．８倍に向上した。さらに、吸引部材に代えて洗浄部材と乾燥部材との組合せ、あるいは気体噴射部材と吸引部材との組合せ（図６参照）に変更することにより、上記加工回数がさらに向上した。

以上の結果より、本発明のグリーンボールの研磨装置によれば、研磨効率の低下を抑制し、効率よくグリーンボールの研磨を実施できることが確認された。

研磨面として格子部材を採用した場合の適切な目開きの大きさを調査する実験を行なった。サンプルおよび研磨条件は上記実施例１の実験の場合と同様とした。そして、上記実施例１の実施例Ｂ〜Ｄのそれぞれと同様の研磨装置において、格子部材の目開きを３５０μｍ以下の様々な大きさとした場合について、加工効率が加工開始時点の状態から９０％低下するまでの加工回数を調査した。

次に、実験結果について説明する。上記実験結果、目開きの大きさと上記加工回数との関係は、実施例ＣおよびＤの研磨装置において同様である一方、これらと実施例Ｂの研磨装置との間においては、目開きの大きさと上記加工回数との関係が異なっていた。そこで、図７においては、実施例Ｂの研磨装置における実験結果を三角印、実施例ＣおよびＤの研磨装置における実験結果を丸印で示した。また、図７において横軸は格子部材の目開きの大きさ、縦軸は加工効率が加工開始時点の状態から９０％低下するまでの加工回数を示している。

図７を参照して、実施例Ｂの研磨装置、すなわち研磨粉除去機構として吸引部材を採用した研磨装置においては、目開きが６０μｍ未満の場合、目開きが大きくなるに従って加工回数が急激に向上している。そして、目開きが６０μｍ以上になれば、加工回数の向上は緩やかになっている。このことから、研磨粉除去機構として吸引部材を採用した本発明の研磨装置においては、格子部材の目開きを６０μｍ以上とすることが好ましいといえる。

一方、実施例ＣおよびＤの研磨装置、すなわち研磨粉除去機構として洗浄部材と乾燥部材との組合せを採用した研磨装置、および第１定盤を挟んで対向する気体噴射部材と吸引部材との組合せを採用した研磨装置においては、目開きが４０μｍ未満の場合、目開きが大きくなるに従って加工回数が急激に向上している。そして、目開きが４０μｍ以上になれば、加工回数の向上は緩やかになっている。このことから、研磨粉除去機構として洗浄部材と乾燥部材との組合せを採用した研磨装置、および第１定盤を挟んで対向する気体噴射部材と吸引部材との組合せを採用した研磨装置においては、格子部材の目開きを４０μｍ以上とすることが好ましいといえる。なお、実施例Ｂの研磨装置に対して実施例ＣおよびＤの研磨装置における好ましい目開きの大きさの下限値が小さくなったのは、吸引部材に比べて、洗浄部材と乾燥部材との組合せや気体噴射部材と吸引部材との組合せによる目詰まりの抑制効果が高かったためであると考えられる。

なお、実施例Ｂ〜Ｄのいずれの研磨装置においても、目開きの大きさが３５０μｍを超えると、グリーンボールの研磨は困難であった。このことから、格子部材の目開きは、３５０μｍ以下であることが好ましいといえる。

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本発明のグリーンボールの研磨装置は、研磨の効率向上が求められるグリーンボールの研磨装置に、特に有利に適用され得る。

１ 研磨装置、１０ 第１定盤、１０Ａ 研磨層、１１ 第１の面、１２ 第１軸、１３ 格子目、１４ 孔、２０ 第２定盤、２０Ａ 保持層、２１ 第２の面、２２ 保持部、２３ 内壁、２４ 第２軸、３１ 軸受、３２ 第１保持部材、３３ 第２保持部材、４０ 吸引部材、４１ 吸引孔、５０ 洗浄部材、５１ 吐出孔、５２ 乾燥部材、５３ 噴射孔、６０ 気体噴射部材、６１ 気体噴出孔、９１ グリーンボール。

Claims (8)

1. グリーンボールに接触することにより前記グリーンボールを保持する第１の面を有する第１部材と、
   前記第１の面に対向し、前記グリーンボールに接触することにより前記グリーンボールを保持する第２の面を有するとともに、前記第２の面に交差する方向に突出することにより前記グリーンボールの前記第２の面に沿った方向における移動を制限する保持部を有する第２部材とを備え、
   前記第１の面および前記第２の面の少なくともいずれか一方は、前記グリーンボールに接触することにより前記グリーンボールを研磨する研磨面となっており、
   前記グリーンボールの研磨により生じた研磨粉を前記研磨面から除去する研磨粉除去機構をさらに備え、
   前記グリーンボールは前記第１の面と前記第２の面との間において挟持され、
   前記第１部材と前記第２部材とは複数系統の相対運動によって前記グリーンボールを公転および自転させる、グリーンボールの研磨装置。
2. 前記研磨粉除去機構は、前記研磨粉を吸引することにより除去する吸引部材を含んでいる、請求項１に記載のグリーンボールの研磨装置。
3. 前記研磨粉除去機構は、
   前記研磨面に洗浄液を供給することにより前記研磨面を洗浄する洗浄部材と、
   洗浄された前記研磨面を乾燥させる乾燥部材とを含んでいる、請求項１または２に記載のグリーンボールの研磨装置。
4. 前記研磨粉除去機構は、前記研磨面に気体を吹き付けることにより前記研磨粉を除去する気体噴射部材を含んでいる、請求項１〜３のいずれか１項に記載のグリーンボールの研磨装置。
5. 前記研磨面を含む前記第１部材および前記第２部材の少なくとも一方の領域は、前記研磨粉が通過可能な格子目の格子状の形状を有する格子部材から構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のグリーンボールの研磨装置。
6. 前記研磨面を含む前記第１部材および前記第２部材の少なくとも一方には、前記格子部材の直下に、前記格子部材に向けて開口する複数の孔が形成されている、請求項５に記載のグリーンボールの研磨装置。
7. 前記複数の孔は、前記研磨面を含む前記第１部材および前記第２部材の少なくとも一方を前記研磨面に交差する方向に貫通するように形成されている、請求項６に記載のグリーンボールの研磨装置。
8. 前記研磨面を含む前記第１部材および前記第２部材の少なくとも一方を前記複数の孔が貫通する方向において挟むように、前記吸引部材と前記気体噴射部材とが配置されている、請求項７に記載のグリーンボールの研磨装置。

Images