JP2008252052A - 照度検出部品及び照度検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板本体36と、基板本体36の上面36Aに設けられたパッド42,43と、を有する支持基板26と、パッド42,43と電気的に接続され、外部から照射された光を受光する受光素子27と、受光素子27と電気的に接続された外部接続端子28,29と、を備えた照度検出部品14であって、基板本体36は、シリコンからなり、基板本体36の上面36A側に受光素子27をアレイ状に複数配置し、複数の受光素子27を収容する凹部66を有した透光性部材32を基板本体36に設けて、凹部66により形成される空間Eを気密した。
【選択図】図5
Description
図4は、本発明の第1の実施の形態に係る照度検出装置が適用される露光装置の概略構成図である。図4では、ステージ11上に照度検出装置12を固定して、露光装置10から照射される光の照度を検出する場合を例に挙げて図示している。また、図4において、Aは光のスキャン方向、Bは露光装置100が一度に光を照射可能な領域(以下、「光照射領域B」とする)をそれぞれ示している。
図7は、本発明の第2の実施の形態に係る照度検出装置の断面図である。図7において、第1の実施の形態の照度検出装置12と同一構成部分には同一符号を付す。
図9から図11は、本発明の第3の実施の形態に係る照度検出装置を説明するための図である。図9は第3の実施の形態に係る照度検出装置80の断面図であり、図10は照度検出装置80の側面図(透光性部材32の一部は断面図として示している)、また図11は支持基板26の平面図である(透光性部材32を取り外した状態を示している)。尚、図9から図11において、図1から図8に示した第1の実施の形態に係る照度検出装置12と対応する構成については同一符号を付してその説明を省略する。
図12は、本発明の第4の実施の形態に係る照度検出装置を説明するための図である。図12は第4の実施の形態に係る照度検出装置90の断面図である。尚、図12においても、図1から図8に示した第1の実施の形態に係る照度検出装置12と対応する構成については同一符号を付してその説明を省略する。
11 ステージ
12,70,80,90 照度検出装置
13 照度検出部品配設板
14,71,81 照度検出部品
16 光源
17 DMD
18 光吸収板
19 投影レンズ
22 板体
22A,36A 上面
23,24 配線パターン
26,26A 支持基板
27 受光素子
28,29 外部接続端子
32,32A 透光性部材
32A,32B 面
33 反射防止膜
36 基板本体
36B,37A 下面
37 絶縁膜
38,39 貫通ビア
42,43,44 パッド
45,46 外部接続用パッド
48 ソルダーレジスト
48A,48B,73A 開口部
51 Ni層
52 Au層
54 金属ワイヤ
56,57 貫通孔
61 正電極
62 負電極
63 受光部
66,67 凹部
73 遮光部材
82 フォトダイオード
85 基板
B 光照射領域
C 距離
E 空間
F 深さ
M1,M2 厚さ
P1,P2 配設ピッチ
R1,R2 直径
W1,W2 幅
Claims (18)
- 基板本体と、前記基板本体の主面に設けられたパッドと、を有する支持基板と、前記パッドと電気的に接続され、外部から照射された光を受光する受光素子と、前記受光素子と電気的に接続された外部接続端子と、を備えた照度検出部品であって、
前記基板本体は、シリコンからなり、前記基板本体の前記主面側に前記受光素子をアレイ状に複数配置し、
透光性部材を前記基板本体に設けることにより、該透光性部材と前記基板本体との間に前記複数の受光素子を収容する気密な空間を形成したことを特徴とする照度検出部品。 - 前記パッドは、めっき膜からなることを特徴とする請求項1記載の照度検出部品。
- 前記透光性部材に前記受光素子を収容するための凹部を形成すると共に、
前記支持基板を平板形状としたことを特徴とする請求項1又は2記載の照度検出部品。 - 前記支持基板に前記受光素子を収容するための凹部を形成すると共に、
前記透光性部材を平板形状としたことを特徴とする請求項1又は2記載の照度検出部品。 - 前記複数の受光素子は、前記外部から照射された光を受光する受光部を有し、
前記透光性部材の前記受光素子と対向する面に前記外部から照射された光を遮光する遮光部材を設けると共に、前記複数の受光素子の前記受光部と対向する部分の前記遮光部材に前記外部から照射された光を通過させる開口部を設けたことを特徴とする請求項1ないし4のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。 - 前記開口部の直径は、前記受光部の有効エリアの直径よりも小さいことを特徴とする請求項5記載の照度検出部品。
- 前記透光性部材は、ガラスからなり、
前記基板本体と前記透光性部材とを陽極接合したことを特徴とする請求項1ないし6のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。 - 前記基板本体を貫通し、前記パッドと電気的に接続された貫通ビアを設けると共に、前記基板本体の前記主面とは反対側に位置する前記貫通ビアの端部と前記外部接続端子とを電気的に接続したことを特徴とする請求項1ないし7のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
- 前記透光性部材の前記受光素子と対向する面と反対側の面に、前記透光性部材の面において前記外部から照射された光が反射されることを防止する反射防止部材を設けたことを特徴とする請求項1ないし8のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
- 請求項1ないし9のうち、いずれか一項記載の照度検出部品を複数有すると共に、
平面視した状態において、露光装置により露光される配線基板と略等しい外形を有する板体と、前記板体に設けられ、前記照度検出部品に設けられた前記外部接続端子と電気的に接続される配線パターンと、を有する照度検出部品配設板を備えたことを特徴とする照度検出装置。 - 支持基板と、
該支持基板に配設されており、外部から照射された光を受光する受光部を有する受光素子と、
外部から照射された光を透過させる材質により形成されており、前記支持基板に接合されることにより、前記支持基板との間で前記受光素子を気密に封止する透光性部材と、
前記受光素子と電気的に接続された外部接続端子とを有しており、
前記受光素子を、前記複数の受光部が同一チップ上にアレイ状に形成された構成としたことを特徴とする照度検出部品。 - 前記支持基板と前記透光性部材とを陽極接合したことを特徴とする請求項11記載の照度検出部品。
- 前記透光性部材に前記受光素子を封止するための凹部を形成すると共に、
前記支持基板を平板形状としたことを特徴とする請求項11又は12記載の照度検出部品。 - 前記支持基板に前記受光素子を封止するための凹部を形成すると共に、
前記透光性部材を平板形状としたことを特徴とする請求項11又は12記載の照度検出部品。 - 前記支持基板の基板本体はシリコンからなり、前記透光性部材はガラスからなることを特徴とする請求項11ないし14のうち、いずれか一項に記載の照度検出部品。
- 前記透光性部材の前記受光素子と対向する面に、前記外部から照射された光を遮光する遮光部材を設けると共に、前記受光部と対向する部分に前記外部から照射された光を通過させる開口部を設けたことを特徴とする請求項11ないし14のうち、いずれか一項に記載の照度検出部品。
- 前記透光性部材の前記受光素子と対向する面と反対側の面に、前記透光性部材の面において前記外部から照射された光が反射されることを防止する反射防止部材を設けたことを特徴とする請求項11ないし16のうち、いずれか一項記載の照度検出部品。
- 請求項11ないし17のうち、いずれか一項記載の照度検出部品を複数有すると共に、
平面視した状態において、露光装置により露光される配線基板と略等しい外形を有する板体と、
前記板体に設けられ、前記照度検出部品に設けられた前記外部接続端子と電気的に接続される配線パターンと、を有する照度検出部品配設板を備えたことを特徴とする照度検出装置。
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